DE4021617A1 - Vorrichtung zum messen des eisengehaltes in zinkschichten - Google Patents

Vorrichtung zum messen des eisengehaltes in zinkschichten

Info

Publication number
DE4021617A1
DE4021617A1 DE4021617A DE4021617A DE4021617A1 DE 4021617 A1 DE4021617 A1 DE 4021617A1 DE 4021617 A DE4021617 A DE 4021617A DE 4021617 A DE4021617 A DE 4021617A DE 4021617 A1 DE4021617 A1 DE 4021617A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
detectors
detector
angle
measured
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE4021617A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4021617C2 (de
Inventor
Friedrich Dr Vogler
Hans-Werner Dr Ortner
Matthias Mayerhofer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thermo Fisher Scientific Messtechnik GmbH
Original Assignee
FAG Kugelfischer Georg Schaefer KGaA
Kugelfischer Georg Schaefer and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by FAG Kugelfischer Georg Schaefer KGaA, Kugelfischer Georg Schaefer and Co filed Critical FAG Kugelfischer Georg Schaefer KGaA
Priority to DE4021617A priority Critical patent/DE4021617C2/de
Priority to EP91107889A priority patent/EP0465797B1/de
Priority to DE59109053T priority patent/DE59109053D1/de
Priority to AT91107889T priority patent/ATE171274T1/de
Priority to FI913029A priority patent/FI913029A/fi
Priority to JP03252713A priority patent/JP3079389B2/ja
Priority to US07/726,585 priority patent/US5187727A/en
Publication of DE4021617A1 publication Critical patent/DE4021617A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4021617C2 publication Critical patent/DE4021617C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076X-ray fluorescence

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Jib Cranes (AREA)
  • Electrically Operated Instructional Devices (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
  • Investigating And Analyzing Materials By Characteristic Methods (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten und/oder der Stärke der Zinkschicht bei verzinktem Stahl, mittels Röntgen­ strahlungsquelle und Strahlungsdetektor. Bei der Stahlerzeugung wird bandförmiger Stahl zur Erhöhung des Korrosionswiderstandes mit Zink beschichtet. Diese Beschichtung erfolgt beispielsweise in einem so­ genannten Galvannealing Prozeß d. h. durch nachträgliches Aufheizen des verzinkten Stahls auf ca. 500 bis 600°C. Durch dieses "galvannealing" diffundiert Eisen in die Zinkschicht, so daß intermetallische Verbände zwischen Zink und Eisen gebildet werden. Dieser intermetallische Verband ist für die Weiterverarbeitbarkeit des beschichteten Stahls und das Haftverhalten der Zinkschicht von außerordentlich großer Bedeutung. Dabei kommt es insbesondere darauf an, während des Herstel­ lungsvorganges, den Eisenanteil in der Zinkschicht in engen Grenzen einzustellen, wozu man die jeweils ge­ nauen Prozentwerte des Eisengehaltes in der Zink­ schicht kennen muß. Zur Bestimmung dieses Eisenprozentanteils bzw. zum Messen des Eisenanteils in der Zinkschicht wird von der Kawasaki Seitetsu Giho unter dem Titel "CONTINUOUS MEASUREMENT OF FE CONTENT IN GALVANNEALED COATING" vom 28.01.88, ein Verfahren zur Messung der kristallographischen Gitterkonstanten für die FE/ZN-Kristallisationen mit Hilfe der Bragg- Methode beschrieben. Dieses Verfahren ist jedoch nur für den Laborbetrieb geeignet, da der apparative Auf­ wand sehr hoch ist, die Meßzeiten relativ lang sind, nämlich länger als 20 Sekunden und eine Lageänderung des Meßgutes zu fehlerhaften Meßergebnissen führt.
Weiterhin ist ein Verfahren bekannt, bei welchem durch einen Röntgenstrahler eine Material-Strahlungs- Anregung derart erfolgt, daß eine energieselektive Messung für die Zink- und Eisenanteile mit Hilfe eines Proportionalzählers erfolgen kann. Dieses Verfahren wird von Schikawa Works Nisshin Steel Co. Ltd, Japan unter dem Titel "MEASURING THE DEGREE OF ALLOYING OF GALVANNEALED STEEL SHEETS BY X-RAY DIFFRACTION TECHNIQUE AND ITS FRACTICAL USE" beschrieben. Nach diesem Verfahren wird der Proportionalzähler (Detektor) während des Meßvorganges in verschiedenen Winkeln zur Oberfläche des Meßguts gebracht, so daß aus diesen Meßergebnissen die Kristallstruktur ermittelt werden kann. Dabei treten ganz erhebliche Stablitätsprobleme auf, so daß beispielsweise alleine die Bewegung des Meßgutes, d. h. die Bewegungen des Materials um die Auflagefläche, zu Fehlmessungen führen muß. Damit ist auch dieses Verfahren lediglich für den Laborbetrieb geeignet.
Keines der bisher bekannten Verfahren zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten bei verzinktem Stahl ist geeignet für Messungen während des Produktionsvor­ ganges eingesetzt zu werden, um damit die aktuellen Werte erkennbar zu machen, so daß die Prozeßsteuerung entsprechend vorgenommen werden kann.
Die Erfindung hat sich daher die Aufgabe gestellt eine Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zink­ schichten und/oder der Zinkschichtstärke bei verzink­ tem Stahl zu schaffen, durch die während des rauhen Produktionsablaufes die aktuellen Beschichtungsmeß­ werte ermittelt werden.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Vorrichtung einen Meßkopf aufweist, in dem eine Hochspannungs-Röntgenstrahlungsquelle in einem Winkel zwischen 60° und 120° - zur Ebene des zu messenden Ma­ terials - und mindestens zwei mit selektiver Empfind­ lichkeit ausgestattete Detektoren von denen ein Detek­ tor in einem Winkel von maximal 30° und der andere De­ tektor in einem Winkel zwischen 60° und 120° angeord­ net sind.
Diese Meßvorrichtung ermöglicht, im sogenannten on­ line-Betrieb, direkt nach dem Auftrag der Zinkschicht die Messungen so vorzunehmen, daß der Eisengehalt in der Zinkschicht festgestellt wird. Gleichzeitig kann damit auch die Stärke der Zinkschicht gemessen und an­ gezeigt werden.
Auf der Zeichnung ist eine beispielsweise Ausführungs­ form der erfindungsgemäßen Vorrichtung schematisch dargestellt.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Querschnitt durch die Vorrichtung.
Fig. 2 einen Querschnitt durch einen Ionisationskam­ mer-Detektor mit Absorptionsfilter.
Fig. 3 einen Querschnitt durch einen Halbleiterdioden-Detektor mit Absorptionsfil­ ter.
Fig. 4 einen Querschnitt durch einen Halbleiterdioden-Detektor mit Pulsdiskriminie­ rung.
Der mit 1 bezeichnete Meßkopf weist eine Hochspannungs-Röntgenstrahlungsquelle 2 sowie minde­ stens zwei Detektoren 3 und 4 auf. Der dritte Detekor 5 ist dann anzuordnen, wenn bestimmte Produktionsbe­ dingungen bzw. -abläufe, wie nachfolgend noch beschrieben, dieses erfordern.
Die Röntgenstrahlungsquelle 2 ist in einem Winkel Gamma zur Ebene des zu messenden Materials 6 (verzinkter Stahl) befestigt, während der Detektor 3 und 5 unter dem Winkel Alpha und Detektor 4 unter Win­ kel Beta, ebenfalls zur Ebene des zu messenden Materials 6, angeordnet sind. Der Winkel Gamma liegt zwischen 60° und 120°, der Winkel Alpha beträgt maxi­ mal 30° und der Winkel Beta liegt ebenfalls zwischen 60° bis 120°.
Die Detektoren 3, 4 und 5 sind als mit selektiver Empfindlichkeit ausgestattete Detektoren aufgebaut, das bedeutet, daß mittels dieser Detektoren die Inten­ sität einer bestimmten Art von ionisierender Strahlung (selektiv) in ein elektrisches Signal gewandelt und damit meßbar gemacht wird.
Die Detektoren 3, 4 und 5 detektieren die charakteristischen K-Linien von Zn (Zink) und Fe (Eisen), wobei entweder entsprechende Absorptionsfilter oder die Pulsdiskriminierung zum Erreichen der selektiven Empfindlichkeit eingesetzt werden. Beispielsweise einsetzbare Bauformen von Detektoren werden anhand der Fig. 2, 3 und 4 erläutert.
Der in Fig. 2 schematisch dargestellte Detektor be­ steht aus einem mit Edelgas gefüllten Metallgehäuse 7, das als Ionisationskammer 18 bezeichnet wird. Das Gehäuse 7 ist mit einem Eintrittsfenster 8, beispielsweise aus Kunststoffolie, versehen. Im Inneren des Gehäuses 7 - und gegenüber dem Gehäuse 7 isoliert - ist eine oder sind mehrere Metallelektroden 9 angebracht. Zwischen den Elektroden 9 und dem Gehäuse 7 ist während des Betriebes Hochspannung angelegt.
Tritt nun durch das Eintrittsfenster 8 ionisierende Strahlung in das Gehäuse 7 ein, so bewirkt diese, durch Drift der Ladungsträger im elektrischen Feld der Hochspannung, einen meßbaren Stromfluß an den Elektroden 9, welcher durch ein empfindliches Amperemeter 11 meßbar ist. Dieser Stromfluß reflektiert die Intensität der Strahlung. Die selektive Empfindlichkeit des Detektors wird durch das Anbringen einer entsprechenden Metallfolie 10, als Absorptionsfilter, vor das Eintrittsfenster 8, erzielt.
Derartige Absorptionsfilter bestehen beispielsweise aus Kupfer, Eisen oder anderen geeigneten Metallen.
In Fig. 3 ist ein Halbleiterdioden-Detektor mit seinen p- und n-leitenden Zonen 13 und 14 schematisch dargestellt, dessen selektive Empfindlichkeit ebenfalls durch die Anbringung einer Metallfolie 10 vor der Diode bewirkt wird. Ähnlich dem in Fig. 2 gezeigten Ionisationskammer-Detektoren wird auch bei dem Halbleiterdioden-Detektor, mittels Hochspannung in Sperrichtung der Dioden, eine große, ladungsträgerarme Zone 12 gebildet, in der bei Eintritt von ionisierender Strahlung, durch die Bildung von La­ dungsträgerpaaren, ein meßbarer Stromfluß erzeugt wird, der in einem empfindlichen Amperemeter 11 gemessen werden kann.Dieser Stromfluß reflektiert wiederum die Intensität der Strahlung.
In Fig. 4 ist ein Halbleiterdetektor gezeigt, der in seinem inneren Aufbau dem nach Fig. 3 entspricht.
Durch die Ankopplung eines sehr empfindlichen Verstärkers 15 werden elektronisch gut zu verarbeitende Impulse geliefert, deren Pulshöhen die Energie der einzelnen Strahlungsquanten (der ionisierenden Strahlung) reflektiert. Die selektive Empfindlichkeit des Detektors wird durch die elektronische Selektion der Pulshöhen in einem Einkanaldiskriminator 16 erzielt.
Die Wirkungsweise ist folgende:
Das Meßgut 6, d. h. der zinkbeschichtete Stahl wird mit Röntgenstrahlen aus der Röntgenröhre 2 bestrahlt und zur Emission von Röntgen-Fluoreszenzlinien angeregt. Dabei handelt es sich um die sogenannte charakteristi­ sche K-Strahlung von Zink und Eisen. Diese Fluoreszenzstrahlungen werden durch Detektoren 3 und 4 eventuell 5, die in den angegebenen Winkelbereichen Alpha, Beta und Gamma angeordnet sind, nachgewiesen. Der eine Detektor 3 bzw. 5, vor welchem sich beispielsweise eine Kupfer-Metallfolie 10 als Absorptionsfilter befindet, ist unter einem flachen Winkel Alpha von maximal 30° zum Meßgut 6 montiert. Die im Meßgut 6 angeregte Zinkstrahlung hat demzufolge sehr lange Strecken zu durchqueren und erfährt daher eine von der Zinkschichtstärke des Materials 6 nahezu unabhängige Schwächung im Meßgut 6 selbst. Dieses führt dazu, daß dieser Detektor 3 bzw. 5 in erster Näherung nur den Eisengehalt der Beschichtung registriert. Der andere Detekor 4 ist unter einem Winkel Beta von 60° bis 120° zum Meßgut 6 positioniert, um eine möglichst große Eindringtiefe der Beobachtung zu erzielen. Vor diesem Detektor 4 be­ findet sich als Absorptionsfilter z. B. eine Metallfolie 10 aus Eisen, so daß dieser zum Nachweis der Eisenstrahlung ausgerüstet ist. Die Schwächung der Intensität der ionisierenden Strahlung in der Beschichtungsstärke wird in diesem Detektor 4 gemessen und ergibt in erster Näherung die Zink-Flächenmasse der Beschichtung.
Zur genauen Bestimmung der Meßwerte für die Zink-Flä­ chenmasse und den prozentualen Eisengehalt in der Be­ schichtung werden die Signale aus den o. g. Detektoren 3 und 4 einem mathematischen Algorithmus unterzogen, bei dem der prozentuale Anteil Fe in der Zn Schicht abhängig ist von dem Verhältnis der Flächenmasse zum Eisengehalt. Diese Signale werden in allgemein bekann­ ten elektronischen Datenverarbeitungseinrichtungen 17 verarbeitet, angezeigt und/oder registriert und zur Steuerung des Herstellungsprozesses verwendet.
Sollte aufgrund bestimmter Produktionsgegebenheiten, während des Produktionsablaufes, Verkippungen oder Flatterbewegungen des Meßgutes 6 erfolgen, so daß da­ mit Meßungenauigkeiten befürchtet werden müssen, so können diese Meßungenauigkeiten durch die Anordnung eines dritten Detektors 5 eliminiert werden. Dieser dritte Detektor 5 muß symmetrisch zu dem Detektor 3, d.h. im gleichen Winkel Alpha zum Meßgut 6 angebracht sein, so daß beispielsweise bei Verkippung des Meß­ gutes 6 entgegen dem Uhrzeigersinn die geringere Meß­ wertfeststellung des Detektors 3 durch eine größere Meßwertfeststellung des Detektors 5 eliminiert ist.

Claims (6)

1. Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten und/oder der Stärke der Zinkschicht bei verzinktem Stahl, bestehend aus Röntgenstrahlungsquelle und Strahlungsdetektor, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung einen Meßkopf (1) aufweist in dem eine Hochspannungs- Röntgenstrahlungsquelle (2) in einem Winkel (Gamma) zwischen 60° und 120° und mindestens zwei mit selektiver Empfindlichkeit ausgestattete Detektoren (3, 4) von denen ein Detektor (3) in einem Winkel (Alpha) von maximal 30° und der andere Detektor (4) in einem Winkel (Beta) zwischen 60° bis 120° jeweils zur Ebene des zu messenden Materials (6) angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßkopf (1) eine Hochspannungs-Röntgenstrahlungsquelle (2) und drei Detektoren (3, 4 und 5) aufweist,wobei die Detektoren (3 und 5) im gleichen Winkel (Alpha) zur Ebene des zu messenden Materials (6) angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoren (3, 4, 5) durch Anbringung einer Metallfolie (10) als Absorptionsfilter, selektive Empfindlichkeit aufweisen.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoren (3, 4, 5) als Halbleiterdioden-Detektoren ausgebildet und jeweils an einen empfindlichen Verstärker (15) gekoppelt sind, wobei die Verstärkerimpulse in einem Einkanaldiskriminator (16) zur Erzielung der selektiven Empfindlichkeit der Detektoren (3, 4, 5) elektronisch auswählbar sind.
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoren-Signale (3, 4, 5) einer an sich bekannten elektronischen Datenverarbeitungseinrichtung zur Darstellung und/oder Sichtbarmachung der Meßergebnisse zugeleitet werden.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß mit den Meßergebnissen durch an sich bekannte Mittel der Fertigungsprozess gesteuert ist.
DE4021617A 1990-07-06 1990-07-06 Vorrichtung zum kontinuierlichen Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten Expired - Fee Related DE4021617C2 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4021617A DE4021617C2 (de) 1990-07-06 1990-07-06 Vorrichtung zum kontinuierlichen Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten
DE59109053T DE59109053D1 (de) 1990-07-06 1991-05-16 Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten
AT91107889T ATE171274T1 (de) 1990-07-06 1991-05-16 Vorrichtung zum messen des eisengehaltes in zinkschichten
EP91107889A EP0465797B1 (de) 1990-07-06 1991-05-16 Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten
FI913029A FI913029A (fi) 1990-07-06 1991-06-20 Foerfarande foer maetning av jaernhalten i zinkskikt.
JP03252713A JP3079389B2 (ja) 1990-07-06 1991-06-28 亜鉛層の鉄含有量を測定する装置
US07/726,585 US5187727A (en) 1990-07-06 1991-07-08 Method and apparatus for measuring the iron content in zinc layer and thickness of zinc layer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4021617A DE4021617C2 (de) 1990-07-06 1990-07-06 Vorrichtung zum kontinuierlichen Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4021617A1 true DE4021617A1 (de) 1992-01-16
DE4021617C2 DE4021617C2 (de) 1993-12-02

Family

ID=6409820

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4021617A Expired - Fee Related DE4021617C2 (de) 1990-07-06 1990-07-06 Vorrichtung zum kontinuierlichen Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten
DE59109053T Expired - Fee Related DE59109053D1 (de) 1990-07-06 1991-05-16 Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59109053T Expired - Fee Related DE59109053D1 (de) 1990-07-06 1991-05-16 Vorrichtung zum Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5187727A (de)
EP (1) EP0465797B1 (de)
JP (1) JP3079389B2 (de)
AT (1) ATE171274T1 (de)
DE (2) DE4021617C2 (de)
FI (1) FI913029A (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4303878A1 (de) * 1993-02-10 1994-09-01 Amtec Analysenmestechnik Gmbh Verfahren zur Schichtanalyse nach dem Röntgenfluoreszenzverfahren unter Berücksichtigung unterschiedlicher Grund- und Schichtwerkstoffe
DE19931298B4 (de) * 1998-07-16 2007-05-03 Panalytical B.V. Verfahren zur Analyse dünner Schichten mit Röntgenfluoreszenz

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH684903A5 (de) * 1992-08-27 1995-01-31 Balzers Hochvakuum Verfahren zur Beurteilung der Beschichtbarkeit von Metallen.
US5414747A (en) * 1993-02-22 1995-05-09 The Penn State Research Foundation Method and apparatus for in-process analysis of polycrystalline films and coatings by x-ray diffraction
JP3062685B2 (ja) * 1998-07-23 2000-07-12 セイコーインスツルメンツ株式会社 蛍光x線分析計
CN1331798A (zh) * 1998-12-21 2002-01-16 康宁股份有限公司 进行x射线荧光发散分析以确定材料浓度
GB0016591D0 (en) * 2000-07-06 2000-08-23 Elcometer Instr Ltd Dual mode coating thickness measuring instrument
US6732059B2 (en) * 2001-08-23 2004-05-04 William K. Warburton Ultra-low background gas-filled alpha counter
US7202475B1 (en) * 2003-03-06 2007-04-10 Kla-Tencor Technologies Corporation Rapid defect composition mapping using multiple X-ray emission perspective detection scheme
JP4262734B2 (ja) 2005-09-14 2009-05-13 株式会社リガク 蛍光x線分析装置および方法
WO2007034570A1 (ja) * 2005-09-22 2007-03-29 Jfe Steel Corporation 亜鉛系めっき鋼板のプレス成形性評価方法
DE102006048688B4 (de) * 2006-10-14 2022-02-03 Byk Gardner Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Oberflächen mit Effektpigmenten
DE102011122930B3 (de) * 2011-06-27 2014-07-17 Rayonic Sensor Systems Gmbh System und Verfahren zum Messen der Dicke einer Zinkschicht auf Stahl und zum Messen des Eisengehaltes einer Zinkschicht
DE102011051365B4 (de) 2011-06-27 2013-08-22 Rayonic Sensor Systems Gmbh Detektionseinrichtung und System zum Messen der Dicke einer Zinkschicht auf Stahl und zum Messen des Eisengehaltes einer Zinkschicht
DE102012105591A1 (de) 2011-06-27 2012-12-27 Rayonic Sensor Systems Gmbh Dispersive Ionisationskammer
AU2019268796A1 (en) * 2018-05-18 2020-12-17 Enersoft Inc. Systems, devices, and methods for analysis of geological samples
BR112023016981A2 (pt) * 2021-02-26 2023-10-10 Bekaert Sa Nv Método de medição do conteúdo de um elemento químico em um revestimento

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3031046A1 (de) * 1980-08-16 1982-04-15 Klöckner-Humboldt-Deutz AG, 5000 Köln Messkopf fuer ein roentgenfluoreszenz-analysenmessgeraet
DE3718245A1 (de) * 1986-06-02 1987-12-03 Outokumpu Oy Verfahren und vorrichtung zum analysieren schlammiger stoffe
US4764945A (en) * 1984-10-05 1988-08-16 Kawasaki Steel Corp. Method of measuring layer thickness and composition of alloy plating
DD263673A3 (de) * 1989-01-11 Vorrichtng zur Bestimmung der Dicke und/oder Zusammensetzung von Messingüberzügen

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE263673C (de) *
US3012140A (en) * 1959-01-28 1961-12-05 United States Steel Corp Apparatus for measuring the thickness of a coating on a base material
US3843884A (en) * 1971-09-20 1974-10-22 Industrial Nucleonics Corp X-ray gauging method and apparatus with stabilized response
US3848125A (en) * 1971-09-20 1974-11-12 Industrial Nucleonics Corp Coating thickness gauge
JPS57172207A (en) * 1981-04-16 1982-10-23 Seiko Instr & Electronics Ltd Measuring method for plating thickness by x rays
JPS6145916A (ja) * 1984-08-09 1986-03-06 Rigaku Denki Kogyo Kk 放射線付着量計
JPS61195335A (ja) * 1985-02-25 1986-08-29 Shimadzu Corp 薄層の定量分析方法
US4748647A (en) * 1985-08-12 1988-05-31 General Electric Company Fuel tube barrier gauge
US4959848A (en) * 1987-12-16 1990-09-25 Axic Inc. Apparatus for the measurement of the thickness and concentration of elements in thin films by means of X-ray analysis
GB8811459D0 (en) * 1988-05-13 1988-06-15 Dmc Boyle Ltd Method & apparatus for measuring thickness of coating on substrate
JPH0739987B2 (ja) * 1988-06-28 1995-05-01 川崎製鉄株式会社 皮膜の厚みと組成の同時測定方法
US5081658A (en) * 1989-03-30 1992-01-14 Nkk Corporation Method of measuring plating amount and plating film composition of plated steel plate and apparatus therefor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD263673A3 (de) * 1989-01-11 Vorrichtng zur Bestimmung der Dicke und/oder Zusammensetzung von Messingüberzügen
DE3031046A1 (de) * 1980-08-16 1982-04-15 Klöckner-Humboldt-Deutz AG, 5000 Köln Messkopf fuer ein roentgenfluoreszenz-analysenmessgeraet
US4764945A (en) * 1984-10-05 1988-08-16 Kawasaki Steel Corp. Method of measuring layer thickness and composition of alloy plating
DE3718245A1 (de) * 1986-06-02 1987-12-03 Outokumpu Oy Verfahren und vorrichtung zum analysieren schlammiger stoffe

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Prospekt der Fa. Siemens, Systeme für die energiedispersive Analyse, 1974 *
SEDA, J. et al.: Verminderung des statistischen Fehlers bei Messung von Auflageschichten mittels Röntgenfluoreszenzstrahlung, Isotopenpraxis, 10. Jg., H. 8, 1974, S. 303-305 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4303878A1 (de) * 1993-02-10 1994-09-01 Amtec Analysenmestechnik Gmbh Verfahren zur Schichtanalyse nach dem Röntgenfluoreszenzverfahren unter Berücksichtigung unterschiedlicher Grund- und Schichtwerkstoffe
DE19931298B4 (de) * 1998-07-16 2007-05-03 Panalytical B.V. Verfahren zur Analyse dünner Schichten mit Röntgenfluoreszenz

Also Published As

Publication number Publication date
FI913029A0 (fi) 1991-06-20
EP0465797A2 (de) 1992-01-15
EP0465797B1 (de) 1998-09-16
JP3079389B2 (ja) 2000-08-21
FI913029A (fi) 1992-01-07
ATE171274T1 (de) 1998-10-15
JPH04232448A (ja) 1992-08-20
EP0465797A3 (en) 1992-10-14
DE4021617C2 (de) 1993-12-02
DE59109053D1 (de) 1998-10-22
US5187727A (en) 1993-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4021617C2 (de) Vorrichtung zum kontinuierlichen Messen des Eisengehaltes in Zinkschichten
DE102006023309B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von Materialen mittels Schnellneutronen und eines kontinuierlichen spektralen Röntgenstrahles
DE60003695T2 (de) Röntgenfluoreszenzanalyse von mehrschichtigen proben
DE68928315T2 (de) Methode zur messung der dicke eines überzugs auf einem substrat
DE1296829B (de) Verfahren und Vorrichtungen zur Bestimmung des Gehaltes einer Probe an schweren Elementen durch Messung ihrer optisch angeregten K alfa- oder K beta-Roentgenfluoreszenzlinien
DE3236604A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur bestimmung der fluiddichte und stroemungsgeschwindigkeiten in vielphasigen stroemungssystemen
DE68920187T2 (de) Apparat zur Messung der an einer Strahlungsquelle angelegten Spitzenspannung.
DE69523476T2 (de) Schichtdickenmessung, die rückstreuung von hochenergischen photonen verwendet
DE3887880T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur gleichzeitigen Messung der Dicke und Zusammensetzung einer dünnen Schicht.
DE3915613C2 (de)
DE2850748A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur mikroanalyse mittels einer roentgenstrahlung
DE4233830C2 (de) Strahlpositionsmonitor
DE2706629C3 (de) Einrichtung zur Überwachung der Position und der räumlichen Verteilung eines Elektronenstrahlbündels hoher Energie
DE2721694A1 (de) Detektor zum nachweis ionisierender strahlung
DE3107329A1 (de) "verfahren zum bestimmen des salzgehaltes von wasser in oder hinter einer bohrloch-verrohrung"
DE69510734T2 (de) Röntgenspektrometer mit streifendem ausfallwinkel
DE2817742C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen technologischer Kennwerte
DE102005048644A1 (de) Verfahren zur Bestimmung eines Flächengewichtes und/oder einer chemischen Zusammensetzung einer geförderten Materialprobe
DE2122738C3 (de) Verfahren zur zerstörungsfreien Messung der Exzentrizität eines metallenen Stabkernes gegenüber einer äußeren Umhüllung anderer Materialdichte
AT8087U1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der dicke der isolation eines flachkabels in bereichen der metallischen leiterbahnen
DE1690098A1 (de) Kabelpruefverfahren
DE2347037B2 (de) Meßsystem einer Bohrloch-Sonde
DE19919990A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Dicke einer Metallschicht
DE2500510A1 (de) Verfahren zur selektierung der kernstrahlung bestimmter gasfoermiger radionuklide, insbesondere niederenergetischer elektronenstrahler
DE4423338A1 (de) Detektor für eine Meßvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: FAG KUGELFISCHER GEORG SCHAEFER AG, 97421 SCHWEINF

8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: EBERLINE INSTRUMENTS GMBH, 91056 ERLANGEN, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee