DE4021617A1 - Vorrichtung zum messen des eisengehaltes in zinkschichten - Google Patents
Vorrichtung zum messen des eisengehaltes in zinkschichtenInfo
- Publication number
- DE4021617A1 DE4021617A1 DE4021617A DE4021617A DE4021617A1 DE 4021617 A1 DE4021617 A1 DE 4021617A1 DE 4021617 A DE4021617 A DE 4021617A DE 4021617 A DE4021617 A DE 4021617A DE 4021617 A1 DE4021617 A1 DE 4021617A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- detectors
- detector
- angle
- measured
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Jib Cranes (AREA)
- Electrically Operated Instructional Devices (AREA)
- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Investigating And Analyzing Materials By Characteristic Methods (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen des
Eisengehaltes in Zinkschichten und/oder der Stärke der
Zinkschicht bei verzinktem Stahl, mittels Röntgen
strahlungsquelle und Strahlungsdetektor. Bei der
Stahlerzeugung wird bandförmiger Stahl zur Erhöhung
des Korrosionswiderstandes mit Zink beschichtet. Diese
Beschichtung erfolgt beispielsweise in einem so
genannten Galvannealing Prozeß d. h. durch
nachträgliches Aufheizen des verzinkten Stahls auf ca.
500 bis 600°C. Durch dieses "galvannealing"
diffundiert Eisen in die Zinkschicht, so daß
intermetallische Verbände zwischen Zink und Eisen
gebildet werden. Dieser intermetallische Verband ist
für die Weiterverarbeitbarkeit des beschichteten
Stahls und das Haftverhalten der Zinkschicht von
außerordentlich großer Bedeutung. Dabei kommt es
insbesondere darauf an, während des Herstel
lungsvorganges, den Eisenanteil in der Zinkschicht in
engen Grenzen einzustellen, wozu man die jeweils ge
nauen Prozentwerte des Eisengehaltes in der Zink
schicht kennen muß. Zur Bestimmung dieses
Eisenprozentanteils bzw. zum Messen des Eisenanteils
in der Zinkschicht wird von der Kawasaki Seitetsu Giho
unter dem Titel "CONTINUOUS MEASUREMENT OF FE CONTENT
IN GALVANNEALED COATING" vom 28.01.88, ein Verfahren
zur Messung der kristallographischen Gitterkonstanten
für die FE/ZN-Kristallisationen mit Hilfe der Bragg-
Methode beschrieben. Dieses Verfahren ist jedoch nur
für den Laborbetrieb geeignet, da der apparative Auf
wand sehr hoch ist, die Meßzeiten relativ lang sind,
nämlich länger als 20 Sekunden und eine Lageänderung
des Meßgutes zu fehlerhaften Meßergebnissen führt.
Weiterhin ist ein Verfahren bekannt, bei welchem durch
einen Röntgenstrahler eine Material-Strahlungs-
Anregung derart erfolgt, daß eine energieselektive
Messung für die Zink- und Eisenanteile mit Hilfe eines
Proportionalzählers erfolgen kann. Dieses Verfahren
wird von Schikawa Works Nisshin Steel Co. Ltd, Japan
unter dem Titel "MEASURING THE DEGREE OF ALLOYING OF
GALVANNEALED STEEL SHEETS BY X-RAY DIFFRACTION
TECHNIQUE AND ITS FRACTICAL USE" beschrieben. Nach
diesem Verfahren wird der Proportionalzähler
(Detektor) während des Meßvorganges in verschiedenen
Winkeln zur Oberfläche des Meßguts gebracht, so daß
aus diesen Meßergebnissen die Kristallstruktur
ermittelt werden kann. Dabei treten ganz erhebliche
Stablitätsprobleme auf, so daß beispielsweise alleine
die Bewegung des Meßgutes, d. h. die Bewegungen des
Materials um die Auflagefläche, zu Fehlmessungen
führen muß. Damit ist auch dieses Verfahren lediglich
für den Laborbetrieb geeignet.
Keines der bisher bekannten Verfahren zum Messen des
Eisengehaltes in Zinkschichten bei verzinktem Stahl
ist geeignet für Messungen während des Produktionsvor
ganges eingesetzt zu werden, um damit die aktuellen
Werte erkennbar zu machen, so daß die Prozeßsteuerung
entsprechend vorgenommen werden kann.
Die Erfindung hat sich daher die Aufgabe gestellt eine
Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zink
schichten und/oder der Zinkschichtstärke bei verzink
tem Stahl zu schaffen, durch die während des rauhen
Produktionsablaufes die aktuellen Beschichtungsmeß
werte ermittelt werden.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
die Vorrichtung einen Meßkopf aufweist, in dem eine
Hochspannungs-Röntgenstrahlungsquelle in einem Winkel
zwischen 60° und 120° - zur Ebene des zu messenden Ma
terials - und mindestens zwei mit selektiver Empfind
lichkeit ausgestattete Detektoren von denen ein Detek
tor in einem Winkel von maximal 30° und der andere De
tektor in einem Winkel zwischen 60° und 120° angeord
net sind.
Diese Meßvorrichtung ermöglicht, im sogenannten on
line-Betrieb, direkt nach dem Auftrag der Zinkschicht
die Messungen so vorzunehmen, daß der Eisengehalt in
der Zinkschicht festgestellt wird. Gleichzeitig kann
damit auch die Stärke der Zinkschicht gemessen und an
gezeigt werden.
Auf der Zeichnung ist eine beispielsweise Ausführungs
form der erfindungsgemäßen Vorrichtung schematisch
dargestellt.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Querschnitt durch die Vorrichtung.
Fig. 2 einen Querschnitt durch einen Ionisationskam
mer-Detektor mit Absorptionsfilter.
Fig. 3 einen Querschnitt durch einen
Halbleiterdioden-Detektor mit Absorptionsfil
ter.
Fig. 4 einen Querschnitt durch einen
Halbleiterdioden-Detektor mit Pulsdiskriminie
rung.
Der mit 1 bezeichnete Meßkopf weist eine
Hochspannungs-Röntgenstrahlungsquelle 2 sowie minde
stens zwei Detektoren 3 und 4 auf. Der dritte Detekor
5 ist dann anzuordnen, wenn bestimmte Produktionsbe
dingungen bzw. -abläufe, wie nachfolgend noch
beschrieben, dieses erfordern.
Die Röntgenstrahlungsquelle 2 ist in einem Winkel
Gamma zur Ebene des zu messenden Materials 6
(verzinkter Stahl) befestigt, während der Detektor 3
und 5 unter dem Winkel Alpha und Detektor 4 unter Win
kel Beta, ebenfalls zur Ebene des zu messenden
Materials 6, angeordnet sind. Der Winkel Gamma liegt
zwischen 60° und 120°, der Winkel Alpha beträgt maxi
mal 30° und der Winkel Beta liegt ebenfalls zwischen
60° bis 120°.
Die Detektoren 3, 4 und 5 sind als mit selektiver
Empfindlichkeit ausgestattete Detektoren aufgebaut,
das bedeutet, daß mittels dieser Detektoren die Inten
sität einer bestimmten Art von ionisierender Strahlung
(selektiv) in ein elektrisches Signal gewandelt und
damit meßbar gemacht wird.
Die Detektoren 3, 4 und 5 detektieren die
charakteristischen K-Linien von Zn (Zink) und Fe
(Eisen), wobei entweder entsprechende
Absorptionsfilter oder die Pulsdiskriminierung zum
Erreichen der selektiven Empfindlichkeit eingesetzt
werden. Beispielsweise einsetzbare Bauformen von
Detektoren werden anhand der Fig. 2, 3 und 4
erläutert.
Der in Fig. 2 schematisch dargestellte Detektor be
steht aus einem mit Edelgas gefüllten Metallgehäuse 7,
das als Ionisationskammer 18 bezeichnet wird. Das
Gehäuse 7 ist mit einem Eintrittsfenster 8,
beispielsweise aus Kunststoffolie, versehen. Im
Inneren des Gehäuses 7 - und gegenüber dem Gehäuse 7
isoliert - ist eine oder sind mehrere Metallelektroden
9 angebracht. Zwischen den Elektroden 9 und dem
Gehäuse 7 ist während des Betriebes Hochspannung
angelegt.
