DE4210397C2 - Anordnung zur Bestimmung eines Gaspartialdruckes eines Bestimmungsgases in einem Gasgemisch - Google Patents
Anordnung zur Bestimmung eines Gaspartialdruckes eines Bestimmungsgases in einem GasgemischInfo
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Description
Die steigenden Umweltbelastungen (z. B. Treibhauseffekt)
durch Verbrennungsprodukte (z. B. CO, CO₂, CHx oder NOx)
haben in den letzten Jahren zu einer immer stärker wer
denden Forderung nach einer Reduzierung der Schadstoff
emissionen bei Verbrennungsprozessen aller Art geführt.
Aus der Notwendigkeit heraus, die Verbrennungsprozesse zu
optimieren, erwächst die Forderung nach Sensoren, die die
Verbrennungsprodukte dieser Prozesse mit hinreichender
Schnelligkeit und Genauigkeit detektieren können. Im beson
deren Maße besteht die Notwendigkeit, Sauerstoffpartial
drücke in Gasgemischen zu detektieren, um so bei Verbren
nungsprozessen stöchiometrische Gemische einstellen oder
Einhalten zu können. Besonders schadstoffintensive, häufige
Verbrennungsprozesse treten beim Betrieb von Verbrennungs
motoren auf. In Kraftfahrzeugen z. B. werden zur Detektion
von Sauerstoffpartialdrücken Ytrium-stabilisierte Zirkon
oxid ZrO₂ Sensoren verwendet. Diese benötigen für ihren
Betrieb ein Sauerstoff-Referenzvolumen, welches die
Miniaturisierung der Sonden begrenzt (1).
Im Unterschied zu diesen potentiometrischen Sonden können
auch resistive Sauerstoffsensoren eingesetzt werden. Bei
diesen Sonden ändert sich die Leitfähigkeit des sensiti
ven Materials entsprechend dem Sauerstoffpartialdruck der
Umgebung des Sensors (2). Bei genügend hohen Temperaturen
stellt sich ein Gleichgewicht zwischen den im Metalloxid
gitter, das für die Sensoren Verwendung findet, vorhande
nen Sauerstoffleerstellen und den Gasmolekülen der Umgebung
ein. Wird z. B. das Angebot von Sauerstoffmolekülen an der
Oberfläche des sensitiven Materials verringert, so diffun
dieren Sauerstoffionen aus dem Metalloxidgitter an die
Oberfläche, verbinden sich zu Sauerstoffmolekülen und ver
lassen schließlich das Gitter.
Dieser Vorgang dauert so lange, bis sich ein chemisches
Gleichgewicht zwischen den Konzentrationen der Sauerstoff
ionen im Gitter und den Sauerstoffmolekülen der Umgebung
einstellt. Beim Verlassen der Gitterplätze bleiben Gitter
elektronen zurück, die zu einem Anstieg der Elektronenlei
tung führen. Bei einem Anwachsen der Konzentration von Sau
erstoffmolekülen in der Sensorumgebung nimmt das sensitive
Material Sauerstoffionen auf. In diesem Fall verringert
sich die zur elektrischen Leitfähigkeit beitragende Anzahl
von Elektronen. Da die geschilderten Vorgänge reversibel
sind, kann jedem Sauerstoffpartialdruck der Sensorumgebung
eine bestimmte Leitfähigkeit des sensitiven Materials zu
geordnet werden (3). Resistive Sauersensoren benötigen im
Gegensatz zu potentiometrischen Sauerstoffsensoren keine
Referenzatmosphäre. Es steht einer Miniaturisierung dieser
Sensoren also nichts im Wege (4). Bisher werden vor allem
Titanoxid TiO₂ und Zinnoxid SnO₂ als Sensormaterialien für
resistive Sauerstoffsensoren verwendet (5, 6). Beide Mate
rialien weisen aber eine Reihe von Nachteilen auf, die
den gewünschten Einsatz im Abgastrakt eines Kraftfahrzeu
ges nicht erlauben. So sind Sensoren aus SnO₂ nur bis Tempe
raturen von maximal 500°C sinnvoll einsetzbar und besitzen
in diesem Temperaturbereich zusätzlich in erhöhtem Maße
Querempfindlichkeiten gegenüber CO, HC und H₂ · TiO₂ Senso
ren sind für den gewünschten Anwendungsfall ebenfalls nicht
geeignet, da dieses Material nur bis maximal 950°C einsetzbar
ist.
Aus der deutschen Offenlegungsschrift DE 33 05 706 A1
ist eine Sauerstoffempfindliche Spüreinrichtung für das
Luft-/Treibstoffverhältnis zur Verwendung im Abgas eines
Verbrennungsmotors bekannt, welche folgende Merkmale aufweist.
Es ist vorgesehen:
- - ein Körper aus dem halbleitfähigen Oxid eines Über gangsmetalls,
- - ein erstes Paar von Elektroden, welche am Übergangsmetall oxidkörper angebracht sind, um den Widerstand des Über gangsmetalloxids zu messen, welches zwischen diesen vor liegt, und
- - eine Kombination aus einer mikroporösen Schicht aus einem sauerstoffionenleitfähigen Feststoffelektrolyten und einem zweiten Paar Elektroden, welche an der Fest stoffelektrolytschicht angebracht sind, um einen Gleich strom zu veranlassen, in der Feststoffelektrolytschicht von einer ausgewählten Elektrode des zweiten Elektroden paares zur anderen zu fließen, wobei der kombinierte Aufbau derart angeordnet ist, daß das Abgas in Berührung mit dem Übergangsmetalloxidkörper stets durch Diffusion durch die poröse Feststoffelektrolytschicht hindurch gelangt, und daß die Wanderung der Sauerstoffionen in der Feststoffelek trolytschicht, welche durch den Fluß des Stromes verursacht wird, im wesentlichen in derselben Richtung wie in Richtung der Diffusion des Abgases zum Übergangsmetalloxidkörper hin oder im wesentlichen in der Rückwärtsrichtung stattfindet, in Abhängigkeit von der Flußrichtung des Stromes.
Zusätzlich ist dort vorgesehen, einen Thermistor mit dem
ersten Elektrodenpaar elektronisch in Reihe zu schalten.
Die dieser Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin,
eine schnelle und exakte temperaturunabhängig arbeitende Anord
nung anzugeben, mit der Partialdrücke von Gasen in Gasgemischen
bestimmt werden können und bei der keinerlei Bestandteile
aus funktionalen Gründen vom Gas abgeschirmt sein müssen.
Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs
1 gelöst.
Alle übrigen Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich
aus den Unteransprüchen.
Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung be
steht darin, daß für den Temperatursensor ein Material
Verwendung findet, welches keine Abhängigkeit vom Sauer
stoffpartialdruck der Umgebung aufweist. So läßt sich
direkt aus der Differenz der von den beiden Sensoren, dem
Gassensor und dem Temperatursensor abgeleiteten Signale
ein Signal ermitteln, das für die Bestimmung des Sauer
stoffpartialdrucks im Umgebungsgas geeignet ist.
Besonders günstig ist die erfindungsgemäße Anordnung zur
Bestimmung von Sauerstoffpartialdrücken. Es gibt viele
Metalloxide, die Sauerstoff interstitiell gelöst enthalten
und somit als Sensormaterial in Frage kommen.
Besonders geeignet für den Einsatz als Sensormaterialien
in der erfindungsgemäßen Anordnung sind SrTiO₃, TiO₂, oder
CeO₂, da sie aufgrund ihrer Materialeigenschaften ein beson
ders günstiges Detektionsverhalten für Sauerstoffpartial
drücke aufweisen.
Besonders günstig für den Einsatz als Temperatursensor in
der erfindungsgemäßen Anordnung hat sich ein Sensor aus
SrZrO₃ erwiesen, da er in seinem Temperaturverhalten gleich
ist dem des Gassensors aus SrTiO₃.
Besonders vorteilhaft ist in der erfindungsgemäßen
Anordnung der Einsatz eines Gassensors aus SrTiO₃ und
eines Temperatursensors aus SrZrO₃, da hiermit bei der
Detektion von Sauerstoffpartialdrücken möglichst geringe
Fehler erzielt werden.
Besonders vorteilhaft bei der erfindungsgemäßen Anordnung
ist es, den Gassensor und den Temperatursensor auf einem
Substrat aufzubringen, um die Abmessungen der Anordnung zu
verkleinern.
Günstig ist auch der Einsatz von Sputterverfahren zur
Aufbringung der Sensorgeometrie auf ein Substrat, da damit
das Meßverhalten des Gas- und Temperatursensors genau ein
gestellt werden kann.
Vorteilhaft ist auch die Anwendung des Siebdruckverfahrens
zur Aufbringung der Sensorgeometrie auf das Substrat, da
es für die Massenproduktion geeignet ist.
Besonders günstig ist die erfindungsgemäße Anordnung für
die Verwendung in einem Verfahren zur Überwachung der
Atemfunktion von Lebewesen, da die Ansprechzeiten der
Sensoren kurz sind und sie mit hoher Genauigkeit arbeiten.
Im folgenden wird die erfindungsgemäße Anordnung durch
Figuren weiter erläutert.
Fig. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Anordnung.
Fig. 2 zeigt ein Beispiel eines Sensoraufbaues der erfin
dungsgemäßen Anordnung.
In Fig. 3 ist die Leitfähigkeit der Sensoren in Abhängig
keit des Sauerstoffpartialdrucks bei
unterschiedlichen Temperaturen dargestellt.
In Fig. 1 ist ein Beispiel der erfindungsgemäßen Anord
nung dargestellt. Sie zeigt ein Gasgemisch U, einen ersten
Gassensor G und einen Temperatursensor T. Der erste Gas
sensor G weist Anschlüsse E3 und E4 auf. Der Temperatursen
sor T weist Anschlüsse E1 und E2 auf. Am ersten Gassensor
kann ein Signal S1 gemessen werden und am zweiten Temperatur
sensor T wird in Abhängigkeit der Temperatur ein Signal S2
gemessen.
Über elektrisch leitende Verbindungsleitungen K1 bis K4
die gleich numeriert sind wie die Anschlüsse E, mit denen
sie verbunden sind, sind der erste Gassensor G und der zweite
Temperatursensor T mit einer nachgeschalteten Verarbeitungs
einheit V verbunden. In der nachgeschalteten Verarbeitungs
einheit V befinden sich eine Konstantstromquelle I1, die
beispielsweise einen Strom von 100 Mikroampere liefert.
Diese Konstantstromquelle I1 versorgt den ersten Gassensor
G mit einem Konstantstrom. Bei einer Widerstandsänderung
des ersten Gassensors findet an ihm ein Spannungsabfall
statt. Eine zweite Konstantstromquelle I2 innerhalb der
Verarbeitungseinheit V, ist mit dem zweiten Temperatur
sensor T verbunden, der ein nur von der Temperatur abhän
giges Signal liefert. Im Falle einer Widerstandsänderung
am Temperatursensor T findet dort ein Spannungsabfall
statt. Diese beiden Spannungsabfälle werden einem Diffe
renzverstärker D zugeführt, dieser subtrahiert diese
beiden Spannungsabfälle und liefert an den Ausgängen A1
und A2 ein dem Partialdruck eines Gases innerhalb des
Gasgemisches proportionales Ausgangssignal. Hier wird der
Sauerstoffpartialdruck bestimmt. Der Differenzverstärker D
kann beispielsweise aus einem Operationsverstärker aufge
baut sein. Dieser Operationsverstärker ist beispielsweise
beschaltet wie es in U. Tietze, CH. Schenk, "Halbleiterschal
tungstechnik" (9. Auflage) unter Subtrahierer beschrieben
ist.
Die Widerstandsänderung des ersten Gassensors, bzw. die
Leitfähigkeitsänderung des ersten Gassensors unter Einfluß
von Sauerstoffpartialdruckänderungen des Gasgemisches U
läßt sich wie folgt erklären: Im Falle einer Partialdruck
zunahme des Sauerstoffes versuchen Sauerstoffmoleküle in
das Gitter, aus dem der erste Gassensor aufgebaut ist,
einzudringen. Sie spalten sich zu Ionen auf und diffundie
ren in das Gitter ein. Im Gitter binden diese Sauerstoff
ionen Elektronen an sich und das Gitter verarmt so langsam
an Elektronen. Die Leitfähigkeit nimmt ab. Das heißt der
Widerstand wird größer. Mit zunehmender Eindiffusion in
das Gitter wird ein anderer Leitungseffekt dominierend.
Die Defektelektronenleitung, d. h. Löcherleitung. Die
Leitfähigkeit des ersten Gassensors G nimmt wieder zu,
bzw. der Ohm′sche Widerstand nimmt wieder ab. Diese
beschriebenen Vorgänge sind reversibel. Falls also eine
Partialdruckabnahme im Gasgemisch U stattfindet, so
diffundieren die Sauerstoffionen wieder aus dem Gitter des
ersten Gassensors heraus und bilden Sauerstoffmoleküle.
Dabei hinterlassen sie im Gitter die Elektronen, die sie
vorher an sich gebunden hatten und die Leitfähigkeit des
Sensormaterials nimmt wieder zu, bzw. der Ohm′sche
Widerstand nimmt ab. Diese Änderungen können mit der
Verarbeitungseinheit V festgestellt werden und führen zu
einer Änderung im Ausgangssignal, daß an den Anschlüssen
A1 und A2 abgegeben wird.
Fig. 2 zeigt die erfindungsgemäße Anordnung am Beispiel
eines Sensoraufbaues. Es sind dargestellt Elektroden E1
bis E4 und ein Substrat S, ein zweiter Gassensor T und ein
erster Gassensor G. Die Gassensoren können beispielsweise
aus SrTiO₃ oder TiO₂, oder CeO₂ ausgeführt sein. Die
einzelnen Bestandteile der erfindungsgemäßen Anordnung
können beispielsweise durch Sputtern oder Siebdruck
aufgebracht sein. An den Elektro
den E1 und E2 kann analog zur Fig. 1 das Signal S2
abgegriffen werden. An den Elektroden E3 und E4 kann wie
in Fig. 1 am Gassensor G das Signal S1 gemessen werden.
Als Substrat in diesem Aufbau dient beispielsweise Al₂O₃.
Wie man besonders vorteilhaft aus Fig. 2 erkennen kann,
ist für den Temperatursensor T keine zusätzliche Abschir
mungsmaßnahme vom Gasgemisch erforderlich. Dies wird da
durch erreicht, daß der Temperatursensor nicht auf das
Gasgemisch reagiert und somit seine Leitfähigkeit nur in
Abhängigkeit der Temperatur und nicht in Abhängigkeit vom
Sauerstoffpartialdruck ändert.
In Fig. 3 ist die Leitfähigkeit und der Sauerstoffpartial
druck in Abhängigkeit der Temperatur dargestellt. Es werden
dargestellt das Leitfähigkeitsverhalten des Gassensors σG
und des Temperatursensors σT bei zwei verschiedenen
Temperaturen T1 und T2. Auf der horizontalen Achse ist der
Logarithmus des Sauerstoffpartialdrucks des Gasgemisches
aufgetragen und auf der vertikalen Achse der Logarithmus
der Leitfähigkeit σ. In diesem Fall ist T1 größer als T2
und wie man erkennen kann, steigt die Leitfähigkeit mit
zunehmender Temperatur an. Bei der Temperatur T2 weist
die Leitfähigkeit des Temperatursensors keine Abhängigkeit
vom Sauerstoffpartialdruck auf. Das sieht man daran, daß
σT(T2) über den gesamten Druckbereich konstant bleibt.
Deutlich ist erkennbar, daß der Gassensor eine Abhängig
keit vom Sauerstoffpartialdruck aufweist. Dies erkennt man
aus dem Verlauf der Geraden σG(T2). Auch bei der Tempera
tur T1 kann man erkennen, daß der Temperatursensor keine
Abhängigkeit vom Sauerstoffpartialdruck aufweist. Dies
ergibt sich aus der Geraden σT(T1). Sie verläuft über
den gesamten Druckbereich konstant. Der Gassensor weist
auch bei der höheren Temperatur T1 eine Abhängigkeit vom
Sauerstoffpartialdruck des Umgebungsgases auf, wie man
dies am Verlauf der Geraden σG(T1) erkennen kann. Weiter
hin ist zu bemerken, daß sich die Partialdruckabhängigkeit
des Gassensors bei der höheren Temperatur durch eine
Parallelverschiebung der Gerade bei der niederen Tempera
tur ableiten läßt. Ebenso gilt dies für die Abhängigkeit
des Temperatursensors bei T1 und T2. Die läßt sich auch
durch Parallelverschiebung ineinander überführen. Deutlich
kann man erkennen, daß der Betragsunterschied Δσ bei
einem Umgebungsdruck P1 bei den Temperaturniveaus T1 und
T2 gleichbleibt. Diese Bedingung ist besonders wichtig für
die erfindungsgemäße Anordnung, da nur so direkt der
Sauerstoffpartialdruck des Gasgemisches ermittelt werden
kann, und die Temperaturabhängigkeit durch die Differenz
bildung zwischen dem Signal des Temperatursensors und dem
Signal des Gassensors bei beliebigen Temperaturen heraus
fällt.
(1) Velacso, G. und Pribat, D.: Microionic
Gas Sensors for Pollution and Energy
Controllin the Consumer Market,
Proc.2.Int.Meeting on Chemical Sensors,
Bordeaux (1986), S. 79-94.
(2) Kofstad, P.: Nonstoichiometry, Diffusion and Electrical Conductivity in Binary Metal Oxides Wiley & Sons, New York, Reprint Edition (1983).
(3) Härdtl, K.H.: Ceramic Sensors Sci. Ceram, 14 (1988), S. 73-88
(4) Schönauer, U.: Dickschicht-Sauerstoffsensoren auf der Basis keramischer Halbleiter Tech-Mess., 56,6 (1989), S. 260-263.
(5) Hoshino, K., Peterson, N.L. u. Wiley, C.I.: Diffusion and Point Defects in TiO₂ J. Phys. Chem. Solids, 46, 12 (1985), S. 1397-1411.
(6) Göpel, W.: Solid-State Chemical Sensors: Atomistic Models and Research Trends Sensors and Actuators, 16 (1989), S. 167-193.
(2) Kofstad, P.: Nonstoichiometry, Diffusion and Electrical Conductivity in Binary Metal Oxides Wiley & Sons, New York, Reprint Edition (1983).
(3) Härdtl, K.H.: Ceramic Sensors Sci. Ceram, 14 (1988), S. 73-88
(4) Schönauer, U.: Dickschicht-Sauerstoffsensoren auf der Basis keramischer Halbleiter Tech-Mess., 56,6 (1989), S. 260-263.
(5) Hoshino, K., Peterson, N.L. u. Wiley, C.I.: Diffusion and Point Defects in TiO₂ J. Phys. Chem. Solids, 46, 12 (1985), S. 1397-1411.
(6) Göpel, W.: Solid-State Chemical Sensors: Atomistic Models and Research Trends Sensors and Actuators, 16 (1989), S. 167-193.
Claims (8)
1. Anordnung zum Bestimmen eines Gaspartialdruckes eines
Bestimmungsgases in einem Gasgemisch bei der
- a) ein erstes Element als Gassensor (G) aus einem ersten Metalloxid vorgesehen ist, das in Abhängigkeit des zu bestimmenden Gaspartialdruckes und der Temperatur seine elektrische Leitfähigkeit bzw. seinen Ohm′schen Wider stand ändert, so daß am Gassensor ein erstes Meßsignal (S1) zur Bestimmung des Gaspartialdruckes gemessen wird,
- b) ein zweites Element (T) vorgesehen ist, das ein zweites Metalloxid aufweist und das unter den gleichen Umge bungsbedingungen wie das erste Element (G) die gleiche Temperaturkennlinie wie das erste Element (G) aufweist, zur Gewinnung eines zweiten Meßsignales (S2), das nunmehr temperaturabhängig ist,
- c) ein Differenzbildungsglied (D) zur Bildung der Diffe renz aus dem ersten und dem zweiten Meßsignal (S1, S2).
2. Anordnung nach Anspruch 1, bei der der Sauerstoff
partialdruck eines Gasgemisches bestimmt wird.
3. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, bei der
das erste Element (6) aus SrTiO₃oder TiO₂ oder CeO₂
besteht.
4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, bei der das
zweite Element (T) aus SrZrO₃ besteht.
5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei der
beide Elemente (G, T) auf einem Substrat aufgebracht sind.
6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, bei der
die Aufbringung auf das Substrat durch Sputtern erfolgt.
7. Anordnung nach Anspruch 5, bei der die Aufbringung
durch Siebdruck erfolgt.
8. Verwendung der Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis
7, zur Überwachung der Atemfunktion eines Lebewesens, bei
dem die durch den Atemvorgang bewirkte periodische Sauer
stoffpartialdruckänderung der ausgeatmeten Luft ermittelt
wird und Unregelmäßigkeiten der Periode ausgewertet
werden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924210397 DE4210397C2 (de) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Anordnung zur Bestimmung eines Gaspartialdruckes eines Bestimmungsgases in einem Gasgemisch |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19924210397 DE4210397C2 (de) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Anordnung zur Bestimmung eines Gaspartialdruckes eines Bestimmungsgases in einem Gasgemisch |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4210397A1 DE4210397A1 (de) | 1993-10-07 |
DE4210397C2 true DE4210397C2 (de) | 1996-02-15 |
Family
ID=6455427
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DE19924210397 Expired - Fee Related DE4210397C2 (de) | 1992-03-30 | 1992-03-30 | Anordnung zur Bestimmung eines Gaspartialdruckes eines Bestimmungsgases in einem Gasgemisch |
Country Status (1)
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DE (1) | DE4210397C2 (de) |
Families Citing this family (5)
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DE4445102A1 (de) * | 1994-12-17 | 1996-06-27 | Mann & Hummel Filter | Anordnung zur Ermittlung von Fremdstoffanteilen in einem Gasstrom |
DE19509873C1 (de) * | 1995-03-17 | 1996-06-20 | Siemens Ag | Verfahren zur Messung der Temperatur mit einem Metalloxidsensor |
DE19616730C2 (de) * | 1996-04-26 | 1999-09-02 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Perowskit mit einer pin-Schichtenfolge in seiner Oberfläche und Verfahren zu seiner Herstellung |
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Family Cites Families (1)
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JPS58148946A (ja) * | 1982-02-27 | 1983-09-05 | Nissan Motor Co Ltd | 空燃比検出器 |
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- 1992-03-30 DE DE19924210397 patent/DE4210397C2/de not_active Expired - Fee Related
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