DE4213486A1 - Festkoerperrelais in einzelnem inline-gehaeuse fuer hohe stromdichte - Google Patents
Festkoerperrelais in einzelnem inline-gehaeuse fuer hohe stromdichteInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich generell auf Festkörperrelais und
insbesondere auf kleine Festkörperrelais mit einer Leistung
unterhalb von 1200 W und mit Schaltfähigkeit zwischen
Gleichstrom und Wechselstrom. Das Relais soll in einem
einzelnen Inline-Package (SIP) oder -Gehäuse konstruiert
sein.
Als elektromechanische Vorrichtungen haben Relais eine
bedeutsame Rolle bei der Steuerung großer Spannungen und
Ströme mit relativ niedrigen Steuerleistungen gespielt, die
an die Spulen des Relais angelegt werden. Relais haben auch
dazu gedient, den steuernden Kreis von dem gesteuerten Kreis
galvanisch zu trennen.
Fortschritte in der Halbleitertechnik haben den Ersatz von
elektromagnetischen Relais durch Festkörperrelais ermöglicht.
Eine praktische Beschränkung hinsichtlich der Leistung, die
ein Festkörperrelais schalten kann, ist die Fähigkeit der
Wärmeabgabe der tatsächlich schaltenden Vorrichtung und ihres
Gehäuses. Sowohl gesteuerte Siliciumgleichrichter (SCRs) als
auch Triacs werden in Festkörperrelais verwendet, und die
Last, die an ein Festkörperrelais angelegt werden kann, ist
eine Funktion der Nennleistung der SCR/Triac-Vorrichtung und
des Wärmewiderstandes der Verbindung der Vorrichtung mit der
Umgebungsluft (bei Luftkühlung).
In der US-PS 41 72 272 (Schneider) vom 23. Oktober 1979 wird
ein Gehäuse eines Festkörperrelais mit einem U-förmigen
Metallrahmen beschrieben. Das offene Ende des Rahmens erhält
eine Schaltungsplatte, die die meisten Relaiskomponenten
enthält und an Ort und Stelle mit festem
Kunststoffisolierungsmaterial "eingetopft" ist. In dem Patent
wird festgestellt, daß das Gehäuse die Stromnennleistung
einer gegebenen Relaisschaltung verdoppelt, weil der
Metallrahmen bei der Wärmeabfuhr so wirksam sei. Eine Triac-
Anordnung (31 in Fig. 9) ist auf dem inneren Boden des
Metallrahmens durch Kitt oder Lot angebracht. Die Anwendung
eines Triac in dieser Weise beschränkt die Art der Lasten
schwerwiegend, die an das Relais angelegt werden können, da
eine adäquate dv/dt-Änderung in der Steuerspannung aufrecht
erhalten werden muß. Induktive Lasten, wie sie bei Motoren
angetroffen werden, sind entweder nur beschränkt oder
überhaupt nicht erlaubt. Die einzelne Triac-Vorrichtung als
Schaltungspunkt tendiert zur Konzentration der Wärme, welche
das Relais abführen muß, und die Wirksamkeit, mit der die
Wärme von der Verbindung des Triacs zum Metallrahmen und dann
auf die Luft übertragen wird, beschränkt die
Gesamtnennleistung des Relais.
US-PS 37 23 769 (Collins) vom 27. März 1973 beschreibt eine
optisch isolierte Signalschaltung für ein Festkörperrelais.
Das Relais weist außerdem eine Schaltung beim Nulldurchgang
mit einer Vollgleichrichterbrücke auf, um Radiostörungen, die
sonst erzeugt werden können, zu verringern. Eine
Wechselstromlast wird durch zwei Thyristoren gesteuert, die
antiparallel geschaltet sind, so daß jeder Thyristor jeweils
einen entgegengesetzten Halbzyklus behandelt. Der Ersatz der
Thyristoren durch ein Triac wird vorgeschlagen, jedoch wird
die Wärmeabfuhr nicht behandelt, die bei jeder dieser
Vorrichtungen erzeugt wird, während das zuvor erwähnte Patent
von Schneider sich im wesentlichen nur mit der Wärmeabfuhr
beschäftigt.
In Kopiermaschinen und Druckern werden Halogenlampen mit
hoher Intensität benutzt, die schnell ein- und ausgeschaltet
werden müssen. Der Einschaltstrom dieser Lampen kann
stoßförmig sein und hohe Werte erreichen und die Fähigkeiten
von Festkörperrelais übersteigen, die auf Triacs beruhen.
