DE4300632C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von plattenförmigen Werkstücken - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Bearbeitung von plattenförmigen Werkstücken

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Description

Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einem Verfahren nach der Gattung des Anspruchs 1 und einer Vorrichtung nach der Gattung des An­ spruchs 7. Es ist allgemein bekannt, plattenförmige Werkstücke, insbesondere Siliziumwafer oder Glasplatten, dadurch zu bearbei­ ten, daß eine Flüssigkeit auf die Oberfläche des Werkstücks auf­ gebracht wird. Das Aufbringen der Flüssigkeit erfolgt beispiels­ weise dadurch, daß das Werkstück in die Flüssigkeit eingetaucht wird. Ein anderes Verfahren zum Aufbringen der Flüssigkeit be­ steht darin, das Werkstück auf einem drehbaren Teller zu befesti­ gen und die Flüssigkeit aufzutropfen oder aufzusprühen. Durch die Drehung des Werkstücks wird dann die Flüssigkeit auf der Oberflä­ che verteilt bzw. durch eine sehr schnelle Rotation am Ende der Bearbeitung von der Oberfläche des Werkstücks abgeschleudert. Beim Eintauchen besteht die Gefahr, daß sich Verschmutzungen in der Tauchlösung anreichern. Beim Schleuderverfahren wirken hohe mechanische Kräfte auf die Oberfläche des Werkstücks. Bei beiden Verfahren wird nur ein geringer Teil der Flüssigkeit für die Be­ arbeitung des Werkstücks genutzt. Aus den englischsprachigen Ab­ stracts der JP 1-183120 A2 und der JP 1-164036 A2 sind bereits Verfah­ ren bekannt, bei denen eine Flüssigkeit zwischen der Oberfläche eines Werkstücks und einer Arbeitsfläche angeordnet wird. Die Verteilung der Flüssigkeit erfolgt jedoch nicht durch Kapillar­ kräfte.
Aus IBM Technical Disclosure Bulletin (Vol. 32, No. 8B, Januar 1990, S. 168 bis 169) sind ein gattungsgemäßes Verfahren und eine gattungsgemäße Vorrichtung bekannt, an der sich zwei mit Flüssigkeit zu beaufschlagende, benetzbare Flächen ge­ genüberliegen. Nachdem die betreffende Flüssigkeit auf eine der beiden Flächen aufgebracht ist, werden die beiden unter einem von einem rechten Winkel abweichenden Winkel gegeneinander geneigten Flächen rotierend zusammengedrückt. Unter der Wirkung des ausgeübten Druckes verteilt sich die Flüssigkeit auf den beiden einander zugewandten Flächen. Auch diese bekannte Vorrichtung erlaubt keine Verteilung der Flüssigkeit durch Kapillarkräfte.
Vorteile der Erfindung
Das erfindungsgemäße Verfahren mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1 und die erfindungsgemäße Vorrichtung mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 7 haben demgegenüber den Vorteil, daß das Aufbringen der Flüssigkeit besonders schonend erfolgt, die Gefahr einer Kontamination der Flüssigkeit besonders gering ist und daß nur eine geringe Menge an Flüssigkeit für die Bearbeitung verwendet werden muß. Erfolgt dabei das Inkontaktbringen durch eine Bewegung, die im wesentlichen parallel zur Arbeitsfläche ist, so kann die Weite des Spaltes besonders gut kontrolliert werden und die Verteilung der Flüssigkeit auf der Oberfläche erfolgt besonders gut reproduzierbar.