DE20110048U1 - Gasentladungslaser mit Mitteln zur Entfernung von Gasverunreinigungen - Google Patents

Gasentladungslaser mit Mitteln zur Entfernung von Gasverunreinigungen

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Claims (11)

1. Gasentladungslaser, insbesondere Excimerlaser oder Moleku­ larfluorlaser, mit zumindest einem Heizelement (12), das auf Temperaturen von mehr als 60°C aufheizbar ist und mit dem das Lasergas in Kontakt bringbar ist, um Verunreinigungen aus dem Lasergas zu entfernen.
2. Gasentladungslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, dass das Heizelement (12) aus einem Metall besteht oder eine Oberfläche aus einem Metall aufweist.
3. Gasentladungslaser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­ net, dass das Metall Zr, Hf, Ti, oder W, oder eine zumindest eines dieser Metalle enthaltende Legierung ist.
4. Gasentladungslaser nach einem der vorhergehenden Ansprü­ che, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizelement (12) in ei­ nem Gasraum (22) angeordnet ist, der über Leitungen (16, 24) mit der Gasentladungskammer (10) des Lasers verbindbar ist.
5. Gasentladungslaser nach Anspruch 4, dadurch gekennzeich­ net, dass in den Leitungen (16, 24) zumindest ein Ventil (18, 30) angeordnet ist, um Gasaustausch zwischen der Gasentla­ dungskammer (10) und dem Gasraum (22) zu steuern.
6. Gasentladungslaser nach einem der Ansprüche 4 oder 5, ge­ kennzeichnet durch eine Pumpe (26) zur Förderung von Gas in einer der Leitungen (16, 24).
7. Gasentladungslaser nach einem der Ansprüche 4, 5 oder 6, gekennzeichnet durch einen oder mehrere Filter in den Leitun­ gen (16, 24) oder einer Pumpe (26).
8. Gasentladungslaser nach Anspruch 6, dadurch gekennzeich­ net, dass die Pumpe (26) trocken laufend oder eine Membranpum­ pe ist.
9. Baugruppe zur Entfernung von Gasverunreinigungen aus dem Lasergas eines Gasentladungslasers, insbesondere eines Exci­ merlasers oder eines Molekularfluorlasers, mit zumindest einem Heizelement (12), das auf Temperaturen von mehr als 60°C auf­ heizbar ist und mit dem das Lasergas in Kontakt bringbar ist, um Verunreinigungen aus dem Lasergas zu entfernen.
10. Baugruppe nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass sie über Leitungen (16, 24) an die Gasentladungskammer (10) des Lasers modulartig anschließbar und von ihr entfernbar ist.
11. Baugruppe nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das Heizelement aus einem Metall, insbeson­ dere Zr, Hf, Ti, W, oder einer ein solches Metall enthaltenden Legierung besteht oder zumindest eine Oberfläche aus Metall, insbesondere einem der vorstehend genannten Metalle, hat.
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