DE4203590A1 - Herstellungsverfahren fuer eine substrateinrichtung fuer eine optische aufzeichnungsdiskette und zugehoerige vorrichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Herstellungsverfahren für eine Substrateinrichtung für eine Diskette oder Scheibe zur optischen Aufzeichnung mit einem scheibenartigen Substrat und einer Übertragungsschicht, die Nuten aufweist, die auf einer Oberfläche des Substrats ausgebildet sind, und betrifft ebenfalls eine Vorrichtung zur Ausführung des Herstellungs­ verfahrens.

Im allgemeinen sind bei einer Diskette für die optische Auf­ zeichnung Spurverfolgungsnuten auf einer Oberfläche eines Substrats in Form konzentrischer Kreise oder einer Spirale vorgesehen. Es sind verschiedene Verfahren zur Bereitstel­ lung derartiger Nuten bekannt. Dazu gehört ein Verfahren, bei welchem das Substrat und die Nuten einstückig unter Ver­ wendung eines Kunststoff-Spritzgußverfahrens ausgebildet wer­ den. Weiterhin wurde ein Photopolymerisationsverfahren vorge­ schlagen, ein sogenanntes 2P-Verfahren, bei welchem eine Über­ tragungsschicht, die die Nuten aufweist, auf dem Substrat vor­ gesehen werden soll.

Bei diesen Verfahren wird das letztgenannte 2P-Verfahren ent­ sprechend der nachfolgenden Vorgänge ausgeführt, die in den Fig. 7 bis 10 gezeigt sind. Hierbei wird eine Kunstharzlösung 112a, die mit Ultraviolettlicht aushärtet, auf entweder eine Oberfläche einer Nuten bildenden Originalplatine 130 (nach­ stehend als ein "Stempel 130" bezeichnet) oder auf ein licht­ durchlässiges Substrat 111 aufgebracht, welches aus einem op­ tischen Glas oder einem transparenten Harz in Form eines kon­ zentrischen Kreises in bezug auf eine zentrale Achse (siehe Fig. 7) besteht. Dann werden der Stempel 130 und das Substrat 111 miteinander in Druckberührung gebracht, um hierdurch die bei Ultraviolettstrahlung aushärtende Harzlösung auszubreiten. Daraufhin wird die unter Ultraviolettbestrahlung aushärtende Harzlösung 112a gehärtet durch Bestrahlung mit Ultraviolett­ strahlen (UV) durch das Substrat 111, um hierdurch eine Über­ tragungsschicht 112 (siehe Fig. 8) zu bilden. Wenn die Über­ tragungsschicht, die einstückig mit dem Substrat ausgebildet wird, von dem Stempel 130 gelöst wird, so wird ein Nuten­ muster, welches der Ausbildung des Stempels 130 entspricht, übertragen und auf einer Oberfläche der ausgehärteten Über­ tragungsschicht 112 reproduziert (siehe Fig. 9 und 10). Daraufhin wird eine Aufzeichnungsschicht auf der Oberfläche der Übertragungsschicht 112 ausgebildet, und darüber hinaus wird ein weiteres Substrat, beispielsweise eine Schutzplatte, über eine Klebeschicht auf der Aufzeichnungsschicht ange­ bracht, wodurch eine konventionelle Diskette für die optische Aufzeichnung hergestellt wird.

Allerdings haben sich bei dem Übertragungs- und Reproduktions­ verfahren zur Ausbildung der Nuten der konventionellen Disket­ te für die optische Aufzeichnung die nachstehend angegebenen Schwierigkeiten ergeben.