Halogenlampen weisen einen wesentlich höheren
Einschaltstoßstrom als normale Glühlampen auf. Für eine
gegebene Fläche wird ein Festkörperrelais nach dem Stand der
Technik, die ein Triac mit der Fähigkeit für einen Stromstoß
von 80 A aufweist, unzuverlässig, weil der maximale Überstrom
überschritten wird. Bei der vorliegenden Erfindung kann die
Fähigkeit der Handhabung von maximalem Überstrom in einer
Vorrichtung gesteigert werden, welche die gleiche Fläche
aufweist, und zwar auf 250 A (unter Verwendung von 180 Mil2
Chips) und auf 500 A (unter Verwendung von 240 Mil2 Chips).
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
Festkörperrelais mit verbesserten Lastfähigkeiten für eine
gegebene Packungs- oder Gehäusegröße zu schaffen.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist ein
Festkörperrelais, welches aus paarweise gesteuerten Silicium-
Gleichrichtern (SCRs) oder aus npn-bipolaren Transistoren
besteht, mit der Trägerschaltung direkt auf ein
Aluminiumoxidsubstrat mit Kupfermetallisierung und
Wärmeverteiler aufgebracht und in ein thermisch leitendes
Epoxiharz eingetaucht.
Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, daß die
Stoßbelastungsfähigkeit des Festkörperrelais verbessert wird.
Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß höhere Ströme von dem
Festkörperrelais ausgehalten werden können. Ferner werden
Einschränkungen hinsichtlich Belastungen, die für Triacs
kennzeichnend sind, vermieden. Ein weiterer Vorteil der
Erfindung besteht darin, daß die Zuverlässigkeit der
Festkörperrelaisvorrichtung für eine gegebene Packungsgröße
und Belastung verbessert wird.
Diese und andere Ziele und Vorteile der Erfindung werden für
den Fachkundigen nach dem Lesen der nachfolgenden
Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen, die in
zahlreichen Figuren dargestellt sind, besser ersichtlich.
Dabei zeigt:
Fig. 1 ein schematisches Diagramm einer ersten
Ausführungsform eines Festkörperrelais für
Wechselstrom;
Fig. 2A und 2B sind eine Ansicht von vorn bzw. von hinten
auf das Relais nach Fig. 1 und zeigen das
Aluminiumoxidsubstrat, die SCR-Chips, den
Wärmeverteiler, die Eingangs/Ausgangsstifte und
Dickfilmkomponenten;
Fig. 3 zeigt die Schaltung einer zweiten Ausführungsform
eines Festkörperrelais für Gleichstrom;
Fig. 4A und 4B sind jeweils Ansichten von vorne und hinten
auf das Relais nach Fig. 3 und zeigen das
Aluminiumoxidsubstrat, den npn-Transistor, den
Wärmeverteiler, die Eingangs/Ausgangsstifte sowie
Dickfilmkomponenten;
Fig. 5 zeigt eine typische Lastdrosselungskurve für das
Festkörperrelais nach Fig. 1 und
Fig. 6A, 6B und 6C zeigen Ansichten von vorne, unten bzw. der
Seite eines typischen SIP-Gehäuses, welches für das
Festkörperrelais nach Fig. 1 geeignet ist.
