DE4104344A1 - Laserstrahl-bearbeitungsvorrichtung - Google Patents

Laserstrahl-bearbeitungsvorrichtung

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DE4104344A1
DE4104344A1 DE4104344A DE4104344A DE4104344A1 DE 4104344 A1 DE4104344 A1 DE 4104344A1 DE 4104344 A DE4104344 A DE 4104344A DE 4104344 A DE4104344 A DE 4104344A DE 4104344 A1 DE4104344 A1 DE 4104344A1
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Kiyoshi Sato
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Description

Diese Erfindung bezieht sich auf eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, und spezieller auf einen Bearbeitungskopf zum Regeln der Brennpunktposition des Laserstrahls.
Fig. 2 zeigt eine äußere Ansicht einer gewöhnlichen Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung.
In Fig. 2 bezeichnet Ziffer 1 einen Laserstrahl-Bearbeitungskopf; 2 eine Z-Achsen-Einheit zum Bewegen des Bearbeitungskopfes 1 vertikal (in einer Richtung einer Z-Achse); 3 eine Y-Achsen-Einheit zum Bewegen der Z-Achsen-Einheit 2 vorwärts und rückwärts (in einer Richtung einer Y-Achse); 4 eine Stütze, welche die Y-Achsen-Einheit 3 trägt; 5 ein Bett; 6 einen Tisch, welcher sich nach rechts und links (in einer Richtung einer X-Achse) auf dem Bett 5 bewegt; und 7 eine Metallabdeckung zum Schützen eines Tischantriebsmechanismus, der ausgelegt ist, den Tisch anzutreiben.
Fig. 3 zeigt die Anordnung des Bearbeitungskopfes in der herkömmlichen Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, welche zum Beispiel in der ungeprüften, veröffentlichten japanischen Patentanmeldung Nr. 1 59 285/1982 oder der ungeprüften, veröffentlichten Gebrauchsmusteranmeldung 1 89 492/1988 offenbart ist.
In Fig. 3 bezeichnet die Ziffer 8 einen Laserstrahl, 9 ein optisches System, wie etwa eine Linse, um den Laserstrahl 8 zu konzentrieren; 10a bezeichnet einen inneren Halter, der das optische System 9 hält; 10b einen äußeren Halter, welcher den inneren Halter 10a hält; 11 bezeichnet eine Antriebseinheit zum Antreiben des inneren Halters 10a in dem äußeren Halter 10b in solcher Weise, daß der innere Halter 10a entlang der optischen Achse (vertikal in Fig. 3) bewegt wird; 12 bezeichnet eine Düse, deren Außenwand mit einem (nicht gezeigten) Gewinde versehen ist, so daß sie mittels des Gewindes in Eingriff steht mit dem äußeren Halter 10b; d. h., die Düse wird gedreht, um in den äußeren Halter hinein und aus diesem herauszufahren, um die herausragende Länge der Düse 12 abzugleichen; 13 bezeichnet ein Werkstück; 14 und 15 bezeichnen einen elektrischen Motor bzw. einen Schraubenmechanismus, welche verwendet werden, um den Bearbeitungskopf 1 zu bewegen; 16 bezeichnet eine Steuerungseinheit zum Liefern von Antriebssignalen an den Motor 14; 17 bezeichnet eine Kopiereinheit zum Messen der Entfernung zwischen dem äußeren Halter 10b und dem Werkstück 13; 18 bezeichnet eine Signalleitung zum Übertragen des Ausgangssignales der Kopiereinheit 17 an die Steuereinheit 16; und 19 bezeichnet eine Signalleitung zum Liefern des ausgegebenen Signales der Steuerungseinheit 16 an den Motor 14.
Es wird nun der Betrieb der so aufgebauten Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung beschrieben.
Generell wird ein Laserstrahl-Bearbeitungsvorgang ausgeführt durch Richten des durch das optische System konzentrierten Laserstrahles 8 auf das Werkstück 13. Während der Bearbeitung ist es wesentlich, die Brennpunktposition des Laserstrahls 8 an einer vorbestimmten Position in Bezug auf das Werkstück 13 zu halten. Für diesen Zweck wird die Kopiereinheit 17 verwendet. Das Ausgangssignal der Kopiereinheit 17 wird auf die Steuerungseinheit 16 gegeben, welche wiederum ein Antriebsignal an den Motor 14 liefert, so daß die Entfernung zwischen dem äußeren Halter 10b und dem Werkstück 13 einen vorbestimmten Wert annimmt. Dementsprechend wird, solange wie die Position des optischen Systems 9 in dem äußeren Halter 10b unverändert gehalten wird, die Brennpunktposition des Laserstrahls 8 in einer vorbestimmten Entfernung von der oberen Oberfäche des Werkstückes 13 gehalten.
