DE3907610A1 - Epitaxieverfahren - Google Patents
EpitaxieverfahrenInfo
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- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
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Description
Die Erfindung betrifft ein Epitaxieverfahren nach dem
Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Zur Abscheidung dünner Halbleiterschichten beim Her
stellungsprozeß von Halbleiter-Bauelementen werden in
großem Umfang Epitaxieverfahren eingesetzt. Dabei wird
ein Trägergas, beispielsweise Wasserstoff, Helium, Neon
oder Argon, das die abzuscheidenden Epitaxiematerialien
als "gelöste" Stoffe, die sog. Quellenmaterialien, mit
sich führt, mit Hilfe einer Gasströmung in einen Epita
xiereaktor eingeleitet.
Eine Einteilung der Epitaxieverfahren, beispielsweise
Chlorid-, Hydrid-, Molekularstrahl- oder metallorgani
sches Epitaxieverfahren, erfolgt danach, in welcher
chemischen Form die Epitaxiematerialien bei Eintritt in
den Reaktorraum vorliegen.
In Abhängigkeit des Partialdruckes im Reaktorraum kann
man außerdem zwischen Niederdruck- und Normaldruck-Epi
taxieverfahren unterscheiden.
Die zu beschichtenden Substratscheiben sind hinterein
ander und/oder nebeneinander auf einem sogenannten Sus
zeptor im Reaktorraum angeordnet. Im heißen Reaktorraum
zersetzen sich die mit dem Trägergas einströmenden Epi
taxiematerialien und scheiden sich auf den Substrat
scheiben ab. Durch die Abscheidung verarmt das Träger
gas an Reaktionsmaterialien; damit eine gleichmäßige
Abscheidung auf allen Substratscheiben möglich ist, muß
mit einem Materialüberschuß gearbeitet werden.
Aus Turbulenzen und unkontrollierten Konvektionsströ
mungen der Gasströmung im Reaktorraum resultieren
Schwankungen der Schichtdicke und der Dotierstoffkon
zentration. Für Halbleiter-Bauelemente sind diese
Schwankungen jedoch nicht tolerabel, das Reaktionsmate
rial muß sowohl in lateraler als auch in longitudinaler
Richtung möglichst gleichmäßig auf den Substratscheiben
abgeschieden werden.
Um dies zu erreichen, werden in vielen Fällen Nieder
druck-Epitaxieverfahren angewendet, bei denen die große
freie Weglänge der Gasmoleküle aufgrund des niederen
Gasdruckes für eine gleichmäßige Schichtabscheidung
sorgt.
Nachteilig bei diesen Verfahren ist aber, daß ein ho
her, wartungsintensiver apparativer Aufwand notwendig
ist, da großvolumige Pumpen mit entsprechenden Druckab
sicherungen usw. benötigt werden.
Desweiteren muß über den Quellen für eine hohe Druck
konstanz gesorgt werden, um Konzentrationsschwankungen
im Trägergas auszuschließen.
Außerdem ist bei den Niederdruckverfahren ein sehr viel
höherer Überschuß an Reaktionsmaterial als beim Normal
druckverfahren notwendig; da viele der verwendeten Stof
fe jedoch giftig sind, ist die Entsorgung problematisch.
Zudem muß bei Niederdruck-Systemen mit Abscheidungen
dieser giftigen Substanzen in der Pumpe gerechnet wer
den, was große Wartungsprobleme verursacht.
Um diese Nachteile zu vermeiden, wurden Überlegungen
angestellt, das Normaldruck-Epitaxieverfahren dahinge
hend zu verbessern, daß ein möglichst störungsfreier
Verlauf der Gasströmung ohne Turbulenzen und unkontrol
lierte Konvektion erreicht und somit eine gleichmäßige
Abscheidung des Epitaxiematerials auf den Substratschei
ben ermöglicht wird.
Um diejenigen Störungen zu minimieren, die durch Abrei
ßen der Gasströmung bzw. durch unkontrollierte Wirbel
bildung bereits an der Vorderkante des Suszeptors ent
stehen, wird der Suszeptor so in die Reaktorwand ver
senkt, daß ein flacher Übergang zwischen Reaktorwand
und Suszeptor-Oberfläche geschaffen wird.