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des Verfahrens nach dem Anspruch 1 und der Vorrichtung nach dem Anspruch 7 möglich. Besonders einfach wird die Flüssigkeit auf der nach oben orientierten Arbeitsfläche ausgebracht. Erfolgt dann das Inkontaktbringen zur Flüssigkeit mit nach unten weisender Oberfläche des Werkstücks, so wird eine Verschmutzung der Oberfläche durch herabfallende Staubteile vermieden. Durch die Entfernung der Flüssigkeit nach einer vorbestimmten Zeit nach der Verteilung auf der Oberfläche kann die Bearbeitung des Werkstücks gut kontrolliert werden. Besonders einfach erfolgt die Entfernung von der Oberfläche, indem das Werkstück über eine Kante der Arbeitsfläche hinaus bewegt wird. Dabei erfolgt die Entfernung der Flüssigkeit in besonders gut reproduzierbarer Weise. Auf diese Art lassen sich insbesondere Fotolackschichten mit besonders einfachen Mitteln auf der Oberfläche aufbringen. Bei wäßrigen Flüssigkeiten kann durch die Beaufschlagung mit einem wasserlöslichen Dampf eine besonders gute Entfernung des Wassers von der Oberfläche erzielt werden. Besonders einfache Vorrichtungen für die Beaufschlagung der Oberfläche mit verschiedenen Flüssigkeiten werden dadurch gebildet, daß auf eine Arbeitsfläche mit einer Kante, über die hinaus das Werkstück verschiebbar ist, verschiedene Flüssigkeiten aufbringbar sind. Durch die gradlinige Anordnung von mehreren Arbeitsflächen, auf die verschiedene Flüssigkeiten aufbringbar sind, werden Vorrichtungen geschaffen, die eine besonders schnelle Bearbeitung von Werkstücken erlaubt.
Zeichnungen
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen darge­ stellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen die
Fig. 1-5 das Zusammenwirken von Werkstück, Flüssig­ keit und Arbeitsfläche,
Fig. 6 zeigt eine Arbeitsfläche auf der verschiedene Flüssigkeiten aufgebracht werden können,
Fig. 7 eine gradlinige Anordnung von mehreren Arbeitsflächen und
Fig. 8 und 9 das Aufbringen von dünnen Schichten auf Werkstücke.
Beschreibung der Erfindung
In den Fig. 1-3 wird die Benetzung eines Spalts durch eine Flüssigkeit 2 gezeigt. Der dünne Spalt wird von einem Werkstück 1 und einer unbenetzbaren Arbeitsfläche 6 gebildet, wobei die der Arbeitsfläche 6 zugewandte Oberfläche mit der Nr. 10 bezeichnet ist. Weiterhin weist die Arbeitsfläche 6 eine Kante 11 auf. In der Fig. 1 ist ein Tropfen der Flüssigkeit 2 auf der Arbeitsfläche 6 aufge­ bracht. Da die Arbeitsfläche 6 aus einem Material besteht, das von der Flüssigkeit 2 nicht benetzt wird, bleibt die Flüssigkeit 2 als großer Tropfen erhalten. Weiterhin bildet die Oberfläche der Flüssigkeit 2 einen spitzen Winkel gegen die Oberfläche der Arbeitsfläche 6. In geringem Abstand gegenüber der Arbeitsfläche 6 ist die Oberfläche 10 des Werkstücks 1 angeordnet. Durch eine Bewe­ gung, die wie durch den Pfeil angedeutet im wesentlichen parallel zur Oberfläche der Arbeitsfläche 6 ist, wird nun das Werkstück 1 derart verschoben, daß die Oberfläche 10 in Kontakt zur Flüssigkeit 2 kommt. Das so verschobene Werkstück 1 wird in der Fig. 2 gezeigt. Aufgrund der Kapillarkräfte, d. h. von Oberflächenkräften, die in feinen, engen Spalten von benetzbaren Oberflächen auf Flüssigkeiten ausgeübt werden, wird die Flüssigkeit 2 in den Spalt, der von der Arbeitsfläche 6 und der Oberfläche 10 gebildete wird, hergezogen. Der Endzustand dieser Bewegung der Flüssigkeit 2 ist in der Fig. 3 dargestellt.
