DE4239830A1 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine photoempfindliche anionische
Elektroabscheidungs-Beschichtungs-Harzmasse vom positiven
Typ, ein photoempfindliches anionisches Elektroabscheidungs-
Beschichtungsmaterial vom positiven Typ, ein Elektroabschei
dungs-Beschichtungsbad, ein Elektroabscheidungs-Beschich
tungsverfahren und ein Verfahren zur Herstellung von gedruck
ten Schaltungsplatten bzw. gedruckten Leiterplatten.
Bei der Herstellung von gedruckten Schaltungsplatten wird
zunächst eine Schicht einer photohärtenden Harzmasse auf
einem Substrat gebildet. Anschließend wird diese Schicht
bildweise mit aktinischem Licht bestrahlt, und die unge
härteten Teile werden durch Entwicklung entfernt, wodurch ein
Resistmuster gebildet wird. Bei diesem Verfahren werden
verschiedene Methoden zur Bildung einer Schicht einer photo
härtenden Harzmasse angewendet. So ist beispielsweise eine
Methode bekannt, bei der eine Lösung einer photohärtenden
Harzmasse (Beschichtungslösung) auf ein Substrat durch Tauch
beschichten, Walzenbeschichten, Streichen im Steinberg-Strei
cher oder andere Beschichtungstechniken aufgeschichtet wird.
Weiterhin ist eine Methode bekannt, bei der ein Film einer
photohärtenden Harzmasse (ein photoempfindlicher Film) auf
ein Substrat auflaminiert wird. Unter diesen Methoden wird
nunmehr vorwiegend die Methode angewendet, bei der ein photo
empfindlicher Film auflaminiert wird, da bei dieser Methode
eine Schicht einer photoempfindlichen Harzmasse mit gleich
förmiger Dicke durch einen einfachen Vorgang gebildet werden
kann.
Im Hinblick auf die derzeitige Tendenz in Richtung auf ge
druckte Schaltungsplatten mit höherer Dichte und höherer Prä
zision besteht ein wachsendes Bedürfnis nach Resistmustern
mit höherer Qualität. Es sind daher Resistmuster erforder
lich, die von Nadellöchern bzw. Löchern frei sind und die
eine gute Haftung an der darunterliegenden Substratoberfläche
haben. Man geht davon aus, daß die Methode, bei der ein pho
toempfindlicher Film auflaminiert wird und die derzeit vor
wiegend angewendet wird, diesem Erfordernis nicht genügt. Bei
dieser Methode kann einer Ungleichmäßigkeit der Substratober
fläche, die durch Narben zum Zeitpunkt der Substratherstel
lung, durch ungleichförmiges Polieren, durch Zwischenräume im
Glasgewebe, das eine Innenschicht des Substrats bildet, durch
eine Ungleichmäßigkeit der Löcher in der Kupferplattierung
auf der Oberfläche etc. nur schlecht begegnet werden, und es
ist schwierig, eine ausreichende Haftfähigkeit zu erhalten.
Diese Schwierigkeiten können zwar bis zu einem gewissen Aus
maß dadurch überwunden werden, daß man die Laminierung des
photoempfindlichen Films bei Unterdruck durchführt (vgl. JP-
PS 59-3740), doch ist für ein derartiges Vorgehen eine spe
zielle und teuere Vorrichtung erforderlich.
Unter diesen Umständen haben in neuerer Zeit erneut Lösungs-
Beschichtungsverfahren, wie das Tauchbeschichten, Walzenbe
schichten, Streichen im Steinberg-Streicher etc., Interesse
gefunden. Bei diesen Beschichtungsverfahren treten jedoch die
Probleme auf, daß es schwierig ist, die Filmdicke zu kontrol
lieren, daß die Gleichförmigkeit der Filmdicke nicht zufrie
denstellend ist und daß Nadellöcher bzw. Löcher gebildet wer
den.
Um diese Probleme zu überwinden, sind schon mehrere Vor
schläge gemacht worden, photoempfindliche Elektroabschei
dungs-Beschichtungsmaterialien vom positiven Typ zu verwen
den, die zur Herstellung von gedruckten Schaltungsplatten mit
Durchgangslöchern als geeignet angesehen werden. Diese Be
schichtungsmaterialien, bei denen meistens als photoempfind
liche Gruppe eine Chinondiazidgruppe verwendet wird, weisen
aber immer noch Probleme, wie eine niedrige Photoempfindlich
keit, auf. Es ist daher ein neuer Vorschlag gemacht worden,
ein Elektroabscheidungs-Beschichtungsmaterial zu verwenden,
das ein chemisch verstärktes photoempfindliches Material vom
positiven Typ enthält. Dieses Material umfaßt eine Kombina
tion einer Verbindung, die beim Bestrahlen mit aktinischem
Licht eine Säure erzeugt, und einer Verbindung, die durch die
genannte erzeugte Säure zersetzt wird. Dieses Material hat
eine verbesserte Löslichkeit in der Entwicklungslösung, und
die Photoempfindlichkeit dieses Beschichtungsmaterials ist
erheblich höher als diejenige von herkömmlichen Materialien,
die eine Chinondiazidgruppe enthalten (EP-04 89 560-A1).
Bei diesen photoempfindlichen anionischen Elektroabschei
dungs-Beschichtungsmaterialien vom positiven Typ tritt jedoch
das Problem auf, daß aus dem kupferplattierten Laminat im
Verlauf des Elektroabscheidungs-Beschichtens eluierte Kupfer
ionen mit der Carboxylgruppe des Resistmaterials ein Chelat
bilden können, wodurch eine Quasi-Quervernetzung hervorgeru
fen wird, so daß bei der Durchführung der Entwicklung mit
einer Alkalilösung in einer Stufe nach dem Belichten der be
lichtete Teil nicht genügend entwickelt wird (nachstehend als
"Unterentwicklung" bezeichnet).
Aufgabe der Erfindung ist es daher, die oben beschriebenen
Probleme des Standes der Technik zu eliminieren und eine pho
toempfindliche anionische Elektroabscheidungs-Beschichtungs
masse vom positiven Typ bereitzustellen, die dazu imstande
ist, ein gutes Resistmuster mit hoher Empfindlichkeit zu bil
den, ohne daß die Befürchtung einer Unterentwicklung besteht.
Weiterhin sollen erfindungsgemäß ein photoempfindliches anio
nisches Elektroabscheidungs-Beschichtungsmaterial, ein Elek
troabscheidungs-Beschichtungsbad, in dem das genannte Be
schichtungsmaterial verwendet wird, ein Elektroabscheidungs-
Beschichtungsverfahren und ein Verfahren zur Herstellung von
gedruckten Schaltungsplatten bzw. gedruckten Leiterplatten
bereitgestellt werden.
