DE4104344A1 - Laserstrahl-bearbeitungsvorrichtung - Google Patents
Laserstrahl-bearbeitungsvorrichtungInfo
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Description
Diese Erfindung bezieht sich auf eine
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, und spezieller auf
einen Bearbeitungskopf zum Regeln der Brennpunktposition
des Laserstrahls.
Fig. 2 zeigt eine äußere Ansicht einer gewöhnlichen
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung.
In Fig. 2 bezeichnet Ziffer 1 einen
Laserstrahl-Bearbeitungskopf; 2 eine Z-Achsen-Einheit zum
Bewegen des Bearbeitungskopfes 1 vertikal (in einer
Richtung einer Z-Achse); 3 eine Y-Achsen-Einheit zum
Bewegen der Z-Achsen-Einheit 2 vorwärts und rückwärts (in
einer Richtung einer Y-Achse); 4 eine Stütze, welche die
Y-Achsen-Einheit 3 trägt; 5 ein Bett; 6 einen Tisch,
welcher sich nach rechts und links (in einer Richtung
einer X-Achse) auf dem Bett 5 bewegt; und 7 eine
Metallabdeckung zum Schützen eines
Tischantriebsmechanismus, der ausgelegt ist, den Tisch
anzutreiben.
Fig. 3 zeigt die Anordnung des Bearbeitungskopfes in der
herkömmlichen Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, welche
zum Beispiel in der ungeprüften, veröffentlichten
japanischen Patentanmeldung Nr. 1 59 285/1982 oder der
ungeprüften, veröffentlichten Gebrauchsmusteranmeldung
1 89 492/1988 offenbart ist.
In Fig. 3 bezeichnet die Ziffer 8 einen Laserstrahl, 9 ein
optisches System, wie etwa eine Linse, um den Laserstrahl
8 zu konzentrieren; 10a bezeichnet einen inneren Halter,
der das optische System 9 hält; 10b einen äußeren Halter,
welcher den inneren Halter 10a hält; 11 bezeichnet eine
Antriebseinheit zum Antreiben des inneren Halters 10a in
dem äußeren Halter 10b in solcher Weise, daß der innere
Halter 10a entlang der optischen Achse (vertikal in Fig.
3) bewegt wird; 12 bezeichnet eine Düse, deren Außenwand
mit einem (nicht gezeigten) Gewinde versehen ist, so daß
sie mittels des Gewindes in Eingriff steht mit dem äußeren
Halter 10b; d. h., die Düse wird gedreht, um in den äußeren
Halter hinein und aus diesem herauszufahren, um die
herausragende Länge der Düse 12 abzugleichen; 13
bezeichnet ein Werkstück; 14 und 15 bezeichnen einen
elektrischen Motor bzw. einen Schraubenmechanismus, welche
verwendet werden, um den Bearbeitungskopf 1 zu bewegen; 16
bezeichnet eine Steuerungseinheit zum Liefern von
Antriebssignalen an den Motor 14; 17 bezeichnet eine
Kopiereinheit zum Messen der Entfernung zwischen dem
äußeren Halter 10b und dem Werkstück 13; 18 bezeichnet
eine Signalleitung zum Übertragen des Ausgangssignales der
Kopiereinheit 17 an die Steuereinheit 16; und 19
bezeichnet eine Signalleitung zum Liefern des ausgegebenen
Signales der Steuerungseinheit 16 an den Motor 14.
Es wird nun der Betrieb der so aufgebauten
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung beschrieben.
Generell wird ein Laserstrahl-Bearbeitungsvorgang
ausgeführt durch Richten des durch das optische System
konzentrierten Laserstrahles 8 auf das Werkstück 13.
Während der Bearbeitung ist es wesentlich, die
Brennpunktposition des Laserstrahls 8 an einer
vorbestimmten Position in Bezug auf das Werkstück 13 zu
halten. Für diesen Zweck wird die Kopiereinheit 17
verwendet. Das Ausgangssignal der Kopiereinheit 17 wird
auf die Steuerungseinheit 16 gegeben, welche wiederum ein
Antriebsignal an den Motor 14 liefert, so daß die
Entfernung zwischen dem äußeren Halter 10b und dem
Werkstück 13 einen vorbestimmten Wert annimmt.
Dementsprechend wird, solange wie die Position des
optischen Systems 9 in dem äußeren Halter 10b unverändert
gehalten wird, die Brennpunktposition des Laserstrahls 8
in einer vorbestimmten Entfernung von der oberen Oberfäche
des Werkstückes 13 gehalten.
In dem Fall, in dem z. B. der Laserstrahl 8 auf der oberen
Oberfläche des Werkstückes 13 fokussiert ist, wie in Fig.
3 gezeigt, ist die Brennpunktposition des Laserstrahls 8
wie folgt. Solange wie die Position des optischen Systems
9 und die Einstellungen anderer Komponenten unverändert
bleiben, wird die Brennpunktposition des Laserstrahles 8
auf der oberen Oberfläche des Werkstückes 13 gehalten,
selbst wenn die Dicke des Werkstückes 13 sich verändert.
Bei einem Laserstrahl-Bearbeitungsvorgang ist es auch
wesentlich, die Entfernung (Spalt) zwischen der Düse 12
und dem Werkstück 13 konstant zu halten, weil der Spalt
den Strahl des Bearbeitungsgases (im allgemeinen
Sauerstoff) beeinflußt, welcher von der Düse 12
ausgestrahlt wird, um den Bearbeitungsvorgang zu
beschleunigen und so den Bearbeitungsvorgang beeinflußt.
Im allgemeinen wird der Spalt auf ungefähr 1 mm
eingestellt. In diesem Fall wird die Düse 12 manuell
gedreht, um die herausragende Länge der Düse 12
abzugleichen.
Bei einem Laserstrahl-Bearbeitungsvorgang wird im
allgemeinen der Laserstrahl 8 auf der oberen Oberfläche
des Werkstückes 13 fokussiert, jedoch kann, abhängig von
dem Typ des Werkstückes 13 ein Fokussieren des
Laserstrahles 8 auf der unteren Oberfläche des Werkstückes
13 ein besseres Resultat liefern.
In diesem Fall wird die Antriebseinheit 11 betrieben, um
den inneren Halter 10a um so viel abwärts zu bewegen, wie
die Dicke des Werkstückes 13 beträgt.
Die herkömmliche Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung ist
wie oben beschrieben aufgebaut. Deshalb kann, wenn das
optische System (oder Linse) vertikal bewegt wird, die
optische Achse des Laserstrahles, welcher durch das
optische System hindurchgeht, wegen des Spieles des
Antriebsmechanismus beeinflußt werden. D. h., die zentrale
Achse des optischen Systems wird parallel bewegt oder
geneigt relativ zu der optischen Achse des einfallenden
Laserstrahles. Um diese Schwierigkeit zu überwinden, ist
es nötig, den Haltemechanismus für das optische System und
den Bewegungsmechanismus für das optische System zu
verwenden, welche hochpräzise sind. Die Verwendung solcher
Mechanismen erhöht unvermeidbar die Herstellungskosten der
Bearbeitungsvorrichtung. Zusätzlich ist es nötig, sowohl
das optische System als auch seinen Halter zu bewegen und
die beweglichen Komponenten sind beträchtlich schwer, und
deren Antriebseinheiten sind ebenso notwendigerweise
unförmig. Dementsprechend ist der gesamte Bearbeitungskopf
groß, und seine Trägheit ist groß. Somit verschlechtert
sich die Reaktion des Bearbeitungskopfes auf das
Steuersignal.