Durch die Verwendung der nichtbenetzbaren Arbeitsfläche 6 wird erreicht, daß das gesamte Volumen der Flüssigkeit 2 zur Benetzung der Oberfläche 10 verwendet wird. Es läßt sich somit die Menge an Flüssigkeit, mit dem die Oberfläche 10 beaufschlagt wird, besonders gut kontrollieren. Weiterhin wird durch die nichtbenetzbare Arbeits­ fläche 6 erreicht, daß keinerlei Reste von vorhergehenden Flüssig­ keiten auf der Arbeitsfläche 6 verbleiben. Ein geeignetes Material für die Arbeitsfläche 6 ist beispielsweise ein Fluorkunststoff wie Teflon®. Weiterhin erfüllt Teflon® auch andere notwendige Eigenschaf­ ten wie beispielsweise mechanische und thermische Stabilität und chemische Beständigkeit. Das Inkontaktbringen der Oberfläche 10 mit der Flüssigkeit 2 erfolgt hier durch eine Bewegung des Werkstücks 1, die im wesentlichen parallel zur Arbeitsfläche 6 ist.
Bei entsprechender Auslegung des Spaltes wird die gesamte ausgebrachte Flüssigkeit 2 zur Bearbeitung der Oberfläche 10 genutzt. Das vorge­ stellte Verfahren ermöglicht so eine besonders kostengünstige Bearbeitung des Werkstücks 1, da kaum Flüssigkeit 2 bei der Bearbeitung verschwendet wird.
In der Fig. 4 ist eine Methode zum Entfernen der Flüssigkeit 2 von der Oberfläche 10 des Werkstücks 1 gezeigt. Dazu wird das Werkstück 1 über die Kante 11 der Arbeitsfläche 6 bewegt. Auf den jenseits der Kante 11 befindlichen Teil der Flüssigkeit 2 wirkt dann die Schwer­ kraft derart, daß die Flüssigkeit 2 von der Oberfläche 10 entfernt wird, indem die Flüssigkeit 2 abtropft. Auf der Oberfläche 10 bleibt lediglich ein äußerst dünner Restfilm haften.
An dem hier gezeigten Verfahren ist weiterhin besonders vorteilhaft, daß die Oberfläche 10 nach unten weist und so herabfallende Staub­ teilchen nicht auf die Oberfläche 10 gelangen können. Staubteilchen sind insbesondere kritisch, wenn sich noch ein geringer Film auf der Oberfläche befindet. Durch Kapillarkräfte zwischen den Staubteilchen und dem dünnen Flüssigkeitsfilm wird nämlich das Staubteilchen gegen die Oberfläche 10 gezogen und ist daher nachträglich oft nur schwer zu entfernen.
In der Fig. 5 ist die Situation gezeigt, wenn die Oberfläche 10 in Kontakt zur Flüssigkeit 2 kommt, wenn das Werkstück 1 sich noch über die Kante 11 der Arbeitsfläche 6 hinauserstreckt. Da in diesem Fall die Flüssigkeit 2 über die Kante 11 hinausgezogen werden könnte, sollte die Bewegung des Werkstücks 1 schneller in Pfeilrichtung erfolgen, als die Flüssigkeit 2 in den von der Oberfläche 10 und der Arbeitsfläche 6 gebildeten Spalt eindringen kann. Nur so wird erreicht, daß beim Verteilen der Flüssigkeit auf der Oberfläche 10 keine Flüssigkeit 2 verschwendet wird.
In der Fig. 6 ist eine Vorrichtung gezeigt, mit der das erfindungs­ gemäße Verfahren mit mehreren verschiedenen Flüssigkeiten nach­ einander durchgeführt werden kann. Dazu ist das Werkstück 1 von einer Positioniereinrichtung g gehalten. Auf der Arbeitsfläche kann die Flüssigkeit 2 durch einen Kanal 4 oder durch Auftropfeinrichtun­ gen 5 aufgebracht werden. Durch die Positioniereinrichtung 9 kann das Werkstück 1 im wesentlichen parallel zur Arbeitsfläche derart bewegt werden, daß die Oberfläche 10 vollständig über der Arbeits­ fläche 6 angeordnet ist oder aber vollständig jenseits der Kante 11 liegt. Durch die Bewegung des Werkstücks 1 kann somit die Oberfläche 10 in Kontakt mit der Flüssigkeit 2 gebracht werden, so daß sich, wie in den Fig. 1-3 gezeigt, die Flüssigkeit 2 auf der Ober­ fläche 10 verteilt. Nach einer vorbestimmten Zeit kann dann die Einwirkung der Flüssigkeit 2 auf die Oberfläche 10 unterbrochen werden, indem die Positioniereinrichtung g das Werkstück 1 über die Kante 11 bewegt. Auf der Arbeitsfläche 6 verbleibt dann keinerlei Flüssigkeit. Durch den Kanal 4 oder die Auftropfeinrichtungen 5 kann dann wieder neue Flüssigkeit 2 auf der Arbeitsfläche 6 aufgebracht werden. Dabei kann es sich sowohl um die gleiche Art von Flüssigkeit wie beim ersten Bearbeitungsschritt als auch um eine andere Art von Flüssigkeit handeln. Da durch die nichtbenetzende Arbeitsfläche eine Verschmutzung der Arbeitsfläche durch vorhergehende Flüssigkeiten ausgeschlossen ist, kann so die Oberfläche 10 mit völlig unter­ schiedlichen Flüssigkeiten beaufschlagt werden.
Die entsprechenden Vorrichtungen zur Bewegung der Positionier­ einrichtung 9 und Vorratsbehälter und Pumpen zur Zuführung von Flüssigkeiten durch den Kanal 4 oder die Auftropfeinrichtungen 5 sind hier aus Vereinfachungsgründen nicht dargestellt.
Besonders vorteilhaft an der hier gezeigten Vorrichtung ist, daß sie mit sehr geringen Mitteln und sehr platzsparend aufgebaut werden kann. Dies ist insbesondere von Bedeutung, wenn es sich bei den plattenformigen Werkstücken 1 um Siliziumwafer oder Glasplatten handelt, die in Reinräumen bearbeitet werden, da wegen der großen Kosten für die Einrichtung solcher Reinräume eine möglichst optimal Nutzung der zur Verfügung stehenden Fläche anzustreben ist. Die Bearbeitung von Siliziumwafern oder Glasplatten in Reinräumen ist vermutlich auch eine Hauptanwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens bzw. der erfindungsgemäßen Vorrichtung.
In der Fig. 7 ist eine weitere Vorrichtung zum Bearbeiten von plattenförmigen Werkstücken durch das Beaufschlagen mit Flüssig­ keiten gezeigt. Dabei sind vier Arbeitsflächen 6 hintereinander derart angeordnet, daß sie durch eine gradlinige Bewegung des Werk­ stücks, wie durch den Pfeil angedeutet, nacheinander überquert werden. Auf jede der Arbeitsflächen 6 ist eine Flüssigkeit 2 durch den Kanal 4 aufgebracht. Bei der Bewegung des Werkstücks 1 über die Arbeitsflächen 6 wird die Oberfläche 10 jeweils mit der Flüssigkeit 2 beaufschlagt. Da zwischen jeweils zwei Arbeitsflächen 6 eine Kante 11 der Arbeitsfläche 6 gelegen ist, wird beim Überqueren dieser Kante, wie in der Fig. 4 gezeigt, die Flüssigkeit 2 von der Ober­ fläche 10 entfernt. Mit der Vorrichtung in der Fig. 7, die vier Arbeitsflächen 6 aufweist, kann somit die Oberfläche 10 mit vier Flüssigkeiten nacheinander beaufschlagt werden. Nach den vier Arbeitsflächen 6 wird das Werkstück 1 noch über einen Dampftrockner 8 geführt. Durch den Dampftrockner 8 wird die Oberfläche 10 einem Dampf ausgesetzt, der die Aufgabe hat, die Oberfläche 10 zu trocknen. Der Dampf hat dabei die Eigenschaft, daß er in der noch auf der Oberfläche 10 haftenden Flüssigkeit löslich ist, die Ober­ fläche besser benetzt als diese Flüssigkeit und rückstandsfrei von der Oberfläche 10 abdampft. Durch diesen Dampf wird dann erreicht, daß die noch auf der Oberfläche 10 haftende Flüssigkeit von der Oberfläche 10 verdrängt wird. Dieser Effekt wird auch Marangoni-Effekt genannt. Ein bekanntes Beispiel für diesen Marangoni-Effekt ist beispielsweise das Verdrängen von Wasser von einer Oberflache durch einen Isopropylalkohol-Dampf.