Gegenstand der Erfindung ist eine photoempfindliche anioni
sche Elektroabscheidungs-Beschichtungs-Harzmasse vom positi
ven Typ, die dadurch gekennzeichnet ist, daß sie
- a) eine Verbindung, die eine gegenüber Säuren instabi le Gruppe aufweist;
- b) eine Verbindung, die beim Aussetzen an aktinisches Licht eine Säure erzeugt; und
- c) eine Verbindung, dargestellt durch die Formel:
worin R1 für ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine Hy
droxylgruppe, eine Alkylgruppe oder eine Alkoxygruppe steht;
R2 für ein Wasserstoffatom, eine Hydroxylgruppe, eine Alkyl
gruppe, eine Estergruppe, eine Phenylgruppe oder eine Gruppe
der Formel -X-R3 steht; X für eine unsubstituierte Alkylen
gruppe, eine Alkylengruppe, die mit einer Carboxylgruppe sub
stituiert ist, eine Cycloalkylengruppe oder eine Alkylen
ethergruppe steht; R3 für eine Hydroxylgruppe, eine Alkoxy
gruppe, eine Carboxylgruppe oder eine Dialkylaminogruppe
steht; und n eine ganze Zahl von 1 bis 3 ist, wobei jedoch,
wenn R2 eine eine Carboxylgruppe enthaltende Gruppe ist, n
den Wert 0 haben kann, und/oder dargestellt durch die Formel:
worin R1 wie oben definiert ist; R4 für ein Wasserstoffatom,
eine Alkylgruppe oder eine Phenylgruppe steht; und n eine
ganze Zahl von 1 bis 3 ist,
enthält.
Die Erfindung stellt auch ein photoempfindliches anionisches
Elektroabscheidungs-Beschichtungsmaterial vom positiven Typ
bereit, das dadurch gekennzeichnet ist, daß es durch Neutra
lisation der oben beschriebenen photoempfindlichen anioni
schen Elektroabscheidungs-Beschichtungsmasse vom positiven
Typ erhalten worden ist.
Die Erfindung stellt weiterhin ein Elektroabscheidungs-Be
schichtungsbad bereit, das dadurch gekennzeichnet ist, daß es
das genannte photoempfindliche anionische Elektroabschei
dungs-Beschichtungsmaterial vom positiven Typ enthält.
Die Erfindung stellt weiterhin ein Elektroabscheidungs-Be
schichtungsverfahren bereit, das dadurch gekennzeichnet ist,
daß man ein Substrat, dessen Oberfläche elektrisch leitfähig
ist, in das oben genannte Elektroabscheidungs-Beschichtungs
bad eintaucht und daß man eine Gleichstromspannung anlegt,
wobei das genannte Substrat als Anode geschaltet ist. Die
Erfindung stellt schließlich ein Verfahren zur Herstellung
von gedruckten Schaltungsplatten bzw. gedruckten Leiterplat
ten bereit, das dadurch gekennzeichnet ist, daß man den auf
einem Substrat nach dem obigen Verfahren gebildeten Elektro
abscheidungs-Überzugsfilm belichtet und den Film entwickelt.
Die erfindungsgemäße photoempfindliche anionische Elektroab
scheidungs-Beschichtungsmasse vom positiven Typ enthält als
Komponente (a) eine Verbindung, die eine gegenüber Säuren in
stabile Gruppe hat. Diese Verbindung schließt verschiedene
Typen von Verbindungen ein, die verwendet werden können, so
fern sie mindestens eine gegenüber Säuren instabile Gruppe im
Molekül haben. Beispiele für die gegenüber Säuren instabilen
Gruppen sind t-Butoxycarbonyl, t-Amyloxycarbonyl, Isobornyl
oxycarbonyl, t-Butylcarbonat, t-Amylcarbonat, Isobornylcarbo
nat, Trimethylsiloxy, Tetrahydrofuranyl, Tetrahydropyranyl,
Acetal, Ketal, Orthoester und Enolether. Von diesen gegenüber
Säuren instabilen Gruppen wird die t-Amyloxycarbonylgruppe im
Hinblick auf die Photoempfindlichkeit und die Stabilität be
sonders bevorzugt.
Wenn eine polymere Verbindung als Verbindung mit einer gegen
über Säuren instabilen Gruppe [Komponente (a)] verwendet
wird, dann wird vorzugsweise ein Polymeres verwendet, das
durch Copolymerisation eines polymerisierbaren Monomeren mit
einer gegenüber Säuren instabilen Gruppe im Molekül mit einem
Monomeren, das eine Carboxylgruppe, wie eine Acrylsäure- oder
Methacrylsäuregruppe, enthält, erhalten worden ist. Beispiele
für solche polymerisierbaren Monomeren mit einer gegenüber
Säuren instabilen Gruppe sind t-Butylacrylat, t-Butylmeth
acrylat, t-Amylacrylat, t-Amylmethacrylat, Isobornylacrylat,
Isobornylmethacrylat, Tetrahydrofuranylacrylat und Tetrahy
dropyranylmethacrylat. Von diesen Monomeren werden t-Amyl
acrylat und t-Amylmethacrylat bevorzugt.
Die Menge des polymerisierbaren Monomeren mit einer gegenüber
Säuren instabilen Gruppe, die für die Copolymerisation ver
wendet wird, beträgt vorzugsweise nicht weniger als 10 Gew.-
Teile pro 100 Gew.-Teile der Gesamtmonomeren, die das Copoly
mere bilden. Wenn die Menge des genannten Monomeren weniger
als 10 Gew.-Teile beträgt, dann neigt die erhaltene Masse zu
einer geringeren Photoempfindlichkeit. Die Menge des Carb
oxylgruppen-enthaltenden Monomeren, wie beispielsweise der
Acrylsäure oder Methacrylsäure, beträgt vorzugsweise 2 bis 35
Gew.-Teile, mehr bevorzugt 5 bis 25 Gew.-Teile, pro 100 Gew.-
Teile der Gesamtmonomeren, die das Copolymere bilden. Wenn
die Menge der Acryl- oder Methacrylsäure weniger als 2 Gew.-
Teile beträgt, dann hat die erhaltene Harzmasse eine schlech
tere Wasserdispergierbarkeit, und sie neigt zu einer Ver
schlechterung ihrer Stabilität und ihrer Elektroabscheidungs
eigenschaften. Wenn die Menge andererseits über 35 Gew.-Teile
hinausgeht, dann wird die Tendenz festgestellt, daß die
Gleichförmigkeit des Überzugsfilms und seine Beständigkeit
gegenüber der Entwicklungslösung vermindert wird.