Beispielsweise weist ein Glassubstrat, welches als Substrat für die Diskette für die optische Aufzeichnung verwendet wer­ den soll, ursprünglich keine vollständig ebene Oberfläche auf, sondern weist notwendigerweise in gewissem Maße eine Wölbung auf, die durch unterschiedliche Belastungen bei der Herstel­ lung hervorgerufen wird. Obwohl die Übergangsschicht unter Verwendung des 2P-Verfahrens auf einem derartigen Glassub­ strat hergestellt wird, wird daher die Übergangsschicht kei­ ne gleichmäßige Dicke aufweisen. Die Ungleichmäßigkeit der Dicke der Übergangsschicht führt zu einem schwerwiegenden Problem. Da nämlich ein optisches System der Diskette für die optische Aufzeichnung unter Berücksichtigung einer Aber­ ration infolge der Dicke des Substrats ausgelegt wurde, um so eine Aperturzahl (NA) einer Linse zu vergrößern, wird die Ungleichförmigkeit der Dicke der Übertragungsschicht einen starken Einfluß auf die Aberration ausüben.

Die vorliegende Erfindung dient zur Behebung der voranstehend genannten Schwierigkeiten, die beim Stand der Technik auftre­ ten, und ein Vorteil der vorliegenden Erfindung liegt in der Bereitstellung eines Herstellungsverfahrens für eine Substrat­ einrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung und einer Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens, welche eine Ungleichmäßigkeit der Dicke einer Übertragungsschicht infolge einer Wölbung eines Substrats verhindern können, und welche eine Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Auf­ zeichnung zur Verfügung stellen können, die bemerkenswert hervorragend bezüglich der Gleichmäßigkeit der Dicke der Über­ tragungsschicht ist.

Diese und weitere Vorteile lassen sich gemäß der vorliegenden Erfindung bei einer Zielrichtung der Erfindung dadurch erzie­ len, daß ein Herstellungsverfahren für eine Substrateinrich­ tung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung mit folgen­ den Schritten zur Verfügung gestellt wird:
Aufbringen einer Harzlösung, die bei Ultraviolettstrahlung aushärtet, auf entweder einen Stempel oder ein scheibenförmi­ ges Substrat, welches lichtdurchlässige Eigenschaften in Form eines konzentrischen Kreises in bezug auf eine zentrale Achse entweder des Stempels oder des Substrats aufweist;
Druckberührung des Stempels mit dem Substrat, um hierdurch die unter Ultraviolettbestrahlung aushärtende Harzlösung zwischen dem Stempel und dem Substrat auszubreiten; und
Aushärten der unter Ultraviolettstrahlung aushärtenden Harz­ lösung durch Aufstrahlen ultravioletter Strahlen durch das Substrat, um eine Übergangsschicht auszubilden;
wobei die Substrateinrichtung auf solche Weise hergestellt wird, daß ein Abschnitt des Substrats, der von einem zentra­ len Abschnitt zu einem äußeren Umfangsabschnitt des Substrats reicht, zwangsweise vorher deformiert wird, bevor die Über­ gangsschicht ausgebildet wird, um so eine im wesentlichen konisch-konvexe Form zur Verfügung zu stellen, und daraufhin die Übertragungsschicht, die durch Bestrahlung mit den Ultra­ violettstrahlen verfestigt wird, in einem Zustand des Sub­ strats laminiert wird, welches deformiert wird, und zwar auf eine konvexe Seite des Substrats, welches im wesentlichen die konisch-konvexe Form aufweist.

Gemäß einer weiteren Zielrichtung der vorliegenden Erfindung wird eine Vorrichtung zur Herstellung einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung zur Verfügung gestellt welche folgende Teile aufweist:
einen ersten Stützkörper zur Ausrichtung eines lichtdurchläs­ sigen Substrats, welches mit einem zentralen Loch versehen ist;
einen zweiten Stützkörper zur Anordnung eines Stempels, wel­ cher dem Substrat gegenüberliegt; und
eine Antriebseinheit zum Antrieb des ersten und zweiten Stützkörpers, um diese nahe beieinander liegend anzuordnen, wobei der erste Stützkörper ein Substratanordnungsbett und ein Eingriffsteil aufweist, welches auf dem Substratanordnungsbett vorgesehen ist, das Eingriffsteil eine sich verjüngende Ober­ fläche aufweist, gegen welche eine innere Umfangsoberfläche eines zentralen Loches, welches in dem Substrat ausgebildet ist, anliegt, und der zweite Stützkörper einen Körper zylin­ drischer Form aufweist, um eine zentrale Welle des ersten Stützkörpers zu umschließen, und einen Anlageringabschnitt aufweist, der gegen einen Umfangsabschnitt der inneren Um­ fangsoberfläche des zentralen Loches anliegt, welches in dem Substrat ausgebildet ist.

Da bei dem Herstellungsverfahren und der zu diesem Zweck ver­ wendeten Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung der Ab­ schnitt, der von einem zentralen Abschnitt bis zu einem äuße­ ren Umfang des Substrats reicht, durch Krafteinwirkung ver­ formt wird, um eine im wesentlichen konisch-konvexe Form vor der Ausbildung einer Übergangsschicht zu erzielen, wird dar­ aufhin die Übergangsschicht auf der konvexen Seite der konisch­ konvexen Form des Substrates ausgebildet. Zu diesem Zeitpunkt wird durch die Wirkung der Aushärtung und des Schrumpfens der Übergangsschicht eine rückführende Kraft ausgebildet, welche die Form des Substrats von der gewölbten Form in die Original­ form zurückführen kann. Daher wird die Dicke der Übertragungs­ schicht infolge der rückführenden Kraft gleichförmig.

Die Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestell­ ter Ausführungsbeispiele näher erläutert, aus welchen sich weitere Vorteile und Merkmale ergeben. Es zeigt:

Fig. 1 eine schematische Perspektivansicht mit einer Dar­ stellung einer Vorrichtung zur Herstellung einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung gemäß einer Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung;

Fig. 2 eine Vorderansicht mit einer Darstellung einer Vor­ richtung zur Herstellung einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung gemäß der vorliegenden Erfindung;

Fig. 3 eine Querschnittsansicht mit einer Darstellung ei­ nes Zustands einer Substrateinrichtung, welche durch Krafteinwirkung deformiert wird;

Fig. 4(A) und 4(B) schematische Ansichten mit einer Darstel­ lung eines Zustands vor bzw. nach der Aushärtung der unter Ultraviolettstrahlung aushärtenden Harzlösung;

Fig. 5 einen Graphen mit einer Darstellung einer Dicken­ verteilung in der Radialrichtung der Übertragungs­ schicht;

Fig. 6 eine Querschnittsansicht einer Diskette für die optische Aufzeichnung;

Fig. 7 eine schematische Querschnittsansicht mit einer Darstellung eines Zustands der unter Ultraviolett­ bestrahlung aushärtenden Harzlösung, welche auf einem Stempel abgelagert wird;

Fig. 8 eine schematische Querschnittsansicht des Bestrah­ lungsverfahrens mit Ultraviolettstrahlung;

Fig. 9 eine schematische Querschnittsansicht mit einer Darstellung eines Zustands, in welchem der Stempel in einem Übertragungs- und Reproduktionsverfahren von einer Substrateinrichtung gelöst wird; und

Fig. 10 eine Querschnittsansicht einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung.

Nachstehend wird eine Vorrichtung zur Herstellung einer Sub­ strateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung gemäß der vorliegenden Erfindung im einzelnen unter Bezug auf die beigefügten Zeichnungen der Fig. 1 bis 3 beschrieben.

Die Herstellungseinrichtung 50 gemäß der vorliegenden Erfin­ dung weist einen ersten Stütz- oder Tragekörper 80 auf, der einen zentralen Abschnitt aufweist, auf welchem ein licht­ durchlässiges Substrat 10, welches eine scheibenartige Form aufweist, abgelagert werden kann, einen zweiten Stützkörper 80, um fest einen Stempel 30 anzuordnen, der dem Substrat 10 gegenüberliegend angeordnet wird, und der so angeordnet ist, daß er einen Teil eines Außenumfangs des ersten Stützkörpers 60 umschließt, um eine Antriebseinheit M, um den ersten und zweiten Stützkörper 80 bzw. 80 so anzutreiben, daß sie nahe aneinander gelangen.

Der erste Stützkörper 60 weist eine zentrale Welle 61 auf, ein Substratanordnungsbett 65, und ein Eingriffsteil 63, wel­ ches auf einem oberen Abschnitt 85a des Substratanordnungs­ bettes 65 vorgesehen ist. Das Substratanordnungsbett 65 ist zu dem Zweck vorgesehen, um das Substrat 10 temporär auszu­ richten. Daher ist das Substratanordnungsbett 65 beispiels­ weise in Form einer Scheibe ausgebildet, so daß ein äußerer Umfangsdurchmesser des Substratanordnungsbettes 85 größer ist als ein Durchmesser eines zentralen Loches 11, welches in dem Substrat 10 vorgesehen ist. Das Eingriffsteil 83 ist in Form eines Kegelstumpfes ausgebildet, der eine sich verjüngende Oberfläche 63a aufweist, gegen welche eine innere Umfangsober­ fläche 11a des zentralen Loches 11 zur Anlage kommt, welches in dem Substrat 10 ausgebildet ist. Die sich verjüngende Ober­ fläche 63a weist eine solche Form auf, daß sie sich - wie dar­ gestellt - von einem unteren Abschnitt in Richtung auf einen oberen Abschnitt ausdehnt. Der untere Abschnitt weist einen kleinsten Durchmesser auf, der noch kleiner ist als der des zentralen Loches 11. Andererseits weist der obere Abschnitt einen größten Durchmesser auf, der noch größer ist als der des zentralen Loches 11. Daher kann das zentrale Loch 11 des Sub­ strates 10 mit der verjüngten Oberfläche 63a in einem bestimm­ ten Abschnitt dieser Oberfläche in Eingriff gelangen. An ei­ nem inneren zentralen Abschnitt des Eingriffsteils 63 ist ein Lochabschnitt 63b ausgebildet, in welchen eine vorspringende Stange 62, die sich von dem unteren Abschnitt 65a des Sub­ stratanordnungsbettes 65 aus erstreckt, eingeführt wird (sie­ he Fig. 1). An einem oberen Endabschnitt der vorspringenden Stange 62 ist ein Eingriffsvorsprung 62a vorgesehen, der sich horizontal erstreckt. Daher sind das Eingriffsteil 63 und das Substratanordnungsbett 65 lösbar miteinander verbunden über einen Drehverriegelungsmechanismus, bei welchem der Eingriffs­ vorsprung 62a in dem Zustand des Eingriffsvorsprungs 62a ge­ dreht wird, in welchem er in den Lochabschnitt 63b eingeführt ist, um so mit einem Kantenabschnitt des Lochabschnitts 63b in Eingriff zu treten.

Der zweite Stützkörper 80 ist in Form eines Zylinders ausge­ bildet um so mit einem Zwischenraum die zentrale Welle 61 des ersten Stützkörpers 60 zu umschließen.

Weiterhin weist der zweite Stützkörper 80 einen Anschlagring­ abschnitt 63 auf, gegen welchen der innere Umfangsabschnitt 11b des zentralen Loches 11, welches in dem Substrat 10 aus­ gebildet ist, anliegt, wenn der erste und zweite Stützkörper 60 bzw. 80 nahe aneinander gebracht werden, wie in Fig. 3 ge­ zeigt ist. Der Anschlagringabschnitt 83 ist zu dem Zweck vor­ gesehen, um das Substrat 10 zeitweilig in einer vorbestimmten Richtung zu wölben und zu deformieren. Die Ausbildung oder Form des Anschlagringabschnitts 83 ist nicht auf eine bestimm­ te Form eingeschränkt, jedenfalls insoweit, als dieser mit einem inneren Umfangsabschnitt 11b des Substrates 10 in Ein­ griff tritt. Bei der in Fig. 3 gezeigten bevorzugten Ausfüh­ rungsform bildet ein oberer Endabschnitt des Innenumfangs des zweiten Stützkörpers 80 den Anschlagringabschnitt 83.

Wie in Fig. 2 gezeigt ist, ist ein Stempel 30 fest an dem obersten Abschnitt des zweiten Stützkörpers 80 befestigt. Auf einer oberen Oberfläche des Stempels 80 ist eine (nicht ge­ zeigte) Nut ausgebildet, um ein entsprechendes Nutenmuster auszubilden, welches auf der Oberfläche des Substrates 10 erzeugt werden soll. Bei dieser Ausführungsform ist die An­ triebseinheit M an dem unteren Abschnitt des ersten Stütz­ körpers 60 vorgesehen, um den ersten Stützkörper 60 in Ver­ tikalrichtung zu bewegen. Als Antriebseinheit M können ver­ schiedene bekannte Antriebseinrichtungen und Antriebslei­ stungsquellen verwendet werden.

Nachstehend wird das Herstellungsverfahren für eine Substrat­ einrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung ge­ mäß der vorliegenden Erfindung beschrieben.

Zunächst wird, wie in Fig. 2 gezeigt ist, eine unter Ultra­ violettbestrahlung aushärtende Harzlösung 12a auf die Ober­ fläche des Stempels 30 in Form eines konzentrischen Kreises in bezug auf die zentrale Achse des Stempels 30 aufgeschich­ tet. Der Beschichtungsvorgang wird auf solche Weise durchge­ führt, daß eine genügende Menge der unter Ultraviolettbestrah­ lung aushärtenden Harzlösung 12a auf den Stempel 30 aufge­ bracht wird, während der Stempel 30 mit einer niedrigen Dreh­ geschwindigkeit von etwa 15 bis 20 U/min gedreht wird. Die Auftragsmenge der Harzlösung kann vorzugsweise auf etwa 3 bis 4 ml eingestellt werden. Zu diesem Zeitpunkt befindet sich das Substrat 10 auf dem Substratanordnungsbett 65.

Wenn die Antriebseinheit M mit ihrem Betrieb beginnt, so wird der erste Stützkörper 60 langsam nach unten bewegt mit einer Absenkgeschwindigkeit von etwa 1 bis 2 cm/min. Selbst nachdem das Substrat 10 und der Stempel 30 sich miteinander in Berüh­ rung befinden, setzt der erste Stützkörper 60 seine Abwärtsbe­ wegung fort. Dann, wie in Fig. 3 gezeigt ist, beginnt die sich verjüngende Oberfläche 63a des Eingriffsteils 63 mit ihrem Eingriff mit der inneren Umfangsoberfläche 11a des zentralen Loches 11, welches in dem Substrat 10 vorgesehen ist, in ei­ ner bestimmten Absenklage. Wenn die Absenkbewegung weiterhin fortgesetzt wird, so wird der Abschnitt, der sich von einem zentralen Abschnitt zu einem äußeren Umfangsabschnitt des Sub­ strats 10 erstreckt, zwangsweise deformiert, um so eine im we­ sentlichen konisch-konvexe Form zur Verfügung zu stellen, wäh­ rend der Anschlagsringabschnitt 83 des zweiten Stützkörpers 80 als ein Zapfen dient. Zu diesem Zeitpunkt wird die Abwärtsbe­ wegung des ersten Stützkörpers 60 beendet. Dann befinden sich der Stempel 30 und das Substrat 10 in einem Zustand, in wel­ chem sie sich aneinander in Druckberührung über das Medium der aufgeschichteten, unter Ultraviolettstrahlung aushärtenden Harzlösung 12a befinden, wodurch die aufgeschichtete, unter Ultraviolettstrahlung aushärtende Harzlösung 12a auf dem Sub­ strat 10 ausgebreitet wird. In diesem Zustand wird, wie sche­ matisch in Fig. 4(A) gezeigt ist, die Beschichtungsmenge der unter Ultraviolettstrahlung aushärtenden Harzlösung vergrößert und zwar entsprechend der Entfernung von dem Zentrum des Sub­ strats 10 zu dessen Außenrichtung.

In einem solchen Fall wird eine Neigung (das Ausmaß der auszu­ gleichenden Wölbung) des im wesentlichen konisch-konvexen Ab­ schnitts des Substrats so eingestellt, daß es in einem Bereich von 0,01 bis 1 mrad (Millirad), und vorzugsweise auf 0,01 bis 0,7 mrad liegt. Wenn der Neigungswert außerhalb des voranste­ hend beschriebenen Bereiches liegt, so kann die Gleichförmig­ keit der Dicke der Übertragungsschicht 12, die auf der Grund­ lage der Aushärtung und Schrumpfung der unter Ultraviolett­ strahlung aushärtenden Harzlösung 12a hervorgerufen wird, nicht erreicht weden.

Auf solche Weise werden in dem Zustand, in welchem sich das Substrat 10 und der Stempel 30 über das Medium der unter Ul­ traviolettstrahlung aushärtenden Harzlösung 12a in Druckberüh­ rung befinden, die Ultraviolettstrahlen durch das Substrat 10 hindurch auf die Harzlösung 12a aufgestrahlt, so daß die unter Ultraviolettstrahlung aushärtende Harzlösung 12a ausgehärtet wird. Zu diesem Zeitpunkt wird eine Aushärtung und Schrumpfung der Übertragungsschicht 12 hervorgerufen, so daß die Dicke der Übertragungsschicht 12 gleichförmig wird, und das Substrat 10 keine Wölbung aufweist.

Wenn die Übertragungsschicht, also die unter Ultraviolett­ strahlung aushärtende Harzschicht 12a, die einstückig mit dem Substrat 10 ausgebildet ist, von dem Stempel 30 gelöst wird, wird daher ein Nutenmuster des Stempels 30 auf die Oberfläche der ausgehärteten Übertragungsschicht 12 übertragen und auf dieser reproduziert, wodurch die Substrateinrichtung für die Diskette zur optischen Aufzeichnung gemäß der vorliegenden Er­ findung hergestellt wird.

Weiterhin wird, wie beispielsweise in Fig. 6 gezeigt ist, eine Aufzeichnungsschicht 13 auf der Oberfläche der Übertragungs­ schicht 12 angebracht, und daraufhin wird ein weiteres Schutz­ substrat 15 mit Hilfe einer Klebeschicht 14 angebracht, wo­ durch schließlich die Diskette für die optische Aufzeichnung hergestellt wird.

Es wird darauf hingewiesen, daß die vorliegende Erfindung un­ ter Bezug auf eine bevorzugte Ausführungsform beschrieben wur­ de, bei welcher die unter Ultraviolettstrahlung aushärtende Harzlösung zunächst auf den Stempel 30 aufgeschichtet wird. Selbstverständlich können jedoch die Position des Stempels 30 und des Substrats 10 in Vertikalrichtung umgekehrt werden, so daß die Harzlösung zuerst auf das Substrat 10 aufgeschichtet werden kann.

Das Substrat 10, welches bei der vorliegenden Erfindung ver­ wendet werden kann, kann aus einem Glas gebildet werden, wel­ ches Lichtdurchlässigkeitseigenschaften aufweist, oder aus Harzen wie beispielsweise Polycarbonat (PC) oder Polymethyl­ methacrylat (PMMA), oder dergleichen. Die Dicke des Substrats 10 wird vorzugsweise auf etwa 1,1 bis 1,2 mm eingestellt. Darüber hinaus kann die Aufzeichnungsschicht 13 aus einem Photoaufzeichnungsmaterial gebildet werden. Einzelne Beispie­ le für das bevorzugte Material, welches die Aufzeichnungs­ schicht 13 bildet, sind beispielsweise folgende: photomagne­ tische Aufzeichnungsmaterialien wie TeFeCo, GdTbFe, GaTbCo, GdFeBi, DyFe, GdFe, GdCo, BiSmYbCoGeIG, BiSmErGaIG, GdIG, CoCr, CrO_2, PtCo, EuOFe, EuO, MnCuBi,MnAlGe, MnBi, und der­ gleichen; Vertiefungen ausbildende Aufzeichnungsmaterialien wie beispielsweise eine Verbindung des Te-Typs, eine Cyanfarbstoffverbindung, u. dgl.; Aufzeichnungsmaterialien, welche den Phasentyp ändern, wie beispielsweise eine As-Te-Ge- Verbindung, eine Sn-Te-Se-Verbindung, eine TeO_x-Verbindung, Sb₂Se₃, u. dgl.

Nachstehend wird die vorliegende Erfindung mit mehr Einzel­ heiten unter Bezug auf ein konkretes Versuchsbeispiel geschil­ dert.

Versuchsprobe

Während ein Stempel 30 mit einem Durchmesser von 327 mm ge­ dreht wurde, ließ man zunächst eine unter Ultraviolettstrah­ lung aushärtende Harzlösung 12a kontinuierlich auf den Stem­ pel 30 in einer Position auftreffen, die 100 mm von dessen Zentrum entfernt war, wodurch ein ringförmiges Lösungsband mit einer Breite von etwa 10 mm ausgebildet wurde. Ein Glas­ substrat 10, welches einen Durchmesser von 300 mm und eine Dicke von 1,2 mm aufwies, wurde auf einem ersten Stützkörper 60 angeordnet, so daß es - wie in Fig. 2 gezeigt - dem Stem­ pel 30 gegenüber lag. Daraufhin wurde der erste Stützkörper 60 mit dem Substrat 10 zu dem Stempel 30 hinbewegt, so daß der Stempel 30 und das Substrat 10 sich in gegenseitiger Druckberührung befanden. Gleichzeitig wurde die aufgeschich­ tete, unter Ultraviolettstrahlung aushärtende Harzlösung 12a in Richtung sowohl auf den inneren und äußeren Umfang des Sub­ strats 10 ausgebreitet, um hierdurch mit der Harzlösung im wesentlichen die gesamte Oberfläche des Substrats 10 zu be­ schichten. Daraufhin wurde die aufgeschichtete, unter Ultra­ violettstrahlung aushärtende Harzlösung 12a durch Bestrahlung mit Ultraviolettstrahlen (UV) durch das Substrat 10 hindurch ausgehärtet. Dann wurde der Stempel 30 von dem Substrat 10 gelöst, um hierdurch eine Übertragungsschicht 12 auf der Oberfläche des Substrates 10 auszubilden.

Bei diesen Versuchsbedingungen wurde das Substrat 10 zwangs­ weise unter Verwendung der in Fig. 1 gezeigten Vorrichtung verformt, um eine annähernd konisch-konvexe Form zur Verfügung zu stellen. Dann wurde eine Übertragungsschicht auf dem Sub­ strat abgelagert, wodurch eine Probe einer Substrateinrich­ tung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt wurde.

Andererseits wurde ein Substrat, welches ursprünglich gewölbt wurde, als ein Substrat verwendet, und eine Übertragungs­ schicht wurde auf einer konkaven Oberfläche des gewölbten Sub­ strats abgelagert, wodurch eine Vergleichsprobe für eine Sub­ strateinrichtung einer Diskette zur optischen Aufzeichnung hergestellt wurde.

Die Beiträge der Dicke in der Radialrichtung der Übertragungs­ schicht bei der Probe und der Vergleichsprobe wurden jeweils gemessen. Fig. 5 ist eine graphische Darstellung der Ergebnis­ se dieser Messung.

Wie deutlich aus dem in Fig. 5 gezeigten Graphen hervorgeht, wurde bestätigt, daß die Dickenverteilung in der Radialrich­ tung der Übertragungsschicht der Probe gemäß der vorliegenden Erfindung signifikant gleichförmig war über den gesamten Be­ reich der Übertragungsschicht, verglichen mit der der Ver­ gleichsprobe, die durch eine gestrichelte Linie dargestellt ist.

Die Wirkungen der vorliegenden Erfindung werden aus dem Er­ gebnis der voranstehend beschriebenen experimentellen Daten genügend deutlich. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird näm­ lich, vor der Ausbildung der Übertragungsschicht, ein Bereich, der von einem zentralen Abschnitt bis zu einem äußeren Um­ fangsabschnitt des Substrats reicht, zwangsweise vorher ver­ formt, um so eine im wesentlichen konisch-konvexe Form zur Verfügung zu stellen, und daraufhin wird auf der Oberflächen­ seite des Substrats, die eine im wesentlichen konisch-konvexe Form aufweist, eine Übertragungsschicht ausgebildet. Daher kann eine Übertragungsschicht zur Verfügung gestellt werden, die eine gleichförmige Dicke aufweist, und zwar entsprechend der Verwendung in der Praxis.

Claims (7)

1. Verfahren zur Herstellung einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung mit folgenden Schritten:
Aufbringen einer Harzlösung, die unter Ultraviolettstrah­ lung aushärtet, auf entweder einen Stempel oder ein schei­ benartiges Substrat, welches lichtdurchlässig ist, in Form eines konzentrischen Kreises in bezug auf eine zentrale Achse entweder des Stempels oder des Substrats;
Druckberührung des Stempels mit dem Substrat, um hierdurch zwischen dem Stempel und dem Substrat die aufgeschichtete, unter Ultraviolettstrahlung aushärtende Harzlösung auszu­ breiten; und
Aushärten der unter Ultraviolettstrahlung aushärtenden Harzlösung durch Aufstrahlung von Ultraviolettstrahlen durch das Substrat, um eine Übertragungsschicht auszubil­ den;
wobei die Substrateinrichtung auf solche Weise ausgebildet wird, daß ein Abschnitt des Substrats, der von einem zen­ tralen Abschnitt zu einem äußeren Umfangsabschnitt des Substrats reicht, zwangsweise deformiert wird, bevor die Übertragungsschicht ausgebildet wird, um so eine im wesent­ lichen konisch-konvexe Form zur Verfügung zu stellen, und daraufhin die Übertragungsschicht, die durch eine Bestrah­ lung mit den Ultraviolettstrahlen verfestigt wird, auf ei­ ne konvexe Seite des Substrats auflaminiert wird, welches im wesentlichen die konisch-konvexe Form in einem Zustand aufweist, in welchem das Substrat deformiert wird.

2. Verfahren zur Herstellung einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Neigung einer konisch­ konvexen Oberfläche des Substrats 0,01 bis 1 mrad (Milli­ rad) beträgt.

3. Verfahren zur Herstellung einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat aus einem Glas­ material gebildet wird.

4. Vorrichtung zur Herstellung einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung, gekennzeichnet durch:
einen ersten Stützkörper zur Anordnung eines lichtdurchläs­ sigen Substrats, in welchem ein zentrales Loch vorgesehen ist;
einen zweiten Stützkörper, um einen Stempel anzuordnen, der in bezug auf das Substrat diesem gegenüberliegend angeord­ net ist; und
eine Antriebseinheit, um den ersten und zweiten Stützkörper anzutreiben, so daß diese nahe aneinander angeordnet wer­ den;
wobei der erste Stützkörper ein Substratanordnungsbett und ein Eingriffsteil aufweist, welches auf dem Substrat­ anordnungsbett vorgesehen ist, das Eingriffsteil eine sich verjüngende Oberfläche aufweist, an welcher eine innere Umfangsoberfläche des zentralen Loches anliegt, welches in dem Substrat ausgebildet ist, und der zweite Stützkörper einen zylinderförmigen Körper aufweist, um einen Teil des ersten Stützkörpers zu umschließen, und einen Anschlagring­ abschnitt aufweist, der gegen einen Umfangsabschnitt der inneren Umfangsoberfläche des zentralen Loches anliegt, welches in dem Substrat ausgebildet ist.

5. Vorrichtung zur Herstellung einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Eingriffsteil einen Zapfen mit Keilform aufweist, und daß die innere Umfangsoberflä­ che des zentralen Loches gegen die Seitenoberfläche des Eingriffsteils anliegt, welches den Zapfen mit Kegelform aufweist.

6. Vorrichtung zur Herstellung einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Substratanordnungsbett und das Eingriffsteil lösbar miteinander verbunden sind.

7. Vorrichtung zur Herstellung einer Substrateinrichtung für eine Diskette zur optischen Aufzeichnung gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Stempel fest auf einem oberen Endabschnitt des zweiten Stützkörpers angebracht ist.