In dem Fall, in dem z. B. der Laserstrahl 8 auf der oberen Oberfläche des Werkstückes 13 fokussiert ist, wie in Fig. 3 gezeigt, ist die Brennpunktposition des Laserstrahls 8 wie folgt. Solange wie die Position des optischen Systems 9 und die Einstellungen anderer Komponenten unverändert bleiben, wird die Brennpunktposition des Laserstrahles 8 auf der oberen Oberfläche des Werkstückes 13 gehalten, selbst wenn die Dicke des Werkstückes 13 sich verändert.
Bei einem Laserstrahl-Bearbeitungsvorgang ist es auch wesentlich, die Entfernung (Spalt) zwischen der Düse 12 und dem Werkstück 13 konstant zu halten, weil der Spalt den Strahl des Bearbeitungsgases (im allgemeinen Sauerstoff) beeinflußt, welcher von der Düse 12 ausgestrahlt wird, um den Bearbeitungsvorgang zu beschleunigen und so den Bearbeitungsvorgang beeinflußt. Im allgemeinen wird der Spalt auf ungefähr 1 mm eingestellt. In diesem Fall wird die Düse 12 manuell gedreht, um die herausragende Länge der Düse 12 abzugleichen.
Bei einem Laserstrahl-Bearbeitungsvorgang wird im allgemeinen der Laserstrahl 8 auf der oberen Oberfläche des Werkstückes 13 fokussiert, jedoch kann, abhängig von dem Typ des Werkstückes 13 ein Fokussieren des Laserstrahles 8 auf der unteren Oberfläche des Werkstückes 13 ein besseres Resultat liefern.
In diesem Fall wird die Antriebseinheit 11 betrieben, um den inneren Halter 10a um so viel abwärts zu bewegen, wie die Dicke des Werkstückes 13 beträgt.
Die herkömmliche Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung ist wie oben beschrieben aufgebaut. Deshalb kann, wenn das optische System (oder Linse) vertikal bewegt wird, die optische Achse des Laserstrahles, welcher durch das optische System hindurchgeht, wegen des Spieles des Antriebsmechanismus beeinflußt werden. D. h., die zentrale Achse des optischen Systems wird parallel bewegt oder geneigt relativ zu der optischen Achse des einfallenden Laserstrahles. Um diese Schwierigkeit zu überwinden, ist es nötig, den Haltemechanismus für das optische System und den Bewegungsmechanismus für das optische System zu verwenden, welche hochpräzise sind. Die Verwendung solcher Mechanismen erhöht unvermeidbar die Herstellungskosten der Bearbeitungsvorrichtung. Zusätzlich ist es nötig, sowohl das optische System als auch seinen Halter zu bewegen und die beweglichen Komponenten sind beträchtlich schwer, und deren Antriebseinheiten sind ebenso notwendigerweise unförmig. Dementsprechend ist der gesamte Bearbeitungskopf groß, und seine Trägheit ist groß. Somit verschlechtert sich die Reaktion des Bearbeitungskopfes auf das Steuersignal.
In dem Fall, in dem verlangt wird, den Laserstrahl auf der unteren Oberfläche des Werkstückes zu fokussieren, um den Spalt optimal zu halten, ist es nötig, die herausragende Länge der Düse jedesmal abzugleichen, wenn sich die Dicke des Werkstückes verändert, was viel Zeit und Arbeit erfordert. Selbst wenn der Laserstrahl auf der unteren Oberfläche des Werkstückes während einer Bearbeitung (Schneiden) fokussiert werden soll, ist es manchmal vorzuziehen, den Laserstrahl auf der oberen Oberfläche des Werkstückes beim Bilden eines Bearbeitungs-(Schnitt)Startloches in dem Werkstück zu fokussieren. In solch einem Fall ist es unmöglich, den optimalen Spalt sowohl für die Bearbeitungsoperation als auch für den Vorgang des Bildens eines Bearbeitungs-Startloches zu erhalten.
