DE4027034C1 - - Google Patents

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Bjoern 6452 Hainburg De Elvers
Klemens 6485 Jossgrund De Ruebsam
Jochen 6307 Linden De Heinz
Georg 8755 Alzenau De Harwarth
Ulrich 6916 Wilhelmsfeld De Reibold
Norbert 6457 Maintal De Ross
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4120910A1 (de) * 1990-08-27 1993-01-07 Leybold Ag Vorrichtung zur laufenden beschichtung von bandfoermigen substraten
EP0792946A1 (de) 1996-02-28 1997-09-03 Balzers und Leybold Deutschland Holding AG Verdampferschiffchen zur Beschichtung von Substraten
WO2000028103A3 (en) * 1998-11-12 2000-08-31 Flex Products Inc Vapor source having linear aperture and coating process
DE4404550C2 (de) * 1994-02-12 2003-10-30 Applied Films Gmbh & Co Kg Anordnung zur Regelung der Verdampferrate von Tiegeln
DE102004047938A1 (de) * 2004-10-01 2006-04-13 Leybold Optics Gmbh Vorrichtung für die Beschichtung eines bandförmigen Substrates
DE102009009992A1 (de) 2009-02-23 2010-09-09 Leybold Optics Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Abscheidung von CIS-, CIGS- oder CIGSSe-Schichten
CN102212784A (zh) * 2010-04-12 2011-10-12 无锡尚德太阳能电力有限公司 沉积蒸发源

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006056984A1 (de) * 2006-11-30 2008-06-05 Leybold Optics Gmbh Laufende Beschichtung
CN107406969B (zh) * 2015-06-09 2020-06-19 株式会社爱发科 卷取式成膜装置、蒸发源单元和卷取式成膜方法
EP3124648B1 (de) 2015-07-31 2018-03-28 Hilberg & Partner GmbH Verdampfersystem sowie verdampfungsverfahren für die beschichtung eines bandförmigen substrats

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2052433A5 (enExample) * 1969-06-25 1971-04-09 Pennwalt Corp

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3615487A1 (de) * 1986-05-07 1987-11-19 Helmuth Schmoock Vorrichtung zur gleichmaessigen metallisierung von folien

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2052433A5 (enExample) * 1969-06-25 1971-04-09 Pennwalt Corp

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP 1-219157 A. In: Patents Abstracts of Japan, C-660, 29.11.89, Vol.13/No.536 *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4120910A1 (de) * 1990-08-27 1993-01-07 Leybold Ag Vorrichtung zur laufenden beschichtung von bandfoermigen substraten
DE4404550C2 (de) * 1994-02-12 2003-10-30 Applied Films Gmbh & Co Kg Anordnung zur Regelung der Verdampferrate von Tiegeln
EP0792946A1 (de) 1996-02-28 1997-09-03 Balzers und Leybold Deutschland Holding AG Verdampferschiffchen zur Beschichtung von Substraten
WO2000028103A3 (en) * 1998-11-12 2000-08-31 Flex Products Inc Vapor source having linear aperture and coating process
DE102004047938A1 (de) * 2004-10-01 2006-04-13 Leybold Optics Gmbh Vorrichtung für die Beschichtung eines bandförmigen Substrates
DE102004047938B4 (de) * 2004-10-01 2008-10-23 Leybold Optics Gmbh Vorrichtung für die Verdampferbeschichtung eines bandförmigen Substrates
DE102009009992A1 (de) 2009-02-23 2010-09-09 Leybold Optics Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Abscheidung von CIS-, CIGS- oder CIGSSe-Schichten
CN102212784A (zh) * 2010-04-12 2011-10-12 无锡尚德太阳能电力有限公司 沉积蒸发源

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