DE4224023A1 - Gaslaseroszillator - Google Patents

Gaslaseroszillator

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Takaaki Murata
Kiyohisa Terai
Tohoru Tamagawa
Hirokatsu Suzuki
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Description

Die Erfindung betrifft einen Gaslaseroszillator, der eine Wechselstromentladung mittels eines elektrischen Hochfrequenzfelds in einem mit einem Lasermedium ge­ füllten Raum und damit Laserstrahlen erzeugt.
Bei Gaslaseroszillatoren der angegebenen Art wird ein als Lasermedium dienendes Gas mittels eines Gebläses über einen Strahler oder Kühler (radiator) in einem geschlossenen Gefäß oder Behälter umgewälzt. Zwei Elek­ troden sind so angeordnet, daß in einem Abschnitt der Strömungsstrecke, längs welcher das Gas umgewälzt oder zirkuliert wird, ein elektrisches Hochfrequenzfeld er­ zeugt wird. Wenn über die Elektroden eine Hochfrequenz­ spannung angelegt wird, wird das Gas durch das zwischen den Elektroden erzeugte elektrische Hochfrequenzfeld so angeregt, daß Laserstrahlen in einer Richtung senkrecht zu der des elektrischen Hochfrequenzfelds erzeugt wer­ den.
Im beschriebenen Gaslaseroszillator bleiben die folgen­ den Probleme zu lösen. Die physikalische Struktur der durch das elektrische Feld herbeigeführten Gasentladung besteht hauptsächlich aus einer positiven Säule und einer Ionenschicht, die beide lotrecht zwischen den Elektroden verteilt sind. Elektrische Energie in der positiven Säule trägt zur Laseranregung bei, während elektrische Energie in der Ionenschicht dazu nicht bei­ trägt. Wenn eine Wechselstromentladungsfrequenz oder eine Frequenz der über die Elektroden angelegten Hoch­ frequenzspannung hoch ist, besteht ein in der Ionen­ schicht fließender Strom hauptsächlich aus einem Ver­ schiebungsstrom. In diesem Fall ist ein elektrischer Energieverlust klein. Wenn dagegen die Wechselstrom­ entladungsfrequenz klein ist, enthält der in der Ionen­ schicht fließende Strom neben dem Verschiebungsstrom (auch) einen Leitungsstrom, der zu einem elektrischen Energieverlust führt. Infolgedessen wird die Größe der Leitungsstromkomponente in dem in der Ionenschicht fließenden elektrischen Strom mit einer Erniedrigung der Frequenz des Entladungswechselstroms vergrößert, was zu einer Erhöhung des elektrischen Energieverlusts führt. Dabei vergrößert sich ein Verhältnis des elek­ trischen Energieverlusts in der Ionenschicht zu der in der positiven Säule verbrauchten elektrischen Energie, nimmt die Menge an verbrauchter elektrischer Energie, die nicht zur Laseranregung beiträgt, relativ zu und wird dementsprechend die Wirksamkeit oder der Wirkungs­ grad der Laserschwingung herabgesetzt.
Herkömmlicherweise sind die folgenden beiden Gegenmaß­ nahmen zur Einschränkung des Energieverlusts in der Ionenschicht getroffen worden: 1. Erhöhung der Spannung der positiven Säule und insbesondere Erhöhung des auf das Lasergas ausgeübten Drucks, und 2. Erhöhung der Wechselstromentladungsfrequenz, so daß der Energiever­ lust in der Ionenschicht verringert wird. Im Fall der ersten Gegenmaßnahme wird ein(e) Kleinsignal-Verstär­ kung oder -Gewinn als einer der Grundparameter für La­ seranregung gesenkt, so daß dementsprechend der Refle­ xionsgrad eines einen optischen Oszillator bildenden Ausgangsspiegels erhöht werden muß. In diesem Fall wird jedoch die Güte des Laserstrahls durch thermische Ver­ formung der Linse herabgesetzt.
Bei der zweitgenannten Gegenmaßnahme muß andererseits die Wechselstromentladungsfrequenz auf eine hohe Fre­ quenz oberhalb mehrerer MHz erhöht werden. Allgemein wird im Fall einer Stromversorgung einer Frequenz von mehreren MHz oder darüber ein Verstärkersystem verwen­ det. Dementsprechend beträgt der Stromzufuhrwirkungs­ grad auch im Fall eines Verstärkersystems der Klasse C 70%. Es kann jedoch auch ein Schaltstromzufuhrsystem verwendet werden, wenn die Wechselstromentladungsfre­ quenz auf unter einige MHz reduziert wird. In diesem Fall kann ein Stromzufuhrwirkungsgrad von 90% erreicht werden.
Aufgabe der Erfindung ist damit die Schaffung eines Gas­ laseroszillators, bei dem eine Laseranregung eines ho­ hen Wirkungsgrads unter der Bedingung erzielbar ist, daß der Druck des Gases als Lasermedium auf einem her­ kömmlichen oder üblichen Wert gehalten wird und die Wechselstromentladungsfrequenz eine vergleichsweise kleine Größe von einigen MHz oder darunter annimmt.
Gemäß einem Merkmal ist Gegenstand der Erfindung ein Gaslaseroszillator, umfassend einen Behälter zur Aufnah­ me eines Lasermediums und mindestens zwei am Behälter einander so gegenüberstehend angeordnete Elektroden, daß in einem vorbestimmten, mit dem Lasermedium gefüll­ ten Raum im Behälter ein elektrisches Feld aufstellbar oder erzeugbar ist, wenn eine Hochfrequenzspannung an die Elektroden angelegt ist, der gekennzeichnet ist durch eine Magnetfelderzeugungseinrichtung zum Erzeugen eines elektromagnetischen Felds, welches eine Richtung des zwischen den Elektroden erzeugten elektrischen Felds schneidet.
Bei dem oben umrissenen Gaslaseroszillator wird Kolli­ sion von Elektronen durch die Wirkung oder den Einfluß des Magnetfelds begünstigt, das in der Ionenschicht als Laser-Nichtanregungsraum in der als "Transversal- oder Querrichtung" bezeichneten, die Richtung des zwischen den Elektroden erzeugten elektrischen Felds schneiden­ den Richtung gebildet wird. Da hierbei hochenergetische Elektronen durch das Magnetfeld eingefangen werden, wird infolgedessen die Ionisierung intensiviert, wo­ durch die Spannung der Ionenschicht gesenkt und der Energieverlust in der Ionenschicht herabgesetzt werden. Weiterhin wird die Kollision von Elektronen durch das Transversal- oder Quermagnetfeld in der Spannung der positiven Säule, als Laseranregungsraum dienend, inten­ siviert. Folglich wird die elektrische Energie (power) wirksam für die Laseranregung verbraucht bzw. genutzt. Im Gegensatz zu dem Fall, in welchem der Gasdruck er­ höht wird, wird der Kleinsignalgewinn nicht reduziert; demzufolge braucht der Reflexionsgrad des Ausgangsspie­ gels nicht erhöht zu werden, und die Verringerung der Laserstrahlgüte infolge thermischer Verformung der Lin­ se kann vermieden werden. Daher wird ein unnötiger Ver­ lust an nicht zur Laseranregung beitragender elektri­ scher Energie verringert, weil der elektrische Energie­ verlust in der Ionenschicht als Laser-Nichtanregungs­ raum relativ zum elektrischen Stromverbrauch oder -be­ darf in der positiven Säule als Laseranregungsraum klein gehalten werden kann. Demzufolge kann auch bei einer Wechselstromentladungsfrequenz von mehreren MHz oder darunter verhindert werden, daß die Laserschwing­ leistung abfällt.
Gemäß einem anderen Merkmal ist Gegenstand der Erfin­ dung ein Gaslaseroszillator, umfassend einen Behälter zur Aufnahme eines Lasermediums und eine Elektrodenein­ richtung zum Aufstellen oder Erzeugen eines elektri­ schen Felds in einem mit dem Lasermedium gefüllten vor­ bestimmten Raum im Behälter bei Anlegung einer Hochfre­ quenzspannung an die Elektrodeneinrichtung, der dadurch gekennzeichnet ist, daß die Elektrodeneinrichtung minde­ stens zwei am Behälter unter Zwischenfügung des vorbe­ stimmten Raums einander gegenüberstehende Permanentma­ gnete aufweist, wobei die Permanentmagnete bei Anlegung der Hochfrequenzspannung an sie ein eine Richtung des elektrischen Felds schneidendes elektromagnetisches Feld erzeugen.
Gemäß einem weiteren Merkmal ist Gegenstand der Erfin­ dung ein Gaslaseroszillator, umfassend einen im wesent­ lichen zylindrischen, zur Aufnahme eines Lasermediums dienenden Behälter, der aus einem eine Hochfrequenzspan­ nung leitenden Material geformt ist, und eine Elektro­ de, die am Behälter so angeordnet ist, daß sie von einer Innenumfangsfläche des Behälters entfernt und eine Hochfrequenzspannung über die Elektrode und den Behälter anlegbar ist, der gekennzeichnet ist durch eine um einen Außenumfang des Behälters herum angeord­ nete, im wesentlichen zylindrische Spule, die mit dem Behälter einen Doppelzylinder bildet und die durch einen elektrischen Strom erregbar ist.
Im folgenden ist die Erfindung anhand der Zeichnung nä­ her erläutert. Es zeigt
Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen Transversal- oder Quertyp-Gaslaseroszillator gemäß einer Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 2 eine perspektivische Darstellung des Gasla­ sers zur Veranschaulichung der Anordnung der Teile mit Ausnahme des Behälters,
Fig. 3 eine der Fig. 2 ähnliche Darstellung einer zweiten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 4 eine Schnittansicht eines Gaslaseroszilla­ tors gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 5 eine der Fig. 4 ähnliche Darstellung einer vierten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 6 eine der Fig. 4 ähnliche Darstellung einer fünften Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 7 eine graphische Darstellung von Versuchsda­ ten, die mit dem Gaslaseroszillator gemäß der Ausführungsform nach Fig. 5 gewonnen wurden,
Fig. 8 eine im Längsschnitt gehaltene Seitenansicht eines Quertyp-Gaslaseroszillators gemäß einer sechsten Ausführungsform der Erfin­ dung,
Fig. 9 eine im Schnitt gehaltene Stirnansicht des Gaslaseroszillators nach Fig. 8,
Fig. 10 eine Längsschnittansicht eines Tafel- oder Flachtyp-Gaslaseroszillators gemäß einer siebten Ausführungsform,
Fig. 11 eine der Fig. 10 ähnliche Darstellung einer achten Ausführungsform,
Fig. 12 eine der Fig. 10 ähnliche Darstellung einer neunten Ausführungsform,
Fig. 13 eine Längsschnittansicht eines Gaslaseroszil­ lators gemäß einer neunten Ausführungsform der Erfindung und
Fig. 14 eine perspektivische Darstellung des Gasla­ seroszillators nach Fig. 13 mit weggelasse­ ner Abdeckung.
Nachstehend ist eine erste Ausführungsform eines erfin­ dungsgemäßen Gaslaseroszillators des Transversal- oder Quertyps (transverse type) anhand der Fig. 1 und 2 be­ schrieben. Ein Behälter 1, der ein als Lasermedium die­ nendes Gas enthält, weist einen durch eine erste Außen­ wand 2 und eine zweite Außenwand 3 festgelegten Zirku­ lations- oder Umwälzraum 4 auf und ist auch mit einem Gebläse 6 zum Umwälzen des Laser-Gases in Richtung eines Pfeils A durch einen Strahler oder Kühler 5 im Umwälzraum 4 versehen. Der Umwälzraum 4 enthält einen Entladungsraum 4a. Die beiden Außenwände 2 und 3 weisen einander gegenüberstehende Abschnitte mit dazwischen befindlichem Entladungsraum 4a auf. Diese Abschnitte der Außenwände 2, 3 enthalten dielektrische Elektroden 7a bzw. 7b, die aus einem einen Hochfrequenzstrom lei­ tenden dielektrischen Material, wie Keramik, und jewei­ ligen dielektrischen Platten 8a bzw. 8b bestehen, an die eine Hochfrequenzspannung von 1-2 kV bei einer Frequenz von mehreren MHz von einer Hochfrequenz-Strom­ quelle 9 her anlegbar ist. Dabei wird im Entladungs­ raum 4a ein hochfrequentes elektrisches Feld in einer Richtung erzeugt, in welcher die Elektroden-Platten 8a, 8b einander gegenüberstehen. Dieses hochfrequente elek­ trische Feld bewirkt, daß in einer Atmosphäre des Laser­ gases im Entladungsraum 4a eine Wechselstromentladung stattfindet. Infolgedessen wird das Lasergas so ange­ regt, daß Laserstrahlen 14 in einer Richtung senkrecht zur Richtung des elektrischen Felds oder senkrecht zur Zeichnungsebene von Fig. 1 erzeugt werden. In Fig. 2 dargestellte Spiegel 15a und 15b bilden einen optischen Resonator. Die bisher beschriebene Konstruktion ent­ spricht derjenigen des herkömmlichen Quertyp-Gaslaseros­ zillators mit Ausnahme der Größe der über die Elektro­ den angelegten Spannung und der Größe der Frequenz der angelegten Spannung.
An der Außenseite des Behälters 1 sind Magnetflußerzeu­ gungselemente bzw. zwei Permanentmagnete 10a und 10b als Magnetfelderzeugungseinrichtung, zwischen denen die eine Elektrodenplatte 8a liegt, so angeordnet, daß die Permanentmagnete mit dem Entladungsraum 4a korrespon­ dieren. Zwei weitere Permanentmagnete 11a und 11b sind unter Zwischenfügung der anderen Elektrodenplatte 8b an der Außenseite (im Inneren) des Behälters 1 angeordnet. Weiterhin ist ein Jochelement 12 an der Außenseite des Behälters 1 so angeordnet, daß es die beiden Permanent­ magnete 10a, 10b umschließt. Das Jochelement 12 besteht aus einem Material einer hohen Permeabilität, so daß eine geschlossene Magnetschleife für die Permanentma­ gnete 10a, 10b gebildet ist. Ebenso ist ein anderes Jochelement 13 an der (anderen) Außenseite des Behäl­ ters 1 die beiden anderen Permanentmagnete 11a, 11b umschließend angeordnet. Dabei ist das eine Paar der Permanentmagnete 10a, 10b so angeordnet, daß verschie­ dene Polaritäten bzw. Pole einander gegenüberliegen, während die Elektrodenplatte 8a bezüglich der Pole der Magnete 10a, 10b dazwischen eingeschaltet ist. Die bei­ den anderen Permanentmagnete 11a, 11b sind auf die gleiche Weise angeordnet, so daß verschiedene Polari­ täten bzw. Pole einander gegenüberstehen und die Elek­ trodenplatte 8b bezüglich der Süd- und Nordpole dazwi­ schen eingefügt ist. Infolgedessen wird im Entladungs­ raum 4a im Behälter 1 ein Magnetfeld derart aufge­ stellt oder erzeugt, daß die Magnetflüsse von den Per­ manentmagneten 10a, 10b, 11a, 11b in einer die Rich­ tung des elektrischen Felds schneidenden Richtung ver­ laufen, wie dies durch einen Pfeil B in Fig. 1 angedeu­ tet ist. Im Entladungsraum 4a wird die Magnetflußdichte an einer näher an den Oberflächen der dielektrischen Elektroden 7a, 7b liegenden Stelle höher. Das erzeugte Magnetfeld begünstigt oder erleichtert die Ionisierung in einer Ionenschicht, die in der Nähe der dielektri­ schen Elektroden 7a, 7b induziert ist, und erhöht oder verstärkt die Kollision von Elektronen in einer posi­ tiven Säule. Hierdurch wird der Verlust an elektrischer Energie herabgesetzt.
In Fig. 3 ist eine zweite Ausführungsform der Erfin­ dung dargestellt, wobei den Teilen von Fig. 2 entspre­ chende Teile mit den gleichen Bezugsziffern wie vorher bezeichnet sind. Eine erste Spule 16a erzeugt ein Gleichspannungs-Magnetfeld, wenn eine Gleichspannung von einer Gleichspannungsquelle 17 an sie angelegt wird. Die erste Spule 16a ist anstelle der Permanent­ magnete 10a, 11a bei der vorher beschriebenen Ausfüh­ rungsform als Magnetflußerzeugungselement vorgesehen. Anstelle der Permanentmagnete 10b, 11b ist außerdem eine zweite Spule 16b vorgesehen.
Bei einer in Fig. 4 dargestellten dritten Ausführungs­ form sind anstelle der Elektrodenplatten 8a, 8b gemäß Fig. 1 Permanentmagnete 18 und 19 vorgesehen, die so angeordnet sind, daß eine Polarität bzw. ein Pol eines jeden Magneten unter Zwischenfügung des Entladungsraums 4a der gleichen Polarität bzw. dem gleichen Pol des an­ deren Magneten gegenübersteht bzw. zugewandt ist. Damit die Permanentmagnete 18, 19 auch als Elektroden wirksam sein können, ist auf der Oberfläche jedes Permanentma­ gneten 18, 19 eine nichtmagnetische Leiterschicht 20 ausgebildet. Jede nichtmagnetische Leiterschicht 20 be­ steht aus Gold, Silber, Aluminium oder dergl. Die Dicke jeder Schicht 20 ist so festgelegt, daß sie der Tiefe entspricht, in welcher ein Hauteffekt aufgrund der Frequenz der angelegten Spannung auftritt. Hierbei werden durch die nichtmagnetische Leiterschicht 20 ein Widerstandsverlust und ein Wirbelstromverlust in den Permanentmagneten verhindert.
Die Fig. 5 und 6 veranschaulichen eine vierte bzw. eine fünfte Ausführungsform der Erfindung. Bei der vierten Ausführungsform sind Permanentmagnete 20 und 21 einan­ der gegenüberstehend bzw. zugewandt so angeordnet, daß sie die gleiche Polarität an beiden Enden längs der be­ treffenden dielektrischen Elektroden 7a, 7b aufweisen. Dies bedeutet, daß die Südpole der Magnete 20, 21 an der linken Seite gemäß Fig. 1, die Nordpole an der rechten Seite angeordnet sind. Bei der fünften Ausfüh­ rungsform sind die Permanentmagnete 20, 21 einander ge­ genüberstehend so angeordnet, daß an beiden Enden längs der betreffenden Elektroden 7a, 7b unterschiedliche Polaritäten vorliegen. Dies bedeutet, daß der Südpol des Magneten 20 und der Nordpol des Magneten 21 an der linken Seite gemäß Fig. 6, der Nordpol des Magneten 20 und der Südpol des Magneten 21 an der rechten Seite an­ geordnet sind.
Fig. 7 veranschaulicht Versuchsergebnisse für den Gasla­ seroszillator gemäß der vierten Ausführungsform. Dabei sind auf der Abszisse die über die dielektrischen Elek­ troden angelegte Eingangsleistung Pp und auf der Ordi­ nate eine Laserausgangsleistung PL aufgetragen. Eine Kurve 22a veranschaulicht Daten eines Versuchs, der unter der Bedingung durchgeführt worden ist, daß ein Transversal- oder Quermagnetfeld (30 Torr) im Entla­ dungsraum 4a bei der Konstruktion gemäß Fig. 5 erzeugt worden ist. Eine andere Kurve 22b gibt Daten an, die in einem Versuch gewonnen wurden, in welchem bei der Kon­ struktion gemäß Fig. 5 herkömmliche Elektrodenplatten anstelle der Permanentmagnete 20 und 21 verwendet wur­ den. Ein Vergleich der Kurven 22a und 22b zeigt, daß die Laserschwingleistung in dem Fall, in welchem das Transversal- oder Quermagnetfeld im Entladungsraum 4a erzeugt ist, höher ist als im Fall ohne ein solches Transversal- oder Quermagnetfeld.
Die Fig. 8 und 9 veranschaulichen eine sechste Ausfüh­ rungsform. Dabei ist eine Entladungsröhre 23 zur Bil­ dung eines Entladungsraums 23a als Teil des Umwälzraums 4 vorgesehen. Zwei durch ein Joch 24 miteinander gekop­ pelte Permanentmagnete 25a und 25b sind unter Zwischen­ fügung der Entladungsröhre 23 einander so gegenüberste­ hend angeordnet, daß sie an den entsprechenden Enden verschiedene Polaritäten bzw. entgegengesetzte Pole aufweisen. Dies bedeutet, daß jeweils der Südpol des Magneten 25a und der Nordpol des Magneten 25b an der Seite der Entladungsröhre angeordnet sind. Der Nordpol des Magneten 25a und der Südpol des Magneten 25b liegen am Joch 24 an. An den Außenumfangsflächen des Jochs 24 und der Permanentmagnete 25a und 25b ist eine elektro­ magnetisch abschirmende Leiterschicht 24a ausgebildet.
Die Fig. 10, 11 und 12 veranschaulichen eine siebte, eine achte bzw. eine neunte Ausführungsform. Bei die­ sen Ausführungsformen ist die Erfindung auf einen Ta­ fel- bzw. Flachtyp-Laseroszillator angewandt, bei wel­ chem das als Lasermedium dienende Gas in einem aus einem dielektrischen Material hergestellten Behälter 26 enthalten oder eingeschlossen und ein optischer Reso­ nator in Richtung der Tiefe des Behälters 26 angeordnet ist. Bei der siebten Ausführungsform (Fig. 10) sind die dielektrischen Elektroden 7a, 7b an Oberseite bzw. Un­ terseite des Behälters 26 angeordnet. Permanentmagnete 27a, 27b sind an beiden Endseiten des Behälters 26 in dessen Längsrichtung positioniert. Bei der achten Aus­ führungsform (Fig. 11) sind die dielektrischen Elektro­ den 7a, 7b an den beiden Endseiten des Behälters 26 im Inneren desselben angeordnet. Die Permanentmagnete 27a und 27b sind an Oberseite bzw. Unterseite des Behälters 26 in dessen Längsrichtung angeordnet. Bei der neunten Ausführungsform (Fig. 12) sind die dielektrischen Elek­ troden 7a, 7b ebenfalls an den beiden Endseiten des Be­ hälters im Inneren desselben angeordnet. Die Permanent­ magnete 27a, 27b sind an den beiden Endseiten des Be­ hälters 26 in dessen Längsrichtung positioniert. Zwei Joche 28a und 28b sind längs des Behälters 26 so ange­ ordnet, daß die Magnete 27a, 27b und der Behälter 26 dazwischen eingefügt sind. Dabei sind der Nordpol jedes Magneten an das obere Joch 28a und der Südpol jedes Ma­ gneten an das untere Joch 28b angekoppelt, 50 daß die Joche 28a, 28b zwangsläufig (magnetische) Streuflüsse in einer Richtung senkrecht zur Richtung des elektri­ schen Felds im Behälter 26 erzeugen.
Die Fig. 13 und 14 veranschaulichen eine zehnte Aus­ führungsform. Dabei ist ein zylindrischer Behälter 29 für den Einschluß des Lasergases aus einem die Hoch­ frequenzspannung leitenden Material geformt, so daß er als eine der Elektroden dient. Die stabförmige, aus einem dielektrischen Material geformte andere bzw. zen­ trale Elektrode 30 ist im Zentrum des Behälters 29 an­ geordnet. Der zylindrische Behälter 29 weist offene Enden auf, die durch Deckel 31a und 31b verschlossen sind. Jeder Deckel 31a, 31b weist eine Anzahl von Öffnungen oder Bohrungen 32 auf. An der Außenseite jedes Deckels 31a und 31b sind Spiegel 33 für optische Reso­ nanz angeordnet, um die Lichtstrahlen über die Öffnungen 32 abzunehmen. Um den zylindrischen Behälter 29 herum ist eine zylindrische Spule 34 unter Bildung eines Doppelzylinders angeordnet. Bei Anregung oder Erregung durch einen Gleichstrom erzeugt die Spule 34 einen Magnetfluß in einer Richtung, welche die Rich­ tung eines zwischen dem Behälter 29 und der stabförmi­ gen zentralen Elektrode 30 erzeugten elektrischen Felds senkrecht schneidet.