Dementsprechend ist es eine Aufgabe dieser Erfindung, die oben beschriebenen Schwierigkeiten, welche eine herkömmliche Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung begleiten, zu eliminieren. Spezieller ist es Aufgabe der Erfindung, eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung vorzusehen, welche kostengünstig in der Herstellung ist und kleine Abmessung hat, in welcher die Brennpunktposition des Laserstrahls während einer Laserstrahlbearbeitung verändert wird, z. B. von der oberen Oberfläche eines Werkstückes auf die untere Oberfläche, die optische Achse des Laserstrahls, welcher durch das optische System hindurchtritt, nicht beeinflußt wird, und der Spalt zwischen der Düse und dem Werkstück zu jeder Zeit optimal eingehalten wird.
Eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung umfaßt: ein optisches System zum Bündeln eines Laserstrahl; Halteeinrichtungen zum Halten des optischen Systems; erste Antriebseinrichtungen zum Bewegen der Halteeinrichtungen entlang der optischen Achse des Laserstrahls; eine Düse, welche verschiebbar mit der Halteeinrichtung in Eingriff steht, und ein Bearbeitungsgas oder ähnliches ausstößt; und zweite Antriebseinrichtungen zum Bewegen der Düse.
Eine Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung umfaßt: ein optisches System zum Bündeln eines Laserstrahls; Halteeinrichtungen zum Halten des optischen Systems; erste Antriebseinrichtungen zum Bewegen der Halteeinrichtungen entlang der optischen Achse des Laserstrahls; erste Detektiereinrichtungen zum Detektieren der Entfernung zwischen den Halteeinrichtungen und einem Werkstück, welche verändert wird, wenn die Halteeinrichtung von der ersten Antriebseinrichtung bewegt wird; eine Düse, welche verschiebbar mit der Halteeinrichtung in Eingriff steht, und ein Bearbeitungsgas oder ähnliches ausstößt; zweite Antriebseinrichtungen zum Bewegen der Düse; und zweite Detektiereinrichtungen zum Detektieren der Entfernung zwischen der Düse und dem Werkstück, welche verändert wird, wenn die Düse von der zweiten Antriebseinrichtung bewegt wird.
In der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung wird die Länge der Ausstreckung der Düse in dem Bearbeitungskopf durch Bewegungsenergie verändert, während die Position des optischen Systems in dem Bearbeitungskopf unverändert gehalten wird. Somit wird die optische Achse des Laserstrahls nicht beeinflußt, selbst wenn der Laserstrahl auf der oberen oder unteren Oberfläche des Werkstückes oder auf anderen Teilen fokussiert wird, und die herausragende Länge der Düse kann mit Leichtigkeit eingestellt werden, wodurch der optimale Spalt zu jeder Zeit vorgesehen ist.
In der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß dem zweiten Aspekt der Erfindung wird die herausragende Länge der Düse in dem Bearbeitungskopf durch bewegende Kraft verändert, wobei die Position des optischen Systems in dem Bearbeitungskopf unverändert gehalten wird, und die Einrichtung zum Detektieren der Entfernung zwischen der Düse und dem Werkstück, so daß das Ergebnis einer Messung zum Abgleichen der herausragenden Länge der Düse verwendet wird, um dadurch die Entfernung zwischen der Düse und dem Werkstück konstant zu halten. Somit wird zu jeder Zeit der optimale Spalt vorgesehen.
Im folgenden soll die vorliegende Erfindung mit Bezug auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben werden.
Fig. 1 ist ein erläuterndes Diagramm, welches die Anordnung des Bearbeitungskopfes in einer Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, eines Ausführungsbeispieles dieser Erfindung, im Detail zeigt;
Fig. 2 ist eine perspektivische Ansicht, welche eine äußere Erscheinung einer allgemeinen Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung zeigt; und
Fig. 3 ist ein erläuterndes Diagramm, welches die Anordnung des Bearbeitungskopfes in einer herkömmlichen Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung zeigt.
Fig. 1 ist ein Diagramm, welches den Bearbeitungskopf einer Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, eines Ausführungsbeispieles dieser Erfindung, im Detail zeigt.