Die erfindungsgemäß als Komponente (a) geeigneten Polymeren
können weiterhin solche einschließen, die durch Copolymerisa
tion mit anderen copolymerisierbaren Monomeren erhalten wor
den sind. Beispiele für solche anderen copolymerisierbaren
Monomeren sind Methylmethacrylat, Ethylmethacrylat, n-Butyl
methacrylat, 2-Ethylhexylmethacrylat, Laurylmethacrylat, Ben
zylmethacrylat, Cyclohexylmethacrylat, Ethylacrylat, n-Butyl
acrylat, 2-Ethylhexylacrylat, Laurylacrylat, Benzylacrylat,
Cyclohexylacrylat, 2-Hydroxyethylmethacrylat, 2-Hydroxyethyl
acrylat, Acrylnitril, Styrol, α-Methylstyrol, Diacetonacryl
amid und Vinyltoluol. Diese Monomeren können allein oder in
Kombination verwendet werden. Die Menge dieses bzw. dieser
weiteren copolymerisierbaren Monomeren, die für die Copolyme
risation verwendet wird, beträgt vorzugsweise nicht mehr als
80 Gew.-Teile pro 100 Gew.-Teile der Gesamtmonomeren, die das
Copolymere bilden. Wenn die Menge des genannten Monomeren
über 80 Gew.-Teile hinausgeht, dann neigt die erhaltene Masse
zu einer geringeren Photoempfindlichkeit.
Unter den polymeren Verbindungen, die als Verbindung mit
einer gegenüber Säuren instabilen Gruppe oder als Komponente
(a) verwendet werden können, wird am meisten ein Copolymeres
aus Acryl- oder Methacrylsäure, t-Amylacrylat und/oder
t-Amylmethacrylat und einem anderen bzw. anderen copolymeri
sierbaren Monomeren bevorzugt.
Das genannte Copolymere kann durch übliche Lösungspolymerisa
tion der genannten polymerisierbaren Monomeren in einem orga
nischen Lösungsmittel unter Verwendung eines Polymerisations
initiators, wie Azobisisobutyronitril, Azobisdimethylvalero
nitril, Benzoylperoxid und dergleichen, synthetisiert werden.
Als organisches Lösungsmittel können zum Beispiel Methoxy
ethanol, Ethoxyethanol, Methoxypropanol, Propoxypropanol,
Toluol, Xylol, Methylethylketon, Methylisobutylketon, Cyclo
hexanol, Butylacetat, Ethylacetat, Chlorbenzol, Dioxan und
dergleichen verwendet werden. Diese Copolymeren haben vor
zugsweise ein gewichtsmittleres Molekulargewicht im Bereich
von 5000 bis 150 000. Wenn das gewichtsmittlere Molekularge
wicht weniger als 5000 beträgt, dann besteht die Neigung,
daß die mechanische Festigkeit des Resists schwächer wird,
während andererseits, wenn das Molekulargewicht über 150 000
hinausgeht, die Tendenz besteht, daß die Viskosität der Lö
sung zu hoch wird, wodurch es schwierig wird, einen dünnen
und gleichförmigen Überzugsfilm (photoempfindlichen Film) zu
erhalten.
Das hierin genannte gewichtsmittlere Molekulargewicht ist der
Wert, der durch Gelpermeations-Chromatographie erhalten wor
den ist und in Standard-Polystyrol umgewandelt worden ist.
Wenn die polymere Verbindung mit einer gegenüber Säuren in
stabilen Gruppe ein Homopolymeres, hergestellt aus einem po
lymerisierbaren Monomeren mit einer gegenüber Säuren instabi
len Gruppe im Molekül, wie oben beschrieben, oder ein Copoly
meres aus einem polymerisierbaren Monomeren mit einer gegen
über Säuren instabilen Gruppe, wie oben beschrieben, und ei
nem Monomeren ohne Carboxylgruppe, wie das oben genannte wei
tere copolymerisierbare Monomere, das keine Carboxylgruppe
enthält, ist, dann ist es erforderlich, im Hinblick auf die
Dispergierbarkeit in Wasser, die Elektroabscheidungseigen
schaften und die filmbildenden Eigenschaften ein Bindemittel
mit einer Carboxylgruppe zu verwenden. Als Bindemittel werden
vorzugsweise hochmolekulare Verbindungen aus Acrylsäure- oder
Methacrylsäure-Copolymerisationsreaktanten verwendet. Solche
hochmolekularen Verbindungen können solche sein, die dadurch
erhalten worden sind, daß eine weitere Copolymerisation mit
weiteren copolymerisierbaren Monomeren vorgenommen worden
ist. Als Beispiele für solche weiteren copolymerisierbaren
Monomeren können Methylmethacrylat, Ethylmethacrylat, n-Bu
tylmethacrylat, 2-Ethylhexylmethacrylat, Laurylmethacrylat,
Benzylmethacrylat, Cyclohexylmethacrylat, Ethylacrylat, n-Bu
tylacrylat, 2-Ethylhexylacrylat, Laurylacrylat, Benzylacry
lat, Cyclohexylacrylat, 2-Hydroxyethylmethacrylat, 2-Hydroxy
ethylacrylat, Acrylnitril, Styrol, α-Methylstyrol, Diaceton
acrylamid, Vinyltoluol und dergleichen genannt werden. Diese
Monomeren können entweder einzeln oder in Kombination verwen
det werden.
Die Copolymerisationsmenge von Acrylsäure oder Methacrylsäure
in dem Bindemittel, das eine Carboxylgruppe hat, ist vorzugs
weise 2 bis 35 Gew.-Teile, mehr bevorzugt 5 bis 25 Gew.-Tei
le, pro 100 Gew.-Teile Gesamtmonomere, die das Copolymere
bilden. Wenn die Copolymerisationsmenge weniger als 2 Gew.-
Teile beträgt, dann hat die erhaltene Harzmasse eine schlech
te Wasserdispergierbarkeit, und in diesem Fall können auch
die Stabilitäts- und Elektroabscheidungseigenschaften ver
schlechtert sein. Wenn andererseits die Copolymerisations
menge über 35 Gew.-Teile hinausgeht, dann tritt die Tendenz
auf, daß eine Verschlechterung der Gleichförmigkeit des Über
zugsfilms und seiner Beständigkeit gegenüber der Entwick
lungslösung gezeigt wird. Das Bindemittel kann in der glei
chen Weise wie die Copolymeren synthetisiert werden. Das ge
wichtsmittlere Molekulargewicht des Bindemittels liegt vor
zugsweise im Bereich von 5000 bis 150 000. Wenn das ge
wichtsmittlere Molekulargewicht weniger als 5000 beträgt,
dann neigt die mechanische Festigkeit des Resists dazu, nied
riger zu werden. Wenn es andererseits über 150 000 hinaus
geht, dann wird die Viskosität der Lösung zu hoch, wodurch es
unmöglich wird, einen dünnen und gleichförmigen Überzugsfilm
(photoempfindlichen Film) zu erhalten.
Die Menge des für diesen Zweck verwendeten Bindemittels be
trägt vorzugsweise 30 bis 90 Gew.-Teile pro 100 Gew.-Teile
der Gesamtmenge der polymeren Verbindung, die im Molekül eine
gegenüber Säuren instabile Gruppe hat und die keine Carboxyl
gruppe aufweist, und des Bindemittels. Wenn die Menge des
Bindemittels weniger als 30 Gew.-Teile beträgt, dann hat die
erhaltene Harzmasse eine schlechte Wasserdispergierbarkeit.