Die in Fig. 7 gezeigte Vorrichtung eignet sich beispielsweise besonders gut, um die Glasmasken für die Fotolithographie zu bearbeiten. Solche Glasmasken bestehen aus einer Glasplatte, auf die eine dünne Chromschicht aufgebracht ist. Die dünne Chromschicht wird strukturiert, indem die Chromschicht mit einem Fotolack bedeckt wird, der dann in einem lithographischen Prozeß belichtet wird. Die Weiterbearbeitung dieser Glasmasken erfolgt nach der Belichtung, indem die Oberfläche der Glasmaske mit vier Flüssigkeiten beauf­ schlagt wird. In einem ersten Schritt wird der belichtete Fotolack beispielsweise durch eine wäßrige KOH-Lösung entwickelt, d. h. gelöst. In einem zweiten Spülschritt wird dann die noch auf der Oberfläche verbliebene Entwicklerlösung mit Wasser heruntergespült. Die nun freiliegenden Chromflächen werden dann durch eine Ätzlösung strukturiert. Nach der Strukturierung der Chromschicht erfolgt ein weiterer Spülschritt im Wasser. Durch den Dampftrockner wird dann die Oberfläche der Glasmaske getrocknet.
In den Fig. 8 und 9 ist eine weitere Nutzung des erfindungs­ gemäßen Verfahrens gezeigt. In der Fig. 8 ist die Ausgangslage gezeigt, bei dem ein Werkstück 1 mit einer Oberfläche 10 neben einer Arbeitsfläche 6 angeordnet ist, auf der ein flüssiger Fotolack 3 aufgebracht ist. Wie in der Fig. 9 gezeigt ist, wird das Werkstück 1 im wesentlichen parallel zur Arbeitsfläche 6 bewegt, so daß die Oberfläche 10 in Kontakt zum flüssigen Fotolack 3 kommt.
Die Bewegungsrichtung wird wieder durch einen Pfeil verdeutlicht. Da das Werkstück 1 über die Kante 11 der Arbeitsfläche 6 hinausbewegt wird, wird ein Teil der Flüssigkeit 3 von der Oberfläche 10 entfernt. Durch die hohe Viskosität und die hohe Benetzungsfähigkeit des flüssigen Fotolacks 3 bleibt jedoch ein dünner Film des Fotolacks auf der Oberfläche 10 haften. Da der Fotolack aus einem Kunststoff und einem Lösungsmittel besteht, verfestigen sich dünne Filme von flüssigem Fotolack auf der Oberfläche durch Abdampfen des Lösungs­ mittels rasch. Weiterhin kann die Dicke der auf der Oberfläche 10 verbleibenden Schicht durch die Geschwindigkeit der Bewegung des Werkstücks 1 kontrolliert werden. Die notwendigen Parameter zum Aufbringen einer Fotolackschicht auf dem Werkstück 1, wie beispiels­ weise Viskosität und Netzfähigkeit des flüssigen Fotolacks, Verdampfungsrate des Lösungsmittels und Geschwindigkeit der Bewegung des Werkstücks 1 müssen ggfs. empirisch ermittelt werden.

Claims (10)

1. Verfahren zur Bearbeitung von plattenförmigen Werkstücken (1), insbesondere Siliziumwafern oder Glasplatten, bei dem die Ober­ fläche (10) des Werkstücks (1) mit mindestens einer Flüssigkeit (2, 3) beaufschlagt wird, bei dem die Oberfläche (10) des Werk­ stücks (1) gegenüber mindestens einer relativ zum Werkstück (1) verschiebbaren Gegenfläche gebracht wird, so daß sich ein Spalt bildet und bei dem die Oberfläche (10) des Werkstücks (1) in Kon­ takt zur Flüssigkeit (2, 3) gebracht wird, dadurch gekennzeich­ net, daß die Gegenfläche eine von der Flüssigkeit (2, 3) nicht benetzbare Arbeitsfläche (6) ist und daß der Spalt zwischen der Oberfläche (10) und der Arbeitsfläche (6) so gering ist, daß die Flüssigkeit (2, 3) durch Kapillarkräfte auf der Oberfläche (10) verteilt wird und daß das Inkontaktbringen der Oberfläche (10) mit der Flüssigkeit (2, 3) durch eine Bewegung des Werkstücks (1), die im wesentlichen parallel zur Arbeitsfläche (6) ist, er­ folgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Arbeitsfläche (6) nach oben und die Oberfläche (10) des Werkstücks (1) nach unten weist, und daß die Flüssigkeit (2, 3) auf die Arbeitsfläche (6) aufgebracht wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß nach einer vorbestimmten Zeit nach der Verteilung auf der Oberfläche (10) des Werkstücks (1) die Flüssigkeit (2, 3), bis auf eine an der Ober­ fläche (10) haftende Schicht, von der Oberfläche (10) entfernt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Arbeitsfläche (6) eine Kante (11) aufweist und daß die Flüssig­ keit (2, 3) entfernt wird, indem das Werkstück (1) durch eine Be­ wegung, die im wesentlichen parallel zur Arbeitsfläche (6) ist, über die Kante (11) hinausbewegt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit ein Fotolack (3) ist, und daß die Dicke der auf der Oberfläche (10) des Werkstücks (1) verbleibenden Schicht durch die Viskosität und die Benetzungseigenschaften des Fotolacks und die Geschwindigkeit der Bewegung des Werkstücks (1) eingestellt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkeit (2) Wasser oder eine wäßrige Lösung ist, und daß die Oberfläche (10) des Werkstücks (1) nach dem Entfernen der Flüssigkeit (2) mit einem wasserlöslichen Dampf, dessen Benetzungsfähigkeit grö­ ßer als die Benetzungsfähigkeit von Wasser ist, beaufschlagt wird.
7. Vorrichtung zum Bearbeiten von plattenförmigen Werkstücken (1), insbesondere von Siliziumwafern oder Glasplatten, mit Mitteln zum Beaufschlagen der Oberfläche (10) der plattenförmigen Werkstücke (1) mit mindestens einer Flüssigkeit (2, 3), wobei die Mittel zum Beaufschlagen der Oberfläche (10) Positioniermittel (9) und Aus­ bringmittel (4, 5) für die Flüssigkeit (2, 3) aufweisen und durch die Positioniermittel (9) ein Spalt zwischen der Oberfläche und einer nach oben weisenden Gegenfläche einstellbar und das Werk­ stück relativ zu der Gegenfläche verschiebbar ist und wobei durch die Ausbringmittel (4, 5) die Flüssigkeit (2, 3) derart ausbring­ bar ist, daß sie im Spalt in Kontakt zur Oberfläche (10) kommt, dadurch gekennzeichnet, daß als Gegenfläche mindestens eine von der Flüssigkeit (2, 3) nichtbenetzbare Arbeitsfläche (6) vorgese­ hen ist, wobei durch die Positioniermittel (9) ein derart gerin­ ger Spalt zwischen der Oberfläche (10) und der Arbeitsfläche (6) einstellbar ist, daß eine Verteilung der Flüssigkeit durch Kapil­ larkräfte erfolgen kann und das Werkstück (1) im wesentlichen parallel zur Arbeitsfläche (6) verschiebbar ist und daß durch die Ausbringmittel (4, 5) eine vorbestimmte Menge an Flüssigkeit (2, 3) auf der Arbeitsfläche (6) ausbringbar ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Arbeitsfläche (6) eine Kante (11) aufweist, und daß das Werkstück (1) über die Kante (11) hinaus verschiebbar ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß durch die Ausbringmittel (4, 5) verschiedene Flüssigkeiten (2, 3) auf der Arbeitsfläche (6) ausbringbar sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Arbeitsflächen (6) mit Kanten (11) derart angeordnet sind, daß bei einer gradlinigen Bewegung des Werkstücks (1) alle Arbeitsflächen (6) überquerbar sind.
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