DE3914787A1 - Induktiv arbeitender positionssensor - Google Patents

Induktiv arbeitender positionssensor

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    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/2006Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils

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Description

Die Erfindung betrifft einen Sensor oder Geber mit elektrischer Signalgabe zur Messung von linear oder rotatorisch verlaufenden Bewegungen.
Solche Geber werden für sehr viele Zwecke benötigt und sind daher in vielfältigster Ausführungsform bekannt. Ebenso werden unterschiedlichste physikalische Prinzipien verwendet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen solchen Sensor bereitzustellen, der sich bei guter Genauigkeit und hoher Zuverlässigkeit, insbesondere auch bei erhöhten Temperaturen, dennoch durch preiswerte Herstellkosten auszeichnen soll.
Diese Aufgabe wird gelöst durch die kennzeichnenden Teile der Ansprüche 1, 5 und folgende.
Der Erfindung liegt der Gedankengang zugrunde, daß der nutzbare Hub bei linearen variablen Differentialtransformatoren durch die Länge des verschiebbaren Eisenkerns ungünstig limitiert wird. In anderer Formulierung bedeuted dies, daß für einen vorgegebenen Meß-Hub LVDTs eingesetzt werden müssen, deren Baulänge etwa doppelt so groß ist wie der nutzbare Hub. Diese Problematik läßt sich nun erfindungsgemäß dadurch umgehen, daß der Eisenkern unbeweglich angeordnet wird und sich insgesamt über die Länge von Primär- und Sekundärspulen erstreckt.
Das variable Transformationsverhältnis wird erfindungsgemäß durch einen verschiebaren virtuellen Luftspalt 53 bewirkt.
Gegenstand der Erfindung ist es daher insbesondere, diesen virtuellen Luftspalt durch Einwirkung eines konzentrierten, eher kleinräumig wirkenden Magnetfeldes auf das Kernmaterial der Spule zu erzeugen.
Bei Verwendung eines geeigneten Kernmaterials und geeigneten genügend starken Permanent- oder Elektromagneten 51 wird dadurch nämlich lokale Sättigung des Kernmaterials 52 hervorgerufen.
Eine solche Sättigung führt bekanntlich dazu, daß überlagerte magnetische Kleinwechselfelder vergleichbare Bedingungen vorfinden, als wenn praktisch kein ferromagnetisches Material existent wäre. Die gleichen Überlegungen gelten für Teilgebiete mit magnetischer Sättigung. Auch hier werden magnetische Kleinwechselfelder so beeinflußt, als wenn ein solches Teilgebiet praktisch keinen Ferromagnetismus mehr besitzt.
Dieser Effekt läßt sich dazu nutzen, einen Transformator mit variablem Transformationsverhältnis zu konstruieren. (Fig. 6) So können zum Beispiel zwei gegenüberliegende Seiten eines Transformatorjochs mit im wesentlicher ebener, flacher Form mit zwei gleichgroßen Spulen bewickelt werden und eine dazwischenliegende Seite mit einer weiteren Spule. Werden die beiden ersten Spulen als gegenphasig arbeitende Primärspulen geschaltet, so wird in der dritten, als Sekundärspule geschalteten Spule keine Spannung induziert (Fig. 11).
Dieses Verhalten ändert sich jedoch, wenn wie oben beschrieben durch Permanentmagneteinwirkung auf das Kernmaterial in Nähe der Sekundärspule eine künstliche Asymmetrie eingerichtet wird. (Fig. 11).
Unter dieser Voraussetzung wird in der Sekundärspule nämlich die Differenz der Teilspannungen induziert, die sich von den beiden Teilflüssen herleiten, welche durch die Primärspulen erzeugt werden.
Die Phasenlage der Sekundärspannung wird sich demzufolge danach richten, welche Primärspule den größeren Einfluß auf die Ausgangsspannung besitzen wird.
Die konstruktive Ausgestaltung dieses Prinzips kann auf sehr vielfältige Weise geschehen, da der magnetische Fluß nicht notwendigerweise vollständig durch ferromagnetische Materialien geleitet werden muß, sondern auch als Streufluß durch die Luft geführt werden kann. Somit sind ebene Spulenanordnungen gemäß Fig. 5, 9, 10 genauso verwendbar wie solche mit zylindrischen Oberflächen.
Ein Vertauschen von Primär- und Sekundärspulen ändert die Wirkungsweise dieser Sensoren nicht prinzipiell, da nur das transformatorische Übersetzungsverhalten beeinflußt wird.
Neben den genannten Ausführungsformen mit zwei gegenphasig geschalteten Primärspulen sind natürlich auch Ausführungsformen mit nur einer Primärspule verwendbar. In der Regel werden diese Anordnungen jedoch nicht eine vergleichbar gute Linearität des Ausgangssignals besitzen (bezogen auf die Verschiebung des Sättigungsfeldes). Diesem Nachteil kann erfindungsgemäß dadurch abgeholfen werden, daß entweder die Sekundärspule einen Kern erhält, dessen geometrische Struktur längs der Sekundärspule modifiziert ist, d.h. z. B. schmaler oder breiter oder daß die Sekundärspule mit unterschiedlicher Wicklungsdichte über ihre Länge bewickelt wird.
Diese Alternativen, die natürlich auch kombiniert werden können, zeigt Fig. 9.
Wie sich des weiteren gezeigt hat, existiert eine weitere Linearisierungsmöglichkeit, wenn der Eingangswiderstand der Primärspule bzw. der Ausgangwiderstand der Sekundärspule mit Anpaßimpedanzen, d.h. komplexen Widerständen beschaltet wird (Fig. 7).
Besonders wichtig ist in diesem Zusammenhang die Belastung der Sekundärspule mit einer Kapazität, welche nach konstruktiven Gegebenheiten des Sensors und der Betriebsfrequenz der Primärspule spezifiziert wird.
Unter Berücksichtigung solcher Eingangs- und Ausgangs- Zusatzimpedanzen ist es ferner möglich, den Sensor mit seinen variablen Induktivitätsanteilen in eine Oszillator­ schaltung einzubauen. Es ergibt sich auf diese Weise eine Schwingfrequenz des Oszillators, die abhängig ist vor der Position des in Sättigung gebrachten Kernmaterials (Fig. 8).
Diese Schaltungsanordnung hat den Vorteil, daß auf eine Messung der Sekundärspannung mit analogen, zumeist teuren Mitteln, verzichtet werden kann und stattdessen eine Frequenz- bzw. Impulszeitmessung ausgeführt werden kann. Messungen dieser Art besitzen bekanntlich den Vorteil, daß bei sehr hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit nur geringer meßtechnischer Aufwand erforderlich ist und bei Verwendung eines Mikroprozessorsystems dessen vorhandene Möglichkeiten die Frequenzmessung praktisch ohne Mehrkosten gestatten.
In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung werden Maßnahmen vorgesehen, die den Einfluß von externen magnetischen Gleich- oder Wechselfeldern reduzieren.
Dies kann insbesondere durch äußerlich angebrachte Schirmungen erreicht werden, wobei sowohl hochpermeable als auch hoch magnetisierbare Werkstoffe vorgesehen werden sollten. Je nach Erfordernis kann es sich bei solchen Schirm-Teilen um massive oder auch aus Blech gefertigte Teile handeln (Fig. 10).

Claims (10)

1. Geberanordnung zur Messung von linearen oder rotatorisch verlaufenden Bewegungen, dadurch gekennzeichent, daß Bewegungen der oben genannten Arten über geeignete mechanische Koppelglieder auf einen oder mehrere bewegliche Permanent- oder Elektromagneten bzw. einer Kombination dieser übertragen werden und durch Einwirkung von zugehörigen Magnetfeldern auf Kernmaterialien von zugeordneten elektrischen Spulen eine eindeutige Veränderung induktiver Eigenschaften solcher Spulen erzielt.
2. Geberanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Bewegungen der oben genannten Arten über geeignete mechanische Koppelglieder auf eine oder mehrere bewegliche Induktivitäten übertragen werden.
3. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Bewegungen der oben genannten Arten über geeignete mechanische Koppelglieder auf eine oder mehrere bewegliche Transformator-Wicklungen übertragen werden.
4. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Bewegungen der oben genannten Arten über geeignete mechanische Koppelglieder zum einen auf Permanent- oder Elektromagneten, zum anderen auf Induktivitäten oder Transformator-Wicklungen übertragen werden.
5. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das zu beeinflussende Kernmaterial nach Anspruch 1 durch vorgenannte Magnete lokal teilweise oder zu 100% in magnetische Sättigung gebracht wird.
6. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Induktivitäten oder Transformatorspulen in differentiell wirkender Ausführungsform zur Eliminierung verschiedenartiger Fehlereinflüsse ausgelegt werden.
7. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Induktivitäten oder Transformatorspulen mit zusätzlichen, externen komplexen Abschluß- bzw. Eingangswiderständen versehen werden.
8. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Induktivitäten oder Transformatorspulen mit geeigneten elektronischen Schaltungen als frequenzbestimmende(s) Element(e) eines RLC-Oszillators verwendet werden.
9. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch spezielle geometrische Formgebung der Kernmaterialien eine Linearisierung der Geberkennlinie bewirkt wird.
10. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch äußerlich angebrachte magnetische Schirmmaterialien eine Reduzierung des Einflusses von magnetischen Gleich- oder Wechselfeldern stattfindet.
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Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5204621A (en) * 1990-02-08 1993-04-20 Papst-Motoren Gmbh & Co. Kg Position sensor employing a soft magnetic core
WO2000057036A1 (de) * 1999-03-23 2000-09-28 Daimlerchrysler Ag Vorrichtung mit einem elektromagnetischen aktuator
WO2001030637A1 (fr) * 1999-10-27 2001-05-03 Siemens Automotive S.A. Module electronique de colonne de direction
FR2800457A1 (fr) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Procede de fabrication de capteur analogique de position sans contact
FR2800458A1 (fr) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact a couche noyau de largeur variable
FR2800459A1 (fr) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact a couplage differentiel
FR2800460A1 (fr) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact
WO2001040736A1 (fr) * 1999-12-01 2001-06-07 Siemens Automotive S.A. Capteur analogique de decalage angulaire sans contact
FR2803030A1 (fr) * 1999-12-22 2001-06-29 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact
US6605939B1 (en) 1999-09-08 2003-08-12 Siemens Vdo Automotive Corporation Inductive magnetic saturation displacement sensor
US6714004B2 (en) 2000-05-24 2004-03-30 Balluff Gmbh Inductive position measuring system
DE10044839B4 (de) * 1999-09-27 2004-04-15 Siemens Ag Induktiver Positionssensor
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
WO2007003913A2 (en) * 2005-06-30 2007-01-11 Sensopad Limited Position sensing apparatus and method
WO2008032008A1 (en) * 2006-09-14 2008-03-20 Sagentia Limited Position sensor
DE102008011971A1 (de) * 2008-02-29 2009-09-03 Kuhnke Automotive Gmbh & Co. Kg Magnetisches Wegsensorsystem
DE102008035326A1 (de) * 2008-07-22 2010-01-28 Balluff Gmbh Weg-/Positionsmessvorrichtung
CN100592036C (zh) * 2004-03-08 2010-02-24 微一埃普西龙测量技术有限两合公司 非接触式位移测量系统
DE102008063528A1 (de) 2008-12-18 2010-06-24 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensoranordnung und Verfahren zur Bestimmung der Position und/oder Positionsänderung eines Messobjekts
US7868609B2 (en) 2004-03-01 2011-01-11 Sagentia Limited Position sensor
US8710827B2 (en) 2008-03-19 2014-04-29 Sagentia Limited Processing circuitry for use with a position sensor

Cited By (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5204621A (en) * 1990-02-08 1993-04-20 Papst-Motoren Gmbh & Co. Kg Position sensor employing a soft magnetic core
DE4103603C2 (de) * 1990-02-08 2003-09-11 Papst Licensing Gmbh & Co Kg Positionssensor zum Erfassen linearer oder rotatorischer Bewegungen eines Teils
WO2000057036A1 (de) * 1999-03-23 2000-09-28 Daimlerchrysler Ag Vorrichtung mit einem elektromagnetischen aktuator
US6605939B1 (en) 1999-09-08 2003-08-12 Siemens Vdo Automotive Corporation Inductive magnetic saturation displacement sensor
DE10044839B4 (de) * 1999-09-27 2004-04-15 Siemens Ag Induktiver Positionssensor
WO2001030637A1 (fr) * 1999-10-27 2001-05-03 Siemens Automotive S.A. Module electronique de colonne de direction
FR2800457A1 (fr) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Procede de fabrication de capteur analogique de position sans contact
FR2800458A1 (fr) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact a couche noyau de largeur variable
FR2800459A1 (fr) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact a couplage differentiel
FR2800460A1 (fr) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact
WO2001040736A1 (fr) * 1999-12-01 2001-06-07 Siemens Automotive S.A. Capteur analogique de decalage angulaire sans contact
US6653828B2 (en) 1999-12-01 2003-11-25 Siemens Vdo Automotive Analog sensor for contact-free angular offset sensing
FR2801969A1 (fr) * 1999-12-01 2001-06-08 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de decalage angulaire sans contact
FR2803030A1 (fr) * 1999-12-22 2001-06-29 Siemens Automotive Sa Capteur analogique de position sans contact
US6714004B2 (en) 2000-05-24 2004-03-30 Balluff Gmbh Inductive position measuring system
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
US7868609B2 (en) 2004-03-01 2011-01-11 Sagentia Limited Position sensor
EP1721130B2 (de) 2004-03-01 2014-04-30 Sagentia Limited Positionssensor
CN100592036C (zh) * 2004-03-08 2010-02-24 微一埃普西龙测量技术有限两合公司 非接触式位移测量系统
WO2007003913A2 (en) * 2005-06-30 2007-01-11 Sensopad Limited Position sensing apparatus and method
WO2007003913A3 (en) * 2005-06-30 2007-05-03 Sensopad Ltd Position sensing apparatus and method
WO2008032008A1 (en) * 2006-09-14 2008-03-20 Sagentia Limited Position sensor
DE102008011971A1 (de) * 2008-02-29 2009-09-03 Kuhnke Automotive Gmbh & Co. Kg Magnetisches Wegsensorsystem
US8710827B2 (en) 2008-03-19 2014-04-29 Sagentia Limited Processing circuitry for use with a position sensor
EP2211149A1 (de) 2008-07-22 2010-07-28 BALLUFF GmbH Weg-/Positionsmessvorrichtung
DE102008035326A1 (de) * 2008-07-22 2010-01-28 Balluff Gmbh Weg-/Positionsmessvorrichtung
WO2010069285A2 (de) 2008-12-18 2010-06-24 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensoranordnung und verfahren zur bestimmung der position und/oder positionsänderung eines messobjekts
DE102008063528A1 (de) 2008-12-18 2010-06-24 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensoranordnung und Verfahren zur Bestimmung der Position und/oder Positionsänderung eines Messobjekts
US8736255B2 (en) 2008-12-18 2014-05-27 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensor arrangement and method for determining the position and/or change in position of a measurement object

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