Obgleich die Spulen 16a, 16b und 34 bei den beschrie­ benen Ausführungsformen durch einen Gleichstrom erregt werden, können sie auch mittels eines Wechselstroms erregt werden.

Claims (8)

1. Gaslaseroszillator, umfassend einen Behälter (1) zur Aufnahme eines Lasermediums und mindestens zwei am Behälter (1) einander so gegenüberstehend angeord­ nete Elektroden (7a, 7b), daß in einem vorbestimm­ ten, mit dem Lasermedium gefüllten Raum (4a) im Be­ hälter (1) ein elektrisches Feld aufstellbar oder erzeugbar ist, wenn eine Hochfrequenzspannung an die Elektroden (7a, 7b) angelegt ist, gekennzeichnet durch eine Magnetfelderzeugungseinrichtung (10a, 10b, 11a, 11b) zum Erzeugen eines elektromagneti­ schen Felds, welches eine Richtung des zwischen den Elektroden (7a, 7b) erzeugten elektrischen Felds schneidet.
2. Gaslaseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Magnetfelderzeugungseinrichtung mindestens ein Paar Permanentmagnete (10a, 10b, 11a, 11b) aufweist.
3. Gaslaseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Magnetfelderzeugungseinrichtung mindestens zwei durch einen elektrischen Strom er­ regbare Spulen (16a, 16b, 32) aufweist.
4. Gaslaseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Magnetfelderzeugungseinrichtung mindestens zwei auf beiden Seiten der Elektroden (7a bzw. 7b) angeordnete Permanentmagnete (10a, 10b, 11a, 11b) aufweist.
5. Gaslaseroszillator nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Magnetfelderzeugungseinrichtung mindestens zwei Magnetflußerzeugungselemente (25a, 25b) aufweist, die einander gegenüberstehend in einer Richtung angeordnet sind, welche die Richtung, in welcher die Elektroden (7a, 7b) einander gegen­ überstehen, schneidet.
6. Gaslaseroszillator, umfassend einen Behälter (1) zur Aufnahme eines Lasermediums und eine Elektrodenein­ richtung zum Aufstellen oder Erzeugen eines elektri­ schen Felds in einem mit dem Lasermedium gefüllten vorbestimmten Raum (4a) im Behälter (1) bei Anlegung einer Hochfrequenzspannung an die Elektrodeneinrich­ tung, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenein­ richtung mindestens zwei am Behälter (1) unter Zwi­ schenfügung des vorbestimmten Raums (4a) einander gegenüberstehende Permanentmagnete (18a, 18b) auf­ weist, wobei die Permanentmagnete (18a, 18b) bei An­ legung der Hochfrequenzspannung an sie ein eine Richtung des elektrischen Felds schneidendes elek­ tromagnetisches Feld erzeugen.
7. Gaslaseroszillator nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß jeder Permanentmagnet (18a, 18b) eine Oberfläche aufweist, auf der eine elektrisch leiten­ de Schicht (19) aus einem nichtmagnetischen Leiter­ material geformt ist.
8. Gaslaseroszillator, umfassend einen im wesentlichen zylindrischen, zur Aufnahme eines Lasermediums die­ nenden Behälter (29), der aus einem eine Hochfre­ quenzspannung leitenden Material geformt ist, und eine Elektrode (30), die am Behälter (29) so ange­ ordnet ist, daß sie von einer Innenumfangsfläche des Behälters (29) entfernt und eine Hochfrequenzspan­ nung über die Elektrode (30) und den Behälter (29) anlegbar ist, gekennzeichnet durch eine um einen Außenumfang des Behälters (29) herum angeordnete, im wesentlichen zylindrische Spule (34), die mit dem Behälter (29) einen Doppelzylinder bildet und die durch einen elektrischen Strom erregbar ist.
DE4224023A 1991-07-29 1992-07-21 Gaslaseroszillator Ceased DE4224023A1 (de)

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