DE4004560A1 - Mikrowelleninduzierte plasmaquellen - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Verbesserung bei Spurenelementanalysatoren,
die ein Plasma benutzen und bei Material- und biologischen
Wissenschaften benutzt werden zur quantitativen Bestimmung eines
Spurenelements wie ein Plasmaquellenspektrometer und ein Plasmaemissionsspektrometer
und insbesondere auf eine Verbesserung bei einem Plasmagenerator,
der Mikrowellenentladung benutzt und als die Plasmaquelle der oben
genannten Spurenelementanalysatoren benutzt wird.
Ein Beispiel einer konventionellen mikrowelleninduzierten Plasmaquelle wird
auf den Seiten 583 bis 592 der Spektrochemika Acta, Bd. 37B, Nr. 7, 1982
beschrieben. Die Fig. 2A und 2B zeigen den Aufbau dieses Beispiels. In
den Fig. 2A und 2B ist gezeigt: ein Koaxial-Kabelverbinder 1 zum Anlegen
einer Mikrowelle, ein Mikrowellenkoppler 2, ein Tuner 2′ für den Koppler 2,
ein Tuner 3 zum Einstellen der Länge g eines Abstands bzw. Spalts zwischen
der Spitze eines inneren Tubus bzw. einer Röhre 3′ und einer dünnen
Platte 4, ein Tuner 5 zum Einstellen der Länge eines Hohlraums 6, eine Wand
6′ des Hohlraums 6, ein Quarzentladungstubus 7, ein Probegas 8 und ein Einlaß eines kühlenden Gases (z. B. Luft).
Diese Plasmaquelle kann zum Analysieren einer gasförmigen Probe benutzt
werden, aber sie schenkt der Analyse einer flüssigen Probe nicht genügend
Beachtung. Deshalb besteht ein Problem, daß die Arten einer zu analysierenden
Probe begrenzt sind. Darüber hinaus hat das obige Beispiel Probleme, daß
ein Einführungswirkungsgrad einer Probe gering ist, und daß der Ionisierungswirkungsgrad
einer eingeführten Probe auch gering ist.
Genauer gesagt wird, wie es offensichtlich aus den Fig. 2A und 2B
hervorgeht, eine Mikrowellenleistung zur Herstellung eines Plasmagases an
den Hohlraum 6 durch ein Koaxialkabel angelegt. Somit beträgt die an den
Hohlraum angelegte Mikrowellenleistung höchstens 500 Watt und es ist
unmöglich, eine flüssige Probe direkt zu analysieren. Darüber hinaus wird in
dem Koaxialkabel ein großer Leistungsverlust erzeugt. Darüber hinaus hat
der Koppler 2 einen komplizierten Aufbau und es ist nicht leicht, den
Koppler 2 einzustellen.
Zusätzlich basiert das in dem obigen Beispiel ausgebildete Plasma auf einer
Oberflächenwelle. Daher ist es unmöglich, ein Plasma der Form eines Flußverstärkers
bzw. einer Ringröhre bzw. einer Pille ausreichend zu erzeugen.
Weiterhin wird die Mischung einer Probe und eines Plasmagases an den
Entladungstubus angelegt. Demgemäß ist der Probeeinführungswirkungsgrad
gering und der Ionisierungswirkungsgrad der eingeführten Probe ist auch
gering. Daher ist die Erfassungsgrenze eines Spurenelementes (d. h. die
Empfindlichkeit für das Spurenelement) gering.
Es ist eine Aufgabe der Erfindung, eine mikrowelleninduzierte Plasmaquelle
zu schaffen, die die oben angesprochenen Probleme lösen kann und als
Plasmaquelle eines Spurenelementenanalysators, der Plasma anwendet, benutzt
werden kann.
Um die oben genannte Aufgabe zu lösen, wird erfindungsgemäß eine mikrowelleninduzierte
Plasmaquelle geschaffen, in der, wie in Fig. 1 gezeigt, ein
koaxialer Wellenleiter, der aus inneren und äußeren Leitern gemacht ist, mit
einer Mikrowelle versorgt ist, wobei der innere Leiter, der für einen plasmaerzeugenden
Teil vorgesehen ist, aus einer spiralförmigen Spule gebildet ist,
um eine zirkularpolarisierte Welle anzuregen bzw. zu erzeugen, und ein
Entladungstubus ist in die spiralförmige Spule eingesetzt, um ein Plasma in
dem Entladungstubus mit der Hilfe der zirkularpolarisierten Welle auszubilden.
Darüber hinaus hat der Entladungstubus zumindest eine Doppeltubusstruktur,
um eine Probe und ein Plasmagas einzeln in den Entladungstubus einzuführen
und um die Probe wirksam in einen mittleren Teil eines Plasmas, das aus dem
Plasmagas gebildet ist, zu bringen.
Des weiteren wird ein kühlende Gas (z. B. Luft) dazu veranlaßt, entlang der
äußeren Peripherie von dem Entladungstubus in Richtungen parallel zu dessen
Achsen zu fließen, um zumindest den Entladungstubus wirksam abzukühlen.
Wenn unter Bezugnahme auf Fig. 1 der innere Leiter des koaxialen Wellenleiters
bzw. der Wellenführung aus einer spiralförmigen Spule 30 gebildet
ist, erzeugt ein hochfrequenter Strom, der durch die Spule 30 fließt, ein
radiales elektrisches Feld und ein induziertes axiales magnetisches Feld in
dem Entladungstubus 70 und erzeugt auf diese Weise einen zirkularpolarisierten
Modus. Wegen dem zirkularpolarisierten Modus wird ein pillenförmiges
Plasma 100 wirksam aus einem Plasmagas 80 gebildet, das in einen Entladungstubus
70 eingeführt ist, d. h. die Plasmatemperatur in einem peripheren
Teil ist höher als diejenige Plasmatemperatur in einem zentralen Teil.
Darüber hinaus wird eine flüssige Probe 90 von einem (nicht gezeigten)
Vernebelungsapparat in einen zentralen Teil des pillenförmigen Plasmas 100
mittels eines Probeeinlaßtubus 71 eingeführt. Deshalb kann die flüssige
Probe 90 wirksam aufgeteilt (d. h. atomisiert), angeregt und ionisiert werden.
Darüber hinaus wird ein kühlendes Gas 60 (z. B. Luft) in ein Kühlgerät 50
durch ein Einlaßrohr 51 eingeführt, so daß das kühlende Gas 60 entlang der
äußeren Peripherie von dem Entladungstubus 70 in Richtungen parallel zu
dessen Achse fließen. Deshalb kann nicht nur der Entladungstubus 70,
sondern auch die spiralförmige Spule 30 wirksam abgekühlt werden.
Weitere Vorteile, Merkmale und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden
Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen
in Verbindung mit der Zeichnung. Es zeigt
Fig. 1 einen Längsschnitt, der die Grundkonstruktion eines Ausführungsbeispiels
einer erfindungsgemäßen mikrowelleninduzierten Plasmaquelle
zeigt,
Fig. 2A und 2B sind Längs- und Querschnitte, die jeweils ein Beispiel
einer konventionellen mikrowelleninduzierten Plasmaquelle zeigen,
und
Fig. 3A, 3B und 3C sind schematische Diagramme, die die Entladungs
tubusteile anderer Ausführungsbeispiele einer erfindungsgemäßen
mikrowelleninduzierten Plasmaquelle zeigen.
Nun werden Ausführungsbeispiele der Erfindung unter Bezugnahme auf die
Zeichnung erklärt.
Fig. 1 zeigt die grundlegende Konstruktion eines Ausführungsbeispiels einer
erfindungsgemäßen mikrowelleninduzierten Plasmaquelle. In Fig. 1 wird
gezeigt: ein ebener Wellenleiter 10, der aus Kupfer oder anderem gemacht ist
und innere Abmessungen von beispielsweise 8,6 mm × 109,2 mm ×85 mm hat,
ein Koaxial-Transformator, der aus Kupfer oder anderem gemacht ist und
beispielsweise die Form eines zirkularen Kegelstumpfes hat, bei dem der
untere Durchmesser 30 mm und der obere Durchmesser 20 mm ist, und eine
spiralförmige Spule 30, die aus Kupfer oder anderem gemacht ist, und einen
Spulendurchmesser von beispielsweise 20 bis 5 mm, einen Spulenabstand bzw.
eine Teilung von beispielsweise 10 bis 2 mm hat, der Drahtdurchmesser in
einem Bereich von beispielsweise 1 bis 10 mm und die Windungsanzahl in
einem Bereich von beispielsweise 1 bis 10 liegt. Ein Ende der spiralförmigen
Spule 30 ist eingesetzt in und wird gehalten durch eine Nut 21, die in dem
Koaxial-Transformator 20 vorgesehen ist. Weiterhin ist ein zylindrischer
Außenleiter 40 aus Kupfer oder anderem gemacht und hat einen Innendurchmesser
von beispielsweise 40 mm und eine Länge von beispielsweise 20 bis 70 mm.
Ein Durchgangsloch 42 mit einem Durchmesser, der größer als der
Außendurchmesser von einem Entladungstubus 70 ist, ist in einer Abschlußwand
44 des Außenleiters 40 vorgesehen, um den Entladungstubus 70 durch
die Abschlußwand 44 zu führen. Weiterhin ist ein Loch 41 zum Befestigen
des anderen Endes der spiralförmigen Spule 30 in der Abschlußwand 44
vorgesehen. Wenn die spiralförmige Spule 30 in einen schwebenden bzw. losen
Zustand versetzt wird, ist das Loch 41 nicht vorgesehen. Eine Vielzahl von
Luftlöchern 43 kann, wenn es notwendig ist, in der Abschlußwand 44 vorgesehen
sein. Die Luftlöcher 43 können ein Geräusch, das durch Luftkühlung
erzeugt wird, verringern. Weiterhin zeigt Fig. 1 eine Kühlvorrichtung 50,
die aus Kupfer oder anderem gemacht ist, ein Einlaßrohr 51 für kühlendes
Gas, ein kühlendes Gas 60 (z. B. Hochdruckluft), ein Einlaßrohr 71 für die
Probe, das aus Quarz, Keramik oder anderem gemacht ist und eine dünne
Spitze 72 hat, ein Einlaßrohr 73 für Plasmagas, das mit dem Entladungstubus
70 zum Einführen eines Plasmagases 80 (z. B. Argon, Stickstoff, Helium oder
andere) in den Entladungstubus 70 verbunden ist, eine Mischung 90 aus einer
Probe und einem Trägergas, das mit dem Plasmagas 80 identisch ist, wobei
die Mischung von einem Vernebelungsapparat (nicht gezeigt) zugeführt wird
und im folgenden als "Probe" bezeichnet wird, ein Hochtemperaturplasma 100
in Pillenform, diffundiertes Plasma 110 und ein zylindrisches Abschirmgehäuse
120, das aus rostfreiem Stahl gemacht ist zum Verhindern des Austretens von
Mikrowellenleistung. Das bedeutet, daß das Abschirmgehäuse 120 zum Zwecke
von Sicherheit und Schutz vorgesehen ist. Das Abschirmgehäuse 120 hat eine
Vielzahl von Löchern zum Abführen erwärmter Luft nach außen. Eine Öffnung
bzw. ein Anschluß für die optische Messung des Plasmas kann in dem Abschirmgehäuse
120 vorgesehen sein, wenn es notwendig ist. Weiterhin zeigt
Fig. 1 einen Sammelkonus bzw. Probenentnahmekonus 130, der aus Nickel
oder anderem gemacht ist und in seiner Mitte eine Öffnung 131 mit einem
Durchmesser von 0,5 bis 1 mm aufweist, ein Spektrometer 140 (auch ein
Vakuumspektrometer) zum spektrochemischen Analysieren von Licht, das aus
dem Plasma ausgesendet wird, und/oder einen Massenanalysator (z. B. ein
Massenspektrometer), das eine Ionenauszugsschnittstelle einschließt zum
Durchführen einer massenspektrometrischen Analyse für Ionen, die in dem
Plasma erzeugt sind, eine Mikrowellenleistungsqelle 150 zum Anlegen von
beispielsweise 0,5 bis 5 kW bei 2,45 GHz und einen kegelförmigen Wellenleiter
160 zum Verbinden eines standardmäßigen Wellenleiters (nicht gezeigt)
mit dem ebenen Wellenleiter 10.
Als nächstes wird die grundsätzliche Betriebsart des Ausführungsbeispiels
erklärt. Von der Mikrowellenleistungsquelle 150 abgegebene Mikrowellenleistung
151 wird durch den standardmäßigen Wellenleiter und den kegelförmigen
Wellenleiter 160 zu dem ebenen Wellenleiter 10 übertragen. Es muß
nicht erwähnt werden, daß ein Isolator (nicht gezeigt), ein Leistungsmesser
(nicht gezeigt) und ein Tuner (nicht gezeigt) in den Übertragungsweg bzw.
Ausarbeitungsweg von der Mikrowellenleistungsquelle 150 zu dem ebenen
Wellenleiter 10 angeordnet sind. Die an den ebenen Wellenleiter 10 angelegte
Mikrowellenleistung wird an die spiralförmige Spule 30 (nämlich den
Innenleiter) durch den Koaxial-Transformator 20 gegeben. Zu dieser Zeit
fließt ein hochfrequenter Strom durch die spiralförmige Spule 30, wodurch
ein radiales elektrisches Feld und ein axiales magnetisches Feld erzeugt
werden. Das in den Entladungstubus 70 eingeführte Plasmagas 60 wird durch
die Wirkung der obigen elektrischen und magnetischen Felder angeregt und
ionisiert, und somit wird das pillenförmige Plasma 100 erzeugt. Wenn die
Probe 90 von dem Einlaßrohr 71 für die Probe in einen mittleren Teil des
pillenförmigen Plasmas 100 eingeführt wird, wird die Probe 90 wirksam
getrennt, angeregt und ionisiert, ohne in den peripheren Teil des Plasmas
diffundiert zu werden. Zu dieser Zeit kann in dem Plasma erzeugtes Licht
mittels des Spektrometers 140 analysiert werden, und in dem Plasma erzeugte
Ionen können durch den Massenanalysator 140 analysiert werden.
Die Fig. 3A, 3B und 3C zeigen modifizierte Versionen des Entladungstubus
70. Im einzelnen zeigt Fig. 3A einen Fall, bei dem ein kühlender Tubus 76
an der Außenseite des Entladungstubus 70 angeordnet ist, und das kühlende
Gas 60 wird von einem Einlaßrohr 77 in den kühlenden Tubus 76 eingeführt,
um das kühlende Gas 60 dazu zu veranlassen, entlang der äußeren Peripherie
des Entladungstubus 70 in Richtungen parallel zu dessen Achse zu fließen. In
diesem Fall sind die Kühleinrichtung 50 und das Einlaßrohr 51 für kühlendes
Gas der Fig. 1 nicht notwendig. Der in Fig. 3A gezeigte Aufbau ist bezüglich
der Fähigkeit, den Entladungstubus 70 der Kühleinrichtung von Fig. 1
überlegen.
Andererseits zeigen die Fig. 3B und 3C einen Fall, bei dem die Mischung
aus dem Plasmagas 80 und der Probe 90 einem Entladungstubus 78 wie in der
konventionellen Plasmaquelle zugeführt wird, d. h. sie zeigen vereinfachte
Entladungstuben. Weiterhin wird der Durchmesser jenes Teils 74 des Entladungstubus
70 oder 78, der in der spiralförmigen Spule 30 plaziert ist,
zweckmäßig geeignet festgelegt bzw. ausgelegt. Darüber hinaus kann ein
Endteil 75 von dem Entladungstubus 70 oder 78 zweckmäßig eine geeignete
Form wie einen zirkularen Kegel haben (z. B. Stabilisierung von Plasma,
Verringerung von Verlusten oder Abstrahlung von Wärme).
Wie vorstehend erklärt worden ist, werden bei einer erfindungsgemäßen
mikrowelleninduzierten Plasmaquelle die spiralförmige Spule des koaxialen
Wellenleiters und der Entladungstubus, der eine Doppeltubusstruktur hat,
gleichzeitig gekühlt, indem ein kühlendes Gas dazu veranlaßt wird, entlang
der äußeren Peripherie des Entladungstubus in Richtungen parallel zu dessen
Achsen zu fließen, d. h., daß eine Kühleinrichtung mit einfachem Aufbau
benutzt wird. Darüber hinaus kann ein pillenförmiges Plasma stabil ausgebildet
sein, auch wenn eine Mikrowellenleistung von mehr als 0,5 kW an den
Wellenleiter gelegt ist. Demgemäß kann nicht nur eine gasförmige Probe,
sondern auch eine flüssige Probe wirksam getrennt, angeregt und ionisiert
werden. Deshalb kann eine erfindungsgemäße mikrowelleninduzierte Plasmaquelle
die Erfassungsgrenze eines Spurenelements, das in einer Probe enthalten
ist, um einen Faktor von 10 oder mehr erhöhen, verglichen mit einem
Fall, bei dem das Spurenelement quantitativ durch Benutzung der konventionellen
Plasmaquelle bestimmt wird. Wenn z. B. eine erfindungsgemäße
mikrowelleninduzierte Plasmaquelle benutzt wird, ist die Erfassungsgrenze
von Kalzium 1 ppb oder weniger.
Weiterhin ist eine erfindungsgemäße mikrowelleninduzierte Plasmaquelle
leicht einzustellen und leicht zu bedienen bzw. zu betreiben.
Zusätzlich ist die mikrowelleninduzierte Plasmaquelle mit einem Abschirmgehäuse
ausgestattet. Demgemäß werden Schwierigkeiten aufgrund des Austretens
von Mikrowellen verringert.
Claims (4)
1. Mikrowelleninduzierte Plasmaquelle mit
einem koaxialen Wellenleiter aus einem zylindrischen äußeren Leiter (40) und einem inneren Leiter, wobei der innere Leiter aus einer spiralförmigen Spule (30) gebildet ist,
einem Entladungstubus, der eine Doppeltubusstruktur hat und in die spiralförmige Spule (30) in deren axialer Richtung eingesetzt ist, wobei die Doppeltubusstruktur aus einem inneren Tubus (71) zum Einführen einer Probe (90) und einem äußeren Tubus (70) zum Einführen eines Plasmagases (80) gebildet ist,
einer Entladungstubus-Kühleinrichtung (50, 51), um ein abkühlendes Gas (60) dazu zu veranlassen, entlang der äußeren Peripherie von dem Entladungstubus in Richtungen parallel zu dessen Achse zu fließen, und
einer Einrichtung (150, 160, 10) zum Anlegen von Mikrowellenleistung an den koaxialen Wellenleiter.
einem koaxialen Wellenleiter aus einem zylindrischen äußeren Leiter (40) und einem inneren Leiter, wobei der innere Leiter aus einer spiralförmigen Spule (30) gebildet ist,
einem Entladungstubus, der eine Doppeltubusstruktur hat und in die spiralförmige Spule (30) in deren axialer Richtung eingesetzt ist, wobei die Doppeltubusstruktur aus einem inneren Tubus (71) zum Einführen einer Probe (90) und einem äußeren Tubus (70) zum Einführen eines Plasmagases (80) gebildet ist,
einer Entladungstubus-Kühleinrichtung (50, 51), um ein abkühlendes Gas (60) dazu zu veranlassen, entlang der äußeren Peripherie von dem Entladungstubus in Richtungen parallel zu dessen Achse zu fließen, und
einer Einrichtung (150, 160, 10) zum Anlegen von Mikrowellenleistung an den koaxialen Wellenleiter.
2. Plasmaquelle nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein Abschirmgehäuse
(120) zum Verhindern des Austretens von Mikrowellenleistung aus
dem koaxialen Wellenleiter nach außen.
3. Plasmaquellen-Massenspektrometer mit
einer mikrowelleninduzierten Plasmaquelle, die einen koaxialen Wellenleiter, einen Entladungstubus, eine Entladungstubus-Kühleinrichtung (50, 51), und eine Einrichtung (150, 160, 10) zum Anlegen von Mikrowellenleistung an den koaxialen Wellenleiter hat, wobei der koaxiale Wellenleiter aus einem zylindrischen äußeren Leiter (40) und einem inneren Leiter gemacht ist, wobei der innere Leiter aus einer spiralförmigen Spule (30) gebildet ist, der Entladungstubus einen inneren Tubus (71) zum Einführen einer Probe (90) und einen äußeren Tubus (70) zum Einführen eines Plasmagases (80) hat, so daß eine Doppeltubusstruktur gebildet ist, der Entladungstubus in die spiralförmige Spule (30) in ihrer axialen Richtung eingesetzt ist, die Entladungstubus-Kühleinrichtung ein abkühlendes Gas (60) dazu veranlaßt, entlang der äußeren Peripherie von dem Entladungstubus in Richtungen parallel zu dessen Achsen zu fließen, und
einem Massenspektrometer (140) zum Ausführen einer massenspektrometrischen Analyse für Ionen, ausgestoßen aus einem Plasma (100), das in der mikrowelleninduzierten Plasmaquelle erzeugt ist.
einer mikrowelleninduzierten Plasmaquelle, die einen koaxialen Wellenleiter, einen Entladungstubus, eine Entladungstubus-Kühleinrichtung (50, 51), und eine Einrichtung (150, 160, 10) zum Anlegen von Mikrowellenleistung an den koaxialen Wellenleiter hat, wobei der koaxiale Wellenleiter aus einem zylindrischen äußeren Leiter (40) und einem inneren Leiter gemacht ist, wobei der innere Leiter aus einer spiralförmigen Spule (30) gebildet ist, der Entladungstubus einen inneren Tubus (71) zum Einführen einer Probe (90) und einen äußeren Tubus (70) zum Einführen eines Plasmagases (80) hat, so daß eine Doppeltubusstruktur gebildet ist, der Entladungstubus in die spiralförmige Spule (30) in ihrer axialen Richtung eingesetzt ist, die Entladungstubus-Kühleinrichtung ein abkühlendes Gas (60) dazu veranlaßt, entlang der äußeren Peripherie von dem Entladungstubus in Richtungen parallel zu dessen Achsen zu fließen, und
einem Massenspektrometer (140) zum Ausführen einer massenspektrometrischen Analyse für Ionen, ausgestoßen aus einem Plasma (100), das in der mikrowelleninduzierten Plasmaquelle erzeugt ist.
4. Ein Plasmaemissionsspektrometer mit
einer mikrowelleninduzierten Plasmaquelle mit einem koaxialen Wellenleiter, einem Entladungstubus, einer Entladungstubus-Kühleinrichtung (50, 51), und einer Einrichtung (150, 160, 10) zum Anlegen von Mikrowellenleistung an den koaxialen Wellenleiter, wobei der koaxiale Wellenleiter aus einem zylindrischen äußeren Leiter (40) und einem inneren Leiter gemacht ist, wobei der innere Leiter aus einer spiralförmigen Spule (30) gebildet ist, der Entladungstubus einen inneren Tubus (71) zum Einführen einer Probe (90) und einen äußeren Tubus (70) zum Einführen eines Plasmagases (80) hat, so daß eine Doppeltubusstruktur gebildet ist, der Entladungstubus in die spiralförmige Spule (30) in ihrer axialen Richtung eingesetzt ist, die Entladungstubus-Kühleinrichtung ein abkühlendes Gas (60) dazu veranlaßt, entlang der äußeren Peripherie des Entladungstubus in Richtungen parallel zu dessen Achse zu fließen, und
einen Spektrometer (140) zum Ausführen einer spektrochemischen Analyse für ein von einem Plasma (100) emittiertes Licht, wobei das Plasma in der mikrowelleninduzierten Plasmaquelle erzeugt ist.
einer mikrowelleninduzierten Plasmaquelle mit einem koaxialen Wellenleiter, einem Entladungstubus, einer Entladungstubus-Kühleinrichtung (50, 51), und einer Einrichtung (150, 160, 10) zum Anlegen von Mikrowellenleistung an den koaxialen Wellenleiter, wobei der koaxiale Wellenleiter aus einem zylindrischen äußeren Leiter (40) und einem inneren Leiter gemacht ist, wobei der innere Leiter aus einer spiralförmigen Spule (30) gebildet ist, der Entladungstubus einen inneren Tubus (71) zum Einführen einer Probe (90) und einen äußeren Tubus (70) zum Einführen eines Plasmagases (80) hat, so daß eine Doppeltubusstruktur gebildet ist, der Entladungstubus in die spiralförmige Spule (30) in ihrer axialen Richtung eingesetzt ist, die Entladungstubus-Kühleinrichtung ein abkühlendes Gas (60) dazu veranlaßt, entlang der äußeren Peripherie des Entladungstubus in Richtungen parallel zu dessen Achse zu fließen, und
einen Spektrometer (140) zum Ausführen einer spektrochemischen Analyse für ein von einem Plasma (100) emittiertes Licht, wobei das Plasma in der mikrowelleninduzierten Plasmaquelle erzeugt ist.
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