DE4209297A1 - Behandlungseinrichtung fuer den reinraumbereich - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Behandlungseinrichtung für den Reinraumbereich nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Bei der Herstellung von Chips und dergleichen ist es notwendig, die hierzu verwendeten Wafer zu reinigen. Hierzu werden sie in die in einem Reinigungsbecken der als Reinigungseinrichtung ausgebildeten Behandlungseinrichtung befindliche Reinigungsflüs­ sigkeit eingetaucht. Das Reinigungsbecken ist Teil einer Naßbank, welche das Behandlungsteil bildet und die sich mit dem Reinigungs­ becken im Reinraum befindet, der von oben nach unten mit Reinluft durchströmt wird. Im Bereich des Reinigungsbeckens wird die Reinluft mit Reinigungsmitteln beladen, die häufig stark ätzende Flüssigkeiten oder organische Lösungsmittel sind. Die belastete Reinluft wird über den Saugkanal abgesaugt. Da im Reinraum sehr hohe Anforderungen im Hinblick auf die Reinheit der Luft gestellt werden, ist ein großer Aufwand erforderlich, um die mit Rei­ nigungsmittel beladene Reinluft im Bereich des Reinigungs­ beckens vollständig zu entfernen. Da diese Reinigungseinrich­ tungen im Reinraum untergebracht sind, muß ein großer Teil der Reinluft ständig abgesaugt werden. Dies erfordert eine ener­ gieaufwendige Aufbereitung der zum Ersatz erforderlichen Außen­ luft.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die gattungsgemäße Behandlungseinrichtung so auszubilden, daß die belastete Reinluft problemlos entfernt werden kann, ohne die im Reinraum strömende Reinluft zu beeinträchtigen. Außerdem soll die zum Ersatz der abgesaugten beladenen Reinluft erforderliche Außenluftmenge wesentlich verringert werden.

Diese Aufgabe wird bei der gattungsgemäßen Behandlungseinrichtung erfindungsgemäß mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.

Bei der erfindungsgemäßen Behandlungseinrichtung befindet sich das Behandlungsteil in einem Arbeitsraum, der gegenüber dem Reinraumbereich im wesentlichen geschlossen ist. Dadurch wird die im Reinraum strömende Luft nicht mit der belasteten Reinluft in Kontakt gebracht. Innerhalb der Behandlungseinrichtung wird die in ihr befindliche Reinluft im wesentlichen im Umluftbetrieb geführt, so daß auch im Arbeitsraum der Behandlungseinrichtung die zu behandelnden Teile, insbesondere die Wafer, nicht verun­ reinigt werden. Die über den Saugkanal abgesaugte belastete Reinluft wird ständig durch frische Reinluft ersetzt, die über den Reinluftkanal in den Arbeitsraum der Behandlungseinrichtung aus dem Reinraumbereich zuströmt. Dadurch ist sichergestellt, daß innerhalb der Behandlungseinrichtung ständig saubere Reinluft strömt, so daß eine Verunreinigung der zu behandelnden Teile im Arbeitsraum der Behandlungseinrichtung ausgeschlossen ist.

Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den weiteren Ansprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen.

Die Erfindung wird anhand einiger in den Zeichnungen darge­ stellter Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 in schematischer Darstellung eine erste Ausführungs­ form einer erfindungsgemäßen Behandlungseinrichtung für den Reinraumbereich,

Fig. 2-5 in Darstellungen entsprechend Fig. 1 weitere Aus­ führungsformen von erfindungsgemäßen Behandlungsein­ richtungen.

Die im folgenden beschriebenen Behandlungseinrichtungen sind als Reinigungseinrichtungen ausgebildet, in denen beispielsweise Wafer gereinigt werden. Hierzu hat die Reinigungseinrichtung eine Naßbank 1, in der sich mindestens ein Reinigungsbecken 2 be­ findet. Im Reinigungsbecken 2 befindet sich eine Reinigungs­ flüssigkeit 3, in der die Wafer gereinigt werden. Die Naßbank 1 kann sich quer zur Zeichenebene über mehrere Meter erstrecken, selbstverständlich aber auch kürzer sein.

Die Naßbank 1 hat eine Oberseite 5, die durch ein Lochblech, ein Lochgitter oder dergleichen gebildet ist, durch das in noch zu beschreibender Weise Reinluft in die Naßbank 1 strömen kann. In der Oberseite 5 ist das Reinigungsbecken 2 vorgesehen, das nach oben hin offen ist. Bei Nichtbenutzung wird das Reini­ gungsbecken 2 häufig durch einen Deckel verschlossen. Im oberen Randbereich ist das Reinigungsbecken 2 mit Durchtrittsöffnungen 6 versehen, vorzugsweise in Form eines Schlitzes oder einer Lochwand, durch welche die Reinigungsmitteldämpfe in einen Sammelraum 7 gesaugt werden können. Er ist vorzugsweise über den gesamten Umfang des Reinigungsbeckens 2 vorgesehen und im Bereich der Oberseite 5 der Naßbank 1 sowie im Bereich unterhalb der Durchtrittsöffnungen 6 geschlossen. In den Sammelraum 7 mündet ein Saugkanal 8, der beispielsweise rechtwinklig an eine vertikale Wand des Sammelraumes 7 anschließt und über ein rechtwinklig dazu aufwärts verlaufendes Teil mit einem Absaugkanal 9 leitungs­ verbunden ist. Er hat eine innerhalb der Reinigungseinrichtung liegende Ansaugöffnung 10, die im Bereich oberhalb der Ober­ seite 5 der Naßbank 1 in der Nähe des Reinigungsbeckens 2 liegt. Der Absaugkanal 9 durchsetzt einen aufwärts verlaufenden Förderkanal 11, der durch eine vertikale Rückwand 12 und eine parallel dazu verlaufende Innenwand 13 der Reinigungseinrich­ tung begrenzt ist. Die Rückwand 12 reicht vom Boden 14 der Naßbank 1 bis zur Decke 15 der Reinigungseinrichtung. Die Innenwand 13 erstreckt sich von der Oberseite 5 der Naßbank 1 aufwärts bis zu einem mit Abstand unterhalb der Decke 15 lie­ genden Deckenteil 16. Die Decke 15 und der parallel zu ihr verlaufende Deckenteil 16 schließen jeweils rechtwinklig an die Rückwand 12 und an die Innenwand 13 an und begrenzen ihrerseits einen horizontalen Förderkanal 17, der rechtwinklig an den aufwärts verlaufenden Förderkanal 11 anschließt. Am Deckenteil 16 ist mindestens ein Gebläse 18 vorgesehen, das an der Unterseite des Deckenteiles 16 befestigt ist. Bei ent­ sprechender Länge der Reinigungseinrichtung und/oder Leistung des Gebläses können auch mehrere solcher Gebläse längs der Reinigungseinrichtung am Deckenteil 16 montiert sein. Mit dem Gebläse, das von einem Motor 19 angetrieben wird, wird Rein­ luft aus den Förderkanälen 11 und 17 angesaugt und nach unten in den Innenraum 20 der Reinigungseinrichtung gefördert.

Der horizontale obere Förderkanal 17 ist an seinem vom Förder­ kanal 11 abgewandten Ende durch eine innere Begrenzungswand 21 eines nach unten gerichteten Reinluftkanales 22 geschlossen. Dadurch kann die in den Förderkanälen 11, 17 im Umlaufverfahren geförderte Reinluft nicht mit der im Reinluftkanal 22 nach unten strömenden Reinluft vermischt werden. Der Reinluftkanal 22 weist an seiner Oberseite Eintrittsöffnungen 23 für die Reinluft auf. Im Reinluftkanal 22 ist mindestens ein Gebläse 24 untergebracht, mit dem die Reinluft aus dem Reinraum 4 durch die Eintrittsöffnungen 23 angesaugt wird. In Strömungs­ richtung hinter dem Gebläse 24 befinden sich ein oder mehrere Filter 25, vorzugsweise in Form eines Schwebstoffilters, durch den die Reinluft strömen muß. Das Filter 25 kann über die ganze Länge des Reinluftkanals 22 vorgesehen sein.

Der Reinluftkanal 22 wird außenseitig von einer Vorderwand 26 der Reinigungseinrichtung begrenzt. Das untere Ende des Reinluftkanals 22 endet mit Abstand oberhalb der Oberseite 5 der Naßbank 1. Die untere Austrittsöffnung 27 des Reinluft­ kanals 22 ist teilweise durch ein Lochblech 28 oder der­ gleichen geschlossen, während der übrige Teil der Austritts­ öffnung 27 offen ist. Das Lochblech 28 schließt an das untere Ende der Begrenzungswand 21 rechtwinklig an und erstreckt sich in Richtung auf die Vorderwand 26. Mit Abstand von der Vorder­ wand 26 schließt das Lochblech 28 senkrecht an einen Schirm 29 an, der sich bis zur Oberseite 5 der Naßbank 1 erstreckt. Dieser Schirm 29 ist mit (nicht dargestellten) Durchtritts­ öffnungen versehen, durch welche die zu reinigenden Wafer zum Reinigungsbecken 2 gebracht bzw. von dort auch wieder geholt werden können.

Mit geringem Abstand unterhalb des oder der Gebläse 18 ist ein weiteres Filter 30 vorgesehen, das sich über die ganze Länge der Reinigungseinrichtung erstrecken und von der Begren­ zungswand 21 bis zur Innenwand 13 reichen kann. Die von dem oder den Gebläse(n) angesaugte Luft wird durch dieses Filter 30 gedrückt, bevor es nach unten in Richtung auf die Naßbank 1 strömt. Dadurch werden in noch zu beschreibender Weise Partikel, die in dieser Reinluft vorhanden sind, zurückgehalten.

Der mit den Durchtrittsöffnungen versehene Teil der Oberseite 5 der Naßbank 1 erstreckt sich vom Schirm 29 bzw. vom unteren Ende der Innenwand 13 aus bis zum Rand des Reinigungs­ beckens 2.

Die Reinigungseinrichtung ist im wesentlichen vollständig ge­ schlossen; lediglich im Bereich der Durchgriffsöffnungen des Schirms 29 ist die Reinigungseinrichtung offen. Um die Kontami­ nation des Reinraums 4 durch unerwünschte, z. B. giftige, kor­ rosive oder brennbare Substanzen aus den Reinigungsbädern zuver­ lässig zu verhindern, herrscht im Innenraum 20 vorteilhaft ein Unterdruck gegenüber dem Reinraum 4. Dadurch strömt keine Luft aus der Reinigungseinrichtung nach außen in den Reinraum.

Die meisten beim Reinigungsprozeß entstehenden Reinigungsmittel­ dämpfe werden über den Saugkanal 8 und den Absaugkanal 9 abgesaugt. Hierzu befindet sich im Absaugkanal 9 ein (nicht dargestelltes) Gebläse. An den Durchtrittsstellen ist der Absaugkanal 9 gegen­ über der Innenwand 13 und der Rückwand 12 abgedichtet. Da sich der Sammelraum 7 über den gesamten Umfang des Reinigungsbeckens 2 erstreckt, können die Dämpfe über den gesamten Umfang des Reinigungsbeckens durch die Durchtrittsöffnungen 6 in den Sammelraum 7 gelangen, aus dem sie über den Saugkanal 8 abge­ saugt werden. Der Innenraum 20 der Reinigungseinrichtung wird von Reinluft im Umlaufverfahren durchströmt. Die durch das Filter 30 hindurchtretende Luft nimmt die im Bereich oberhalb des Reinigungsbeckens 2 befindlichen Dampfteilchen mit. Ein Teil dieser mit Lösungsmittelteilchen verschmutzten Luft wird unmittelbar über den Absaugkanal 9 abgesaugt. Ein Teil dieser Luft strömt aber auch durch die Oberseite 5 der Naßbank 1 in einen Strömungsraum 31, der mit dem aufwärts verlaufenden Förderkanal 11 leitungsverbunden ist. Somit kann diese Rein­ luft über diesen Förderkanal 11 und den anschließenden Förder­ kanal 17 wieder in den Innenraum 20 zurückgeführt werden. Der Saugkanal 8 liegt teilweise innerhalb dieses Strömungsraumes 31.

Der Querschnitt des Absaugkanales 9 ist verhältnismäßig klein, so daß nur eine verhältnismäßig kleine Menge der umlaufenden Reinluft aus dem Innenraum 20 der Reinigungseinrichtung abge­ saugt wird. Dieser abgesaugte Teil der Reinluft wird ständig ersetzt, indem durch das Lochblech 28 am unteren Ende des Reinluftkanals 22 frische, nicht mit Lösungsmittelteilchen verunreinigte Reinluft aus dem Reinraum 4 angesaugt wird. Das oder die Gebläse 24 saugt (saugen) die Reinluft über die Ein­ trittsöffnungen 23 unmittelbar aus dem Reinraum an, wobei nach dem Durchtritt durch das Filter 25 sehr reine Luft in den Innenraum 20 eintritt. Der andere Teil der aus der Austritts­ öffnung 27 aus strömenden Reinluft strömt an der Außenseite des Schirms 29 entlang und bildet dadurch einen Reinluftschirm 32, der zuverlässig verhindert, daß bei eventuellen Undichtig­ keiten an der Anschlußstelle zwischen dem Schirm 29 und der Naßbankoberseite 5 Schmutzteilchen nach innen gelangen können.

Da die Reinigungseinrichtung im wesentlichen gegenüber dem Reinraum 4, in dem sie aufgestellt ist, geschlossen ist, wird der Reinraum 4 selbst durch die Lösungsmitteldämpfe nicht be­ einträchtigt. Da die Reinluft innerhalb der Reinigungsein­ richtung im Umlaufverfahren bewegt wird, muß nicht ständig die gesamte im Innenraum 20 befindliche Reinluftmenge ersetzt werden. Vielmehr muß stets nur ein Bruchteil dieser umlaufen­ den Reinluft durch vom Reinraum 4 zugeführte Reinluft ersetzt werden. Die abgesaugte Reinluft muß dem Reinraum 4 durch aufbe­ reitete Außenluft wieder zugeführt werden. Die dafür erforderliche Kühlung, Entfeuchtung und Filterung ist bei den bekannten Ein­ richtungen sehr kostenintensiv. Der Energiebedarf für diese Außenluftaufbereitung ist bei der erfindungsgemäßen Reinigungs­ einrichtung wesentlich geringer. Die den Strömungsraum 31 und die Förderkanäle 11, 17 begrenzenden Wände der Reinigungseinrich­ tung sind zumindest innenseitig so ausgebildet, daß sie auch durch aggressive Dämpfe des Reinigungsmittels nicht angegriffen werden. Der Motor 19 zum Antrieb des Gebläses 18 befindet sich vorteilhaft außerhalb der Reinigungseinrichtung, so daß er nicht mit Lösungsmittelteilchen in Berührung kommen kann. Selbstverständlich ist es aber auch möglich, den Motor 19 innerhalb des Förderkanals 17 unterzubringen.

Auf das Gebläse 24 kann gegebenenfalls verzichtet werden, wenn die Reinluft von einer zentralen Versorgung aus zugeführt wird.

Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 2 ist an den Rand des Reinigungsbeckens 2a der Saugkanal 8a angeschlossen, der mit dem Sammelraum 7a des Reinigungsbeckens leitungsverbunden ist. Im Gegensatz zur vorigen Ausführungsform wird die abgesaugte Luft in diesem Saugkanal 8a unmittelbar nach außen geführt. Außerhalb der Reinigungseinrichtung sitzt im Saugkanal 8a ein (nicht dargestelltes) Gebläse, mit dem die mit Lösungsmitteln verunreinigte Luft abgesaugt wird.

Die Vorderwand 26a ist im Gegensatz zum vorigen Ausführungs­ beispiel länger als die innere Begrenzungswand 21a des Rein­ luftkanals 22a, kann aber auch gleich lang oder länger als die Vorderwand 26a sein. Die Vorderwand 26a begrenzt zusammen mit der Oberseite 5a der Naßbank 1a eine Durchgriffsöffnung 33, durch welche die zu reinigenden Wafer in die Reinigungseinrichtung gebracht und wieder aus ihr entnommen werden können. An die Durchgriffsöffnung 33 ist ein an sich bekanntes Handhabungsgerät 34 angeschlossen, mit dem die zu reinigenden Wafer automatisch in die Reinigungseinrichtung transportiert werden können.

Die aus der vollständig offenen Austrittsöffnung 27a des Rein­ luftkanals 22a austretende Reinluft strömt teilweise durch die Durchtrittsöffnungen in der Oberseite 5a der Naßbank 1a in den Strömungsraum 31a. Ein weiterer Teil der über den Reinluftkanal 22a zugeführten Reinluft strömt in einen Kanal 35 des Hand­ habungsgerätes 34. Dieser Kanal 35 hat im unteren Endbereich Austrittsöffnungen 36, durch welche die Reinluft aus dem Kanal 34 in den Reinraum 4a strömen kann. Zur Überwindung der Druck­ differenz ist im Handhabungsgerät 34 gegebenenfalls ein Hilfs­ gebläse 34′ angeordnet. Es muß auf jeden Fall verhindert werden, daß die Reinluft vom Handhabungsgerät 34 zurück in den Arbeitsraum 20a strömt.

Auch bei dieser Ausführungsform werden die Dämpfe der Reinigungs­ flüssigkeit 3a von der aus dem Reinluftkanal 22a strömenden Reinluft mitgenommen und über die Durchtrittsöffnungen 6a am Rand des Reinigungsbeckens 2a und durch die Oberseite 5a der Naßbank 1a angesaugt. Die in den Sammelraum 7a gelangende, mit Reinigungs­ mitteln beladene Reinluft wird über den Saugkanal 8a abgesaugt, während die in den Strömungsraum 31a gelangende Reinluft von dem oder den Gebläsen 18a angesaugt wird. Die Reinluft strömt aus dem Strömungsraum 31a in den Förderkanal 11a und von dort in den Förderkanal 17a. Im übrigen ist die Reinigungseinrichtung gleich ausgebildet wie das Ausführungsbeispiel nach Fig. 1. Auch diese Reinigungseinrichtung hat nur einen geringen Leistungsverbrauch für die Aufbereitung der Außenluft als Ersatz für die abgesaugte Prozeßfortluft. Da die Reinluft innerhalb der Reinigungsein­ richtung im Umluftbetrieb geführt wird, muß nicht ständig die gesamte, im Innenraum 20a der Reinigungseinrichtung befindliche Reinluft ersetzt werden. Es wird nur der Teil der Reinluft ersetzt, der über den Saugkanal 8a abgesaugt wird.

Die zu reinigenden Wafer sind in bekannter Weise in einem Behältnis 34′′ des Handhabungsgerätes 34 untergebracht und werden mittels einer Greifeinrichtung des Handhabungsgerätes auf der Oberseite 5a der Naßbank 1a abgesetzt. Dieser Ablagebereich der Naßbank 1a ist vorteilhaft so angeordnet, daß er im Strömungsbe­ reich der aus dem Reinluftkanal 22a strömenden Reinluft liegt. Dadurch wird eine Verunreinigung und/oder Beschädigung der Greifeinrichtung durch beladene Umluft verhindert.

Beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist zusätzlich zum Saug­ kanal 8b wieder der Absaugkanal 9b vorgesehen, wie er bei der Reinigungseinrichtung gemäß Fig. 1 vorhanden ist. Die im Innen­ raum 20b befindliche Reinluft wird somit sowohl durch den Saug­ kanal 8b als auch durch den Absaugkanal 9b nach außen abgesaugt. Im übrigen ist dieses Ausführungsbeispiel gleich ausgebildet wie die Ausführungsform gemäß Fig. 2.

Die Ausführungsform nach Fig. 4 entspricht im wesentlichen dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1. Der einzige Unterschied besteht darin, daß ein Absaugkanal nicht vorhanden ist. Der Sammelraum 7c des Reinigungsbeckens 2c ist mit dem Saugkanal 8c verbunden, der wie beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 durch die Rückwand 12c der Reinigungseinrichtung abgedichtet nach außen geführt ist. Durch ein im Saugkanal 8c befindliches Gebläse wird somit die mit Reinigungsflüssigkeitsteilchen versehene Reinluft aus der Reinigungseinrichtung abgesaugt. Diese Ausführungsform zeichnet sich durch einen sehr ein­ fachen konstruktiven Aufbau aus. Auch hier wird jeweils nur ein kleiner Teil der in der Reinigungseinrichtung befind­ lichen Reinluft durch Zufuhr von frischer Reinluft über den Reinluftkanal 22c ersetzt.

Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 entspricht im wesentlichen der Ausführungsform nach Fig. 1. Die einzigen Unterschiede bestehen darin, daß die Austrittsöffnung 27d des Reinluft­ kanals 22d vollständig offen ist und daß ein Schirm zwischen der Oberseite 5d der Naßbank 1d und dem Reinluftkanal 22d fehlt. Dadurch wird zwischen dem Reinluftkanal 22d und der Oberseite 5d der Naßbank 1d eine über die Länge der Reini­ gungseinrichtung durchgehende Durchgriffsöffnung 33d gebildet, durch die die zu reinigenden Wafer in die Reinigungseinrichtung gebracht werden können. Da der Innenraum 20d der Reinigungs­ einrichtung gegenüber dem Reinraum 4d vorteilhaft Unterdruck aufweist, ist trotz der offenen Durchgriffsöffnung 33d gewähr­ leistet, daß verunreinigte Reinluft nicht aus der Reinigungsein­ richtung in den Reinraum 4d gelangt. Hinzu kommt, daß die aus der Austrittsöffnung 27d des Reinluftkanals 22d ausströmende Reinluft einen Reinluftschirm 32d bildet, der dafür sorgt, daß keine verunreinigte Luft aus dem Reinraum 4d durch die Durch­ griffsöffnung 33d nach innen in den Arbeitsraum 20d gelangt. Ein Teil der aus dem Reinluftkanal 22d strömenden frischen Reinluft strömt durch die Oberseite 5d der Naßbank 1d in den Strömungsraum 31d. Im Sammelraum 7d wird die mit Flüssigkeitsteilchen ver­ unreinigte Reinluft in den Saugkanal 8d und von dort in den Absaugkanal 9d gesaugt. Der Saugkanal 8d und der Absaugkanal 9d sind gleich ausgebildet wie bei der Ausführungsform gemäß Fig. 1. Ein Teil der mit Flüssigkeitsteilchen verunreinigten Reinluft wird auch unmittelbar über die Ansaugöffnung 10d in den Absaug­ kanal 9d gesaugt.

Die Ausführungsform nach Fig. 6 entspricht grundsätzlich dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 5. Der einzige Unterschied be­ steht darin, daß der Absaugkanal fehlt. Es ist lediglich der Saugkanal 8e vorgesehen, der in gleicher Weise ausgebildet und angeordnet ist wie bei den Ausführungsformen nach den Fig. 2 und 4. In ihm wird die verunreinigte Reinluft aus dem Sammelraum 7e durch die Rückwand 12e der Reinigungseinrichtung abgesaugt.

Anstelle der beschriebenen Reinigungseinrichtung können auch andere Behandlungseinrichtungen eingesetzt werden, bei denen die Naßbank durch einen Arbeitstisch, ein Bearbeitungs- und/oder Handhabungsgerät und dgl. ersetzt ist. Auch bei solchen Einrichtungen wird die beladene Reinluft in der beschriebenen Weise kostensparend ausgetauscht und ein Partikelzustrom bzw. eine Kontamination vom Reinraum in den Arbeitsraum und umge­ kehrt zuverlässig verhindert.

Abweichend von den dargestellten Ausführungsformen gemäß den Fig. 2 und 3 kann das Handhabungsgerät auch Bestandteil der Naßbank sein.

Bei den beschriebenen und dargestellten Ausführungsformen können in Längsrichtung der Einrichtung hintereinander mehrere Reini­ gungsbecken angeordnet sein, die mit unterschiedlichen Reini­ gungsmitteln gefüllt sein können. Um die Wafer in die ver­ schiedenen Reinigungsbecken tauchen zu können, ist eine in Längsrichtung der Einrichtung sich erstreckende Transportein­ richtung vorgesehen. Sie liegt vorteilhaft im Strömungsbereich der aus dem Reinluftkanal 22a strömenden Reinluft.

Claims (24)

1. Behandlungseinrichtung für den Reinraumbereich, mit mindestens einem Behandlungsteil, wie einer Naßbank, einem Arbeitstisch, einem Bearbeitungs- und/oder Handhabungs­ gerät, das im Strömungsbereich von Reinluft liegt, und mit mindestens einem Saugkanal, durch den belastete Reinluft abgesaugt wird, dadurch gekennzeichnet, daß das Behandlungsteil (1, 1a, 1d) in einem gegenüber dem Reinraumbereich (4, 4a, 4d) im wesent­ lichen geschlossenen Arbeitsraum (20, 20a, 20b, 20d) unter­ gebracht ist, daß die in diesem Arbeitsraum (20, 20a, 20b, 20d) strömende Reinluft im wesentlichen im Umluftbetrieb geführt ist, und daß der Arbeitsraum (20, 20a, 20b, 20d) über mindestens einen Reinluftkanal (22, 22a, 22c, 22d) mit dem Reinraumbereich (4, 4a, 4d) verbunden ist.

2. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Arbeitsraum (20, 20a, 20b, 20d) gegen­ über dem Reinraumbereich (4, 4a, 4d) Unterdruck aufweist.

3. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Arbeitsraum (20, 20a, 20b, 20d) gegenüber dem Reinraumbereich (4, 4a, 4d) im wesent­ lichen abgeschlossen ist.

4. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Behandlungsteil (1, 1a, 1d) mindestens einen Sammelraum (7, 7a, 7d) aufweist, der über wenigstens eine Durchtrittsöffnung (6, 6a, 6d) mit dem Arbeitsraum (20, 20b, 20d) strömungsverbunden ist und in den der Saugkanal (8, 8a, 8c-8e) mündet.

5. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Saugkanal (8a, 8c, 8e) aus der Behandlungseinrichtung herausgeführt ist.

6. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Saugkanal (8, 8b, 8d) in einen Absaugkanal (9, 9b, 9d) mündet, der im Arbeitsraum (20, 20b, 20d) mindestens eine Ansaugöffnung (10, 10d) aufweist und aus der Behandlungseinrichtung herausgeführt ist.

7. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Ansaugöffnung (10, 10d) des Absaugkanals (9, 9b, 9d) im Bereich oberhalb eines Reinigungsbeckens (2, 2d) des Behandlungsteils (1, 1d) liegt.

8. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Saugkanal (8, 8a, 8c-8e) wenigstens teilweise in einem Förderkanal (11, 11a; 17, 17a) liegt, in dem die Reinluft umlaufend geführt ist.

9. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Förderkanal (11, 11a; 17, 17a) mit einem Strömungsraum (31, 31a) des Behandlungsteiles (1, 1a, 1d) strömungsverbunden ist.

10. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Strömungsraum (31, 31a) an der Oberseite (5, 5a, 5d) des Behandlungsteils (1, 1a, 1d) liegende Ein­ trittsöffnungen für die im Arbeitsraum (20, 20a, 20b, 20d) strömende Reinluft aufweist.

11. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß dem Förderkanal (11, 11a; 17, 17a) mindestens ein Gebläse (18, 18a) zugeordnet ist.

12. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Gebläse (18, 18a) oberhalb des Arbeitsraumes (20, 20a, 20b, 20d) liegt.

13. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß ein Motor (19) des Gebläses (18, 18a) außerhalb der Behandlungseinrichtung angeordnet ist.

14. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich unterhalb des Gebläses (18, 18a) mindestens ein Filter (30) angeordnet ist.

15. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß im Reinluftkanal (22, 22a, 22c, 22d) mindestens ein Gebläse (24) angeordnet ist.

16. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß im Reinluftkanal (22, 22a, 22c, 22d) in Strömungsrichtung hinter dem Gebläse (24) mindestens ein Filter (25) liegt.

17. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnung (27a, 27d) des Reinluftkanals (22a, 22d) vollständig offen ist.

18. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Austrittsöffnung (27) des Reinluftkanals (22, 22c) durch eine Lochwand (28) mindestens teilweise geschlossen ist.

19. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Lochwand (28) an einen Schirm (29) an­ schließt, der bis zur Oberseite (5) des Behandlungsteils (1) verläuft.

20. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Schirm (29) Durchgriffsöffnungen zum Einbringen der zu behandelnden Teile in die Behandlungs­ einrichtung aufweist.

21. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, daß auf der von der Rückseite der Behand­ lungseinrichtung abgewandten Seite des Schirms (29) die aus dem offenen Bereich der Austrittsöffnung (27) des Reinluftkanals (22, 22c) austretende Reinluft einen Rein­ luftschirm (32) bildet.

22. Behandlungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Austrittsöffnung (27d) des Reinluftkanals (22d) und der Oberseite (5d) des Behandlungsteils (1d) eine Durchgriffsöffnung (33d) gebildet ist.

23. Reinigungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Handhabungs­ gerät (34) die Durchgriffsöffnung (33) verschließt.

24. Behandlungseinrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein Teil der aus dem Reinluftkanal (22a) strömenden Reinluft in einen Kanal (35) im Handhabungs­ gerät (34) strömt, der mit dem Reinraum (4a) strömungs­ verbunden ist.