Wenn sie andererseits über 90 Gew.-Teile hinausgeht, dann
neigt die Masse zu einer niedrigeren Photoempfindlichkeit.
Wenn eine niedermolekulare Verbindung als Verbindung mit
einer gegenüber Säuren instabilen Gruppe im Molekül verwendet
wird, dann ist es im Hinblick auf die Wasserdispergierbar
keit, die Elektroabscheidungseigenschaften und die filmbil
denden Eigenschaften der erhaltenen Masse erforderlich, ein
Bindemittel mit einer Carboxylgruppe zu verwenden, wie es
oben beschrieben wird.
Beispiele für die hierin angeführten niedermolekularen Ver
bindungen sind Verbindungen der folgenden Formeln:
In diesem Falle beträgt die verwendete Menge des Bindemittels
vorzugsweise 30 bis 90 Gew.-Teile pro 100 Gew.-Teile der Ge
samtmenge der niedermolekularen Verbindung mit einer gegen
über Säuren instabilen Gruppe im Molekül, und des Bindemit
tels. Wenn die Menge des Bindemittels weniger als 30 Gew.-
Teile beträgt, dann neigt die erhaltene Harzmasse zu einer
Verschlechterung der Wasserdispergierbarkeit. Wenn sie ande
rerseits über 90 Gew.-Teile hinausgeht, dann neigt die Masse
zu einer Verminderung der Photoempfindlichkeit.
Es ist auch empfehlenswert, als genanntes Bindemittel eine
hochmolekulare Verbindung zu verwenden, die dadurch erhalten
worden ist, daß im wesentlichen ein polymerisierbares Mono
meres mit einer gegenüber Säuren instabilen Gruppe im Mole
kül, wie oben beschrieben, und Acrylsäure oder Methacrylsäure
als Carboxylgruppen-enthaltendes Monomeres copolymerisiert
werden. In diesem Falle kann die Menge der hochmolekularen
Verbindung, die als Bindemittel, das eine Carboxylgruppe auf
weist, verwendet wird, mehr als 90 Gew.-Teile pro 100 Gew.-
Teile der Gesamtmenge der niedermolekularen Verbindung und
des Bindemittels betragen.
Die Verbindung mit einer gegenüber Säuren instabilen Gruppe
im Molekül [die Komponente (a)] wird in einer Menge von vor
zugsweise 50 bis 99,5 Gew.-Teilen, mehr bevorzugt 70 bis 98
Gew.-Teilen, pro 100 Gew.-Teile der Gesamtmenge der genannten
Verbindung (a) und der Verbindung, die beim Belichten mit ak
tinischem Licht eine Säure erzeugt [Komponente (b)], verwen
det. Wenn die Menge weniger als 50 Gew.-Teile ist, dann wird
der Anteil der Verbindung (b), die beim Belichten mit aktini
schem Licht eine Säure erzeugt, zu hoch, was eine Verminde
rung der Stabilität des Produkts bewirkt. Wenn andererseits
die Menge über 99,5 Gew.-Teile hinausgeht, dann besteht die
Neigung, daß sich die Photoempfindlichkeit des Produkts er
niedrigt.
Die erfindungsgemäße Harzmasse enthält auch als Komponente
(b) eine Verbindung, die beim Belichten mit aktinischem Licht
eine Säure erzeugt, d. h. einen Photosäure-Generator.
Typische Beispiele für diese Verbindungen sind:
Oxadiazolderivate, die mit einer Trihalogenmethylgruppe sub
stituiert sind, wie:
s-Triazinderivate, die mit einer Trihalogenmethylgruppe sub
stituiert sind, wie:
Iodoniumsalze, wie
Sulfoniumsalze, wie:
Disulfonderivate, wie:
und Imidosulfonatderivate, wie:
Von diesen Verbindungen werden die Nitrobenzylderivate der
folgenden Formel III oder IV bevorzugt:
worin R eine Alkylgruppe ist. Typische Beispiele dieser Ver
bindungen werden nachstehend anhand ihrer Strukturformel ge
zeigt:
etc.
Die Verbindung (b), die beim Aussetzen an aktinisches Licht
eine Säure erzeugt, wird in einer Menge von vorzugsweise 0,5
bis 50 Gew.-Teilen, mehr bevorzugt 2 bis 30 Gew.-Teilen, pro
100 Gew.-Teile der Gesamtmenge der Verbindung (a), die eine
gegenüber Säuren instabile Gruppe im Molekül hat, und der
Verbindung (b), die beim Belichten mit aktinischem Licht eine
Säure erzeugt, verwendet. Wenn die Menge geringer als 0,5
Gew.-Teile ist, dann neigt die Photoempfindlichkeit zu einer
Verringerung, während andererseits, wenn die Menge über 50
Gew.-Teile hinausgeht, die Stabilität des Produkts zu einer
Erniedrigung neigt.
Die erfindungsgemäße Harzmasse enthält auch als Komponente
(c) mindestens eine der Verbindungen, die durch die folgenden
Formeln (I) und (II) angegeben werden:
etc.
Diese Verbindungen (c) können entweder einzeln oder in Kombi
nation verwendet werden. Die (Gesamt)menge der Verbindung(en)
der Formel (I) und/oder (II) liegt vorzugsweise im Bereich
von 0,1 bis 15 Gew.-Teilen, mehr bevorzugt 0,5 bis 8 Gew.-
Teilen, pro 100 Gew.-Teile der photoempfindlichen anionischen
Elektroabscheidungs-Beschichtungs-Harzmasse vom positiven
Typ, die die Komponenten (a), (b) und (c) enthält. Wenn der
Gehalt weniger als 0,1 Gew.-Teile beträgt, dann neigen die
Effekte der Verbindung zur Überwindung einer Unterentwicklung
und zur Verbesserung der Elektroabscheidungseigenschaften
dazu, nicht ausreichend zu sein. Wenn andererseits der Gehalt
über 15 Gew.-Teile hinausgeht, dann neigt die Stabilität des
Elektroabscheidungs-Beschichtungsbades zu einer Verschlechte
rung.
Die erfindungsgemäße photoempfindliche anionische Elektroab
scheidungs-Beschichtungs-Harzmasse vom positiven Typ kann
weiterhin ein oder mehrere geeignete Additive, wie Sensibili
satoren, Farbstoffe, Pigmente, Weichmacher, Haftungsförderer,
Oberflächen-Schmiermittel, Dispergierungsmittel, anorganische
Füllstoffe und dergleichen, enthalten.