In dem Fall, in dem verlangt wird, den Laserstrahl auf der
unteren Oberfläche des Werkstückes zu fokussieren, um den
Spalt optimal zu halten, ist es nötig, die herausragende
Länge der Düse jedesmal abzugleichen, wenn sich die Dicke
des Werkstückes verändert, was viel Zeit und Arbeit
erfordert. Selbst wenn der Laserstrahl auf der unteren
Oberfläche des Werkstückes während einer Bearbeitung
(Schneiden) fokussiert werden soll, ist es manchmal
vorzuziehen, den Laserstrahl auf der oberen Oberfläche des
Werkstückes beim Bilden eines
Bearbeitungs-(Schnitt)Startloches in dem Werkstück zu
fokussieren. In solch einem Fall ist es unmöglich, den
optimalen Spalt sowohl für die Bearbeitungsoperation als
auch für den Vorgang des Bildens eines
Bearbeitungs-Startloches zu erhalten.
Dementsprechend ist es eine Aufgabe dieser Erfindung, die
oben beschriebenen Schwierigkeiten, welche eine
herkömmliche Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung
begleiten, zu eliminieren. Spezieller ist es Aufgabe der
Erfindung, eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung
vorzusehen, welche kostengünstig in der Herstellung ist
und kleine Abmessung hat, in welcher die
Brennpunktposition des Laserstrahls während einer
Laserstrahlbearbeitung verändert wird, z. B. von der oberen
Oberfläche eines Werkstückes auf die untere Oberfläche,
die optische Achse des Laserstrahls, welcher durch das
optische System hindurchtritt, nicht beeinflußt wird, und
der Spalt zwischen der Düse und dem Werkstück zu jeder
Zeit optimal eingehalten wird.
Eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß einem
ersten Aspekt der Erfindung umfaßt: ein optisches System
zum Bündeln eines Laserstrahl; Halteeinrichtungen zum
Halten des optischen Systems; erste Antriebseinrichtungen
zum Bewegen der Halteeinrichtungen entlang der optischen
Achse des Laserstrahls; eine Düse, welche verschiebbar mit
der Halteeinrichtung in Eingriff steht, und ein
Bearbeitungsgas oder ähnliches ausstößt; und zweite
Antriebseinrichtungen zum Bewegen der Düse.
Eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß einem
zweiten Aspekt der Erfindung umfaßt: ein optisches System
zum Bündeln eines Laserstrahls; Halteeinrichtungen zum
Halten des optischen Systems; erste Antriebseinrichtungen
zum Bewegen der Halteeinrichtungen entlang der optischen
Achse des Laserstrahls; erste Detektiereinrichtungen zum
Detektieren der Entfernung zwischen den Halteeinrichtungen
und einem Werkstück, welche verändert wird, wenn die
Halteeinrichtung von der ersten Antriebseinrichtung bewegt
wird; eine Düse, welche verschiebbar mit der
Halteeinrichtung in Eingriff steht, und ein
Bearbeitungsgas oder ähnliches ausstößt; zweite
Antriebseinrichtungen zum Bewegen der Düse; und zweite
Detektiereinrichtungen zum Detektieren der Entfernung
zwischen der Düse und dem Werkstück, welche verändert
wird, wenn die Düse von der zweiten Antriebseinrichtung
bewegt wird.
In der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß dem
ersten Aspekt der Erfindung wird die Länge der
Ausstreckung der Düse in dem Bearbeitungskopf durch
Bewegungsenergie verändert, während die Position des
optischen Systems in dem Bearbeitungskopf unverändert
gehalten wird. Somit wird die optische Achse des
Laserstrahls nicht beeinflußt, selbst wenn der Laserstrahl
auf der oberen oder unteren Oberfläche des Werkstückes
oder auf anderen Teilen fokussiert wird, und die
herausragende Länge der Düse kann mit Leichtigkeit
eingestellt werden, wodurch der optimale Spalt zu jeder
Zeit vorgesehen ist.
In der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß dem
zweiten Aspekt der Erfindung wird die herausragende Länge
der Düse in dem Bearbeitungskopf durch bewegende Kraft
verändert, wobei die Position des optischen Systems in dem
Bearbeitungskopf unverändert gehalten wird, und die
Einrichtung zum Detektieren der Entfernung zwischen der
Düse und dem Werkstück, so daß das Ergebnis einer Messung
zum Abgleichen der herausragenden Länge der Düse verwendet
wird, um dadurch die Entfernung zwischen der Düse und dem
Werkstück konstant zu halten. Somit wird zu jeder Zeit der
optimale Spalt vorgesehen.
Im folgenden soll die vorliegende Erfindung mit Bezug auf
die begleitenden Zeichnungen beschrieben werden.
Fig. 1 ist ein erläuterndes Diagramm, welches die
Anordnung des Bearbeitungskopfes in einer
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, eines
Ausführungsbeispieles dieser Erfindung, im
Detail zeigt;
Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine
äußere Erscheinung einer allgemeinen
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung zeigt; und
Fig. 3 ist ein erläuterndes Diagramm, welches die
Anordnung des Bearbeitungskopfes in einer
herkömmlichen
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung zeigt.
Fig. 1 ist ein Diagramm, welches den Bearbeitungskopf
einer Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, eines
Ausführungsbeispieles dieser Erfindung, im Detail zeigt.
In Fig. 1 bezeichnen die Bezugsziffern 1, 8, 9 und 13 bis
19 dieselben Gegenstände wie jene in Fig. 3, die den
herkömmlichen Bearbeitungskopf zeigt. Ferner bezeichnet in
Fig. 1 die Ziffer 10 einen Halter, der das optische System
9 hält; und 12a bezeichnet eine Düse. Der Halter 10 ist,
anders als der in dem herkömmlichen Bearbeitungskopf, eine
Einheit, der nicht in die inneren und äußeren Halter
unterteilt ist. Die äußere Wand der Düse 12a ist nicht mit
einem Gewinde versehen, so daß die Düse 12a vertikal in
dem Halter 10 gleiten kann. Es sollte vermerkt werden, daß
zur besseren Verdeutlichung die Düse 12a in Fig. 1
vergrößert dargestellt ist; jedoch ist die Düse 12a in der
Praxis hinreichend klein und leicht. Ferner bezeichnet in
Fig. 1 die Bezugsziffer 20 einen elektrischen Motor, der
auf dem Halter 10 montiert ist, um die Düse 12a aufwärts
und abwärts zu bewegen; 21 bezeichnet einen Getriebekasten
zum Umwandeln der Drehbewegung des Motors 20 in eine
lineare Bewegung; 22 bezeichnet eine Verbindung zum
Bewegen der Düse 12a vertikal; 23 bezeichnet einen
Spaltsensor zum Messen der Entfernung (Spalt) zwischen der
Düse 12a und dem Werkstück 13, um ein Steuersignal auf den
Motor 20 zu geben, so daß der Spalt auf einem
vorbestimmten Wert (eingestellten Wert) erhalten wird; 24
bezeichnet den Schaltschütz des Spaltsensors 23; 25
bezeichnet eine Signalleitung zum Übertragen des
Ausgangssignales des Spaltsensors 23 an den Motor 20; und
26 bezeichnet eine Signalleitung, welche zwischen dem
Motor 20 und der Steuereinheit 16 angeschlossen ist, so
daß der Motor 20 durch die Steuereinheit 16, falls nötig,
gesteuert wird.
Der Betrieb der so aufgebauten
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung wird nun beschrieben.
Für den Fall der Fig. 1 befindet sich die
Brennpunktposition des Laserstrahls 8 auf der oberen
Oberfläche des Werkstückes 13. Es sei angenommen, daß in
diesem Fall der Spalt auf den am besten geeigneten Wert
eingestellt ist, und die Steuereinheit 16 diesen Zustand
als eine Referenz speichert. Bei einer gewöhnlichen
Bearbeitungsoperation, in welcher die Brennpunktposition
des Laserstrahles 8 auf die obere Oberfläche des
Werkstückes 13 gesetzt ist, wird die Entfernung zwischen
dem Halter 10 und dem Werkstück 13 von der Kopiereinheit
17 detektiert, wobei die Düse 12a gehalten wird, wie sie
ist. Die Bearbeitungsoperation wird unter Steuerung von
der Kopiereinheit 17 ausgeführt.
Bei einer Bearbeitungsoperation, in welcher der
Laserstrahl 8 auf der oberen Oberfläche des Werkstückes 13
fokussiert ist, um ein Bearbeitungs-Startloch darin zu
bilden und dann auf die untere Oberfläche des Werkstückes
13 eingestellt wird, um letzteres zu bearbeiten, wird die
Vorrichtung wie folgt betrieben: Beim Bilden des
Bearbeitungs-Startloches wird die Bearbeitungsoperation,
mit dem Bearbeitungskopf 1 an der oben beschriebenen
Referenzposition gehalten ausgeführt. Danach liefert die
Steuereinheit 16 ein Steuersignal an den Motor 14, so daß
der Bearbeitungskopf um den Betrag der Dicke
des Werkstückes 13 abgesenkt wird, und gleichzeitig ein
Steuersignal an den Motor 20, um die Düse 12a um den
Betrag der Dicke des Werkstückes 13 anzuheben.
Somit wird die Brennpunktposition des Laserstrahles 8 auf
die untere Oberfläche des Werkstückes 13 bewegt, wobei der
Spalt auf den Optimalwert eingestellt ist. Danach kann,
ähnlich wie bei der gewöhnlichen Bearbeitungsoperation,
die Bearbeitungsoperation durchgeführt werden, während sie
von der Kopiereinheit 17 gesteuert wird, wobei die Düse
12a stationär gehalten wird. Bei der oben beschriebenen
Bearbeitungsoperation wird, während der Bearbeitungskopf 1
um den Betrag der Dicke des Werkstückes 13 abwärts bewegt
wird, die Düse 12a um die gleiche Entfernung aufwärts
bewegt. Jedoch kann die Entfernung der Abwärtsbewegung des
Bearbeitungskopfes 1 und die Entfernung der
Aufwärtsbewegung der Düse 12a voneinander verschieden sein.
Nun werden die Funktionen des Spaltsensors 23 und seines
Schaltschützes 24, wie in Fig. 1 gezeigt, beschrieben. Es
sei angenommen, daß , wie in Fig. 1 gezeigt, der
Laserstrahl 8 auf die oberen Oberfläche des Werkstückes 13
fokussiert ist, und der Spalt auf den am besten geeigneten
Wert eingestellt ist. Eine gewöhnliche
Bearbeitungsoperation, in welcher der Laserstrahl 8 auf
die obere Oberfläche des Werkstückes 13 fokussiert ist,
wird durchgeführt, während sie von der Kopiereinheit 17
gesteuert wird. Wenn bei diesem Betrieb die Kopiereinheit
17 die Welligkeiten der Oberfläche des Werkstückes 14
detektiert, wird der Bearbeitungskopf 1 aufwärts und
abwärts bewegt; jedoch detektiert zur selben Zeit auch der
Schaltschütz 24 des Spaltsensors 23 die Welligkeiten der
Oberfläche des Werkstückes 13, um die herausragende Länge
der Düse 12a abzugleichen. Somit bleibt der
Spalt unverändert. Bei einer Bearbeitungsoperation, bei
welcher der Laserstrahl 8 auf der oberen Oberfläche des
Werkstückes 13 fokussiert ist, um ein Bearbeitungs-
Startloch darin zu bilden und auf der unteren Oberfläche
des Werkstückes 13 fokussiert ist, um letzteres zu
bearbeiten, wird das Bearbeitungs-Startloch unter
denselben Bedingungen (wie in Fig. 1 gezeigt) wie jene bei
dem oben beschriebenen Betrieb gebildet. Nach Abschluß der
Bildung des Bearbeitungs-Startloches liefert die
Steuereinheit 16 ein Steuersignal an den Motor 14, so daß
der Bearbeitungskopf 1 um die Dicke des Werkstückes 13
abwärts bewegt wird. Bei diesem Betrieb detektiert der
Spaltsensor 23 die Veränderung (oder Verringerung) des
Spaltes und gibt ein Steuersignal an den Motor 20, um die
herausragende Länge der Düse 12a zu verkleinern, und
dadurch den optimalen Spalt zu erhalten.
Somit kann die Brennpunktposition des Laserstrahles 8 auf
die untere Oberfläche des Werkstückes 13 verschoben
werden, wobei der Spalt auf den optimalen Wert eingestellt
ist. Die folgende Bearbeitungsoperation kann in
gewöhnlicher Weise ausgeführt werden.
In dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel wird die
Düse 12a mit dem Motor 20 bewegt; jedoch kann anstelle des
Motors 20 ein hydraulischer Zylinder oder Luftzylinder
verwendet werden. D. h., irgendwelche Einrichtungen können
verwendet werden, welche die Düse 12a vertikal bewegen
können.
Ferner ist in dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel
der Spaltsensor 23 vom Berührungstyp; jedoch kann er durch
einen Spaltsensor vom elektrostatischen Typ ersetzt
werden. D. h., irgendwelche Einrichtungen können verwendet
werden, welche den Spalt detektieren können.
In der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß der
Erfindung kann die herausragende Länge der Düse im
Bearbeitungskopf verändert werden, während die Position
des optischen Systems in dem Bearbeitungskopf unverändert
bleibt, und wenn die Steuereinheit ein Steuersignal
ausgibt, um den Bearbeitungskopf vertikal zu bewegen, wird
ein Signal ausgegeben, um die Düse in der Richtung
entgegengesetzt der Bewegungsrichtung des
Bearbeitungskopfes zu bewegen. Deshalb ist die
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung kostengünstig in der
Herstellung, hat geringe Abmessungen und ist
reaktionsschnell. Ferner wird mit der
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung die optische Achse des
Laserstrahles, der durch das optische System
hindurchtritt, nicht beeinflußt, selbst wenn die
Brennpunktposition des Laserstrahles von der oberen
Oberfläche des Werkstückes während der Bearbeitung auf die
untere Oberfläche des Werkstückes verschoben wird, und der
optimale Spalt wird zu jeder Zeit erhalten. Somit kann die
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung Bearbeitungsvorgänge
zuverlässig mit hoher Genauigkeit durchführen.
Zusätzlich wird bei der
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung der Erfindung die
herausragende Länge der Düse im Bearbeitungskopf mittels
Bewegungsenergie verändert, während die Position des
optischen Systems im Bearbeitungskopf unverändert bleibt,
und die Einrichtung zum Messen des Spaltes zwischen der
Düse und dem Werkstück ist vorgesehen, so daß das Ergebnis
der Messung verwendet wird, die herausragende Länge der
Düse zu verändern, um dadurch die Entfernung zwischen der
Düse und dem Werkstück konstant zu
halten. Somit kann selbst, wenn beim Fokussieren des
Laserstrahles auf die untere Oberfläche des Werkstückes,
die Dicke von letzterem variiert, der Spalt mit
Leichtigkeit auf den am besten geeigneten Wert eingestellt
werden. Zusätzlich wird selbst, wenn die
Brennpunktposition des Laserstrahles von der oberen
Oberfläche des Werkstückes während der Bearbeitung auf die
untere Oberfläche des Werkstückes verschoben wird, der
optimale Spalt zu jeder Zeit erhalten. Somit kann die
Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung der Erfindung
Bearbeitungsoperationen mit hoher Präzision sicher
ausführen.
Claims (7)
1. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, umfassend:
ein optisches System zum Konzentrieren eines Laserstrahls auf ein Werkstück;
eine Halteeinrichtung zum Halten des optischen Systems;
eine erste Antriebseinrichtung zum Bewegen der Halteeinrichtung entlang einer optischen Achse des Laserstrahles;
eine Düse, welche verschiebbar mit der Halteeinrichtung in Eingriff steht, um ein Bearbeitungsgas auszustoßen; und
eine zweite Antriebseinrichtung zum Bewegen der Düse.
ein optisches System zum Konzentrieren eines Laserstrahls auf ein Werkstück;
eine Halteeinrichtung zum Halten des optischen Systems;
eine erste Antriebseinrichtung zum Bewegen der Halteeinrichtung entlang einer optischen Achse des Laserstrahles;
eine Düse, welche verschiebbar mit der Halteeinrichtung in Eingriff steht, um ein Bearbeitungsgas auszustoßen; und
eine zweite Antriebseinrichtung zum Bewegen der Düse.
2. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
sie ferner umfaßt:
Steuerungseinrichtungen zum Steuern der ersten Antriebseinrichtung und der zweiten Antriebseinrichtung, wobei die ersten Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Halteeinrichtung in einer vorbestimmten Richtung zu bewegen, und die zweite Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Düse in einer umgekehrten Richtung bezüglich der vorbestimmten Richtung zu bewegen.
Steuerungseinrichtungen zum Steuern der ersten Antriebseinrichtung und der zweiten Antriebseinrichtung, wobei die ersten Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Halteeinrichtung in einer vorbestimmten Richtung zu bewegen, und die zweite Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Düse in einer umgekehrten Richtung bezüglich der vorbestimmten Richtung zu bewegen.
3. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein Betrag einer Bewegung der Düse gesteuert wird, um
einen Betrag einer Bewegung der Halteeinrichtung
auszugleichen.
4. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, welche umfaßt:
ein optisches System zum Konzentrieren eines Laserstrahles auf ein Werkstück;
eine Halteeinrichtung zum Halten des optischen Systems;
eine erste Antriebseinrichtung zum Bewegen der Halteeinrichtung entlang einer optischen Achse eines Laserstrahles;
eine erste Detektiereinrichtung zum Ermitteln der Entfernung zwischen der Halteeinrichtung und dem Werkstück;
eine Düse, welche verschiebbar mit der Halteeinrichtung in Eingriff steht, um ein Bearbeitungsgas oder ähnliches auszustoßen;
eine zweite Antriebseinrichtung zum Bewegen der Düse; und
eine zweite Detektiereinrichtung zum Ermitteln der Entfernung zwischen der Düse und dem Werkstück.
ein optisches System zum Konzentrieren eines Laserstrahles auf ein Werkstück;
eine Halteeinrichtung zum Halten des optischen Systems;
eine erste Antriebseinrichtung zum Bewegen der Halteeinrichtung entlang einer optischen Achse eines Laserstrahles;
eine erste Detektiereinrichtung zum Ermitteln der Entfernung zwischen der Halteeinrichtung und dem Werkstück;
eine Düse, welche verschiebbar mit der Halteeinrichtung in Eingriff steht, um ein Bearbeitungsgas oder ähnliches auszustoßen;
eine zweite Antriebseinrichtung zum Bewegen der Düse; und
eine zweite Detektiereinrichtung zum Ermitteln der Entfernung zwischen der Düse und dem Werkstück.
5. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
sie ferner umfaßt:
Steuerungseinrichtungen zum Steuern der ersten Antriebseinrichtung und der zweiten Antriebseinrichtung, wobei die ersten Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Halteeinrichtung in einer vorbestimmten Richtung zu bewegen, und die zweite Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Düse in einer umgekehrten Richtung bezüglich der vorbestimmten Richtung zu bewegen.
Steuerungseinrichtungen zum Steuern der ersten Antriebseinrichtung und der zweiten Antriebseinrichtung, wobei die ersten Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Halteeinrichtung in einer vorbestimmten Richtung zu bewegen, und die zweite Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Düse in einer umgekehrten Richtung bezüglich der vorbestimmten Richtung zu bewegen.
6. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein Betrag einer Bewegung der Düse gesteuert wird, um
einen Betrag einer Bewegung der Halteeinrichtung
auszugleichen.
7. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
sie ferner Steuerungseinrichtungen zum Steuern der
zweiten Antriebseinrichtung auf die Ermittlung der
zweiten Detektiereinrichtung hin umfaßt.
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