Um unkontrollierte Wirbel und Konvektionen im Reaktor
raum zu unterdrücken, ist es aus der Literaturstelle
"L.J. Giling, Gas Flow Patterns in Horizontal Epitaxial
Reactor Cells Observed by Interference Holography",
Journal of Electrochem. Soc., 129, S. 634-643, (1982),
bekannt, den Querschnitt des Reaktorraums rechteckig zu
gestalten. Desweiteren kann die Reaktorwand zur Redu
zierung der Konvektion gekühlt werden.
Durch Kippen des Suszeptors im Reaktorraum soll erreicht
werden, daß die Gasströmung länger entlang der Oberflä
che der Substratscheiben geführt wird.
Dennoch bestehen weitere Probleme, die eine gleichmäßi
ge Schichtabscheidung erschweren.
Bei kleineren Strömungsgeschwindigkeiten (typ. 10-
100 cm/s) im Reaktorraum führen schon kleinste Störungen,
wie Wandunebenheiten, kleine Spalte zwischen Suszeptor
und Substratscheibe usw., zum Abriß der Gasströmung,
d. h. in longitudinaler Richtung entfernt sich die ma
terialreiche Gasschicht immer weiter von den Substrat
oberflächen. Die Diffusionsweglängen werden größer, das
Schichtdickenwachstum nimmt ab.
Direkt über der Substrat-Oberfläche bildet sich eine
laminare Grenzschicht der Gasströmung aus, aus der be
vorzugt Epitaxiematerial auf die Halbleiterscheiben
abgeschieden wird, so daß diese laminare Grenzschicht,
die sogenannte Diffusionsrandschicht, an Epitaxiemate
rial verarmt. Daraus resultiert ein Konzentrationsgra
dient des Epitaxiematerials und der Dotierstoffe zwi
schen Reaktorraum und Diffusionsrandschicht, der durch
Diffusionsprozesse immer wieder ausgeglichen wird. Da
aber die Gasströmung in longitudinaler Richtung durch
sukzessives Abscheiden des Epitaxiematerials auf den
Halbleiterscheiben immer weniger Epitaxiematerial mit
sich führt, findet der Diffusionsausgleich des Konzen
trationsgradienten, der ja ein zeitlicher Vorgang ist,
oft nur sehr schlecht und nicht so schnell wie gewünscht
statt.
Um eine gleichmäßige Schichtabscheidung zu gewährlei
sten, muß die Gasströmung eine bestimmte Minimalge
schwindigkeit besitzen. Ist diese zu groß, treten wegen
des größeren Materialdurchsatzes Probleme mit der Ab
gasreinigung bzw. Entsorgung der Quellenmaterialien
auf; zudem steigt der Verbrauch an den Dotierstoffen
an.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Epitaxie
verfahren anzugeben, bei dem die genannten Nachteile
vermieden werden und ein gleichmäßiges Abscheiden der
Epitaxieschichten auf mehreren Substratscheiben sowohl
in lateraler als auch in longitudinaler Richtung des
Reaktorraums gewährleistet ist.
Dazu ist nach der Erfindung bei einem Epitaxieverfahren
gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 vorgesehen, daß
mindestens ein Gegenstand im Reaktorraum derart in be
zug auf die Strömungsrichtung der Gasströmung angeord
net wird, daß längs des gesamten Suszeptors kontrol
liert kleine Wirbel in der Gasströmung erzeugt werden.
Durch die kontrollierte Erzeugung kleiner Wirbel in der
Gasströmung wird erreicht, daß die Strömung eine länge
re Strecke an der Substratoberfläche anliegt, wodurch
auch die laminare Grenzschicht bzw. die Diffusionsrand
schicht auf ein möglichst kleines Maß reduziert wird.
Durch die Vielzahl der kleinen Wirbelfronten in der
Gasströmung und dem damit verbundenen Materialtransport
im Reaktorraum wird der Konzentrationsgradient der Do
tierstoffe im Reaktorraum stark reduziert, und auch die
Diffusionsweglängen werden deutlich verkürzt.
Dies bedingt aber, daß mit dem erfindungsgemäßen Epi
taxieverfahren die Homogenität der Schichtabscheidung
gegenüber konventionellen Epitaxieverfahren deutlich
verbessert wird. Eine gleichmäßige Abscheidung ist so
wohl in lateraler Richtung als auch in longitudinaler
Richtung des Reaktors über mehrere Substratscheiben
möglich; die Schwankungen der Schichtdicke konnten we
sentlich reduziert werden.
Darüber hinaus kann mit kleineren Minimalgeschwindig
keiten der Gasströmung im Reaktorraum gearbeitet wer
den, so daß der Durchsatz und damit der Verbrauch an
Quellenmaterial zurückgeht.
Da die Epitaxiematerialien aufgrund der Verwirbelung
der Gasströmung effizienter abgeschieden werden, kann
mit weniger Epitaxiematerial die gleiche Abscheidungs
rate erreicht und demzufolge der Materialbedarf redu
ziert werden; die Effizienz des Epitaxieverfahrens wird
dadurch erhöht.
Der Gegenstand, der am Reaktor-Eingangsteil zur kontrol
lierten Wirbelerzeugung eingesetzt wird, besteht vor
zugsweise aus Graphit, Glas oder aus einem anderen
wärme- und formbeständigen Material, das chemisch inert
ist, wodurch keine ungewollte Dotierung der Gasströmung
vermieden wird.
Die Form des Gegenstands, sein Abstand von der Suszep
tor-Oberfläche bzw. vom Reaktoreingang sowie seine Ab
messungen, müssen so gewählt werden, daß definiert klei
ne Wirbel entstehen. Vorzugsweise ist der Gegenstand
vor der ersten Substratscheibe angeordnet und erstreckt
sich über die gesamte Breite des Reaktorraums; die Höhe
über dem Suszeptor sowie die Abstände und die Dicke
sind gemäß den jeweiligen Prozeßbedingungen variabel
wählbar.
Falls ein einziger wirbelerzeugender Gegenstand für
eine kontrollierte Wirbelbildung längs des gesamten
Reaktorraums nicht ausreicht, können auch mehrere, vor
zugsweise gleichartige, wirbelerzeugende Gegenstände in
longitudinaler Richtung im Epitaxiereaktor angebracht
werden. Die Gegenstände sind dabei vorzugsweise zwi
schen aufeinanderfolgenden Scheiben angeordnet.
Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungs
beispiels, der Abscheidung von GaAs mittels des Metall
organic-Vapor-Phase-Epitaxy-Verfahrens (MOVPE-Verfah
ren) beschrieben werden, bei dem die abzuscheidenden
Substanzen als metallorganische Verbindungen vorliegen.
In Fig. 1 ist im Schnitt der schematische Aufbau eines
Epitaxiereaktors dargestellt, wobei im Reaktorraum ein
wirbelerzeugender Gegenstand angeordnet ist.
Die Fig. 2 zeigt in Draufsicht eine mögliche Anordnung
der Substratscheiben im Epitaxiereaktor.
Gemäß der Fig. 1 ist ein Reaktor mit einer Länge von
beispielsweise 260 mm und einer Breite von 140 mm dar
gestellt, der eine Einlaßöffnung 7 mit einer Höhe h von
beispielsweise 17 mm aufweist. Im Reaktorraum 1 befin
det sich ein Suszeptor 3, der um beispielsweise 2,2°
gegenüber der Längsachse des Reaktors in Strömungsrich
tung ansteigt. Im Suszeptor 3 befinden sich in longitu
dinaler Richtung drei Aussparungen 4, in denen drei
Substratscheiben 6 a, 6 b und 6 c angeordnet sind. Die
Reaktorwand 2 besteht aus Quarzglas, der heizbare Sus
zeptor 3 aus Graphit; im Reaktorraum 1 herrscht eine
Temperatur von ca. 600°C.
Durch die Einlaßöffnung 7 des Reaktors tritt in den
Reaktorraum 1 eine Gasströmung 8 ein, die aus einem
Trägergas, beispielsweise H2, N2, He oder Ar besteht,
dem als Quellenmaterialien die metallorganische Verbin
dung Trimethylgallium und Arsenwasserstoff beigemengt
sind. Die Strömungsgeschwindigkeit der Gasströmung 8
beträgt beispielsweise 17 cm/s, der Durchsatz durch die
Einlaßöffnung 7 beispielsweise 25 l/min. Im heißen Reak
torraum 1 zersetzen sich die Quellenmaterialien derart,
daß Gallium und Arsen auf den Substratscheiben 6 a, 6 b
und 6 c abgeschieden wird.
Zur kontrollierten Erzeugung kleiner Wirbel 10 in der
Gasströmung 8, ist im Bereich der Einlaßöffnung 7 des
Reaktors, vor der ersten Substratscheibe 6 a, ein Gegen
stand 9, beispielsweise ein Glasdraht mit einem Durch
messer von ca. 1 mm, quer zur Strömungsrichtung des
einströmenden Gases 8 angeordnet. Der Abstand d 1 des
Glasdrahts 9 von der Oberfläche des Suszeptors 3 be
trägt beispielsweise 1 mm, der Abstand d 2 des Glasdrah
tes 9 von der Vorderkante 5 des Suszeptors beispiels
weise 15 mm, der Abstand d 3 bis zur ersten Scheibe 6 a
beispielsweise 25 mm.
In Fig. 2 ist in Draufsicht die laterale und longitu
dinale Verteilung von acht 2′′-Substratscheiben 6 im
Reaktorraum dargestellt. Die Scheiben 6 erstrecken sich
über eine Breite von ca. 120 mm und über eine Länge von
ca. 200 mm; die Gasströmung 8 streicht in longitudina
ler Richtung über die Oberfläche der Substratscheiben 6
hinweg.
Mit der oben ausgeführten Anordnung des wirbelerzeugen
den Glasdrahts im Eingangsteil des Reaktorraums wurden
die acht Scheiben 6 gemäß der Anordnung in Fig. 2 epi
taktisch mit einer mittleren Schichtdicke von 1 µm be
schichtet. Dabei wurde festgestellt, daß die Schicht
dicke bei allen Scheiben nur um weniger als ±3,5% um
den Mittelwert 1 µm schwankte. Bei konventionellen Epi
taxieverfahren mußte dagegen bereits bei drei beschich
teten Scheiben, bei gleicher Schichtdicke 1 µm, eine
Schwankung der Schichtdicke von mehr als ±10% um den
Mittelwert festgestellt werden.
Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich überall dort
einsetzen, wo eine gleichmäßige epitaktische Abschei
dung gleichzeitig bei mehreren Halbleiterscheiben er
forderlich ist.
Die Anordnung der wirbelerzeugenden Gegenstände im Epi
taxiereaktor bzw. deren Ausführung kann den unterschied
lichen Randbedingungen und Erfordernissen der verschie
denen Epitaxieprozesse leicht angepaßt werden.
Claims (7)
1. Epitaxieverfahren, bei dem in einem Reaktorraum (1)
aus einer Gasströmung (8) Halbleiterschichten auf mit
tels eines Suszeptors (3) gehalterten Substratscheiben
(6 a, 6 b, 6 c) abgeschieden werden, dadurch gekennzeich
net, daß mindestens ein Gegenstand (9) im Reaktorraum
(1) derart in bezug auf die Strömungsrichtung der Gas
strömung (8) angeordnet wird, daß längs des gesamten
Suszeptors (3) kontrolliert kleine Wirbel (10) in der
Gasströmung (8) erzeugt werden.
2. Epitaxieverfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der erste zur Wirbelerzeugung dienende
Gegenstand (9) vor der ersten Substratscheibe (6 a) an
geordnet wird.
3. Anordnung zur Durchführung des Epitaxieverfahrens
nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die
zur Wirbelerzeugung dienenden Gegenstände (9) aus einem
wärme- und formbeständigen und chemisch inerten Mate
rial bestehen.
4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
daß sich die zur Wirbelerzeugung dienenden Gegenstände
(9) über die gesamte Breite des Reaktorraums erstrecken.
5. Anordnung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Gegenstände (9) aus Glas, Graphit
oder Edelstahl bestehen.
6. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß als Gegenstände (9) Drähte
vorgesehen sind.
7. Verwendung eines Epitaxieverfahrens nach Anspruch 1
oder 2 zur gleichmäßigen epitaktischen Beschichtung von
in Längsrichtung des Reaktors verteilten Halbleiter-
Substratscheiben.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19893907610 DE3907610A1 (de) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | Epitaxieverfahren |
Applications Claiming Priority (1)
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DE19893907610 DE3907610A1 (de) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | Epitaxieverfahren |
Publications (2)
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DE3907610A1 true DE3907610A1 (de) | 1990-09-13 |
DE3907610C2 DE3907610C2 (de) | 1992-02-27 |
Family
ID=6375912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19893907610 Granted DE3907610A1 (de) | 1989-03-09 | 1989-03-09 | Epitaxieverfahren |
Country Status (1)
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DE (1) | DE3907610A1 (de) |
Families Citing this family (1)
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-
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Non-Patent Citations (1)
Title |
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US-Z.: Journal of Electrochem. Soc., Vol. 129, 1982, S. 634-643 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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