Tritt nun durch das Eintrittsfenster 8 ionisierende
Strahlung in das Gehäuse 7 ein, so bewirkt diese,
durch Drift der Ladungsträger im elektrischen Feld
der Hochspannung, einen meßbaren Stromfluß an den
Elektroden 9, welcher durch ein empfindliches
Amperemeter 11 meßbar ist. Dieser Stromfluß
reflektiert die Intensität der Strahlung. Die
selektive Empfindlichkeit des Detektors wird durch das
Anbringen einer entsprechenden Metallfolie 10, als
Absorptionsfilter, vor das Eintrittsfenster 8,
erzielt.
Derartige Absorptionsfilter bestehen beispielsweise
aus Kupfer, Eisen oder anderen geeigneten Metallen.
In Fig. 3 ist ein Halbleiterdioden-Detektor mit
seinen p- und n-leitenden Zonen 13 und 14 schematisch
dargestellt, dessen selektive Empfindlichkeit
ebenfalls durch die Anbringung einer Metallfolie 10
vor der Diode bewirkt wird. Ähnlich dem in Fig. 2
gezeigten Ionisationskammer-Detektoren wird auch bei
dem Halbleiterdioden-Detektor, mittels Hochspannung in
Sperrichtung der Dioden, eine große, ladungsträgerarme
Zone 12 gebildet, in der bei Eintritt von
ionisierender Strahlung, durch die Bildung von La
dungsträgerpaaren, ein meßbarer Stromfluß erzeugt
wird, der in einem empfindlichen Amperemeter 11
gemessen werden kann.Dieser Stromfluß reflektiert
wiederum die Intensität der Strahlung.
In Fig. 4 ist ein Halbleiterdetektor gezeigt, der in
seinem inneren Aufbau dem nach Fig. 3 entspricht.
Durch die Ankopplung eines sehr empfindlichen
Verstärkers 15 werden elektronisch gut zu
verarbeitende Impulse geliefert, deren Pulshöhen die
Energie der einzelnen Strahlungsquanten (der
ionisierenden Strahlung) reflektiert. Die selektive
Empfindlichkeit des Detektors wird durch die
elektronische Selektion der Pulshöhen in einem
Einkanaldiskriminator 16 erzielt.
Die Wirkungsweise ist folgende:
Das Meßgut 6, d. h. der zinkbeschichtete Stahl wird mit
Röntgenstrahlen aus der Röntgenröhre 2 bestrahlt und
zur Emission von Röntgen-Fluoreszenzlinien angeregt.
Dabei handelt es sich um die sogenannte charakteristi
sche K-Strahlung von Zink und Eisen. Diese
Fluoreszenzstrahlungen werden durch Detektoren 3 und 4
eventuell 5, die in den angegebenen Winkelbereichen
Alpha, Beta und Gamma angeordnet sind, nachgewiesen.
Der eine Detektor 3 bzw. 5, vor welchem sich
beispielsweise eine Kupfer-Metallfolie 10 als
Absorptionsfilter befindet, ist unter einem flachen
Winkel Alpha von maximal 30° zum Meßgut 6 montiert.
Die im Meßgut 6 angeregte Zinkstrahlung hat demzufolge
sehr lange Strecken zu durchqueren und erfährt daher
eine von der Zinkschichtstärke des Materials 6 nahezu
unabhängige Schwächung im Meßgut 6 selbst. Dieses
führt dazu, daß dieser Detektor 3 bzw. 5 in erster
Näherung nur den Eisengehalt der Beschichtung
registriert. Der andere Detekor 4 ist unter einem
Winkel Beta von 60° bis 120° zum Meßgut 6
positioniert, um eine möglichst große Eindringtiefe
der Beobachtung zu erzielen. Vor diesem Detektor 4 be
findet sich als Absorptionsfilter z. B. eine
Metallfolie 10 aus Eisen, so daß dieser zum Nachweis
der Eisenstrahlung ausgerüstet ist. Die Schwächung der
Intensität der ionisierenden Strahlung in der
Beschichtungsstärke wird in diesem Detektor 4 gemessen
und ergibt in erster Näherung die Zink-Flächenmasse
der Beschichtung.
