DE3914787A1 - Inductive position sensor measuring linear or rotary movement - has magnetisable core locally saturated by external magnetic field to obtain virtual air gap - Google Patents

Inductive position sensor measuring linear or rotary movement - has magnetisable core locally saturated by external magnetic field to obtain virtual air gap

Info

Publication number
DE3914787A1
DE3914787A1 DE19893914787 DE3914787A DE3914787A1 DE 3914787 A1 DE3914787 A1 DE 3914787A1 DE 19893914787 DE19893914787 DE 19893914787 DE 3914787 A DE3914787 A DE 3914787A DE 3914787 A1 DE3914787 A1 DE 3914787A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
arrangement according
encoder arrangement
movements
inductors
coils
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19893914787
Other languages
German (de)
Inventor
Michael Hermann
Lutz Dr Jaehnig
Wolfgang Hirrlinger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE19893914787 priority Critical patent/DE3914787A1/en
Publication of DE3914787A1 publication Critical patent/DE3914787A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/2006Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

Linear or rotary movements are transferred to one or more movable permanent or electro magnets via assigned mechanical coupling members. A combination of permanent and electro magnets can be used. The associated magnetic fields affect the core material of the assigned electrical coils. An unambiguous change of the inductive characteristics of these coils results. The movements can be transferred to one or more inductances or transformer windings. The permanent or electro magnets can be used to vary inductances or transformer windings. ADVANTAGE - High accuracy and reliability including at high temperatures at economic mfg. cost.

Description

Die Erfindung betrifft einen Sensor oder Geber mit elektrischer Signalgabe zur Messung von linear oder rotatorisch verlaufenden Bewegungen.The invention relates to a sensor or transmitter with electrical Signaling for measuring linear or rotary ongoing movements.

Solche Geber werden für sehr viele Zwecke benötigt und sind daher in vielfältigster Ausführungsform bekannt. Ebenso werden unterschiedlichste physikalische Prinzipien verwendet.Such donors are needed for many purposes and are therefore known in the most varied of embodiments. Likewise, the most varied of physical principles used.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen solchen Sensor bereitzustellen, der sich bei guter Genauigkeit und hoher Zuverlässigkeit, insbesondere auch bei erhöhten Temperaturen, dennoch durch preiswerte Herstellkosten auszeichnen soll.The invention is based, such Provide sensor that is with good accuracy and high reliability, especially with increased Temperatures, nevertheless through inexpensive manufacturing costs should honor.

Diese Aufgabe wird gelöst durch die kennzeichnenden Teile der Ansprüche 1, 5 und folgende.This task is solved by the characteristic parts of claims 1, 5 and following.

Der Erfindung liegt der Gedankengang zugrunde, daß der nutzbare Hub bei linearen variablen Differentialtransformatoren durch die Länge des verschiebbaren Eisenkerns ungünstig limitiert wird. In anderer Formulierung bedeuted dies, daß für einen vorgegebenen Meß-Hub LVDTs eingesetzt werden müssen, deren Baulänge etwa doppelt so groß ist wie der nutzbare Hub. Diese Problematik läßt sich nun erfindungsgemäß dadurch umgehen, daß der Eisenkern unbeweglich angeordnet wird und sich insgesamt über die Länge von Primär- und Sekundärspulen erstreckt.The invention is based on the idea that the usable stroke with linear variable differential transformers unfavorable due to the length of the movable iron core is limited. In other terms, this means that LVDTs must be used for a given measuring stroke, the overall length of which is about twice as large as the usable stroke. This problem can now be solved according to the invention avoid that the iron core is immovably arranged and itself overall over the length of primary and secondary coils  extends.

Das variable Transformationsverhältnis wird erfindungsgemäß durch einen verschiebaren virtuellen Luftspalt 53 bewirkt.According to the invention, the variable transformation ratio is brought about by a shiftable virtual air gap 53 .