In Fig. 1 bezeichnen die Bezugsziffern 1, 8, 9 und 13 bis 19 dieselben Gegenstände wie jene in Fig. 3, die den herkömmlichen Bearbeitungskopf zeigt. Ferner bezeichnet in Fig. 1 die Ziffer 10 einen Halter, der das optische System 9 hält; und 12a bezeichnet eine Düse. Der Halter 10 ist, anders als der in dem herkömmlichen Bearbeitungskopf, eine Einheit, der nicht in die inneren und äußeren Halter unterteilt ist. Die äußere Wand der Düse 12a ist nicht mit einem Gewinde versehen, so daß die Düse 12a vertikal in dem Halter 10 gleiten kann. Es sollte vermerkt werden, daß zur besseren Verdeutlichung die Düse 12a in Fig. 1 vergrößert dargestellt ist; jedoch ist die Düse 12a in der Praxis hinreichend klein und leicht. Ferner bezeichnet in Fig. 1 die Bezugsziffer 20 einen elektrischen Motor, der auf dem Halter 10 montiert ist, um die Düse 12a aufwärts und abwärts zu bewegen; 21 bezeichnet einen Getriebekasten zum Umwandeln der Drehbewegung des Motors 20 in eine lineare Bewegung; 22 bezeichnet eine Verbindung zum Bewegen der Düse 12a vertikal; 23 bezeichnet einen Spaltsensor zum Messen der Entfernung (Spalt) zwischen der Düse 12a und dem Werkstück 13, um ein Steuersignal auf den Motor 20 zu geben, so daß der Spalt auf einem vorbestimmten Wert (eingestellten Wert) erhalten wird; 24 bezeichnet den Schaltschütz des Spaltsensors 23; 25 bezeichnet eine Signalleitung zum Übertragen des Ausgangssignales des Spaltsensors 23 an den Motor 20; und 26 bezeichnet eine Signalleitung, welche zwischen dem Motor 20 und der Steuereinheit 16 angeschlossen ist, so daß der Motor 20 durch die Steuereinheit 16, falls nötig, gesteuert wird.
Der Betrieb der so aufgebauten Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung wird nun beschrieben.
Für den Fall der Fig. 1 befindet sich die Brennpunktposition des Laserstrahls 8 auf der oberen Oberfläche des Werkstückes 13. Es sei angenommen, daß in diesem Fall der Spalt auf den am besten geeigneten Wert eingestellt ist, und die Steuereinheit 16 diesen Zustand als eine Referenz speichert. Bei einer gewöhnlichen Bearbeitungsoperation, in welcher die Brennpunktposition des Laserstrahles 8 auf die obere Oberfläche des Werkstückes 13 gesetzt ist, wird die Entfernung zwischen dem Halter 10 und dem Werkstück 13 von der Kopiereinheit 17 detektiert, wobei die Düse 12a gehalten wird, wie sie ist. Die Bearbeitungsoperation wird unter Steuerung von der Kopiereinheit 17 ausgeführt.
Bei einer Bearbeitungsoperation, in welcher der Laserstrahl 8 auf der oberen Oberfläche des Werkstückes 13 fokussiert ist, um ein Bearbeitungs-Startloch darin zu bilden und dann auf die untere Oberfläche des Werkstückes 13 eingestellt wird, um letzteres zu bearbeiten, wird die Vorrichtung wie folgt betrieben: Beim Bilden des Bearbeitungs-Startloches wird die Bearbeitungsoperation, mit dem Bearbeitungskopf 1 an der oben beschriebenen Referenzposition gehalten ausgeführt. Danach liefert die Steuereinheit 16 ein Steuersignal an den Motor 14, so daß der Bearbeitungskopf um den Betrag der Dicke des Werkstückes 13 abgesenkt wird, und gleichzeitig ein Steuersignal an den Motor 20, um die Düse 12a um den Betrag der Dicke des Werkstückes 13 anzuheben.