Zur genauen Bestimmung der Meßwerte für die Zink-Flä
chenmasse und den prozentualen Eisengehalt in der Be
schichtung werden die Signale aus den o. g. Detektoren
3 und 4 einem mathematischen Algorithmus unterzogen,
bei dem der prozentuale Anteil Fe in der Zn Schicht
abhängig ist von dem Verhältnis der Flächenmasse zum
Eisengehalt. Diese Signale werden in allgemein bekann
ten elektronischen Datenverarbeitungseinrichtungen 17
verarbeitet, angezeigt und/oder registriert und zur
Steuerung des Herstellungsprozesses verwendet.
Sollte aufgrund bestimmter Produktionsgegebenheiten,
während des Produktionsablaufes, Verkippungen oder
Flatterbewegungen des Meßgutes 6 erfolgen, so daß da
mit Meßungenauigkeiten befürchtet werden müssen, so
können diese Meßungenauigkeiten durch die Anordnung
eines dritten Detektors 5 eliminiert werden. Dieser
dritte Detektor 5 muß symmetrisch zu dem Detektor 3,
d.h. im gleichen Winkel Alpha zum Meßgut 6 angebracht
sein, so daß beispielsweise bei Verkippung des Meß
gutes 6 entgegen dem Uhrzeigersinn die geringere Meß
wertfeststellung des Detektors 3 durch eine größere
Meßwertfeststellung des Detektors 5 eliminiert ist.
Claims (6)
1. Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in
Zinkschichten und/oder der Stärke der Zinkschicht
bei verzinktem Stahl, bestehend aus
Röntgenstrahlungsquelle und Strahlungsdetektor,
dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung einen
Meßkopf (1) aufweist in dem eine Hochspannungs-
Röntgenstrahlungsquelle (2) in einem Winkel
(Gamma) zwischen 60° und 120° und mindestens zwei
mit selektiver Empfindlichkeit ausgestattete
Detektoren (3, 4) von denen ein Detektor (3) in
einem Winkel (Alpha) von maximal 30° und der
andere Detektor (4) in einem Winkel (Beta)
zwischen 60° bis 120° jeweils zur Ebene des zu
messenden Materials (6) angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß der Meßkopf (1) eine
Hochspannungs-Röntgenstrahlungsquelle (2) und
drei Detektoren (3, 4 und 5) aufweist,wobei die
Detektoren (3 und 5) im gleichen Winkel (Alpha)
zur Ebene des zu messenden Materials (6)
angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Detektoren (3, 4, 5) durch
Anbringung einer Metallfolie (10) als
Absorptionsfilter, selektive Empfindlichkeit
aufweisen.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Detektoren (3, 4, 5) als
Halbleiterdioden-Detektoren ausgebildet und
jeweils an einen empfindlichen Verstärker (15)
gekoppelt sind, wobei die Verstärkerimpulse in
einem Einkanaldiskriminator (16) zur Erzielung
der selektiven Empfindlichkeit der Detektoren
(3, 4, 5) elektronisch auswählbar sind.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der
Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Detektoren-Signale (3, 4, 5) einer an sich
bekannten elektronischen
Datenverarbeitungseinrichtung zur Darstellung
und/oder Sichtbarmachung der Meßergebnisse
zugeleitet werden.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß mit den Meßergebnissen durch
an sich bekannte Mittel der Fertigungsprozess
gesteuert ist.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4021617A DE4021617C2 (de) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | Vorrichtung zum kontinuierlichen Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten |
DE59109053T DE59109053D1 (de) | 1990-07-06 | 1991-05-16 | Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten |
AT91107889T ATE171274T1 (de) | 1990-07-06 | 1991-05-16 | Vorrichtung zum messen des eisengehaltes in zinkschichten |
EP91107889A EP0465797B1 (de) | 1990-07-06 | 1991-05-16 | Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten |
FI913029A FI913029A (fi) | 1990-07-06 | 1991-06-20 | Foerfarande foer maetning av jaernhalten i zinkskikt. |
JP03252713A JP3079389B2 (ja) | 1990-07-06 | 1991-06-28 | 亜鉛層の鉄含有量を測定する装置 |
US07/726,585 US5187727A (en) | 1990-07-06 | 1991-07-08 | Method and apparatus for measuring the iron content in zinc layer and thickness of zinc layer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4021617A DE4021617C2 (de) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | Vorrichtung zum kontinuierlichen Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4021617A1 true DE4021617A1 (de) | 1992-01-16 |
DE4021617C2 DE4021617C2 (de) | 1993-12-02 |
Family
ID=6409820
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4021617A Expired - Fee Related DE4021617C2 (de) | 1990-07-06 | 1990-07-06 | Vorrichtung zum kontinuierlichen Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten |
DE59109053T Expired - Fee Related DE59109053D1 (de) | 1990-07-06 | 1991-05-16 | Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59109053T Expired - Fee Related DE59109053D1 (de) | 1990-07-06 | 1991-05-16 | Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5187727A (de) |
EP (1) | EP0465797B1 (de) |
JP (1) | JP3079389B2 (de) |
AT (1) | ATE171274T1 (de) |
DE (2) | DE4021617C2 (de) |
FI (1) | FI913029A (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4303878A1 (de) * | 1993-02-10 | 1994-09-01 | Amtec Analysenmestechnik Gmbh | Verfahren zur Schichtanalyse nach dem Röntgenfluoreszenzverfahren unter Berücksichtigung unterschiedlicher Grund- und Schichtwerkstoffe |
DE19931298B4 (de) * | 1998-07-16 | 2007-05-03 | Panalytical B.V. | Verfahren zur Analyse dünner Schichten mit Röntgenfluoreszenz |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH684903A5 (de) * | 1992-08-27 | 1995-01-31 | Balzers Hochvakuum | Verfahren zur Beurteilung der Beschichtbarkeit von Metallen. |
US5414747A (en) * | 1993-02-22 | 1995-05-09 | The Penn State Research Foundation | Method and apparatus for in-process analysis of polycrystalline films and coatings by x-ray diffraction |
JP3062685B2 (ja) * | 1998-07-23 | 2000-07-12 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 蛍光x線分析計 |
CN1331798A (zh) * | 1998-12-21 | 2002-01-16 | 康宁股份有限公司 | 进行x射线荧光发散分析以确定材料浓度 |
GB0016591D0 (en) * | 2000-07-06 | 2000-08-23 | Elcometer Instr Ltd | Dual mode coating thickness measuring instrument |
US6732059B2 (en) * | 2001-08-23 | 2004-05-04 | William K. Warburton | Ultra-low background gas-filled alpha counter |
US7202475B1 (en) * | 2003-03-06 | 2007-04-10 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Rapid defect composition mapping using multiple X-ray emission perspective detection scheme |
JP4262734B2 (ja) | 2005-09-14 | 2009-05-13 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置および方法 |
WO2007034570A1 (ja) * | 2005-09-22 | 2007-03-29 | Jfe Steel Corporation | 亜鉛系めっき鋼板のプレス成形性評価方法 |
DE102006048688B4 (de) * | 2006-10-14 | 2022-02-03 | Byk Gardner Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Oberflächen mit Effektpigmenten |
DE102011122930B3 (de) * | 2011-06-27 | 2014-07-17 | Rayonic Sensor Systems Gmbh | System und Verfahren zum Messen der Dicke einer Zinkschicht auf Stahl und zum Messen des Eisengehaltes einer Zinkschicht |
DE102011051365B4 (de) | 2011-06-27 | 2013-08-22 | Rayonic Sensor Systems Gmbh | Detektionseinrichtung und System zum Messen der Dicke einer Zinkschicht auf Stahl und zum Messen des Eisengehaltes einer Zinkschicht |
DE102012105591A1 (de) | 2011-06-27 | 2012-12-27 | Rayonic Sensor Systems Gmbh | Dispersive Ionisationskammer |
AU2019268796A1 (en) * | 2018-05-18 | 2020-12-17 | Enersoft Inc. | Systems, devices, and methods for analysis of geological samples |
BR112023016981A2 (pt) * | 2021-02-26 | 2023-10-10 | Bekaert Sa Nv | Método de medição do conteúdo de um elemento químico em um revestimento |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3031046A1 (de) * | 1980-08-16 | 1982-04-15 | Klöckner-Humboldt-Deutz AG, 5000 Köln | Messkopf fuer ein roentgenfluoreszenz-analysenmessgeraet |
DE3718245A1 (de) * | 1986-06-02 | 1987-12-03 | Outokumpu Oy | Verfahren und vorrichtung zum analysieren schlammiger stoffe |
US4764945A (en) * | 1984-10-05 | 1988-08-16 | Kawasaki Steel Corp. | Method of measuring layer thickness and composition of alloy plating |
DD263673A3 (de) * | 1989-01-11 | Vorrichtng zur Bestimmung der Dicke und/oder Zusammensetzung von Messingüberzügen |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE263673C (de) * | ||||
US3012140A (en) * | 1959-01-28 | 1961-12-05 | United States Steel Corp | Apparatus for measuring the thickness of a coating on a base material |
US3843884A (en) * | 1971-09-20 | 1974-10-22 | Industrial Nucleonics Corp | X-ray gauging method and apparatus with stabilized response |
US3848125A (en) * | 1971-09-20 | 1974-11-12 | Industrial Nucleonics Corp | Coating thickness gauge |
JPS57172207A (en) * | 1981-04-16 | 1982-10-23 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Measuring method for plating thickness by x rays |
JPS6145916A (ja) * | 1984-08-09 | 1986-03-06 | Rigaku Denki Kogyo Kk | 放射線付着量計 |
JPS61195335A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-08-29 | Shimadzu Corp | 薄層の定量分析方法 |
US4748647A (en) * | 1985-08-12 | 1988-05-31 | General Electric Company | Fuel tube barrier gauge |
US4959848A (en) * | 1987-12-16 | 1990-09-25 | Axic Inc. | Apparatus for the measurement of the thickness and concentration of elements in thin films by means of X-ray analysis |
GB8811459D0 (en) * | 1988-05-13 | 1988-06-15 | Dmc Boyle Ltd | Method & apparatus for measuring thickness of coating on substrate |
JPH0739987B2 (ja) * | 1988-06-28 | 1995-05-01 | 川崎製鉄株式会社 | 皮膜の厚みと組成の同時測定方法 |
US5081658A (en) * | 1989-03-30 | 1992-01-14 | Nkk Corporation | Method of measuring plating amount and plating film composition of plated steel plate and apparatus therefor |
-
1990
- 1990-07-06 DE DE4021617A patent/DE4021617C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-05-16 AT AT91107889T patent/ATE171274T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-05-16 DE DE59109053T patent/DE59109053D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-05-16 EP EP91107889A patent/EP0465797B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-06-20 FI FI913029A patent/FI913029A/fi not_active Application Discontinuation
- 1991-06-28 JP JP03252713A patent/JP3079389B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1991-07-08 US US07/726,585 patent/US5187727A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD263673A3 (de) * | 1989-01-11 | Vorrichtng zur Bestimmung der Dicke und/oder Zusammensetzung von Messingüberzügen | ||
DE3031046A1 (de) * | 1980-08-16 | 1982-04-15 | Klöckner-Humboldt-Deutz AG, 5000 Köln | Messkopf fuer ein roentgenfluoreszenz-analysenmessgeraet |
US4764945A (en) * | 1984-10-05 | 1988-08-16 | Kawasaki Steel Corp. | Method of measuring layer thickness and composition of alloy plating |
DE3718245A1 (de) * | 1986-06-02 | 1987-12-03 | Outokumpu Oy | Verfahren und vorrichtung zum analysieren schlammiger stoffe |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
Prospekt der Fa. Siemens, Systeme für die energiedispersive Analyse, 1974 * |
SEDA, J. et al.: Verminderung des statistischen Fehlers bei Messung von Auflageschichten mittels Röntgenfluoreszenzstrahlung, Isotopenpraxis, 10. Jg., H. 8, 1974, S. 303-305 * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4303878A1 (de) * | 1993-02-10 | 1994-09-01 | Amtec Analysenmestechnik Gmbh | Verfahren zur Schichtanalyse nach dem Röntgenfluoreszenzverfahren unter Berücksichtigung unterschiedlicher Grund- und Schichtwerkstoffe |