Zur Herstellung eines Elektroabscheidungs-Beschichtungsmate
rials aus der oben beschriebenen erfindungsgemäßen Harzmasse
werden vorzugsweise die genannten jeweiligen Komponenten zu
erst gleichförmig in einem hydrophilen organischen Lösungs
mittel aufgelöst. Dies ist jedoch nicht wesentlich. Als hy
drophiles organisches Lösungsmittel können Dioxan, Methoxy
ethanol, Ethoxyethanol, Diethylenglykol und dergleichen, und
zwar entweder einzeln oder in Kombination, verwendet werden.
Das organische Lösungsmittel wird vorzugsweise in einer Menge
von 300 Gew.-Teilen oder weniger pro 100 Gew.-Teile der Ge
samt-Feststoffkomponenten verwendet.
Sodann wird zu der resultierenden Lösung eine Base gegeben,
um die in dem Polymeren enthaltenen Carboxylgruppen zu neu
tralisieren. Dies erleichtert die Auflösung oder Dispergie
rung der Masse in Wasser unter Erhalt einer photoempfindli
chen anionischen Elektroabscheidungs-Beschichtungsmasse vom
positiven Typ.
Als Base können zum Beispiel Triethylamin, Monoethanolamin,
Diethanolamin, Diisopropylamin, Dimethylaminoethanol, Morpho
lin, Ammoniak, Natriumhydroxid und dergleichen, entweder ein
zeln oder in Kombination, verwendet werden.
Die Base wird in einer Menge von vorzugsweise 0,4 bis 1,0
Äquivalenten pro Äquivalent der Carboxylgruppe in dem Polyme
ren verwendet. Wenn die Menge der Base weniger als 0,4 Äqui
valente beträgt, dann neigt die Wasser-Dispersionsstabilität
in dem Elektroabscheidungs-Beschichtungsbad zu einer Ernied
rigung. Wenn andererseits die Menge über 1,0 Äquivalent hin
ausgeht, dann kann die Dicke des elektrisch abgeschiedenen
Überzugsfilms (der photoempfindlichen Schicht) zu gering wer
den. Weiterhin wird in diesem Fall die Lagerungsstabilität
des Produkts verschlechtert.
Sodann wird die so erhaltene Beschichtungsmasse in Wasser
aufgelöst oder dispergiert, um ein Elektroabscheidungs-Be
schichtungsbad herzustellen. Das Elektroabscheidungs-Be
schichtungsbad hat einen Feststoffgehalt von gewöhnlich 5 bis
20 Gew.-%. Sein pH-Wert liegt vorzugsweise im Bereich von 6,0
bis 9,0. Wenn der pH-Wert weniger als 6,0 beträgt, dann kann
die Dispersion gestört sein, was zu einer Verzögerung der
Elektrophorese führt. Wenn andererseits der pH höher als 9,0
ist, dann kann der einmal elektrisch abgeschiedene Film wie
deraufgelöst werden, so daß demgemäß überhaupt kein Film ge
bildet wird. Um den pH-Wert in dem oben definierten bevorzug
ten Bereich zu halten, kann eine Base, wie oben beschrieben,
später zur Einstellung des pH-Werts zugegeben werden.
Ein oberflächenaktives Mittel, wie ein nichtionisches, katio
nisches oder anionisches oberflächenaktives Mittel, kann in
geeigneter Weise zugesetzt werden, um die Wasserdispergier
barkeit oder die Dispersionsstabilität der photoempfindlichen
anionischen Elektroabscheidungs-Beschichtungs-Harzmasse vom
positiven Typ zu erhöhen. Ein hydrophobes Lösungsmittel, wie
Toluol, Xylol, 2-Ethylhexylalkohol oder dergleichen, kann
gleichfalls zugesetzt werden, um den Aufbau bei der Elektro
abscheidung zu erhöhen.
Bei der Durchführung der Elektroabscheidungs-Beschichtung der
Oberfläche eines Substrats (in diesem Falle sollte mindestens
die Substratoberfläche mit einem Metall, wie Eisen, Alumini
um, Kupfer, Zink oder dergleichen, oder einer Legierung sol
cher Metalle plattiert sein, daß die Substratoberfläche elek
trisch leitfähig wird) unter Verwendung des auf die obige
Weise erhaltenen Elektroabscheidungs-Beschichtungsbades wird
das Substrat in das Elektroabscheidungs-Beschichtungsbad ein
getaucht, und es wird eine Gleichstromspannung von 50 bis 400
Volt über einen Zeitraum von 10 Sekunden bis 5 Minuten ange
legt, wobei das Substrat als Anode geschaltet ist. Bei diesem
Vorgang wird die Temperatur des Elektroabscheidungs-Beschich
tungsbades vorzugsweise so kontrolliert, daß sie bei 15 bis
30°C gehalten wird.
Nach dieser Elektroabscheidungs-Beschichtung wird das be
schichtete Material aus dem Beschichtungsbad herausgenommen,
mit Wasser gewaschen, ablaufen gelassen und mit Heißluft oder
anderen Maßnahmen getrocknet. Eine zu hohe Trocknungstempera
tur könnte eine Zersetzung der gegenüber Säuren instabilen
Gruppe in der Beschichtungsmasse bewirken, so daß gewöhnlich
das Trocknen bei einer Temperatur unterhalb 110°C durchge
führt wird.
Die Dicke des so erhaltenen Überzugsfilms (der photoempfind
lichen Schicht) beträgt vorzugsweise 2 bis 50 µm. Wenn die
Filmdicke weniger als 2 µm ist, dann neigt die Beständigkeit
des Films gegenüber dem Entwickler zu einer Verschlechterung,
und bei der Verwendung des Überzugsfilms zur Herstellung von
gedruckten Schaltungsplatten wird die Beständigkeit gegenüber
der Ätzlösung und dem Ätzfaktor zu niedrig, wenn das gebil
dete Resistmuster der Ätzbehandlung unterworfen wird. Wenn
andererseits die Filmdicke über 50 µm hinausgeht, dann wird
manchmal die Auflösung des Resistmusters schlechter.
Der Überzugsfilm wird sodann bildweise mit aktinischem Licht
bestrahlt, um im belichteten Teil eine Säure zu bilden, und
er wird erforderlichenfalls 1 bis 20 Minute(n) auf 80 bis
150°C erhitzt und sodann entwickelt, um den nichtbelichteten
Teil zu entfernen, wodurch ein Resistmuster gebildet wird.
Als Lichtquelle für das aktinische Licht wird die Verwendung
einer Quelle empfohlen, die Licht mit einer Wellenlänge von
300 bis 450 nm emittieren kann, wie einer Quecksilber-Bogen
lampe, einer Kohle-Bogenlampe, einer Xenon-Bogenlampe und
dergleichen.
Die Entwicklung kann gewöhnlich in der Weise durchgeführt
werden, daß eine wäßrige alkalische Lösung von Natriumhydro
xid, Natriumcarbonat, Kaliumhydroxid oder dergleichen aufge
sprüht wird oder daß in die wäßrige alkalische Lösung einge
taucht wird.
Erfindungsgemäß bewirken die Verbindungen der Formeln (I) und
(II) (Benzotriazolderivate mit einer Carboxylgruppe), die als
Komponente (c) verwendet werden, die Eliminierung der Unter
entwicklung, und sie verbessern die Elektroabscheidungseigen
schaften. Sie können weiterhin als Sensibilisatoren wirken
und tragen auch zu einer Verbesserung der Photoempfindlich
keit bei.
Die Erfindung wird in den Beispielen und Vergleichsbeispielen
erläutert.
In einen Kolben, der mit einem Rührer, einem Rückflußkühler,
einem Thermometer, einem Tropftrichter und einem Stickstoff-
Einleitungsrohr ausgestattet war, wurden 1130 g Propylengly
kol-monomethylether eingebracht und unter Rühren und unter
Einführen von Stickstoffgas auf 90°C erhitzt. Als die Tempe
ratur bei 90°C konstant geworden war, wurde eine Mischlösung
von 100 g Methacrylsäure, 650 g tert.-Amylmethacrylat, 250 g
n-Butylacrylat und 10 g Azobisisobutyronitril tropfenweise im
Verlauf von 3 Stunden in den Kolben eingegeben. Danach wurde
3 Stunden lang bei 90°C gerührt. Sodann wurde eine Lösung,
hergestellt durch Auflösen von 3 g Azobisdimethylvaleronitril
in 100 g Propylenglykol-monomethylether, tropfenweise in den
Kolben über einen Zeitraum von 10 Minuten zugegeben. Danach
wurde 4 Stunden lang bei 90°C gerührt.
Das so erhaltene Copolymere (nachstehend als P-1 bezeichnet)
hatte ein gewichtsmittleres Molekulargewicht von 38 000 und
eine Säurezahl von 65. Der Feststoffgehalt der Copolymer-
(P-1-)Lösung betrug 45,1 Gew.-%.
In den gleichen Kolben, wie im Synthesebeispiel 1 verwendet,
wurden 1130 g Propylenglykol-monomethylether eingebracht und
unter Rühren und unter Einleiten von Stickstoffgas auf 90°C
erhitzt. Als die Temperatur bei 90°C konstant geworden war,
wurde eine Mischlösung von 77 g Methacrylsäure, 310 g tert.-
Amylmethacrylat, 450 g 2-Ethylhexylacrylat, 163 g Methylmeth
acrylat und 7 g Azobisisobutyronitril tropfenweise in den
Kolben im Verlauf von 3 Stunden zugegeben. Danach wurde 3
Stunden lang bei 90°C gerührt. Sodann wurde eine Lösung, her
gestellt durch Auflösen von 3 g Azobisdimethylvaleronitril in
100 g Propylenglykol-monomethylether, tropfenweise in den
Kolben im Verlauf von 10 Minuten gegeben. Danach wurde 4
Stunden lang bei 90°C gerührt.
Das so erhaltene Copolymere (nachstehend als P-2 bezeichnet)
hatte ein gewichtsmittleres Molekulargewicht von 45 000 und
eine Säurezahl von 50,2. Der Feststoffgehalt der Copolymer-
(P-2-)Lösung betrug 45,3 Gew.-%.
In den gleichen Kolben, wie im Synthesebeispiel 1 verwendet,
wurden 1130 g Propylenglykol-monopropylether eingebracht und
unter Rühren und unter Einleiten von Stickstoffgas auf 80°C
erhitzt. Als die Temperatur bei 80°C konstant geworden war,
wurde eine Mischlösung von 48 g Acrylsäure, 500 g Isobornyl
methacrylat, 359 g 2-Ethylhexylacrylat und 10 g Azobisisobu
tyronitril tropfenweise in den Kolben im Verlauf von 3 Stun
den zugegeben. Danach wurde 4 Stunden lang bei 80°C gerührt.
Sodann wurde eine Lösung, hergestellt durch Auflösen von 3 g
Azobisdimethylvaleronitril in 100 g Propylenglykol-monopro
pylether, tropfenweise in den Kolben im Verlauf von 10 Minu
ten gegeben. Danach wurde 6 Stunden lang bei 80°C gerührt.
Das so erhaltene Copolymere (nachstehend als P-3 bezeichnet)
hatte ein gewichtsmittleres Molekulargewicht von 51.000 und
eine Säurezahl von 60,1. Der Feststoffgehalt der Copolymer-
(P-3-)Lösung betrug 44,7 Gew.-%.
Zu 221 g der Copolymer(P-1-)Lösung wurden 8 g p-Nitrobenzyl-
9,10-diethoxyanthracen-2-sulfonat und 1 g Benzotriazolderivat
(I-1) gegeben. Danach wurden 9,5 g Triethylamin zugegeben, um
die Mischlösung zu neutralisieren. Sodann wurden 780 g de
stilliertes Wasser tropfenweise zu der Lösung unter Rühren
gegeben, wodurch ein Elektroabscheidungs-Beschichtungsbad (pH
7,8) erhalten wurde.
Zu 221 g der Copolymer(P-2-)Lösung wurden 7 g p-Nitrobenzyl-
9,10-dipropoxyanthracen-2-sulfonat und 2 g Benzotriazolderi
vat (I-26) gegeben. Danach wurden 8,0 g Triethylamin zugege
ben, um die Mischlösung zu neutralisieren. Sodann wurden
770 g destilliertes Wasser tropfenweise zu der Lösung unter
Rühren gegeben, wodurch ein Elektroabscheidungs-Beschich
tungsbad (pH 7,5) erhalten wurde.
Zu 224 g der Copolymer(P-3-)Lösung wurden 8 g p-Nitrobenzyl-
9,10-dipropoxyanthracen-2-sulfonat und 1 g Benzotriazolderi
vat (I-1) gegeben. Danach wurden 7,0 g Triethylamin zur Neu
tralisation zugesetzt. Hierauf wurden 800 g destilliertes
Wasser tropfenweise zu der Lösung unter Rühren gegeben, wo
durch ein Elektroabscheidungs-Beschichtungsbad (pH 7,8) er
halten wurde.
Zu 221 g der Copolymer(P-1-)Lösung wurden 3 g Di-t-amyl
terephthalat, 8 g p-Nitrobenzyl-9,10-dipropoxyanthracen-2-
sulfonat und 1 g Benzotriazolderivat (I-1) gegeben. Danach
wurden 7,0 g Triethylamin zur Neutralisation der Lösung zuge
setzt. Hierauf wurden 820 g destilliertes Wasser tropfenweise
zu der Lösung unter Rühren gegeben, wodurch ein Elektroab
scheidungs-Beschichtungsbad (pH 7,8) erhalten wurde.
Zu 221 g der Copolymer(P-1-)Lösung wurden 1 g 2-(p-Methoxy
phenyl)-4,6-bis-(trichlormethyl)-s-triazin, 5 g p-Nitroben
zyl-9,10-diethoxyanthracen-2-sulfonat und 1 g Benzotriazolde
rivat (I-1) gegeben. Danach wurden 9,5 g Triethylamin zur
Neutralisation der Lösung zugegeben. Hierauf wurden 780 g de
stilliertes Wasser tropfenweise zu der Lösung unter Rühren
gegeben, wodurch ein Elektroabscheidungs-Beschichtungsbad (pH
7,6) erhalten wurde.
Zu 221 g der Copolymer(P-1-)Lösung wurden 3 g Triphenylsulfo
nium-hexafluorantimonat und 1 g Benzotriazolderivat (I-1) ge
geben. Danach wurden 9,5 g Triethylamin zur Neutralisation
der Lösung zugegeben. Hierauf wurden 770 g destilliertes Was
ser tropfenweise zu der Lösung unter Rühren gegeben, wodurch
ein Elektroabscheidungs-Beschichtungsbad (pH 7,9) erhalten
wurde.
Zu 221 g der Copolymer(P-2-)Lösung wurden 1 g 2-(p-Methoxy
styryl)-4,6-bis-(trichlormethyl)-s-triazin, 7 g p-Nitroben
zyl-9,10-dipropoxyanthracen-2-sulfonat und 2 g Benzotriazol
derivat (I-26) gegeben. Danach wurden 8,0 g Triethylamin zu
gesetzt. Hierauf wurden 770 g destilliertes Wasser tropfen
weise zu der Lösung unter Rühren gegeben, wodurch ein Elek
troabscheidungs-Beschichtungsbad (pH 7,5) erhalten wurde.
Zu 221 g der Copolymer(P-2-)Lösung wurden 3 g Diphenyliodium
hexafluorantimonat und 2 g Benzotriazolderivat (I-26) gege
ben. Danach wurden 8,0 g Triethylamin zur Neutralisation der
Lösung zugesetzt. Hierauf wurden 770 g destilliertes Wasser
tropfenweise zu der Lösung unter Rühren gegeben, wodurch ein
Elektroabscheidungs-Beschichtungsbad (pH 7,5) erhalten wurde.
Wie in Beispiel 1 wurde ein Elektroabscheidungs-Beschich
tungsbad erhalten, mit der Ausnahme, daß kein Benzotriazolde
rivat (I-1) verwendet wurde.
Wie in Beispiel 2 wurde ein Elektroabscheidungs-Beschich
tungsbad erhalten, mit der Ausnahme, daß kein Benzotriazolde
rivat (I-26) verwendet wurde.
Ein Elektroabscheidungs-Beschichtungsbad wurde wie in Bei
spiel 1 erhalten, mit der Ausnahme, daß lediglich 5 g Benzo
triazol, das keine Carboxylgruppe aufweist, anstelle des Ben
zotriazolderivats (I-1) verwendet wurden.
In jedes der in den Beispielen 1 bis 8 und Vergleichsbeispie
len 1 bis 3 erhaltenen Elektroabscheidungs-Beschichtungsbäder
wurden jeweils ein kupferplattiertes Glas-Epoxylaminat (KCL-
E-61, hergestellt von Hitachi Chemical Company, Ltd.), das
als Anode diente, und eine Edelstahlplatte (SUS 304, 200 mm×
75 mm×1 mm), die als Kathode diente, eingetaucht. Es wurde
3 Minuten lang bei 25°C eine Gleichstromspannung angelegt,
wodurch auf der Oberfläche des kupferplattierten Laminats ein
elektrisch abgeschiedener Überzugsfilm (photoempfindlicher
Film) gebildet wurde. Dieser wurde sodann mit Wasser gewa
schen, ablaufen gelassen und 15 Minuten bei 80°C getrocknet.
Die Beziehung zwischen der angelegten Spannung und der Dicke
des gebildeten elektrisch abgeschiedenen Überzugsfilms ist in
Tabelle 1 gezeigt.
Sodann wurden die einzelnen Überzugsfilme bildweise über eine
Photoresistmaske belichtet, wobei eine 3-kW-Ultrahochdruck-
Quecksilberlampe verwendet wurde. Danach wurde 10 Minuten
lang auf 130°C in einem Ofen erhitzt, und es wurde mit einer
wäßrigen Lösung von 1 Gew.-% Natriumcarbonat entwickelt. Zur
Bewertung der Photoempfindlichkeit der einzelnen Überzugs
filme wurde die Belichtung gemessen, die erforderlich war, um
in der Stufentabelle die vierte Stufe zu erhalten. Die erhal
tenen Ergebnisse sind in Tabelle 1 zusammengestellt. Weiter
hin wurde zur Bestätigung der Anwesenheit oder der Abwesen
heit einer Unterentwicklung das Substrat nach der Entwicklung
in eine 1 gew.-%ige Kupferchlorid-Lösung 1 Minute lang einge
taucht, und hierauf wurde visuell der Ätzgrad (Ätzverhalten)
des Substrats an seinem nichtbelichteten Teil beobachtet. Die
Ergebnisse sind gleichfalls in Tabelle 1 zusammengestellt.
Aus den Ergebnissen der Tabelle 1 wird ersichtlich, daß bei
Verwendung der Massen der Beispiele 1 bis 8, die ein Benzo
triazolderivat mit einer Carboxylgruppe enthalten, die glei
che Überzugs-Filmdicke bei niedriger Spannung erhalten werden
kann und daß weiterhin die Elektroabscheidungseigenschaften
im Vergleich zu der Verwendung der Massen der Vergleichsbei
spiele 1 bis 2 verbessert werden. Bei diesen Vergleichsbei
spielen ist das genannte Benzotriazolderivat nicht verwendet
worden. Weiterhin kann unter Verwendung der Massen der Bei
spiele 1 bis 8 eine höhere Photoempfindlichkeit erhalten wer
den als bei Verwendung der Massen der Vergleichsbeispiele 1
bis 2. Was die Unterentwicklung anbetrifft, so ist im Falle
der Vergleichsbeispiele 1 bis 2 die Ätzung nicht perfekt er
folgt, was eine teilweise Unterentwicklung bewirkt. Demgegen
über ist im Falle der erfindungsgemäßen Beispiele 1 bis 8 die
Ätzung perfekt erfolgt, und es ist keine Spur einer Unterent
wicklung zurückgeblieben.
Andererseits sind beim Vergleichsbeispiel 3, bei dem ledig
lich ein Benzotriazol ohne Carboxylgruppe anstelle eines Ben
zotriazolderivats mit einer Carboxylgruppe verwendet worden
ist, die Elektroabscheidungseigenschaften die gleichen wie
bei den Vergleichsbeispielen 1 bis 2. Es wird aber kein Ef
fekt einer Verbesserung der Elektroabscheidungseigenschaften
festgestellt, wie es gemäß Tabelle 1 im Falle der Beispiele 1
bis 8 ersichtlich ist. Was die Unterentwicklung anbetrifft,
so ist das Ergebnis im Falle, daß kein Benzotriazol(derivat)
zugesetzt worden ist (Vergleichsbeispiele 1 bis 2), erheblich
schlechter. Dieser Effekt ist das krasse Gegenteil zu demje
nigen, der im Falle der Beispiele 1 bis 4 gesehen wird. Dies
weist darauf hin, daß die verschiedenen Effekte, die bei den
Beispielen 1 bis 8 ersichtlich sind, nicht durch bloße Zugabe
eines Chelierungsmittels bewirkt worden sind. Anders ausge
drückt, die in den Beispielen 1 bis 8 beobachteten Verbesse
rungen von verschiedenen Eigenschaften sind durch die Zugabe
einer speziellen Verbindung, d. h. eines Triazolderivats, mit
einer Carboxylgruppe hervorgerufen worden.
Es erübrigt sich, darauf hinzuweisen, daß die mit den Massen
der Beispiele 1 bis 8 nach dem Entwickeln erhaltenen Resist
muster eine ausgezeichnete Konfiguration mit einer Auflösung
von 50 µm hatten.
Somit werden durch Verwendung der erfindungsgemäßen photoemp
findlichen anionischen Elektroabscheidungs-Beschichtungs-
Harzmasse vom positiven Typ, des erfindungsgemäßen Elektroab
scheidungs-Beschichtungsmaterials und des erfindungsgemäßen
Elektroabscheidungs-Beschichtungsbades die Elektroabschei
dungseigenschaften verbessert, und es kann im Vergleich zu
den herkömmlichen Produkten ein elektrisch abgeschiedener
Überzugsfilm mit hoher Photoempfindlichkeit gebildet werden.
Ein Substrat, das daher durch das erfindungsgemäße Elektroab
scheidungs-Beschichtungsverfahren mit einer photoempfindli
chen Schicht versehen worden ist, ist daher von den Risiken
einer Unterentwicklung am belichteten Teil nach der Entwick
lung frei. Bei seiner Verwendung zur Herstellung von gedruck
ten Schaltungsplatten ist es, da ein Resistmuster mit hoher
Auflösung erhalten werden kann, möglich, gedruckte Schal
tungsplatten mit sehr hoher Qualität zu erhalten. Schließlich
kann das erfindungsgemäß gebildete Resistmuster auch als Re
lief verwendet werden. Es ist weiterhin möglich, ein kupfer
plattiertes Laminat als Substrat zu verwenden und es aufzu
bringen, um ein Photoresist zum Ätzen und Plattieren zu bil
den.
Claims (9)
1. Photoempfindliche anionische Elektroabscheidungs-Be
schichtungs-Harzmasse vom positiven Typ, dadurch ge
kennzeichnet, daß sie
- a) eine Verbindung, die eine gegenüber Säuren instabi le Gruppe aufweist;
- b) eine Verbindung, die beim Aussetzen an aktinisches Licht eine Säure erzeugt; und
- c) mindestens eine Substanz, ausgewählt aus Verbindun gen der Formeln (I) und (II): worin R1 für ein Wasserstoffatom, ein Halogenatom, eine Hy droxylgruppe, eine Alkylgruppe oder eine Alkoxygruppe steht; R2 für ein Wasserstoffatom, eine Hydroxylgruppe, eine Alkyl gruppe, eine Estergruppe, eine Phenylgruppe oder eine Gruppe der Formel -X-R3 steht; X für eine unsubstituierte Alkylen gruppe, eine Alkylengruppe, die mit einer Carboxylgruppe sub stituiert ist, eine Cycloalkylengruppe oder eine Alkyle nethergruppe steht; R3 für eine Hydroxylgruppe, eine Alkoxy gruppe, eine Carboxylgruppe oder eine Dialkylaminogruppe steht; und n eine ganze Zahl von 1 bis 3 ist, wobei jedoch, wenn R2 eine eine Carboxylgruppe enthaltende Gruppe ist, n den Wert 0 haben kann; worin R1 wie oben definiert ist; R4 für ein Wasserstoffatom, eine Alkylgruppe oder eine Phenylgruppe steht; und n eine ganze Zahl von 1 bis 3 ist, enthält.
2. Masse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die gegenüber Säuren instabile Gruppe in der
Komponente (a) eine t-Amyloxycarbonylgruppe ist.
3. Photoempfindliches anionisches Elektroabscheidungs-Be
schichtungsmaterial vom positiven Typ, dadurch ge
kennzeichnet, daß es durch Neutralisation der
photoempfindlichen anionischen Elektroabscheidungs-Beschich
tungsmasse nach Anspruch 1 vom positiven Typ erhalten worden
ist.
4. Elektroabscheidungs-Beschichtungsbad, dadurch ge
kennzeichnet, daß es das photoempfindliche anio
nische Elektroabscheidungs-Beschichtungsmaterial vom positi
ven Typ nach Anspruch 3 enthält.
5. Elektroabscheidungs-Beschichtungsverfahren, dadurch
gekennzeichnet, daß man ein elektrisch leitfä
higes Substrat in das Elektroabscheidungs-Beschichtungsbad
nach Anspruch 4 eintaucht und eine Gleichstromspannung an
legt, wobei das genannte Substrat die Anode ist.
6. Verfahren zur Herstellung von gedruckten Schaltungs
platten bzw. gedruckten Leiterplatten, dadurch ge
kennzeichnet, daß man einen auf einem Substrat
durch Elektroabscheidung gemäß Anspruch 5 gebildeten Über
zugsfilm belichtet und den Film entwickelt.
7. Masse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Komponente (a) eine Komponente ist, die ein
oder mehrere t-Butoxycarbonylgruppen, t-Amyloxycarbonylgrup
pen, Isobornyloxycarbonylgruppen, t-Butylcarbonatgruppen,
t-Amylcarbonatgruppen, Isobornylcarbonatgruppen, Trimethylsi
loxygruppen, Tetrahydrofuranylgruppen, Tetrahydropyranylgrup
pen, Acetalgruppen, Ketalgruppen, Orthoestergruppen oder
Enolethergruppen hat.
8. Masse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Komponente (a) ein Copolymeres von Acryl
säure oder Methacrylsäure und mindestens einem Monomeren,
ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus t-Butylacrylat,
t-Butylmethacrylat, t-Amylacrylat, t-Amylmethacrylat, Iso
bornylacrylat, Isobornylmethacrylat, Tetrahydrofuranylacrylat
und Tetrahydropyranylmethacrylat, ist.
9. Masse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Komponente (b) ein Oxadiazolderivat, ein
s-Triazinderivat, ein Iodoniumsalz, ein Sulfoniumsalz, ein
Disulfonderivat, ein Imidosulfonatderivat oder ein Nitroben
zylderivat ist.
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