Somit wird die Brennpunktposition des Laserstrahles 8 auf die untere Oberfläche des Werkstückes 13 bewegt, wobei der Spalt auf den Optimalwert eingestellt ist. Danach kann, ähnlich wie bei der gewöhnlichen Bearbeitungsoperation, die Bearbeitungsoperation durchgeführt werden, während sie von der Kopiereinheit 17 gesteuert wird, wobei die Düse 12a stationär gehalten wird. Bei der oben beschriebenen Bearbeitungsoperation wird, während der Bearbeitungskopf 1 um den Betrag der Dicke des Werkstückes 13 abwärts bewegt wird, die Düse 12a um die gleiche Entfernung aufwärts bewegt. Jedoch kann die Entfernung der Abwärtsbewegung des Bearbeitungskopfes 1 und die Entfernung der Aufwärtsbewegung der Düse 12a voneinander verschieden sein.
Nun werden die Funktionen des Spaltsensors 23 und seines Schaltschützes 24, wie in Fig. 1 gezeigt, beschrieben. Es sei angenommen, daß , wie in Fig. 1 gezeigt, der Laserstrahl 8 auf die oberen Oberfläche des Werkstückes 13 fokussiert ist, und der Spalt auf den am besten geeigneten Wert eingestellt ist. Eine gewöhnliche Bearbeitungsoperation, in welcher der Laserstrahl 8 auf die obere Oberfläche des Werkstückes 13 fokussiert ist, wird durchgeführt, während sie von der Kopiereinheit 17 gesteuert wird. Wenn bei diesem Betrieb die Kopiereinheit 17 die Welligkeiten der Oberfläche des Werkstückes 14 detektiert, wird der Bearbeitungskopf 1 aufwärts und abwärts bewegt; jedoch detektiert zur selben Zeit auch der Schaltschütz 24 des Spaltsensors 23 die Welligkeiten der Oberfläche des Werkstückes 13, um die herausragende Länge der Düse 12a abzugleichen. Somit bleibt der Spalt unverändert. Bei einer Bearbeitungsoperation, bei welcher der Laserstrahl 8 auf der oberen Oberfläche des Werkstückes 13 fokussiert ist, um ein Bearbeitungs- Startloch darin zu bilden und auf der unteren Oberfläche des Werkstückes 13 fokussiert ist, um letzteres zu bearbeiten, wird das Bearbeitungs-Startloch unter denselben Bedingungen (wie in Fig. 1 gezeigt) wie jene bei dem oben beschriebenen Betrieb gebildet. Nach Abschluß der Bildung des Bearbeitungs-Startloches liefert die Steuereinheit 16 ein Steuersignal an den Motor 14, so daß der Bearbeitungskopf 1 um die Dicke des Werkstückes 13 abwärts bewegt wird. Bei diesem Betrieb detektiert der Spaltsensor 23 die Veränderung (oder Verringerung) des Spaltes und gibt ein Steuersignal an den Motor 20, um die herausragende Länge der Düse 12a zu verkleinern, und dadurch den optimalen Spalt zu erhalten.
Somit kann die Brennpunktposition des Laserstrahles 8 auf die untere Oberfläche des Werkstückes 13 verschoben werden, wobei der Spalt auf den optimalen Wert eingestellt ist. Die folgende Bearbeitungsoperation kann in gewöhnlicher Weise ausgeführt werden.
In dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel wird die Düse 12a mit dem Motor 20 bewegt; jedoch kann anstelle des Motors 20 ein hydraulischer Zylinder oder Luftzylinder verwendet werden. D. h., irgendwelche Einrichtungen können verwendet werden, welche die Düse 12a vertikal bewegen können.
Ferner ist in dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel der Spaltsensor 23 vom Berührungstyp; jedoch kann er durch einen Spaltsensor vom elektrostatischen Typ ersetzt werden. D. h., irgendwelche Einrichtungen können verwendet werden, welche den Spalt detektieren können.
In der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung gemäß der Erfindung kann die herausragende Länge der Düse im Bearbeitungskopf verändert werden, während die Position des optischen Systems in dem Bearbeitungskopf unverändert bleibt, und wenn die Steuereinheit ein Steuersignal ausgibt, um den Bearbeitungskopf vertikal zu bewegen, wird ein Signal ausgegeben, um die Düse in der Richtung entgegengesetzt der Bewegungsrichtung des Bearbeitungskopfes zu bewegen. Deshalb ist die Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung kostengünstig in der Herstellung, hat geringe Abmessungen und ist reaktionsschnell. Ferner wird mit der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung die optische Achse des Laserstrahles, der durch das optische System hindurchtritt, nicht beeinflußt, selbst wenn die Brennpunktposition des Laserstrahles von der oberen Oberfläche des Werkstückes während der Bearbeitung auf die untere Oberfläche des Werkstückes verschoben wird, und der optimale Spalt wird zu jeder Zeit erhalten. Somit kann die Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung Bearbeitungsvorgänge zuverlässig mit hoher Genauigkeit durchführen.
Zusätzlich wird bei der Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung der Erfindung die herausragende Länge der Düse im Bearbeitungskopf mittels Bewegungsenergie verändert, während die Position des optischen Systems im Bearbeitungskopf unverändert bleibt, und die Einrichtung zum Messen des Spaltes zwischen der Düse und dem Werkstück ist vorgesehen, so daß das Ergebnis der Messung verwendet wird, die herausragende Länge der Düse zu verändern, um dadurch die Entfernung zwischen der Düse und dem Werkstück konstant zu halten. Somit kann selbst, wenn beim Fokussieren des Laserstrahles auf die untere Oberfläche des Werkstückes, die Dicke von letzterem variiert, der Spalt mit Leichtigkeit auf den am besten geeigneten Wert eingestellt werden. Zusätzlich wird selbst, wenn die Brennpunktposition des Laserstrahles von der oberen Oberfläche des Werkstückes während der Bearbeitung auf die untere Oberfläche des Werkstückes verschoben wird, der optimale Spalt zu jeder Zeit erhalten. Somit kann die Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung der Erfindung Bearbeitungsoperationen mit hoher Präzision sicher ausführen.

Claims (7)

1. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, umfassend:
ein optisches System zum Konzentrieren eines Laserstrahls auf ein Werkstück;
eine Halteeinrichtung zum Halten des optischen Systems;
eine erste Antriebseinrichtung zum Bewegen der Halteeinrichtung entlang einer optischen Achse des Laserstrahles;
eine Düse, welche verschiebbar mit der Halteeinrichtung in Eingriff steht, um ein Bearbeitungsgas auszustoßen; und
eine zweite Antriebseinrichtung zum Bewegen der Düse.
2. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sie ferner umfaßt:
Steuerungseinrichtungen zum Steuern der ersten Antriebseinrichtung und der zweiten Antriebseinrichtung, wobei die ersten Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Halteeinrichtung in einer vorbestimmten Richtung zu bewegen, und die zweite Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Düse in einer umgekehrten Richtung bezüglich der vorbestimmten Richtung zu bewegen.
3. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Betrag einer Bewegung der Düse gesteuert wird, um einen Betrag einer Bewegung der Halteeinrichtung auszugleichen.
4. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung, welche umfaßt:
ein optisches System zum Konzentrieren eines Laserstrahles auf ein Werkstück;
eine Halteeinrichtung zum Halten des optischen Systems;
eine erste Antriebseinrichtung zum Bewegen der Halteeinrichtung entlang einer optischen Achse eines Laserstrahles;
eine erste Detektiereinrichtung zum Ermitteln der Entfernung zwischen der Halteeinrichtung und dem Werkstück;
eine Düse, welche verschiebbar mit der Halteeinrichtung in Eingriff steht, um ein Bearbeitungsgas oder ähnliches auszustoßen;
eine zweite Antriebseinrichtung zum Bewegen der Düse; und
eine zweite Detektiereinrichtung zum Ermitteln der Entfernung zwischen der Düse und dem Werkstück.
5. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß sie ferner umfaßt:
Steuerungseinrichtungen zum Steuern der ersten Antriebseinrichtung und der zweiten Antriebseinrichtung, wobei die ersten Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Halteeinrichtung in einer vorbestimmten Richtung zu bewegen, und die zweite Antriebseinrichtung gesteuert wird, um die Düse in einer umgekehrten Richtung bezüglich der vorbestimmten Richtung zu bewegen.
6. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Betrag einer Bewegung der Düse gesteuert wird, um einen Betrag einer Bewegung der Halteeinrichtung auszugleichen.
7. Laserstrahl-Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß sie ferner Steuerungseinrichtungen zum Steuern der zweiten Antriebseinrichtung auf die Ermittlung der zweiten Detektiereinrichtung hin umfaßt.
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