Fig. 1, 2A und 2B stellen ein Wechselstrom-Festkörperrelais
(SIP) 10 dar, welches ein keramisches Aluminiumoxidsubstrat
11, Eingangs-/Ausgangsstifte 12, 14, 16, 18 sowie einen
Wärmeverteiler 20 aufweist. Der Wärmeverteiler 20 besteht
vorzugsweise aus einer Kupfermetallisierung, welche ungefähr
0,05 mm dick ist und auf das Substrat 11 aufgebracht ist,
ebenso wie die Leitungsbahnen auf der entgegengesetzten Seite
des Substrats 11, welche die verschiedenen Komponenten
miteinander verbinden, welche die Schaltung des
Festkörperrelais bilden. Der Dickfilmwiderstand R1 beträgt
470 R, die Widerstände R2 und R3 47 Ω, die Widerstände R4 und
R5 150 Ω und der Widerstand R6 820 Ω. Die Dickfilmwiderstände
können durch diskrete leiterlose Versionen ersetzt sein. PC1
ist die Type IL420 von Siemens oder eine äquivalente
integrierte Schaltung für Nicht-Nulldurchgangs-Anwendungen,
und ein Toshiba TLP3063 oder ein Äquivalent bei alternativen
Ausführungsformen mit Nulldurchgang. Die gesteuerten
Siliciumgleichrichter SCR1 und SCR2 sind auf Würfel
geschnitten mit einer Kantenlänge von 4,57 oder 6,35 mm und
sind auf der Vorderseite des Substrats 11 mit
Metallisierungsanschlußfeldern leitend verkittet oder
verlötet, so daß die Wärme von SCR1 und SCR2 in das Substrat
11 gezogen und über den Wärmeverteiler 20 abgegeben wird. Die
Ausgangsleistungschips werden zum mechanischen Schutz von
einem der gewöhnlich verwendeten Materialien bedeckt,
beispielsweise Silgan J-500 oder einem Äquivalent hierzu, das
Festkörperrelais 10 wird daraufhin vorzugsweise in ein
thermisch leitendes Epoxiharz getaucht, um das Substrat und
alle darauf befestigten Bauteile vollständig abzudichten,
wobei die oberen Enden der Eingangs/Ausgangsstifte 12, 14,
16, 18 bedeckt sein können. Ein geeignetes Epoxiharz kann von
der Hyson Corporation bezogen werden. Der Epoxiüberzug (der
wegen der Klarheit obiger Beschreibung nicht gezeigt ist)
schützt die Bauteile der Relaisanordnung 10 gegenüber
Feuchtigkeit und Abrieb und sorgt für elektrische Isolierung.
Der Mantel vergrößert auch in der Idee die mechanische
Festigkeit der Anordnung und ist bei der gleichmäßigen
Verteilung der von SCR1 und SCR2 erzeugten Wärme um den
Umfang der Relaisanordnung 10 behilflich. In einer
beispielhaften Ausführungsform besteht das Substrat 11 aus
96% Aluminiumoxid von 0,6 mm Dicke, 21,59 mm Breite und
40,8 mm Länge. Eine dielektrische Glasschicht unter
Verwendung von Überglasierungstinte # 8509 (EMCA) oder einem
Äquivalent kann angewendet werden. Die
Eingangs/Ausgangsstifte 12, 14, 16, 18 stehen 9 mm vor und
sind 5 bis 12 mm voneinander entfernt. Die nachfolgenden
Tabellen 1 und 2 listen Beispiele von Eingangs- und
Ausgangsspezifikationen der Festkörperrelaisanordnung 10 in
der alternativen Ausführungsform mit Nicht-Nulldurchgang auf.
Fig. 3, 4A und 4B stellen eine Gleichstromfestkörperrelais
(SIP)-Anordnung 110 mit einem keramischen
Aluminiumoxidsubstrat 111, mit Eingangs/Ausgangsstiften 112,
114, 116, 118 und mit einem Wärmeverteiler 120 dar. Der
Wärmeverteiler 120 besteht vorzugsweise aus einer
Kupfermetallisierung, die ungefähr 10 mm dick ist und auf das
Substrat abgeschieden ist, wie auch die Leiterbahnen auf der
entgegengesetzten Seite des Substrats 111, welche die
verschiedenen Bauteile miteinander verbinden, welche die
Festkörperrelaisschaltung bilden. Der Dickfilmwiderstand R1
beträgt 10 kΩ, die Widerstände R2 und R3 730 Ω, der
Widerstand R4 62 kΩ, der Widerstand R5 22 kΩm, der Widerstand
R6 1 kΩ und der Widerstand R7 680 kΩ. Die Dickfilmwiderstände
können durch diskrete leiterlose Versionen ersetzt werden.
PC1 ist ein Optokoppler. Der Transistor Q1 ist ein npn-
Transistor in einem standardmäßigen industriellen
Halbleitergehäuse, das gewöhnlich als "SOT23" bezeichnet
wird. Der Transistor Q2 ist ein pnp-Transistor in einem
standardmäßigen industriellen Gehäuse "SOT89", und Q3 ist ein
npn-Leistungstransistor in einem standardmäßigen
industriellen Gehäuse "D-Pack" und ist auf
Metallisierungsfeldern auf der Vorderseite des Substrats
gekittet oder gelötet, so daß die Wärme aus Q3 in das
Substrat 11 gezogen und über den Wärmeverteiler 120 abgegeben
wird. Q3 kann in Chipform vorliegen. Vorzugsweise wird das
Festkörperrelais 110 in ein thermisch leitendes Epoxiharz
getaucht, um das Substrat 11 und alle darauf befestigten
Bauteile vollständig abzudichten; auch die oberen Enden der
Eingangs/Ausgangsstifte 112, 114, 116, 118 können bedeckt
sein. Der Epoxiüberzug (der wegen der Klarheit obiger
Beschreibung nicht dargestellt ist) schützt die Komponenten
der Relaisanordnung 110 gegenüber Feuchtigkeit und Abrieb und
sorgt für elektrische Isolation. Der Überzug vergrößert in
idealer Weise auch die mechanische Festigkeit der Anordnung
und unterstützt die Ausbreitung der hauptsächlich vom
Transistor Q3 erzeugten Wärme gleichmäßig um die
Relaisanordnung 110 herum. In einer beispielhaften
Ausführungsform besteht das Substrat 111 aus 96%igem
Aluminiumoxid von 0,635 mm Dicke, 21,59 mm Breite und 40,8 mm
Länge. Eine dielektrische Glasschicht unter Verwendung von
Überglasierungstinte vom Typ # 8509 (EMCA) oder ein
Äquivalent hierzu kann angewendet werden. Die
Eingangs/Ausgangsstifte 112, 114, 116, 118 stehen 9,1 mm vor
und haben einen Abstand von 5 bis 12,4 mm voneinander.
Fig. 5 ist eine Lastdrosselkurve für die oben beschriebene
Festkörperrelaisanordnung 10. Es wird geschätzt, daß die
obigen Festkörperrelais einen Wärmewiderstand von 10°C pro
Watt aufweisen. Wenn die Umgebungstemperatur über 30°C
steigt, ist die Anordnung 10 weniger in der Lage, die Wärme
abzuhalten, und die Temperaturen der Halbleiterübergänge der
Bauteile SCR1 und SCR2 steigen auf unzulässige Werte an, wenn
der maximale Strom nicht begrenzt wird. Bei einer
Umgebungstemperatur von beispielsweise 60°C ist das Maximum
des Laststroms gerade oberhalb 2 A. Eine ähnliche
Lastdrosselkurve zu Fig. 5 ist für das Festkörperrelais 110
anwendbar.
Fig. 6a, 6b und 6c zeigen eine Art und Weise, wie der
thermisch leitende Epoxiüberzug gebildet werden kann, um die
Festkörperrelaisanordnung 10 zu ummanteln. Das Epoxiharz
bildet einen Block mit Kantenlängen von 25,4 mm, 43 mm und
12,7 mm. Eine Gießform kann für diesen Zweck verwendet
werden, wobei die Anordnung 10 in der Gießform plaziert wird,
geschmolzenes Epoxiharz eingegossen wird und dann das
Epoxiharz nach den Instruktionen des Herstellers aushärten
gelassen wird. Gewisse Anwendungen des Relais hängen davon
ab, daß das Festkörperrelais eine Abmessung minimaler Dicke
aufweist. Anstelle der rechteckförmigen Gestaltung nach Fig.
6a bis 6c kann es vorteilhaft sein, das Substrat des
Festkörperrelais und die Komponenten mit einer dünnen
Epoxischicht zu überziehen, die eine hautähnliche Membran
bildet.
Ein hauptsächlicher Vorteil für die Anwendung von Kupfer für
die Metallisation der Substrate 11 und 111 ist für Substrate
auf der Basis von Aluminiumoxid beobachtet worden. Durch die
Anwendung spezieller Erhitzungstechniken und
Temperaturprofile, die an sich von der keramischen
Metallisierung bekannt sind, kann Kupfer dazu gebracht
werden, sich molekular mit dem Aluminiumoxid zu verbinden.
Wenn ein solches, mit Kupfer metallisiertes
Aluminiumoxidsubstrat bei den zuvor beschriebenen
Festkörperrelais verwendet wird, wird die Lebensdauer und
Zuverlässigkeit des Festkörperrelais im wesentlichen
verbessert. Als Minimum wird jegliches Abschälen der
Kupfermetallisierungsschicht über die Zeit und nach dem
Betrieb bei nahezu maximalen Betriebstemperaturen und Strömen
vermindert oder vermieden.
Claims (9)
1. Festkörperrelais für Wechselstrom mit folgenden
Merkmalen:
ein erster und ein zweiter gesteuerter Siliciumgleichrichter (SCR1, SCR2);
ein flaches keramisches Substrat (11) mit einer ersten und einer zweiten Oberfläche, an welchen der erste und der zweite gesteuerte Gleichrichter (SCR1, SCR2) befestigt sind;
mindestens eine metallische Abscheidung auf entweder einer oder beiden Oberflächen des Substrats (11), welche in der Lage ist, Wärme von den gesteuerten Gleichrichtern über im wesentlichen die gesamte Fläche des Substrats zu verteilen; und
ein thermisch leitender Überzug, welcher das Substrat (11) und beide gesteuerte Gleichrichter (SCR1, SCR2) im wesentlichen einkapselt.
ein erster und ein zweiter gesteuerter Siliciumgleichrichter (SCR1, SCR2);
ein flaches keramisches Substrat (11) mit einer ersten und einer zweiten Oberfläche, an welchen der erste und der zweite gesteuerte Gleichrichter (SCR1, SCR2) befestigt sind;
mindestens eine metallische Abscheidung auf entweder einer oder beiden Oberflächen des Substrats (11), welche in der Lage ist, Wärme von den gesteuerten Gleichrichtern über im wesentlichen die gesamte Fläche des Substrats zu verteilen; und
ein thermisch leitender Überzug, welcher das Substrat (11) und beide gesteuerte Gleichrichter (SCR1, SCR2) im wesentlichen einkapselt.
2. Relais nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß eine Mehrzahl von
Eingangs/Ausgangsstiften (12, 14, 16, 18) direkt an dem
Substrat (11) mechanisch befestigt und elektrisch mit
einer Schaltung (10) auf dem Substrat (11) verbunden
ist, so daß Steuersignale und Leistungsschaltungen in
und aus dem Relais kommuniziert werden.
3. Festkörperrelais für Gleichstrom mit folgenden
Merkmalen:
ein npn-Leistungstransistor (Q3);
ein flaches, keramisches Substrat (111) mit einer ersten und zweiten Oberfläche, wobei an der einer ersten Oberfläche der npn-Leistungstransistor (Q3) angebracht ist;
eine Metallabscheidung auf der zweiten Oberfläche des Substrats (11), die in der Lage ist, Wärme von dem npn- Leistungstransistor (Q3) über im wesentlichen die gesamte Fläche des Substrats zu verteilen; und
ein thermisch leitender Überzug, der im wesentlichen das Substrat (111) und den npn-Leistungstransistor (Q3) einkapselt, so daß die Ausbreitung und Verteilung der Wärme vom npn-Leistungstransistor vergrößert wird und dem Substrat und dem npn-Leistungstransistor ein mechanischer Schutz zuteil wird.
ein npn-Leistungstransistor (Q3);
ein flaches, keramisches Substrat (111) mit einer ersten und zweiten Oberfläche, wobei an der einer ersten Oberfläche der npn-Leistungstransistor (Q3) angebracht ist;
eine Metallabscheidung auf der zweiten Oberfläche des Substrats (11), die in der Lage ist, Wärme von dem npn- Leistungstransistor (Q3) über im wesentlichen die gesamte Fläche des Substrats zu verteilen; und
ein thermisch leitender Überzug, der im wesentlichen das Substrat (111) und den npn-Leistungstransistor (Q3) einkapselt, so daß die Ausbreitung und Verteilung der Wärme vom npn-Leistungstransistor vergrößert wird und dem Substrat und dem npn-Leistungstransistor ein mechanischer Schutz zuteil wird.
4. Eine einzelne Inline-Umhüllung (SIP)
mit folgenden Merkmalen:
eine Festkörperrelaisschaltung (10, 110);
ein flaches, keramisches Substrat (11, 111) mit der darauf angebrachten Festkörperrelaisschaltung;
eine Wärmeverteilereinrichtung zur Verteilung der von der Festkörperrelaisschaltung erzeugten Wärme auf die Gesamtheit des flachen keramischen Substrats;
eine Mehrzahl von Eingangs/Ausgangsstiften (12, 14, 16, 18, 112, 114, 116, 118), die unmittelbar an eine Kante des flachen keramischen Substrats mechanisch befestigt sind und elektrisch mit der Festkörperrelaisschaltung in Verbindung stehen, so daß Steuersignale und Leistungsschaltungen in und aus dem SIP kommunizieren; und
ein thermisch leitender Überzug, der im wesentlichen das Substrat einkapselt.
eine Festkörperrelaisschaltung (10, 110);
ein flaches, keramisches Substrat (11, 111) mit der darauf angebrachten Festkörperrelaisschaltung;
eine Wärmeverteilereinrichtung zur Verteilung der von der Festkörperrelaisschaltung erzeugten Wärme auf die Gesamtheit des flachen keramischen Substrats;
eine Mehrzahl von Eingangs/Ausgangsstiften (12, 14, 16, 18, 112, 114, 116, 118), die unmittelbar an eine Kante des flachen keramischen Substrats mechanisch befestigt sind und elektrisch mit der Festkörperrelaisschaltung in Verbindung stehen, so daß Steuersignale und Leistungsschaltungen in und aus dem SIP kommunizieren; und
ein thermisch leitender Überzug, der im wesentlichen das Substrat einkapselt.
5. Umhüllung (SIP) nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Wärmeverteilereinrichtung eine Kupferplatierung umfaßt, die sich im wesentlichen über eine erste Oberfläche des flachen keramischen Substrats erstreckt, und zwar entgegengesetzt zu einer zweiten Oberfläche des flachen keramischen Substrats,
daß die Festkörperrelaisschaltung auf dieser zweiten Oberfläche angeordnet ist, so daß der thermische Weg von der Wärmeverteilereinrichtung zu jeglichen wärmeproduzierenden Bauteilen der Festkörperrelaisschaltung relativ kurz ist, und daß der thermisch leitende Überzug in solcher Weise abgeschieden wird, daß er die Wirkung der Wärmeverteilung der Wärmeverteilereinrichtung fördert.
daß die Wärmeverteilereinrichtung eine Kupferplatierung umfaßt, die sich im wesentlichen über eine erste Oberfläche des flachen keramischen Substrats erstreckt, und zwar entgegengesetzt zu einer zweiten Oberfläche des flachen keramischen Substrats,
daß die Festkörperrelaisschaltung auf dieser zweiten Oberfläche angeordnet ist, so daß der thermische Weg von der Wärmeverteilereinrichtung zu jeglichen wärmeproduzierenden Bauteilen der Festkörperrelaisschaltung relativ kurz ist, und daß der thermisch leitende Überzug in solcher Weise abgeschieden wird, daß er die Wirkung der Wärmeverteilung der Wärmeverteilereinrichtung fördert.
6. Umhüllung (SIP) nach Anspruch 4 oder 5, dadurch
gekennzeichnet,
daß das flache keramische Substrat Aluminiumoxid
aufweist.
7. Verfahren zur Vergrößerung der
Stromhandhabungsfähigkeit eines gegebenen
Festkörperrelais mit folgenden Schritten:
Aufteilung einer Wechselstromlast in einen ersten Gleichstromzweig und einen zweiten Gleichstromzweig, wobei die Richtung des Gleichstroms im ersten Zweig entgegengesetzt zu der im zweiten Zweig ist,
Steuern des ersten Gleichstromzweiges mit einer ersten Halbleitervorrichtung (SCR1);
Steuern des zweiten Gleichstromzweiges mit einer zweiten Halbleitervorrichtung (SCR2);
Erhitzen eines flachen keramischen Substrats mit einer Metallisierungsschicht, derart, daß eine molekulare Verbindung (Anheftung) zwischen dem Material des keramischen Substrats und dem Metall gebildet wird;
Montieren der ersten und zweiten Halbleitervorrichtung auf das ebene keramische Substrat mit der metallischen Wärmeverteilereinrichtung; und
Einkapseln des ebenen keramischen Substrats und der ersten und zweiten Halbleitervorrichtung mit einem thermisch leitenden Epoxiharz.
Aufteilung einer Wechselstromlast in einen ersten Gleichstromzweig und einen zweiten Gleichstromzweig, wobei die Richtung des Gleichstroms im ersten Zweig entgegengesetzt zu der im zweiten Zweig ist,
Steuern des ersten Gleichstromzweiges mit einer ersten Halbleitervorrichtung (SCR1);
Steuern des zweiten Gleichstromzweiges mit einer zweiten Halbleitervorrichtung (SCR2);
Erhitzen eines flachen keramischen Substrats mit einer Metallisierungsschicht, derart, daß eine molekulare Verbindung (Anheftung) zwischen dem Material des keramischen Substrats und dem Metall gebildet wird;
Montieren der ersten und zweiten Halbleitervorrichtung auf das ebene keramische Substrat mit der metallischen Wärmeverteilereinrichtung; und
Einkapseln des ebenen keramischen Substrats und der ersten und zweiten Halbleitervorrichtung mit einem thermisch leitenden Epoxiharz.
8. Verfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die Erhitzung der
Metallschicht das Aufbringen von Kupfer auf keramisches
Aluminiumoxidsubstrat umfaßt.
9. Verfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die Erhitzung der
Metallisierungsschicht die Aufbringung von
Palladiumsilber umfaßt.
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