Gegenstand der Erfindung ist es daher insbesondere, diesen virtuellen Luftspalt durch Einwirkung eines konzentrierten, eher kleinräumig wirkenden Magnetfeldes auf das Kernmaterial der Spule zu erzeugen.The object of the invention is therefore in particular this virtual air gap by the action of a concentrated, rather small-scale magnetic field to produce the core material of the coil.

Bei Verwendung eines geeigneten Kernmaterials und geeigneten genügend starken Permanent- oder Elektromagneten 51 wird dadurch nämlich lokale Sättigung des Kernmaterials 52 hervorgerufen.When using a suitable core material and suitable sufficiently strong permanent or electromagnets 51 , this causes local saturation of the core material 52 .

Eine solche Sättigung führt bekanntlich dazu, daß überlagerte magnetische Kleinwechselfelder vergleichbare Bedingungen vorfinden, als wenn praktisch kein ferromagnetisches Material existent wäre. Die gleichen Überlegungen gelten für Teilgebiete mit magnetischer Sättigung. Auch hier werden magnetische Kleinwechselfelder so beeinflußt, als wenn ein solches Teilgebiet praktisch keinen Ferromagnetismus mehr besitzt.As is well known, such saturation leads to superimposed magnetic alternating fields comparable conditions as if there was practically no ferromagnetic material would exist. The same considerations apply to Areas with magnetic saturation. Here too magnetic alternating fields are influenced as if such a sub-area practically no ferromagnetism owns more.

Dieser Effekt läßt sich dazu nutzen, einen Transformator mit variablem Transformationsverhältnis zu konstruieren. (Fig. 6) So können zum Beispiel zwei gegenüberliegende Seiten eines Transformatorjochs mit im wesentlicher ebener, flacher Form mit zwei gleichgroßen Spulen bewickelt werden und eine dazwischenliegende Seite mit einer weiteren Spule. Werden die beiden ersten Spulen als gegenphasig arbeitende Primärspulen geschaltet, so wird in der dritten, als Sekundärspule geschalteten Spule keine Spannung induziert (Fig. 11).This effect can be used to construct a transformer with a variable transformation ratio. ( Fig. 6) For example, two opposite sides of a transformer yoke with a substantially flat, flat shape can be wound with two coils of the same size and an intermediate side with another coil. If the first two coils are switched as primary coils operating in phase opposition, then no voltage is induced in the third coil, which is connected as a secondary coil ( FIG. 11).

Dieses Verhalten ändert sich jedoch, wenn wie oben beschrieben durch Permanentmagneteinwirkung auf das Kernmaterial in Nähe der Sekundärspule eine künstliche Asymmetrie eingerichtet wird. (Fig. 11).However, this behavior changes if, as described above, an artificial asymmetry is established by the permanent magnet acting on the core material in the vicinity of the secondary coil. ( Fig. 11).

Unter dieser Voraussetzung wird in der Sekundärspule nämlich die Differenz der Teilspannungen induziert, die sich von den beiden Teilflüssen herleiten, welche durch die Primärspulen erzeugt werden.Under this condition, in the secondary coil namely the difference in the partial voltages induced derive from the two partial rivers, which through the Primary coils are generated.

Die Phasenlage der Sekundärspannung wird sich demzufolge danach richten, welche Primärspule den größeren Einfluß auf die Ausgangsspannung besitzen wird.The phase angle of the secondary voltage will change accordingly judge which primary coil has the greater influence will have on the output voltage.

Die konstruktive Ausgestaltung dieses Prinzips kann auf sehr vielfältige Weise geschehen, da der magnetische Fluß nicht notwendigerweise vollständig durch ferromagnetische Materialien geleitet werden muß, sondern auch als Streufluß durch die Luft geführt werden kann. Somit sind ebene Spulenanordnungen gemäß Fig. 5, 9, 10 genauso verwendbar wie solche mit zylindrischen Oberflächen.The design of this principle can be done in a variety of ways, since the magnetic flux does not necessarily have to be completely conducted through ferromagnetic materials, but can also be conducted as a stray flux through the air. Thus, planar coil configurations are shown in FIG. 5, 9, 10 just as useful as those having cylindrical surfaces.

Ein Vertauschen von Primär- und Sekundärspulen ändert die Wirkungsweise dieser Sensoren nicht prinzipiell, da nur das transformatorische Übersetzungsverhalten beeinflußt wird.Swapping primary and secondary coils changes the Principle of operation of these sensors not because only affects the transformational translation behavior becomes.

Neben den genannten Ausführungsformen mit zwei gegenphasig geschalteten Primärspulen sind natürlich auch Ausführungsformen mit nur einer Primärspule verwendbar. In der Regel werden diese Anordnungen jedoch nicht eine vergleichbar gute Linearität des Ausgangssignals besitzen (bezogen auf die Verschiebung des Sättigungsfeldes). Diesem Nachteil kann erfindungsgemäß dadurch abgeholfen werden, daß entweder die Sekundärspule einen Kern erhält, dessen geometrische Struktur längs der Sekundärspule modifiziert ist, d.h. z. B. schmaler oder breiter oder daß die Sekundärspule mit unterschiedlicher Wicklungsdichte über ihre Länge bewickelt wird.In addition to the above-mentioned embodiments with two opposite phases switched primary coils are of course also embodiments usable with only one primary coil. Usually will however, these arrangements are not a comparable good Have linearity of the output signal (related to the Displacement of the saturation field). This disadvantage can are remedied according to the invention in that  either the secondary coil receives a core whose geometric structure is modified along the secondary coil, i.e. e.g. B. narrower or wider or that the secondary coil with different winding density is wound over its length.

Diese Alternativen, die natürlich auch kombiniert werden können, zeigt Fig. 9.These alternatives, which of course can also be combined, are shown in FIG. 9.

Wie sich des weiteren gezeigt hat, existiert eine weitere Linearisierungsmöglichkeit, wenn der Eingangswiderstand der Primärspule bzw. der Ausgangwiderstand der Sekundärspule mit Anpaßimpedanzen, d.h. komplexen Widerständen beschaltet wird (Fig. 7).As has also been shown, there is a further possibility of linearization if the input resistance of the primary coil or the output resistance of the secondary coil is connected to matching impedances, ie complex resistors ( FIG. 7).

Besonders wichtig ist in diesem Zusammenhang die Belastung der Sekundärspule mit einer Kapazität, welche nach konstruktiven Gegebenheiten des Sensors und der Betriebsfrequenz der Primärspule spezifiziert wird.In this context, the Loading of the secondary coil with a capacity which according to the design of the sensor and the Operating frequency of the primary coil is specified.

Unter Berücksichtigung solcher Eingangs- und Ausgangs- Zusatzimpedanzen ist es ferner möglich, den Sensor mit seinen variablen Induktivitätsanteilen in eine Oszillator­ schaltung einzubauen. Es ergibt sich auf diese Weise eine Schwingfrequenz des Oszillators, die abhängig ist vor der Position des in Sättigung gebrachten Kernmaterials (Fig. 8).Taking into account such additional input and output impedances, it is also possible to install the sensor with its variable inductance components in an oscillator circuit. This results in an oscillation frequency of the oscillator, which is dependent on the position of the core material brought into saturation ( FIG. 8).

Diese Schaltungsanordnung hat den Vorteil, daß auf eine Messung der Sekundärspannung mit analogen, zumeist teuren Mitteln, verzichtet werden kann und stattdessen eine Frequenz- bzw. Impulszeitmessung ausgeführt werden kann. Messungen dieser Art besitzen bekanntlich den Vorteil, daß bei sehr hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit nur geringer meßtechnischer Aufwand erforderlich ist und bei Verwendung eines Mikroprozessorsystems dessen vorhandene Möglichkeiten die Frequenzmessung praktisch ohne Mehrkosten gestatten.This circuit arrangement has the advantage that on a Measurement of the secondary voltage with analog, mostly expensive Means that can be dispensed with and instead one Frequency or pulse time measurement can be carried out. Measurements of this type are known to have the advantage that with very high accuracy and reliability only low metrological effort is required and  Using a microprocessor system the existing one Possibilities of frequency measurement practically without additional costs allow.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung werden Maßnahmen vorgesehen, die den Einfluß von externen magnetischen Gleich- oder Wechselfeldern reduzieren.In a further embodiment of the invention, measures provided the influence of external magnetic Reduce DC or AC fields.

Dies kann insbesondere durch äußerlich angebrachte Schirmungen erreicht werden, wobei sowohl hochpermeable als auch hoch magnetisierbare Werkstoffe vorgesehen werden sollten. Je nach Erfordernis kann es sich bei solchen Schirm-Teilen um massive oder auch aus Blech gefertigte Teile handeln (Fig. 10).This can be achieved in particular by means of externally attached shields, both highly permeable and highly magnetizable materials being provided. Depending on the requirements, such shield parts can be solid parts or parts made from sheet metal ( FIG. 10).

Claims (10)

1. Geberanordnung zur Messung von linearen oder rotatorisch verlaufenden Bewegungen, dadurch gekennzeichent, daß Bewegungen der oben genannten Arten über geeignete mechanische Koppelglieder auf einen oder mehrere bewegliche Permanent- oder Elektromagneten bzw. einer Kombination dieser übertragen werden und durch Einwirkung von zugehörigen Magnetfeldern auf Kernmaterialien von zugeordneten elektrischen Spulen eine eindeutige Veränderung induktiver Eigenschaften solcher Spulen erzielt.1. Encoder arrangement for measuring linear or rotational movements, characterized in that movements of the above types are transmitted via suitable mechanical coupling elements to one or more movable permanent or electromagnets or a combination of these and by the action of associated magnetic fields on core materials assigned electrical coils achieved a clear change in inductive properties of such coils. 2. Geberanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Bewegungen der oben genannten Arten über geeignete mechanische Koppelglieder auf eine oder mehrere bewegliche Induktivitäten übertragen werden.2. Encoder arrangement according to claim 1, characterized in that Movements of the above types via appropriate mechanical coupling links to one or more movable inductors are transmitted. 3. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Bewegungen der oben genannten Arten über geeignete mechanische Koppelglieder auf eine oder mehrere bewegliche Transformator-Wicklungen übertragen werden. 3. Encoder arrangement according to one or more of the preceding Claims, characterized in that Movements of the above types via appropriate mechanical coupling links to one or more movable transformer windings are transmitted.   4. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Bewegungen der oben genannten Arten über geeignete mechanische Koppelglieder zum einen auf Permanent- oder Elektromagneten, zum anderen auf Induktivitäten oder Transformator-Wicklungen übertragen werden.4. Encoder arrangement according to one or more of the preceding Claims, characterized in that Movements of the above types via suitable mechanical Coupling links on the one hand on permanent or electromagnets, on the other hand on inductors or transformer windings be transmitted. 5. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das zu beeinflussende Kernmaterial nach Anspruch 1 durch vorgenannte Magnete lokal teilweise oder zu 100% in magnetische Sättigung gebracht wird.5. Encoder arrangement according to one or more of the preceding Claims, characterized in that the core material to be influenced according to claim 1 partially or 100% locally due to the aforementioned magnets is brought into magnetic saturation. 6. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Induktivitäten oder Transformatorspulen in differentiell wirkender Ausführungsform zur Eliminierung verschiedenartiger Fehlereinflüsse ausgelegt werden.6. Encoder arrangement according to one or more of the preceding Claims, characterized in that Inductors or transformer coils in differential acting embodiment to eliminate various Influences of errors can be interpreted. 7. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Induktivitäten oder Transformatorspulen mit zusätzlichen, externen komplexen Abschluß- bzw. Eingangswiderständen versehen werden. 7. Encoder arrangement according to one or more of the preceding Claims, characterized in that Inductors or transformer coils with additional external complex termination or input resistors be provided.   8. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Induktivitäten oder Transformatorspulen mit geeigneten elektronischen Schaltungen als frequenzbestimmende(s) Element(e) eines RLC-Oszillators verwendet werden.8. Encoder arrangement according to one or more of the preceding Claims, characterized in that Inductors or transformer coils with suitable electronic circuits as frequency determining Element (s) of an RLC oscillator can be used. 9. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch spezielle geometrische Formgebung der Kernmaterialien eine Linearisierung der Geberkennlinie bewirkt wird.9. Encoder arrangement according to one or more of the preceding Claims, characterized in that due to the special geometric shape of the core materials a linearization of the encoder characteristic is effected. 10. Geberanordnung nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch äußerlich angebrachte magnetische Schirmmaterialien eine Reduzierung des Einflusses von magnetischen Gleich- oder Wechselfeldern stattfindet.10. Encoder arrangement according to one or more of the preceding Claims, characterized in that by externally attached magnetic shielding materials a reduction in the influence of magnetic Same or alternating fields takes place.
DE19893914787 1989-05-05 1989-05-05 Inductive position sensor measuring linear or rotary movement - has magnetisable core locally saturated by external magnetic field to obtain virtual air gap Withdrawn DE3914787A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893914787 DE3914787A1 (en) 1989-05-05 1989-05-05 Inductive position sensor measuring linear or rotary movement - has magnetisable core locally saturated by external magnetic field to obtain virtual air gap

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893914787 DE3914787A1 (en) 1989-05-05 1989-05-05 Inductive position sensor measuring linear or rotary movement - has magnetisable core locally saturated by external magnetic field to obtain virtual air gap

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3914787A1 true DE3914787A1 (en) 1990-11-08

Family

ID=6380118

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19893914787 Withdrawn DE3914787A1 (en) 1989-05-05 1989-05-05 Inductive position sensor measuring linear or rotary movement - has magnetisable core locally saturated by external magnetic field to obtain virtual air gap

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3914787A1 (en)

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5204621A (en) * 1990-02-08 1993-04-20 Papst-Motoren Gmbh & Co. Kg Position sensor employing a soft magnetic core
WO2000057036A1 (en) * 1999-03-23 2000-09-28 Daimlerchrysler Ag Device with an electromagnetic actuator
WO2001030637A1 (en) * 1999-10-27 2001-05-03 Siemens Automotive S.A. Electronic steering column module
FR2800457A1 (en) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Manufacture of non-contact analog position sensor for car includes applying printed circuit material to substrate; circuit includes spiral coil and metallic layer(s) with magnetic properties
FR2800460A1 (en) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Electronic steering column-mounted module for motor vehicles, uses magnetic coupling to detect steering column rotation and operation of control levers to provide control information and information for steering assistance
FR2800458A1 (en) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Electronic steering column-mounted module for motor vehicles, uses magnetic coupling to detect steering column rotation and operation of control levers to provide control information and information for steering assistance
FR2800459A1 (en) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Differential coupled non contact linear or angular moving magnet flat inductive type position sensor for automobile control systems or motors
WO2001040736A1 (en) * 1999-12-01 2001-06-07 Siemens Automotive S.A. Analog sensor for contact-free angular offset sensing
FR2803030A1 (en) * 1999-12-22 2001-06-29 Siemens Automotive Sa Non-contact analogue position sensor has a ferromagnetic conducting track with a moving magnet that moves over the track with the measured inductance indicating the position of the magnet on the track
US6605939B1 (en) 1999-09-08 2003-08-12 Siemens Vdo Automotive Corporation Inductive magnetic saturation displacement sensor
US6714004B2 (en) 2000-05-24 2004-03-30 Balluff Gmbh Inductive position measuring system
DE10044839B4 (en) * 1999-09-27 2004-04-15 Siemens Ag Inductive position sensor
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
WO2007003913A2 (en) * 2005-06-30 2007-01-11 Sensopad Limited Position sensing apparatus and method
WO2008032008A1 (en) * 2006-09-14 2008-03-20 Sagentia Limited Position sensor
DE102008011971A1 (en) * 2008-02-29 2009-09-03 Kuhnke Automotive Gmbh & Co. Kg Magnetic position sensor system has magnet and sensor which is arranged relative to each other in movable manner, where sensor has soft magnetic core, on which two separately-spaced coil pairs are arranged
DE102008035326A1 (en) * 2008-07-22 2010-01-28 Balluff Gmbh Distance/position measuring device for detection of clamping position of spindle drive, has sensor device extending in direction, where enveloped plane is inclined towards direction and/or coil axis is inclined towards another coil axis
CN100592036C (en) * 2004-03-08 2010-02-24 微一埃普西龙测量技术有限两合公司 Contactless displacement measuring system
WO2010069285A2 (en) 2008-12-18 2010-06-24 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensor arrangement and method for determining the position and/or change in position of a measurement object
US7868609B2 (en) 2004-03-01 2011-01-11 Sagentia Limited Position sensor
US8710827B2 (en) 2008-03-19 2014-04-29 Sagentia Limited Processing circuitry for use with a position sensor

Cited By (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5204621A (en) * 1990-02-08 1993-04-20 Papst-Motoren Gmbh & Co. Kg Position sensor employing a soft magnetic core
DE4103603C2 (en) * 1990-02-08 2003-09-11 Papst Licensing Gmbh & Co Kg Position sensor for detecting linear or rotary movements of a part
WO2000057036A1 (en) * 1999-03-23 2000-09-28 Daimlerchrysler Ag Device with an electromagnetic actuator
US6605939B1 (en) 1999-09-08 2003-08-12 Siemens Vdo Automotive Corporation Inductive magnetic saturation displacement sensor
DE10044839B4 (en) * 1999-09-27 2004-04-15 Siemens Ag Inductive position sensor
WO2001030637A1 (en) * 1999-10-27 2001-05-03 Siemens Automotive S.A. Electronic steering column module
FR2800457A1 (en) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Manufacture of non-contact analog position sensor for car includes applying printed circuit material to substrate; circuit includes spiral coil and metallic layer(s) with magnetic properties
FR2800460A1 (en) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Electronic steering column-mounted module for motor vehicles, uses magnetic coupling to detect steering column rotation and operation of control levers to provide control information and information for steering assistance
FR2800458A1 (en) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Electronic steering column-mounted module for motor vehicles, uses magnetic coupling to detect steering column rotation and operation of control levers to provide control information and information for steering assistance
FR2800459A1 (en) * 1999-10-27 2001-05-04 Siemens Automotive Sa Differential coupled non contact linear or angular moving magnet flat inductive type position sensor for automobile control systems or motors
WO2001040736A1 (en) * 1999-12-01 2001-06-07 Siemens Automotive S.A. Analog sensor for contact-free angular offset sensing
US6653828B2 (en) 1999-12-01 2003-11-25 Siemens Vdo Automotive Analog sensor for contact-free angular offset sensing
FR2801969A1 (en) * 1999-12-01 2001-06-08 Siemens Automotive Sa NON-CONTACT ANGLE SHIFT ANALOG SENSOR
FR2803030A1 (en) * 1999-12-22 2001-06-29 Siemens Automotive Sa Non-contact analogue position sensor has a ferromagnetic conducting track with a moving magnet that moves over the track with the measured inductance indicating the position of the magnet on the track
US6714004B2 (en) 2000-05-24 2004-03-30 Balluff Gmbh Inductive position measuring system
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
US7868609B2 (en) 2004-03-01 2011-01-11 Sagentia Limited Position sensor
EP1721130B2 (en) 2004-03-01 2014-04-30 Sagentia Limited Position sensor
CN100592036C (en) * 2004-03-08 2010-02-24 微一埃普西龙测量技术有限两合公司 Contactless displacement measuring system
WO2007003913A2 (en) * 2005-06-30 2007-01-11 Sensopad Limited Position sensing apparatus and method
WO2007003913A3 (en) * 2005-06-30 2007-05-03 Sensopad Ltd Position sensing apparatus and method
WO2008032008A1 (en) * 2006-09-14 2008-03-20 Sagentia Limited Position sensor
DE102008011971A1 (en) * 2008-02-29 2009-09-03 Kuhnke Automotive Gmbh & Co. Kg Magnetic position sensor system has magnet and sensor which is arranged relative to each other in movable manner, where sensor has soft magnetic core, on which two separately-spaced coil pairs are arranged
US8710827B2 (en) 2008-03-19 2014-04-29 Sagentia Limited Processing circuitry for use with a position sensor
EP2211149A1 (en) 2008-07-22 2010-07-28 BALLUFF GmbH Route/position measurement device
DE102008035326A1 (en) * 2008-07-22 2010-01-28 Balluff Gmbh Distance/position measuring device for detection of clamping position of spindle drive, has sensor device extending in direction, where enveloped plane is inclined towards direction and/or coil axis is inclined towards another coil axis
DE102008063528A1 (en) 2008-12-18 2010-06-24 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensor arrangement and method for determining the position and / or position change of a measurement object
WO2010069285A2 (en) 2008-12-18 2010-06-24 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensor arrangement and method for determining the position and/or change in position of a measurement object
US8736255B2 (en) 2008-12-18 2014-05-27 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Sensor arrangement and method for determining the position and/or change in position of a measurement object

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3914787A1 (en) Inductive position sensor measuring linear or rotary movement - has magnetisable core locally saturated by external magnetic field to obtain virtual air gap
DE2511683C3 (en) Inductive position transmitter
EP0061520B2 (en) Transducer without magnetic core for contactless measurement of a current
DE60130700T2 (en) Inductive position sensor
EP0693673A2 (en) Magnetic displacement sensor
EP0290811B1 (en) Device for measuring the magnitude and direction of a magnetic field, especially of the earth-magnetic field
DE4119903A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THIN LAYERS
DE2352851A1 (en) INDUCTIVE ENCODER OR ROTARY ANGLE ENCODER
DE10138908B4 (en) Magnetic detection device
DE1297755B (en) Magnetic field measuring device with a probe with a resistance that depends on the magnetic field
DE69306101T2 (en) METHOD FOR MEASURING POSITION AND ANGLE
DE2006996B2 (en) Differential transformer pick=up for straight or angular movements - has HF supplied primary winding and secondary winding supplying signal voltage
EP0676622B2 (en) Position sensor
DE10342473B4 (en) Magnetic displacement sensor
DE2722544C2 (en) Measuring device for the inductive transformation of changes in position of an object
DE3715789A1 (en) Electrically isolated current transformer for measuring DC and AC currents
DE3705450A1 (en) Current transformer for measuring rectangular waveform currents using the compensation principle
DE3528811C2 (en)
DE4032001A1 (en) Inductive proximity switch with externally activated oscillator - has compensation coil in series-opposition to oscillator indicator coil
DE102007027419A1 (en) Inductive measuring transducer, has pick-up coil groups connected in series such that coils are repeatedly in series to individual groups, where effective width of sensor element is selected such that coils are influenced by sensor element
DE2247026B2 (en) Switching device for magnetic testing of workpieces
DE2134860C3 (en) Inductive path tapping
EP0340317A1 (en) Inductive position sensor
DE3346339C1 (en) Inductive proximity sensor
DE1236220B (en) Electronic scales

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee