DE4135764C1 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine Kühlvorrichtung zum Kühlen
eines Objekts durch Entspannen eines unter Druck
stehenden, unter seinen Inversionspunkt vorgekühlten Gases
über einen Entspannungsauslaß, bei welcher ein aus dem
Entspannungsauslaß austretender Gasstrahl gegen eine
Fläche des zu kühlenden Objekts gerichtet ist.
Durch die GB-A-12 38 911 ist eine Kühlvorrichtung bekannt,
bei welcher eine Kühlung durch die Entspannung eines unter
Druck stehenden Gases durch eine Düse erreicht wird. Das
Gas muß dabei vor der Entspannung auf einer Temperatur
unterhalb seiner Inversionstemperatur sein. Die Kühlvor
richtung nach der GB-A-12 38 911 weist dabei zwei Kühler
auf. In einem ersten Kühler wird ein erstes Gas von einer
Druckgasquelle in gasförmiger Form über einen ersten Weg
eines Gegenstrom-Wärmetauschers geleitet, durch die Düse
entspannt und über einen zweiten Weg des Wärmetauschers im
Gegenstrom zurückgeleitet. Damit wird das vorlaufende,
unter Druck stehende Gas gekühlt. Der zweite Kühler
bewirkt eine Vorkühlung des ersten Gases bevor dieses den
Gegenstrom- Wärmetauscher des ersten Kühlers erreicht. Der
zweite Kühler erhält dabei eine Flüssigkeit unter Druck,
welche durch eine Düse in eine Kammer gesprüht wird. Dabei
verdampft die Flüssigkeit, wodurch die Kühlwirkung des
zweiten Kühlers erreicht wird. Der erste Kühler kühlt
dabei ein Objekt in Form eines Infrarotdetektors.
Die DE-A1-36 42 683 beschreibt einen auf dem Joule-
Thomson-Effekt beruhenden Kryostaten zur Kühlung eines
Infrarotdetektors. Ein Gegenstrom-Wärmetauscher sitzt mit
einer Vorlaufleitung in einem Dewar-Gefäß. Die Vorlauf
leitung endet in einer Entspannungsdüse. Der Infrarot
detektor sitzt auf der Stirnwandung der Innenseite des
Dewar-Gefäßes. Zur Verringerung der Wärmebelastung ist
zwischen dem Dewar-Gefäß und einer Basis eine wärme
isolierende Schicht angeordnet. Zur Verbesserung der mit
einem vorgegebenen Druckgasmassestrom erzielbaren Kühl
leistung des Joule-Thomson-Prozesses wird ein Einlaßende
der Vorlaufleitung durch Peltier-Elemente gekühlt.
Die DE-A-15 01 715 zeigt eine Einrichtung zum Verflüssigen
von Gasen mit zwei Expansionskühlern, von denen eine erste
mit Wasserstoff und ein zweiter mit Luft oder Stickstoff
betrieben wird. Beide Expansionskühler sind dabei als
Joule-Thomson-Kühler ausgebildet, d. h. enthalten einen
Gegenstrom-Wärmetauscher, in welchem das jeweilige
expandierte und abgekühlte Gas mit dem vorlaufenden Gas in
Wärmeaustausch tritt. Der durch den zweiten Joule-
Thomson-Kühler erhaltene flüssige Stickstoff bzw. die
flüssige Luft dienen zur Vorkühlung des Wasserstoffs in
dem ersten Joule-Thomson-Kühler. Dadurch wird der
Wasserstoff bis unter seine Inversionstemperatur
abgekühlt. Der Stickstoff kann durch den Joule-Thomson-
Kühler jedoch nur bis zu seinem Siedepunkt abgekühlt
werden.
Eine ähnliche Anordnung zeigt die DE-A-15 01 106.
Die EP-A-02 71 989 beschreibt bei einem üblichen
einstufigen Joule-Thomson-Kühler die Verwendung eines
Kühlmittels in Form eines Gemisches aus Stickstoff, Argon
oder Neon mit Methan, Ethan oder Propan unter Zusatz von
verbrennungshemmenden Materialien wie Bromtrifluormethan.
Die DE-A-33 37 194, die DE-A-33 37 195, die GB-A-21 19 071
und die EP-A-02 34 644 zeigen die Verwendung einstufiger
Joule-Thomson-Kühler zur Kühlung elektronischer oder
opto-elektronischer Bauelemente.
Für kreiselstabilisierte Sucher mit einem bildauflösenden
Detektor wird in der DE-A-39 25 942 vorgeschlagen, den
Sucher auf einem Träger anzuordnen, der zur Achse des
Kreiselrotors und damit der optischen Achse des
abbildenden optischen Systems ausgerichtet ist, so daß
auch bei einem "Schielen" des Suchers die Ebene des
flächigen Detektors stets senkrecht zu dieser optischen
Achse ist. Dabei ergibt sich das Problem, den Detektor zu
kühlen. Bei den zur Kühlung von Detektoren üblicherweise
verwendeten Joule-Thomson-Kühlern ist ein Gegenstrom-
Wärmetauscher vorgesehen, über welchen das entspannte und
abgekühlte Gas zurückströmt, wobei das zuströmende Gas von
dem zurückströmenden Gas vorgekühlt wird. Dabei muß das
entspannte Gas möglichst vollständig für die Vorkühlung
ausgenutzt werden. Gas- und Wärmeverluste sind zu
vermeiden. Das läßt sich erreichen, wenn ein Detektor
stationär in einem Dewar-Gefäß angeordnet ist. Es ergeben
sich aber Schwierigkeiten, wenn der Detektor an einem
beweglichen Träger angeordnet wird.
Die DE-A-39 41 314 beschreibt eine Kühlvorrichtung zum
Kühlen eines schwenkbaren Detektors mit einem ersten
Kühler zum Kühlen des Detektors, wobei der erste Kühler
einen Entspannungsauslaß aufweist, durch welchen unter
seinen Inversionspunkt vorgekühltes, unter Druck stehendes
Argon unter Abkühlung entspannt wird. Durch einen mit
Methan arbeitenden zweiten Kühler wird eine Vorkühlung des
Argons bewirkt. Der zweite Kühler ist ein Joule-Thomson-
Kühler mit einem Entspannungsauslaß, über welchen das
unter Druck stehende Methan unter Abkühlung entspannt
wird, und einem dem Entspannungsauslaß vorgeschalteten
Wärmetauscher, durch welchen das zugeführte Methan von dem
abgekühlten, entspannten Methan vorkühlbar ist. Der erste
Kühler ist dagegen ein Entspannungskühler mit einem Ent
spannungsauslaß und einem dem Entspannungsauslaß vorge
schalteten Wärmetauscher, in welchem das unter Druck
stehende Argon nur in Wärmeaustausch mit dem entspannten
und abgekühlten Methan ist. Das aus dem Entspannungsauslaß
des ersten Kühlers austretende, entspannte und auf seinen
Siedepunkt abgekühlte Argon wird als Strahl gegen das zu
kühlende Objekt geleitet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Wirkungsgrad
einer Kühlvorrichtung der eingangs genannten Art zu
verbessern.
Erfindungsgemäß wird das dadurch erreicht, daß die Fläche
um einen zentralen, von dem Gasstrahl beaufschlagten
Auftreffbereich herum eine Mehrzahl von spiralig nach
außen verlaufenden Rippen aufweist.
Diese Rippen wirken in zweifacher Weise. Einmal wird der
Wärmeübergang zwischen dem entspannten Gas und der Fläche
verbessert. Außerdem wird aber das auf den Auftreffbereich
der Fläche auftreffende Aerosol, also Gemisch von Gas und
kondensierten Tröpfchen, bei dem radialen Abfließen in
Rotation versetzt. Es bildet sich eine Art Zyklon. Dadurch
werden die Tröpfchen von dem Gas getrennt. Die schwereren
Tröpfchen streben nach außen, während das Gas nach innen
abströmt. Die Tröpfchen können dann aufgefangen werden und
verdampfen nachträglich, wobei sie dem Objekt durch ihre
Verdampfungswärme weitere Wärme entziehen. Bei der
Anordnung nach der DE-A-39 41 314 wird der überwiegende
Teil der Tröpfchen des Aerosols mit dem Gasstrom mitge
rissen und bleibt für die Kühlung des Objekts unwirksam.
Vorteilhaft ist es, wenn an dem zu kühlenden Objekt ein
Mantel angebracht ist, der vor der besagten Fläche eine
Kammer mit einer zentralen, dem Auftreffbereich gegenüber
liegenden Öffnung bildet, und eine die Entspannungsöffnung
bildende Hochdruckleitung durch diese Öffnung hindurch
ragt. Die Hochdruckleitung kann von einer wärmeisolieren
den Ummantelung umgeben sein. Die Öffnung kann von einem
zu der Hochdruckleitung konzentrischen Kragen umgeben
sein, wobei zwischen dem Kragen und der Hochdruckleitung
eine Gasaustrittsöffnung gebildet ist. Die zu kühlende
Fläche kann eine plane Fläche sein, wobei die Öffnung in
einer zu dieser planen Fläche im wesentlichen parallelen
Wandung gebildet ist, die mit der zu kühlenden planen
Fläche und einem Mantel die besagte Kammer begrenzt. Auf
der Innenseite der Wandung können von dem Mantel nach
innen ragende, sekantial angeordnete Führungsflächen
vorgesehen sein, die sich über einen Teil des Abstandes
zwischen zu kühlender Fläche und Wandung erstrecken.
Bei einer bevorzugten Anwendung der Kühlvorrichtung ist
die zu kühlende Fläche von der Rückseite eines
Substrats gebildet, das einen zu kühlenden Infrarot
detektor eines Infrarotsuchers trägt. Der Mantel ragt
detektorseitig über das Substrat hinaus und bildet
eine gekühlte Blende für den Strahlengang des Suchers.
Ähnlich wie bei der DE-A-39 41 314 kann das Objekt relativ
zu dem Entspannungsauslaß verschwenkbar sein. Es kann auch
das gegen die Fläche des zu kühlenden Objekts gerichtete
Gas durch einen mit einem anderen Gas arbeitenden Joule-
Thomson-Kühler vorkühlbar sein, der einen Entspannungs
auslaß aufweist, über welchen das unter Druck stehende
zweite Gas unter Abkühlung entspannt wird, und einen dem
Entspannungsauslaß vorgeschalteten Gegenstrom-Wärme
tauscher, durch welchen das zugeführte zweite Gas von dem
abgekühlten, entspannten zweiten Gas vorkühlbar ist.
Fig. 1 zeigt schematisch einen konventionellen Joule-
Thomson-Kühler in Verbindung mit einem Temperatur-
Entropie-Diagramm von Argon zur Erläuterung der
Wirkungsweise des Kühlers.
Fig. 2 ist eine schematische Darstellung einer Kühl
vorrichtung mit einem zweiten Kühler zur
alleinigen Vorkühlung des Gases in einem ersten
Joule-Thomson-Kühler.
Fig. 3 zeigt einen Längsschnitt eines Infrarotsuchers als
zu kühlendes Objekt mit der Entspannungsdüse der
Kühlvorrichtung.
Fig. 4 zeigt einen Schnitt längs der Linie A-A von Fig. 3.
Fig. 5 zeigt einen Schnitt längs der Linie B-B von Fig. 3.
Fig. 6 ist eine abgebrochen-perspektivische Darstellung
und zeigt die Wirkung der Struktur des Suchers von
Fig. 3 bis 5 auf die Aerosol- und Gasströme.
In Fig. 1 ist schematisch ein konventioneller Joule-
Thomson-Kühler 10 dargestellt. Druckgas, nämlich Argon,
strömt aus einer Druckflasche 12 über einen Einlaß 14 zu
dem Vorlaufweg 16 eines Gegenstrom-Wärmetauschers 18. Das
Druckgas tritt durch eine Drossel oder Düse 20 in einen
Entspannungsraum 22 aus. Dabei erfährt das Gas eine
Abkühlung. Aus dem Entspannungsraum 22 fließt das
entspannte und abgekühlte Gas über den Rücklaufweg 24 des
Gegenstrom-Wärmetauschers 18 zurück und tritt an einem
Auslaß 26 aus. In dem Gegenstrom-Wärmetauscher 18 wird das
zuströmende Druckgas durch das rücklaufende Gas vorge
kühlt. Mit 28 ist ein Infrarotdetektor bezeichnet, der
durch den Joule-Thomson-Kühler 10 gekühlt werden soll. Der
Infrarotdetektor 28 sitzt auf der Innenwandung 30 eines
den Joule-Thomson-Kühler 10 umgebenden (nicht
dargestellten) Dewar-Gefäßes.
Der Vorgang kann anhand des Temperatur-Entropie-Diagramms
von Fig. 1 erläutert werden. In dem Diagramm sind die an
den verschiedenen Punkten des Joule-Thomson-Kühlers 10
herrschenden Zustände mit Buchstaben "a" bis "g"
gekennzeichnet. Entsprechend sind in der schematischen
Darstellung des Joule-Thomson-Kühlers 10 die zugehörigen
Punkte markiert.
Das Druckgas ist am Eingang 14 auf einer Temperatur von
etwa 350 K bei einem Druck von 500 bar. Das ist der Punkt
"b" in dem Diagramm. Längs des Vorlaufweges 16 des
Gegenstrom-Wärmetauschers 18 bleibt der Druck im
wesentlichen konstant, jedoch sinkt die Temperatur durch
die Vorkühlung mittels des rückströmenden Gases. Der
Zustand ändert sich also zu dem Zustand "c" hin, der
räumlich unmittelbar vor der Düse 20 herrscht längs einer
Kurve 32 konstanten Drucks. An der Düse 20 erfolgt eine
Entspannung des Gases. Der Zustand ändert sich in dem
Diagramm längs einer Kurve 33 konstanter Enthalpie bis zum
Punkt "d". Der Punkt "d" liegt auf der Naßdampfgeraden 34.
Das Gas ist teilweise kondensiert, so daß ein Gemisch von
Gas und Dampf auftritt. Die Temperatur bleibt dabei
konstant. In den Rücklaufweg 24 des Gegenstrom-Wärme
tauschers tritt Gas im Zustand "d". Längs des Rücklauf
weges 24 erwärmt sich das entspannte Gas wieder durch den
Wärmeaustausch mit dem Druckgas im Vorlaufweg 16. Diese
Erwärmung geschieht bei Atmosphärendruck, also P=1 bar.
Der Zustand ändert sich also längs der Kurve 36 konstanten
Druckes zum Punkt "a". Im Punkt "a" herrscht wieder die
Umgebungstemperatur von etwa 350 K. Die Kühlleistung ist
gegeben durch die Differenz der Enthalpien in den Punkten
"a" und "b". Die Enthalpie im Punkt "b" ist gleich der
Enthalpie im Punkt "e". Der Punkt "e" ist der Schnittpunkt
der Kurve 36 konstanten Drucks mit der durch den Punkt "b"
gehenden Kurve 38 konstanter Enthalpie.
Im Vergleich zu den im Gegenstrom-Wärmetauscher
ausgetauschten Enthalpien ist die Enthalpiedifferenz
zwischen den Punkten "a" und "e" recht gering.
In Fig. 2 ist schematisch eine Kühlvorrichtung mit zwei
Kühlern 40 und 42 dargestellt.
Der erste Kühler 40 wird mit Argon aus einem Argon-Druck
gasbehälter 44 betrieben. Das Argon in dem Druckgasbe
hälter 44 hat Umgebungstemperatur und steht unter einem
Druck von 200 bis 500 bar. Das Argon wird über ein Ventil
46 und eine gerade durch den Kühler 42 hindurchlaufende
Leitung 48 zu einem Vorlaufweg 50 eines Wärmetauschers 51
des Kühlers 40 geleitet. Der erste Kühler 40 ist ein
Expansionskühler mit einer Drossel 52. Die Drossel 52 ist
mit dem Ausgang des Vorlaufweges 50 über eine Hockdruck
leitung 54 verbunden. Die Hochdruckleitung 54 ist mit
einer Wärmeisolation 56 versehen.
Der zweite Kühler 42 wird mit Methan CH4 aus einem Methan-
Druckgasbehälter 58 betrieben. Das Methan in dem Druckgas
behälter hat ebenfalls Umgebungstemperatur und steht unter
einem Druck von 200 bis 350 bar. Das Methan wird über ein
Ventil zu dem Eingang 62 eines Vorlaufweges 64 eines
Gegenstrom-Wärmetauschers 66 des zweiten Kühlers 42
geleitet. Von dem Ausgang 68 des Vorlaufweges 64 des
Gegenstrom-Wärmetauschers 66 geht eine Leitung 70 gerade
durch den zweiten Kühler 40 hindurch zu einer Drossel 72.
Die Drossel 72 sitzt an dem dem zweiten Kühler 42
abgewandten Ende des ersten Kühlers 40. Aus der Drossel 72
tritt das unter Hochdruck stehende Methan aus. Dabei
entspannt sich das Methan und kühlt sich ab. Das
entspannte und abgekühlte Methan fließt nun durch einen
Rücklaufweg 74 des Wärmetauschers 51 des ersten Kühlers 40
im Gegenstrom zu dem vorlaufenden Argon. In dem ersten
Kühler 40 wird also das Argon durch den entspannten
Methan-Naßdampf vorgekühlt, nicht durch das entspannte
Argon. Das entspannte Methangas fließt dann durch einen
Rücklaufweg 76 des Gegenstrom-Wärmetauschers 66 des
zweiten Kühlers 42. Hier wird das vorlaufende, unter Hoch
druck stehende Methan durch das entspannte und abgekühlte
Methan vorgekühlt. Das Methan tritt aus dem Rücklaufweg 76
an einem Auslaß 78 aus.
Das ausströmende Argon ist in einem Strahl auf einen
Infrarotdetektor 80 gerichtet, der in einem beweglichen
Träger 82 angeordnet ist. Das Argon tritt dann durch einen
Durchbruch 84 aus dem Träger 82 aus.
Die beiden Kühler 40 und 42 sind von einem gut wärmeiso
lierenden Mantel 86 umschlossen, der objektseitig durch
eine Stirnwand 88 abgeschlossen ist. Die wärmeisolierte
Hochdruckleitung 54 ist durch die Stirnwand 88 hindurch
geführt.
Die Wirkungsweise der beschriebenen Anordnung ist
nachstehend unter Bezugnahme auf Fig. 1 erläutert:
Das Methan wird durch den Kühler 42 und die Drossel 72 in
einem Joule-Thomson-Prozeß bis auf den Siedepunkt des
Methans abgekühlt. Es war schon oben erwähnt worden, daß
das Methan eine wesentlich höhere Kühlleistung bringt als
das Argon. Allerdings kann der Siedepunkt des Methans bei
118 K nicht unterschritten werden. In dem Mantel 86 bildet
sich flüssiges Methan, wie bei 90 angedeutet ist. Durch
den Wärmeaustausch mit dem Methan im Wärmetauscher 51 wird
das Argon bis auf den Siedepunkt des Methans vorgekühlt.
Der Zustand des Argons bewegt sich daher längs der Kurve
32 konstanten Drucks bis zum Punkt "f". Bei der
Entspannung des Argons an der Drossel 52 gelangt der
Zustand längs der Kurve 92 konstanter Enthalpie zum Punkt
"g" auf der Naßdampfgeraden 34. Es tritt an der Drossel
52 ein Strahl mit einem Gemisch von gasförmigem und
flüssigem Argon mit einer Temperatur von 87 K, dem
Siedepunkt des Argons aus.
Dieses Argon braucht aber nicht wie bei dem Joule-Thomson-
Prozeß das vorlaufende, unter Druck stehende Argon
vorzukühlen. Es verdampft, wobei sich der den Zustand
darstellende Punkt längs der Naßdampfgeraden nach rechts
zum Punkt "d" bewegt. Dann erwärmt sich das Argon. Wenn
das Objekt, also der Detektor 80, auf die Siedetemperatur
des Argons, also 87 K abgekühlt ist, nimmt das sich
erwärmende Argon dann natürlich keine Wärme mehr von dem
Objekt auf. Das immer noch sehr kalte Argon kann aber noch
ausgenutzt werden, um die Umgebung des Detektors 80 und
dessen Zuleitungen zu kühlen und damit die Wärmezufuhr zu
dem Detektor 80 zu reduzieren. Die Kühlleistung wird aber
bestimmt durch die Differenz der Enthalpien im Punkt "g"
und im Punkt "d". Diese ist um einen Faktor 2,5 höher als
bei einem reinen Joule-Thomson-Prozeß mit Argon, wie er
im Zusammenhang mit Fig. 1 zum Vergleich beschrieben
wurde. Diese höhere Kühlleistung gestattet eine Reduzie
rung der Gasströme, so daß trotz des zusätzlich erfor
derlichen Stromes von Methan die Gesamtmenge an Gas gleich
oder sogar geringer ist als für einen konventionellen, nur
mit Argon arbeitenden Kühler erforderlich ist. Auch
brauchen die Gase bei dem beschriebenen Prozeß nicht
unter extrem hohen Drücken zu stehen.
Statt Methan kann auch Tetrafluorkohlenstoff CF4 als
Kühlgas verwendet werden. Dessen Siedepunkt liegt jedoch
etwas höher, nämlich bei 145 K, wie in Fig. 1 dargestellt
ist.
Fig. 3 zeigt im einzelnen die Anordnung und Kühlung des
Infrarotdetektors 80. Der Detektor 80 sitzt auf einem
Substrat 100. Das Substrat ist in einem Mantel 102
gehaltert. Der Mantel 102 weist einen zylindrischen
Abschnitt 104 und einen sich daran anschließenden kegel
stumpfförmigen Abschnitt 106 auf. Der kegelstumpfförmige
Abschnitt 106 bildet eine Blendenöffnung 108 für den auf
den Infrarotdetektor 80 fallenden Strahlengang. Das
Substrat 100 sitzt im Übergangsbereich zwischen dem
zylindrischen Abschnitt 104 und dem kegelstumpfförmigen
Abschnitt 106 des Mantels 102. Auf der dem Substrat 100
abgewandten Seite sitzt in dem Mantel 100 eine Wandung
110, die etwa parallel zu der dem Infrarotdetektor 80
abgewandten Fläche 112 des Substrats 100 ist. Die Wandung
110 weist einen zentralen Durchbruch 114 auf. Durch diesen
Durchbruch 114 ragt die Hochdruckleitung 54 mit der
Drossel 52, die hier von einer als Düse ausgebildeten
Entspannungsöffnung 116 gebildet ist. Die Hochdruckleitung
54 und der Durchbruch 114 sind von einem Kragen 118
umgeben. Der Kragen 118 erstreckt sich durch den Durchbruch
114 hindurch und endet in einer trichterförmigen
Erweiterung 120. Durch die Fläche 112 des Substrats 100,
den zylindrischen Abschnitt 104 des Mantels 102 und die
Wandung 110 wird eine Kammer 122 begrenzt. In diese Kammer
122 ragt die Hochdruckleitung 54 mit der Entspannungs
öffnung 116 hinein.
Der Mantel 102 ist in einem wärmeisolierenden Ring 124
gehaltert. Der Ring 124 sitzt in einem Innenrahmen 126 des
Suchers. Der Innenrahmen 126 ist auf Zapfen 128 und 130 um
eine Achse 132 schwenkbar gelagert. Auf dem Ring 124 sitzt
eine zylindrische Fassung 134 mit einem Filter 136.
Wie am besten aus Fig. 4 ersichtlich ist, bildet die Fläche
112 des Substrats 100 einen zentralen, glatten Auftreff
bereich 138, welcher der Entspannungsöffnung 116
gegenüberliegt. Der Auftreffbereich 138 ist umgeben von
einer Mehrzahl von spiraligen Rippen 140. An der
Innenseite der Wandung 110 und dem Mantel 102 sind vier
sekantiale Führungsflächen 142 vorgesehen. Das ist in
Fig. 5 dargestellt. Die Führungsflächen 142 erstrecken sich
nur über einen Teil der Höhe des zylindrischen Ab
schnitts 104 des Mantels 102. Das ist aus Fig. 3 erkennbar.
Die Wirkungsweise der beschriebenen Anordnung kann am
besten anhand von Fig. 6 erläutert werden. Wie vorstehend
beschrieben, tritt aus der Entspannungsöffnung 116 ein
Strahl von Naßdampf aus, also ein Aerosol mit Gas und
Tröpfchen. Das ist in Fig. 6 durch den Strahl 144 ange
deutet. Der Strahl 144 von Naßdampf trifft auf den
Auftreffbereich 138 der Fläche 112 und wird dort radial
nach außen umgelenkt. Der umgelenkte Gasstrahl 144 fließt
nach außen in den zwischen den Rippen 140 gebildeten,
ebenfalls spiraligen Kanälen. Das ist durch Pfeile 146 in
Fig. 6 angedeutet. Dadurch erhält der Naßdampf einen Drall.
Es bildet sich ein Zyklon aus. Die schwereren Tröpfchen
des Aerosols sammeln sich an dem Mantel, während das von
den Tröpfchen befreite Gas schließlich nach innen strömt
und um den Kragen 118 herum über den Durchbruch 114
abfließt. Das ist in Fig. 6 durch Pfeile 148 dargestellt.
Durch die Führungsflächen wird ein Sekundärwirbel erzeugt.
Dadurch wird wenigstens ein Teil des Gases noch einmal
gegen die Fläche 112 gelenkt.
Durch die Rippen wird der Wärmeübergang zwischen dem
Substrat 100 und dem Naßdampf verbessert. Durch die
Zyklonwirkung werden die in dem Naßdampf enthaltenen
Tröpfchen abgeschieden und nicht mit dem austretenden Gas
(Argon) mitgerissen. Die Tröpfchen sammeln sich daher in
der Kammer 122 und verdampfen in dieser. Diese Wirkung
wird durch den Kragen 118 unterstützt. Die Verdampfungs
wärme wird dem Substrat 100 und dem Mantel 102 entzogen.
Der kegelstumpfförmige Abschnitt 106 bildet dadurch eine
gekühlte Blende für den auf den Infrarotdetektor fallenden
Strahlengang mit der Blendenöffnung 108. Diese gekühlte
Blende schirmt den Infrarotdetektor 80 gegen Wärme
strahlung von der warmen Umgebung ab. Schließlich sorgen
die Führungsflächen 142 dafür, daß das Gas vor dem
Austreten über den Durchbruch 114 noch einmal über die
Fläche 112 des Substrats 100 geleitet wird.
Claims (9)
1. Kühlvorrichtung zum Kühlen eines Objekts durch
Entspannen eines unter Druck stehenden, unter seinen
Inversionspunkt vorgekühlten Gases über einen
Entspannungsauslaß (116), bei welcher ein aus dem
Entspannungsauslaß austretender Gasstrahl (144) gegen
eine Fläche (112) des zu kühlenden Objekts (100)
gerichtet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Fläche
(112) um einen zentralen, von dem Gasstrahl (144)
beaufschlagten Auftreffbereich (138) herum eine
Mehrzahl von spiralig nach außen verlaufenden Rippen
(140) aufweist.
2. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet daß
- a) an dem zu kühlenden Objekt (100) ein Mantel (102) angebracht ist, der vor der besagten Fläche (112) eine Kammer (122) mit einer zentralen, dem Auftreffbereich gegenüberliegenden Öffnung (114) bildet, und
- b) eine die Entspannungsöffnung (116) bildende Hoch druckleitung (54) durch diese Öffnung (114) hindurchragt.
3. Kühlvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Hochdruckleitung (54) von einer
wärmeisolierenden Ummantelung (56) umgeben ist.
4. Kühlvorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Öffnung (114) von einem zu der
Hochdruckleitung (54) koaxialen Kragen (118) umgeben
ist, wobei zwischen dem Kragen (118) und der
Hochdruckleitung (54) eine Gasaustrittsöffnung
gebildet ist.
5. Kühlvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß die zu kühlende Fläche (112) eine plane
Fläche ist und die Öffnung (114) in einer zu dieser
planen Fläche im wesentlichen parallelen Wandung (110)
gebildet ist, die mit der zu kühlenden planen Fläche
und einem Mantel (102) die besagte Kammer (122)
begrenzt.
6. Kühlvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß auf der Innenseite der Wandung (110) von
dem Mantel (102) nach innen ragende, sekantial ange
ordnete Führungsflächen (142) vorgesehen sind, die
sich über einen Teil des Abstandes zwischen zu
kühlender Fläche (112) und Wandung (110) erstrecken.
7. Kühlvorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch
gekennzeichnet, daß
- a) die zu kühlende Fläche (112) von der Rückseite eines Substrats (100) gebildet ist, das einen zu kühlenden Infrarotdetektor (80) eines Infrarot suchers trägt, und
- b) der Mantel (102) detektorseitig über das Substrat (100) hinausragt und eine gekühlte Blende für den Strahlengang des Suchers bildet.
8. Kühlvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß das zu kühlende Objekt
relativ zu dem Entspannungsauslaß (116) verschwenkbar
ist.
9. Kühlvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß das gegen die Fläche des
zu kühlenden Objekts gerichtete Gas durch einen mit
einem anderen Gas arbeitenden Joule-Thomson-Kühler
vorkühlbar ist, der einen Entspannungsauslaß (72)
aufweist, über welchen das unter Druck stehende zweite
Gas unter Abkühlung entspannt wird, und einen dem
Entspannungsauslaß (72) vorgeschalteten Gegenstrom-
Wärmetauscher (66), durch welchen das zugeführte
zweite Gas von dem abgekühlten, entspannten zweiten
Gas vorkühlbar ist.
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