DE4130640C2 - Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Filters - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Filters

Info

Publication number
DE4130640C2
DE4130640C2 DE4130640A DE4130640A DE4130640C2 DE 4130640 C2 DE4130640 C2 DE 4130640C2 DE 4130640 A DE4130640 A DE 4130640A DE 4130640 A DE4130640 A DE 4130640A DE 4130640 C2 DE4130640 C2 DE 4130640C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
filter
inert gas
supply
dust
oxygen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE4130640A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4130640A1 (de
Inventor
Wolfgang Schwarz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ALD Vacuum Technologies GmbH
Original Assignee
ALD Vacuum Technologies GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ALD Vacuum Technologies GmbH filed Critical ALD Vacuum Technologies GmbH
Priority to DE4130640A priority Critical patent/DE4130640C2/de
Priority to US07/810,679 priority patent/US5527019A/en
Publication of DE4130640A1 publication Critical patent/DE4130640A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4130640C2 publication Critical patent/DE4130640C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0084—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours provided with safety means
    • B01D46/0091—Including arrangements for environmental or personal protection
    • B01D46/0093—Including arrangements for environmental or personal protection against fire or explosion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/02—Particle separators, e.g. dust precipitators, having hollow filters made of flexible material
    • B01D46/04—Cleaning filters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/42—Auxiliary equipment or operation thereof
    • B01D46/48—Removing dust other than cleaning filters, e.g. by using collecting trays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/66—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter
    • B01D46/70—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by acting counter-currently on the filtering surface, e.g. by flushing on the non-cake side of the filter
    • B01D46/71—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by acting counter-currently on the filtering surface, e.g. by flushing on the non-cake side of the filter with pressurised gas, e.g. pulsed air
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/14—Treatment of metallic powder
    • B22F1/145—Chemical treatment, e.g. passivation or decarburisation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2201/00—Treatment under specific atmosphere
    • B22F2201/03—Oxygen
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2203/00—Controlling
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2999/00—Aspects linked to processes or compositions used in powder metallurgy

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Reinigen eines Filters nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie ein Verfahren zum Reinigen eines Filters nach dem Oberbegriff der Ansprüche 13 und 16.
Beim Erschmelzen bzw. Umschmelzen von Metallen unter Vakuum werden häufig große Mengen feiner Metallstäube durch Abdampfen aus der Schmelze freigesetzt. Um die Vakuumpumpen vor diesen Metallstäuben zu schützen, werden Filter zwischen Schmelz­ anlage und Pumpstand eingebaut. In den Filtern sammeln sich dann diese Stäube.
Viele Metallstäube sind leicht entzündlich und neigen sogar zur Selbstentzündung, was zu sogenannten Staubexplosionen führen kann. Werden die staubbeladenen Filter Sauerstoff ausgesetzt, etwa indem sie geöffnet werden oder indem eine Umschmelzanlage über die Filter angepumpt wird, kann es zu Filterbränden kommen.
Es ist bereits bekannt, für kleine Pumpen in die Zuleitung zu diesen Pumpen eingebaute Wattefilter zu verwenden, die großflächig ausgebildet sind, um die Drosselverluste klein zu halten. Bei Pumpprozessen mit einem niedrigsten Arbeitsdruck von ca. 10 mbar können auch Siebfilter mit einer Maschenweite um 25 µm oder Papierfilter verwendet werden (Wutz, Adam, Walcher: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, 4. Auflage, 1988, S. 169, 170).
Weiterhin ist eine Vorrichtung zum Abreinigen von Hohlfiltern für Pulverbeschich­ tungsanlagen bekannt, bei der eine auf eine erste Wandung des Filters gerichtete Blasdüse vorgesehen ist, während die zweite Wandung dieses Filters einer periodisch wirkenden Druckänderungsvorrichtung ausgesetzt ist (DE 82 10 968 U1). Diese be­ kannte Vorrichtung ist jedoch nicht für die Reinigung von staubbeladenen Filtern ge­ eignet, die dann, wenn sie mit Sauerstoff in Berührung kommen, zu Explosionen füh­ ren können. Vielmehr bezieht sie sich auf die Beseitigung nicht brennbarer Partikel aus Filtern.
Weitere Filter-Reinigungsvorrichtungen, die im Wesentlichen mechanisch arbeiten, sind ebenfalls bekannt (US-Patente 2 609 064, 4 103 878).
Ein Verfahren zur Regeneration von Filtersystemen für die Abgase von Brennkraft­ maschinen, bei denen die abgelagerten Partikel oxidiert werden, ist ebenfalls bekannt (DE 36 08 838 A1). Dieses Verfahren ist jedoch auf die Rußverbrennung während des Betriebs eines Dieselmotors beschränkt, wobei diese Rußverbrennung durch einen Brenner mit einer im Vergleich zur Regenerationszeit kurzen Brenndauer ein­ geleitet wird.
Bei einem anderen Verfahren zur Regeneration von Rußpartikelfiltern an Dieselmo­ toren wird Kupfer in der Beladungsphase des Filters abwechselnd mittels Sauerstoff oxidiert bzw. Kohlenmonoxid reduziert (DE 38 28 516 C1). Die hierbei freigesetzte thermische Energie wird genutzt, um die Temperatur im Filter auf die Rußabbrenn­ temperatur anzuheben. Für die Reinigung von Filtern, die zwischen einem durch Par­ tikel verunreinigten Raum und einer Abpumpstation angeordnet sind, ist dieses Ver­ fahren nicht geeignet.
Schließlich ist auch noch ein Reinigungsverfahren für Filter bekannt, bei welchem inerte Gase für den Reinigungsprozess eingesetzt werden (US-Patent 4 284 419). Eine kontrollierte Verbrennung von Filterpartikeln findet hierbei nicht statt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung und ein Verfahren zur Verhin­ derung von Filterbränden vorzuschlagen.
Diese Aufgabe wird gemäß den Merkmalen der Patentansprüche 1, 13 und 16 gelöst.
Der mit der Erfindung erzielte Vorteil besteht insbesondere darin, daß eine kontrollierte Oxidation des Filterstaubs ermöglicht wird, so daß keine Filterbrände oder Staubexplosio­ nen entstehen können. Außerdem kann die Erfindung mit sehr geringem Aufwand reali­ siert werden, weil nur kleine Ventile und eine einfache Zeitsteuerung eingeführt werden müssen. Ein nachträglicher Einbau der Erfindung in bereits bestehende Anlagen ist eben­ falls leicht möglich. Desgleichen kann die Erfindung in Anlagen eingesetzt werden, bei denen die Filter in eine Prozeßkammer integriert sind. In diesem Fall entfällt in der Regel eine Abreinigung des Filters durch Inertgas.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im fol­ genden näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipdarstellung einer Vakuumanlage mit einer Filtereinrichtung;
Fig. 2 ein schematisches Zeitdiagramm über den Verfahrensablauf bei der Filter­ reinigung.
In der Fig. 1 ist eine Vakuumkammer 1 dargestellt, in der sich ein Tiegel 2 befindet, in dem z. B. Metall 3 umgeschmolzen wird. Diese Vakuumkammer 1 steht vorzugsweise auf einer ebenen Fläche 4, auf der sich auch ein Staubsammelbehälter 5 befindet. Von der Va­ kuumkammer 1 führt eine Verbindung zu einem Filterbehälter 6 mit einem Filtereinsatz 7, und zwar über ein Ventil 8. In die Verbindungsleitung 9 zwischen Ventil 8 und Filterbe­ hälter 6 ist eine Zuführungsleitung 10, 21 für Sauerstoff oder ein Sauerstoff/Inertgasge­ misch, z. B. Luft, angeschlossen, in der ein Ventil 11 liegt. Als Filtereinsatz 7 kommt bei der Filterung von Metallstaub in erster Linie ein lockeres Filtermaterial in Frage, das nicht mit einer Flüssigkeit wie Wasser benetzt werden darf, um eine Desorption zu vermeiden. Da die Wärmeableitung durch das Filtermaterial nur gering ist, kann die Ableitung nur über ein Gas erfolgen, das einen bestimmten Mindestdruck hat, z. B. mehr als 100 mbar.
Der Boden des Filterbehälters 6 ist über eine Leitung 23 und ein weiteres Ventil 12 mit dem Staubsammelbehälter 5 verbunden. Auf der Oberseite des Filterbehälters 6 ist eine Inertgaszuführung 22 vorgesehen, die eine Gasflasche 13 mit einem Inertgas, z. B. Argon oder Stickstoff, aufweist. Dieses Inertgas wird aus der Gasflasche 13 über ein Ventil 14 dem Filterbehälter 6 zugeführt. Der Ausgang des Filterbehälters 6 ist über zwei parallelge­ schaltete Ventile 15, 16 mit einem Pumpstand 17 verbunden. Das Ventil 16 liegt hierbei in Reihe zu Leitungen 18, 19, welche das Filter 6, 7 mit dem Pumpstand 17 verbinden. Das parallelgeschaltete Ventil 15 liegt in einem Leitungskreis 20.
Im normalen Arbeitsbetrieb, d. h. wenn die Gase und Metalldämpfe aus der Vakuumkam­ mer 1 mit Hilfe einer im Pumpstand 17 befindlichen Pumpe abgesaugt werden, sind die Ventile 8 und 16 geöffnet, während die Ventile 11, 14 und 15 geschlossen sind.
Der Metallstaub, der vom Gas mitgerissen wird, wird in den Filterbehälter 6 gesaugt und bleibt im Filtereinsatz 7 hängen. Ist der Filtereinsatz 7 mit Metallstaub gesättigt oder so stark beladen, daß das Saugvermögen der Pumpen dadurch merklich reduziert wird und soll er deshalb gegen einen frischen Filtereinsatz ausgetauscht werden, so werden die Ven­ tile 8 und 16 geschlossen, d. h. der Filterbehälter 6 mit dem Filtereinsatz 7 wird sowohl von der Vakuumkammer 1 als auch vom Pumpstand 17 getrennt. Sobald die Ventile 8 und 16 geschlossen sind, wird das Ventil 14 geöffnet, worauf dem Filterbehälter 6 Inertgas zu­ geführt wird. Hierbei kann die Gaszuführung impulsweise erfolgen. Mit dem Inertgas wer­ den Metallpartikel von dem Filtereinsatz 7 gelöst. Diese Partikel fallen durch das geöffnete Ventil 12 in den Staubsammelbehälter 5.
Nachdem über eine bestimmte Zeit Gaspulse auf den Filtereinsatz gegeben wurden, kön­ nen die Ventile 12 und 14 wieder geschlossen und die Ventile 8 bzw. 16 erneut geöffnet werden, so daß sich Teilchen am Filtereinsatz 7 ablagern. Die erneute Umkehrung der Öff­ nungs- und Schließverhältnisse kann kurz darauf noch einmal oder mehrere Male stattfin­ den, um eine Wiederholung der Gaspulsreinigung zu erreichen. Durch die mehrfache Puls­ reinigung wird der Filtereinsatz 7 weitgehend von Metallstäuben befreit.
Nach Abschluß der Pulsreinigung wird der Filterbehälter 6 mit dem Inertgas bis auf etwa 1000 mbar gefüllt. Dann werden die kleinen Ventile 11 bzw. 15 bei laufendem Pumpstand 17 geöffnet. Dadurch wird das Inertgas im Filterbehälter 6 langsam durch Sauerstoff bzw. ein Sauerstoff-Inertgasgemisch ersetzt. Der eingelassene Sauerstoff hat nun die Möglich­ keit, den auf dem Filtermaterial verbliebenen Staub langsam aufzuoxidieren.
Die Ventile 11 bzw. 15 werden so ausgewählt, daß sich beim Durchpumpen von Sauerstoff im Filterbehälter 6 ein Druck von mindestens einigen 100 mbar, besser 1000 mbar, ein­ stellt. Damit wird die Abfuhr der Wärme sichergestellt, die beim Oxidieren des Metall­ staubs im oder am Filtereinsatz 7 entsteht. Die Aufoxidationszeit für den gesamten Staub hängt von der Größe des Filtereinsatzes 7 und von der Staubbelegung ab. Erst nachdem diese Aufoxidation weitgehend abgeschlossen ist, kann der Filterbehälter 6 vollständig mit Luft geflutet werden. Die Sauerstoffzufuhr kann durch Wahl der Größe der Ventile 11 bzw. 15 oder durch den Einsatz von Blenden in Serie zu diesen Ventilen 11, 15 so beein­ flußt werden, daß sich eine kürzest mögliche Zeit für die Aufoxidation bei optimalem Schutz des Filtereinsatzes 7 ergibt.
Wird die Erfindung bei Anlagen verwendet, deren Filter in die Prozeß- oder Vakuumkam­ mer 1 integriert sind, so erfolgt die kontrollierte Luftzufuhr über das Ventil 11 direkt in die Prozeßkammer 1, während das Abpumpen über das Ventil 15 erfolgt.
Je nach Prozeß und Staubanfall kann es sinnvoll sein, die Aufoxidation des Staubs nach je­ dem Schmelzvorgang im Tiegel 2 oder sogar mehrmals während eines Schmelzvorgangs durchzuführen. Dies hängt vom Staubanfall und davon ab, wie pyrophor der Staub ist. Auf jeden Fall sollte eine größere Belegung des Filtereinsatzes 7 mit brennbarem Staub mög­ lichst vermieden werden.
In der Fig. 2 ist noch einmal schematisch dargestellt, wie die Reinigung eines Filters ge­ mäß der Erfindung erfolgt. Die Abszisse ist hierbei die Zeit, wobei keine lineare Zeitskala angegeben ist. Die Ordinate bezeichnet den Massenstrom oder Durchsatz von Gasen bzw. Partikeln. Absolute Maßeinheiten sind wegen der Vielfalt der Möglichkeiten nicht angege­ ben. Der Übersichtlichkeit halber sind die Durchsätze nur mit Volldurchsatz und Null­ durchsatz dargestellt, obwohl diese Durchsätze stetig regelbar sind. Statt senkrechten Flan­ ken würden sich bei einem geregelten Absatz linear, parabolisch oder sonstwie fallende oder ansteigende Flanken ergeben.
Geht man davon aus, daß zu Beginn der Betrachtung die Ventile 8 und 16 gerade geöffnet sind, so daß die in der Vakuumkammer 1 befindlichen Metallstäube durch den Pumpstand 17 abgesaugt und im Filter 6, 7 gereinigt werden, so befindet sich in den Leitungen 9 bzw. 18, 19 ein Durchsatz A. Soll nun das Filter 6, 7 gereinigt werden, werden die Ventile 8, 16 geschlossen, so daß der Durchsatz in den Leitungen 9, 18, 19 auf Null abfällt. Jetzt wird das Ventil 14 geöffnet und pulsweise Inertgas mit einem Durchsatz B auf den Filtereinsatz gepumpt. Gleichzeitig ist das Ventil 12 geöffnet, so daß Staub mit einem Durchsatz C in den Staubbehälter 5 fällt. Nach Beendigung des pulsweisen Reinigungsvorgangs wird im Bedarfsfall das Ventil 16 geöffnet und das Filter 6, 7 abgesaugt. Dann wird über das Ventil 14 der Filterbehälter 6 mit Inertgas auf ca. 1000 mbar aufgefüllt. Hiernach werden die klei­ nen Ventile 11, 15 geöffnet, so daß Sauerstoff in das Filter 6, 7 hineinfließt und die noch verbliebenen Metallpartikel oxidiert. Gleichzeitig wird mit dem Pumpstand 17 der Filter­ behälter 6 über das Ventil 15 evakuiert, so daß sich der Druck im Filterbehälter dem durch eingelassenen Massenstrom und am Behälter wirksamem Saugvermögen gegebenen Gleichgewichtsdruck nähert. Das Oxidationsprodukt wird gleichzeitig durch den Pump­ stand abgepumpt. Der Durchsatz D durch die Leitungen 10, 9 und 20 kann kleiner sein als der Prozeßdurchsatz A. Dies ist allerdings keine notwendige Voraussetzung für das erfin­ dungsgemäße Verfahren. Die in der Fig. 2 steil dargestellte Anstiegsflanke 30 steigt bei einem Ausführungsbeispiel zweckmäßigerweise sehr langsam an, z. B. nach Art eine e- Funktion, um eine Stoß-Oxidation der Metallpartikel im Filter 6, 7 zu vermeiden. Die Sau­ erstoffzufuhr muß sehr langsam erfolgen, damit die Oxidationsrate klein bleibt und auf diese Weise hinreichend Zeit für den Wärmetransport durch Leitung, Konvektion oder Strahlung gegeben ist. Damit können die Temperaturen im Filtermaterial so klein gehalten werden, daß keine thermischen Schäden auftreten.

Claims (18)

1. Vorrichtung zum Reinigen eines Filters, das zwischen einem durch Partikel verunreinig­ ten Raum und einer Abpumpstation angeordnet ist, gekennzeichnet durch
  • a) eine Zuführung (21) für Sauerstoff oder eine Sauerstoff-Inertgas-Mischung zu dem Fil­ ter (6, 7), die mit einer den Gasdurchfluß beeinflussenden Vorrichtung (11) versehen ist;
  • b) eine Ableitung (20) für gasförmige Reaktionsprodukte und ggf. Inertgas vom Filter (6, 7), die mit einer den Durchfluß dieser Gase beeinflussenden Vorrichtung (15) versehen ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Filter (6, 7) in dem durch Partikel verunreinigten Raum (1) selbst angeordnet ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Filter (6, 7) außerhalb des durch die Partikel verunreinigten Raums (1) angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Filter (6, 7) über eine Leitung (9) mit dem Raum (1) in Verbindung steht, wobei in dieser Leitung (9) ein steuer­ bares Ventil (8) liegt.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Filter (6, 7) über eine Leitung (18, 19) mit der Abpumpstation (17) in Verbindung steht, wobei in dieser Leitung (18, 19) ein steuerbares Ventil (16) liegt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der durch die Partikel ver­ unreinigte Raum mit einer Inertgaszuführung versehen ist.
7. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Filter (6, 7) mit einer Inertgaszuführung (13, 22) versehen ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß in der Inertgaszuführung ein steuerbares Ventil (14) liegt.
9. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in der Leitung (9) zwi­ schen Ventil (8) und Filter (6, 7) die Zuführung (21) für Sauerstoff bzw. Sauerstoff und In­ ertgas liegt, in der sich ein steuerbares Ventil (11) befindet
10. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß parallel zu dem Ventil (16) zwischen Abpumpstation (17) und Filter (6, 7) ein steuerbares Ventil vorgesehen ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Filter (6, 7) mit ei­ nem Sammelbehälter (5) für Stäube verbunden ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen einem Filterbe­ hälter (7) des Filters (6, 7) und dem Sammelbehälter (5) eine Leitung (23) vorgesehen ist, in der sich ein steuerbares Ventil befindet.
13. Verfahren zum Reinigen eines mit Metallstaub verunreinigten Filters, gekennzeichnet durch folgende Schritte:
  • a) der in dem Filter (6, 7) befindlichen Metallstaub wird durch geregelte Zufuhr von Sauer­ stoff oxidiert;
  • b) der oxidierte Metallstaub wird von dem Filter (6, 7) in einen Behälter (5, 23) gegeben.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das Filter (6, 7) vor der Zufuhr von Sauerstoff durch eine Zufuhr von Inertgas gereinigt wird.
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß das Inertgas impulsweise auf das Filter (6, 7) gegeben wird.
16. Verfahren zum Reinigen eines Filters, das zwischen einer Staubzuführung (9) und ei­ nem Reinigungsauslaß (18, 19) angeordnet ist, wobei das Ansaugen des Staubs zum Filter (6, 7) mittels eines Pumpenstands (17) durchgeführt wird, gekennzeichnet durch folgende Schritte:
  • a) sowohl die Staubzuführung (9) als auch der Reingasauslaß (18, 19) werden nach einem Filtervorgang geschlossen;
  • b) das Filter (6, 7) wird zu Reinigungszwecken mit Inertgas beaufschlagt;
  • c) bei geschlossener Staubzuführung (9) und geschlossenem Reingasauslaß (18, 19) wird die Inertgaszuführung beendet und dem Filter (6, 7) Sauerstoff zugeführt;
  • d) die gasförmigen Oxidationsprodukte und das Inertgas sowie unverbrauchte Sauerstof­ freste werden vom Filter (6, 7) abgesaugt.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Filter (6, 7) bei ge­ schlossener Staubzufuhr (9) und geschlossenem Reingasauslaß (18, 19) mit Inertgas bis zu einem Druck von etwa 105 Pa aufgefüllt wird.
18. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Inertgas impulsweise auf das Filter (6, 7) gegeben wird.
DE4130640A 1991-09-14 1991-09-14 Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Filters Expired - Lifetime DE4130640C2 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4130640A DE4130640C2 (de) 1991-09-14 1991-09-14 Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Filters
US07/810,679 US5527019A (en) 1991-09-14 1991-12-19 Device and method for cleaning a filter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4130640A DE4130640C2 (de) 1991-09-14 1991-09-14 Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Filters

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4130640A1 DE4130640A1 (de) 1993-03-18
DE4130640C2 true DE4130640C2 (de) 2000-12-28

Family

ID=6440631

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4130640A Expired - Lifetime DE4130640C2 (de) 1991-09-14 1991-09-14 Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Filters

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5527019A (de)
DE (1) DE4130640C2 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10306652A1 (de) * 2003-02-18 2004-08-26 Hartwig Straub Treibstrahl, um Ablagerungen in gefahrdrohender Menge auszuschließen
US11426775B2 (en) 2017-12-20 2022-08-30 Sumco Corporation Cleaning method, method for producing silicon single crystal, and cleaning device
EP4096807A1 (de) * 2020-01-28 2022-12-07 Herding GmbH Filtertechnik Verfahren zur trockenfiltration eines fremdkörper mitführenden gasstroms, und filtervorrichtung zur reinigung von fremdkörper mitführendem rohgas
EP3834910B1 (de) * 2019-12-12 2025-08-20 dezentec ingenieurgesellschaft mbH Feinstaubabscheidungseinrichtung für kleinfeuerungsanlagen

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0816310D0 (en) 2008-09-05 2008-10-15 Mtt Technologies Ltd Filter assembly
DE102014207160A1 (de) * 2014-04-15 2015-10-15 Eos Gmbh Electro Optical Systems Umluftfiltervorrichtung für eine Vorrichtung zum schichtweisen Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
US10933620B2 (en) * 2014-11-21 2021-03-02 Renishaw Plc Additive manufacturing apparatus and methods
DE102016201812A1 (de) 2016-02-05 2017-08-10 Eos Gmbh Electro Optical Systems Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen eines dreidimensionalen Objekts
US20180095450A1 (en) 2016-09-30 2018-04-05 Velo3D, Inc. Three-dimensional objects and their formation
EP4049831A1 (de) * 2017-07-21 2022-08-31 CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH Vorrichtung zur generativen fertigung dreidimensionaler objekte
NL2021323B1 (en) 2018-07-17 2020-01-24 Additive Ind Bv Method and apparatus for producing an object by means of additive manufacturing
DE102018221575A1 (de) * 2018-12-12 2020-06-18 Eos Gmbh Electro Optical Systems Verfahren und Vorrichtung zur Nachbehandlung von in einem Prozessgas mitgeführten Partikeln sowie Filter hierfür
KR20220031745A (ko) 2019-07-26 2022-03-11 벨로3디, 인크. 3차원 물체 형상화에 대한 품질 보증
EP3822001A1 (de) 2019-11-12 2021-05-19 SLM Solutions Group AG Verfahren und vorrichtung zur behandlung von brennbaren und/oder reaktiven teilchen, verfahren zum betreiben eines systems zur herstellung eines dreidimensionalen werkstücks und system zur herstellung eines dreidimensionalen werkstücks
WO2021247640A1 (en) * 2020-06-03 2021-12-09 Velo3D, Inc. Material manipulation in three-dimensional printing
DE102020116030A1 (de) * 2020-06-17 2021-12-23 Eos Gmbh Electro Optical Systems Filtereinrichtung für eine additive Fertigungsvorrichtung

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2609064A (en) * 1951-01-15 1952-09-02 Bahnson Co Apparatus for cleaning filter screens
US4103878A (en) * 1977-08-08 1978-08-01 Allis-Chalmers Corporation Apparatus for removing solids from the water seal trough of an annular material cooler
US4284419A (en) * 1979-03-05 1981-08-18 Air Industrie Declogging process for filtration installation and improved filtration installation
DE8210968U1 (de) * 1982-04-17 1983-09-22 ESB Elektrostatische Sprüh- und Beschichtungsanlagen G.F. Vöhringer GmbH, 7758 Meersburg Vorrichtung zum abreinigen von hohlfiltern fuer pulverbeschichtungsanlagen
DE3608838A1 (de) * 1986-03-17 1987-09-24 Fev Forsch Energietech Verbr Verfahren zur regeneration von filtersystemen fuer die abgase von brennkraftmaschinen
DE3828516C1 (en) * 1988-08-23 1989-03-23 Daimler-Benz Aktiengesellschaft, 7000 Stuttgart, De Soot particle filter regeneration - in which particles in filter for diesel engine exhaust fumes are burned off to regenerate filter by exothermic reaction

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2609064A (en) * 1951-01-15 1952-09-02 Bahnson Co Apparatus for cleaning filter screens
US4103878A (en) * 1977-08-08 1978-08-01 Allis-Chalmers Corporation Apparatus for removing solids from the water seal trough of an annular material cooler
US4284419A (en) * 1979-03-05 1981-08-18 Air Industrie Declogging process for filtration installation and improved filtration installation
DE8210968U1 (de) * 1982-04-17 1983-09-22 ESB Elektrostatische Sprüh- und Beschichtungsanlagen G.F. Vöhringer GmbH, 7758 Meersburg Vorrichtung zum abreinigen von hohlfiltern fuer pulverbeschichtungsanlagen
DE3608838A1 (de) * 1986-03-17 1987-09-24 Fev Forsch Energietech Verbr Verfahren zur regeneration von filtersystemen fuer die abgase von brennkraftmaschinen
DE3828516C1 (en) * 1988-08-23 1989-03-23 Daimler-Benz Aktiengesellschaft, 7000 Stuttgart, De Soot particle filter regeneration - in which particles in filter for diesel engine exhaust fumes are burned off to regenerate filter by exothermic reaction

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
WUTZ, ADAM, WALCHER: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, 4. Aufl., 1988, S. 169, 170 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10306652A1 (de) * 2003-02-18 2004-08-26 Hartwig Straub Treibstrahl, um Ablagerungen in gefahrdrohender Menge auszuschließen
DE10306652B4 (de) * 2003-02-18 2014-05-15 Hartwig Straub Treibstrahl, um Ablagerungen in gefahrdrohender Menge auszuschließen
US11426775B2 (en) 2017-12-20 2022-08-30 Sumco Corporation Cleaning method, method for producing silicon single crystal, and cleaning device
EP3834910B1 (de) * 2019-12-12 2025-08-20 dezentec ingenieurgesellschaft mbH Feinstaubabscheidungseinrichtung für kleinfeuerungsanlagen
EP4096807A1 (de) * 2020-01-28 2022-12-07 Herding GmbH Filtertechnik Verfahren zur trockenfiltration eines fremdkörper mitführenden gasstroms, und filtervorrichtung zur reinigung von fremdkörper mitführendem rohgas

Also Published As

Publication number Publication date
US5527019A (en) 1996-06-18
DE4130640A1 (de) 1993-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4130640C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Reinigen eines Filters
DE69209693T2 (de) Schwall-Löten in einer Hülle mit schützender Atmosphäre über einem Lötbehälter
DE3716257A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum auffangen verschmutzter substanzen
DE10218491B3 (de) Verfahren zur Vermeidung der Selbstentzündung von brennbaren Stäuben in Prozessabgasen sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens sowie Siliciumscheibe erhältlich aus diesem Verfahren
DE3852937T2 (de) Abgasfilter.
DE3709671A1 (de) Partikelfilter
DE3111228A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum beseitigen von russ aus den abgasen einer brennkraftmaschine
DE2222050B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Vakuumsintern von Kohlenwasserstoffe enthaltenden Preßkorpern aus pulverformigen Ausgangsstoffen
DE3024539C2 (de) Vorrichtung zum Beseitigen von Ruß aus den Abgasen einer Brennkraftmaschine
DE2746330A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum brennen von sintermaterial
DE3507303A1 (de) Anlage zur aufbereitung und reinigung verunreinigter gase
EP0167914B1 (de) Anlage zur Metallpulver-Herstellung durch Edelgas- oder Stickstoffverdüsung
EP0505881B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Regeneration verbrauchter DeNOx-Katalysatoren
DE60201143T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung eines Partikelfilters eines Kraftfahrzeugs
DE3715394A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum verringern von staubansaetzen beim behandeln von gasen in einem schmelzofen
DE3027591C2 (de)
AT504862B1 (de) Holzvergasungsanlage
EP0264451B1 (de) Thermoimpulsanlage zum entgraten von werstücken
DE69304608T2 (de) Filtrierung von Gasen
DE3008481A1 (de) Reinigungsverfahren fuer eine filteranlage fuer staubhaltige gase mit reduzierenden eigenschaften und filteranlage hierfuer
EP3722671B1 (de) Verfahren zur kontinuierlichen befeuerung von brennkammern mit wenigstens drei regenerativbrennern
DE20110048U1 (de) Gasentladungslaser mit Mitteln zur Entfernung von Gasverunreinigungen
DE2558112C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Betrieb der Rauchgasreinigung von Koksöfen
DE2406314C3 (de) Vorrichtung zum Absaugen, Verbrennen und Auswaschen von Gas zur Verwendung an einem Koksofen
DE19926428C2 (de) Verfahren zur thermischen Regeneration des Wärmetauschermaterials einer regenerativen Nachverbrennungsvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450

8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: ALD VACUUM TECHNOLOGIES GMBH, 63526 ERLENSEE, DE

8110 Request for examination paragraph 44
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: ALD VACUUM TECHNOLOGIES AG, 63450 HANAU, DE

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
R071 Expiry of right
R071 Expiry of right