DE19931298B4 (de) * | 1998-07-16 | 2007-05-03 | Panalytical B.V. | Verfahren zur Analyse dünner Schichten mit Röntgenfluoreszenz |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI913029A0 (fi) | 1991-06-20 |
EP0465797A2 (de) | 1992-01-15 |
EP0465797B1 (de) | 1998-09-16 |
JP3079389B2 (ja) | 2000-08-21 |
FI913029A (fi) | 1992-01-07 |
ATE171274T1 (de) | 1998-10-15 |
JPH04232448A (ja) | 1992-08-20 |
EP0465797A3 (en) | 1992-10-14 |
DE4021617C2 (de) | 1993-12-02 |
DE59109053D1 (de) | 1998-10-22 |
US5187727A (en) | 1993-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4021617C2 (de) | Vorrichtung zum kontinuierlichen Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten | |
DE102006023309B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von Materialen mittels Schnellneutronen und eines kontinuierlichen spektralen Röntgenstrahles | |
DE60003695T2 (de) | Röntgenfluoreszenzanalyse von mehrschichtigen proben | |
DE68928315T2 (de) | Methode zur messung der dicke eines überzugs auf einem substrat | |
DE1296829B (de) | Verfahren und Vorrichtungen zur Bestimmung des Gehaltes einer Probe an schweren Elementen durch Messung ihrer optisch angeregten K alfa- oder K beta-Roentgenfluoreszenzlinien | |
DE3236604A1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur bestimmung der fluiddichte und stroemungsgeschwindigkeiten in vielphasigen stroemungssystemen | |
DE68920187T2 (de) | Apparat zur Messung der an einer Strahlungsquelle angelegten Spitzenspannung. | |
DE69523476T2 (de) | Schichtdickenmessung, die rückstreuung von hochenergischen photonen verwendet | |
DE3887880T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur gleichzeitigen Messung der Dicke und Zusammensetzung einer dünnen Schicht. | |
DE3915613C2 (de) | ||
DE2850748A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur mikroanalyse mittels einer roentgenstrahlung | |
DE4233830C2 (de) | Strahlpositionsmonitor | |
DE2706629C3 (de) | Einrichtung zur Überwachung der Position und der räumlichen Verteilung eines Elektronenstrahlbündels hoher Energie | |
DE2721694A1 (de) | Detektor zum nachweis ionisierender strahlung | |
DE3107329A1 (de) | "verfahren zum bestimmen des salzgehaltes von wasser in oder hinter einer bohrloch-verrohrung" | |
DE69510734T2 (de) | Röntgenspektrometer mit streifendem ausfallwinkel | |
DE2817742C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen technologischer Kennwerte | |
DE102005048644A1 (de) | Verfahren zur Bestimmung eines Flächengewichtes und/oder einer chemischen Zusammensetzung einer geförderten Materialprobe | |
DE2122738C3 (de) | Verfahren zur zerstörungsfreien Messung der Exzentrizität eines metallenen Stabkernes gegenüber einer äußeren Umhüllung anderer Materialdichte | |
AT8087U1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der dicke der isolation eines flachkabels in bereichen der metallischen leiterbahnen | |
DE1690098A1 (de) | Kabelpruefverfahren | |
DE2347037B2 (de) | Meßsystem einer Bohrloch-Sonde | |
DE19919990A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke einer Metallschicht | |
DE2500510A1 (de) | Verfahren zur selektierung der kernstrahlung bestimmter gasfoermiger radionuklide, insbesondere niederenergetischer elektronenstrahler | |
DE4423338A1 (de) | Detektor für eine Meßvorrichtung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: FAG KUGELFISCHER GEORG SCHAEFER AG, 97421 SCHWEINF |
|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: EBERLINE INSTRUMENTS GMBH, 91056 ERLANGEN, DE |
|
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |