DE3885923T2 - Oberflächenschallwellenfaltungsvorrichtung mit dielektrischem Film mit hoher nichtlinearer Wirkung. - Google Patents
Oberflächenschallwellenfaltungsvorrichtung mit dielektrischem Film mit hoher nichtlinearer Wirkung.Info
- Publication number
- DE3885923T2 DE3885923T2 DE88104125T DE3885923T DE3885923T2 DE 3885923 T2 DE3885923 T2 DE 3885923T2 DE 88104125 T DE88104125 T DE 88104125T DE 3885923 T DE3885923 T DE 3885923T DE 3885923 T2 DE3885923 T2 DE 3885923T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic waves
- substrate
- elastic device
- dielectric film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims description 39
- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 title claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 claims description 4
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 claims description 4
- XJCVRTZCHMZPBD-UHFFFAOYSA-N 3-nitroaniline Chemical compound NC1=CC=CC([N+]([O-])=O)=C1 XJCVRTZCHMZPBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000003282 alkyl amino group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 claims description 3
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 claims description 3
- 125000004663 dialkyl amino group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000005191 hydroxyalkylamino group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 claims description 3
- LLCSWKVOHICRDD-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diyne Chemical group C#CC#C LLCSWKVOHICRDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 2
- RYRPIXHXVFMOCR-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-2-nitro-1-oxidopyridin-1-ium Chemical compound CC1=CC=C[N+]([O-])=C1[N+]([O-])=O RYRPIXHXVFMOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 claims 1
- -1 mercapto, hydroxyl Chemical group 0.000 description 19
- 229940126062 Compound A Drugs 0.000 description 12
- NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N Heterophylliin A Natural products O1C2COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC2C(OC(=O)C=2C=C(O)C(O)=C(O)C=2)C(O)C1OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 6
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 4
- 150000004074 biphenyls Chemical class 0.000 description 4
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- WVIICGIFSIBFOG-UHFFFAOYSA-N pyrylium Chemical class C1=CC=[O+]C=C1 WVIICGIFSIBFOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 3
- 150000001545 azulenes Chemical class 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 150000002240 furans Chemical class 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 150000002790 naphthalenes Chemical class 0.000 description 3
- 150000003216 pyrazines Chemical class 0.000 description 3
- 150000004892 pyridazines Chemical class 0.000 description 3
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 description 3
- 150000003230 pyrimidines Chemical class 0.000 description 3
- 150000003233 pyrroles Chemical class 0.000 description 3
- 150000003248 quinolines Chemical class 0.000 description 3
- 150000003577 thiophenes Chemical class 0.000 description 3
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 3
- TYMLOMAKGOJONV-UHFFFAOYSA-N 4-nitroaniline Chemical compound NC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1 TYMLOMAKGOJONV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 2
- 229940111121 antirheumatic drug quinolines Drugs 0.000 description 2
- 150000001555 benzenes Chemical class 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 2
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000009021 linear effect Effects 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 description 2
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- CYNARAWTVHQHDI-UHFFFAOYSA-N (2,4-diaminopteridin-6-yl)methanol Chemical compound N1=C(CO)C=NC2=NC(N)=NC(N)=C21 CYNARAWTVHQHDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YINYAGBOKBLJHY-UHFFFAOYSA-N (2-amino-4-methylphenyl)-phenylmethanone Chemical compound NC1=CC(C)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 YINYAGBOKBLJHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZUWXHHBROGLWNH-UHFFFAOYSA-N (2-amino-5-chlorophenyl)-phenylmethanone Chemical compound NC1=CC=C(Cl)C=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 ZUWXHHBROGLWNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RXCOGDYOZQGGMK-UHFFFAOYSA-N (3,4-diaminophenyl)-phenylmethanone Chemical compound C1=C(N)C(N)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 RXCOGDYOZQGGMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCVUMNJAVAXADT-UHFFFAOYSA-N (4-amino-3-methylphenyl)-phenylmethanone Chemical compound C1=C(N)C(C)=CC(C(=O)C=2C=CC=CC=2)=C1 ZCVUMNJAVAXADT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MKWJZTFMDWSRIH-UHFFFAOYSA-N (4-fluoro-3-nitrophenyl)methanol Chemical compound OCC1=CC=C(F)C([N+]([O-])=O)=C1 MKWJZTFMDWSRIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGSUAOQQFDZKHY-UHFFFAOYSA-N (5-amino-6-cyanopyrazin-2-yl) acetate Chemical compound CC(=O)OC1=CN=C(N)C(C#N)=N1 MGSUAOQQFDZKHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DELJOESCKJGFML-DUXPYHPUSA-N (e)-3-aminobut-2-enenitrile Chemical compound C\C(N)=C/C#N DELJOESCKJGFML-DUXPYHPUSA-N 0.000 description 1
- AEPQXGFMAZTUEA-UHFFFAOYSA-N 1,2,4,5-tetramethyl-3,6-dinitrobenzene Chemical compound CC1=C(C)C([N+]([O-])=O)=C(C)C(C)=C1[N+]([O-])=O AEPQXGFMAZTUEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LRMDXTVKVHKWEK-UHFFFAOYSA-N 1,2-diaminoanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=C(N)C(N)=CC=C3C(=O)C2=C1 LRMDXTVKVHKWEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CIPAZGXPAMRCFJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-dinitrobenzene;1,3-dinitrobenzene;1,4-dinitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1.[O-][N+](=O)C1=CC=CC([N+]([O-])=O)=C1.[O-][N+](=O)C1=CC=CC=C1[N+]([O-])=O CIPAZGXPAMRCFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULALSFRIGPMWRS-UHFFFAOYSA-N 1,3-dinitronaphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC([N+](=O)[O-])=CC([N+]([O-])=O)=C21 ULALSFRIGPMWRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZUTCJXFCHHDFJS-UHFFFAOYSA-N 1,5-dinitronaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C([N+](=O)[O-])=CC=CC2=C1[N+]([O-])=O ZUTCJXFCHHDFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVCSMMMOCOTIHF-UHFFFAOYSA-N 1,8-dinitronaphthalene Chemical compound C1=CC([N+]([O-])=O)=C2C([N+](=O)[O-])=CC=CC2=C1 AVCSMMMOCOTIHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VIQMJMDPUIBXQO-UHFFFAOYSA-N 1-amino-4-bromo-2-methylanthracene-9,10-dione Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=C(N)C(C)=CC(Br)=C3C(=O)C2=C1 VIQMJMDPUIBXQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LOTKRQAVGJMPNV-UHFFFAOYSA-N 1-fluoro-2,4-dinitrobenzene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=C(F)C([N+]([O-])=O)=C1 LOTKRQAVGJMPNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YHYLDEVWYOFIJK-UHFFFAOYSA-N 1h-indole-5-carbonitrile Chemical compound N#CC1=CC=C2NC=CC2=C1 YHYLDEVWYOFIJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUWSXVJIPZWUGC-UHFFFAOYSA-N 2,11-dithia[3.3]paracyclophane Chemical compound C1SCC(C=C2)=CC=C2CSCC2=CC=C1C=C2 CUWSXVJIPZWUGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTQQIHUQLOZOJI-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1,2-thiazole Chemical compound C1NSC=C1 YTQQIHUQLOZOJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYSXLQBUUOPLBB-UHFFFAOYSA-N 2,3-dinitrotoluene Chemical compound CC1=CC=CC([N+]([O-])=O)=C1[N+]([O-])=O DYSXLQBUUOPLBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RHTVQEPJVKUMPI-UHFFFAOYSA-N 2,4-dinitro-n-phenylaniline Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC([N+](=O)[O-])=CC=C1NC1=CC=CC=C1 RHTVQEPJVKUMPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXQOQPGNCGEELI-UHFFFAOYSA-N 2,4-dinitroaniline Chemical compound NC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O LXQOQPGNCGEELI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CVYZVNVPQRKDLW-UHFFFAOYSA-N 2,4-dinitroanisole Chemical compound COC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O CVYZVNVPQRKDLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZILXIZUBLXVYPI-UHFFFAOYSA-N 2,4-dinitrobenzaldehyde Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=C(C=O)C([N+]([O-])=O)=C1 ZILXIZUBLXVYPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFBJCMHMOXMLKC-UHFFFAOYSA-N 2,4-dinitrophenol Chemical compound OC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O UFBJCMHMOXMLKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HORQAOAYAYGIBM-UHFFFAOYSA-N 2,4-dinitrophenylhydrazine Chemical compound NNC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O HORQAOAYAYGIBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RMBFBMJGBANMMK-UHFFFAOYSA-N 2,4-dinitrotoluene Chemical compound CC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O RMBFBMJGBANMMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWEZBKLLMKVIPI-UHFFFAOYSA-N 2,5-dinitrophenol Chemical compound OC1=CC([N+]([O-])=O)=CC=C1[N+]([O-])=O UWEZBKLLMKVIPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SPOWAUDUGZVURQ-UHFFFAOYSA-N 2,6-diamino-4-nitrotoluene Chemical compound CC1=C(N)C=C([N+]([O-])=O)C=C1N SPOWAUDUGZVURQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HOYRZHJJAHRMLL-UHFFFAOYSA-N 2,6-dinitro-p-cresol Chemical compound CC1=CC([N+]([O-])=O)=C(O)C([N+]([O-])=O)=C1 HOYRZHJJAHRMLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QFUSCYRJMXLNRB-UHFFFAOYSA-N 2,6-dinitroaniline Chemical compound NC1=C([N+]([O-])=O)C=CC=C1[N+]([O-])=O QFUSCYRJMXLNRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHFZQNNDIJKLIO-UHFFFAOYSA-N 2,6-dinitrobenzaldehyde Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=CC([N+]([O-])=O)=C1C=O WHFZQNNDIJKLIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTRDKALNCIHHNI-UHFFFAOYSA-N 2,6-dinitrotoluene Chemical compound CC1=C([N+]([O-])=O)C=CC=C1[N+]([O-])=O XTRDKALNCIHHNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IHZCVUBSTYOFSJ-UHFFFAOYSA-N 2,7-dinitro-9h-fluorene Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=C2C3=CC=C([N+](=O)[O-])C=C3CC2=C1 IHZCVUBSTYOFSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NMJRUVIOYRDYQN-UHFFFAOYSA-N 2-(4-chlorophenyl)quinazoline Chemical compound C1=CC(Cl)=CC=C1C1=NC=C(C=CC=C2)C2=N1 NMJRUVIOYRDYQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WNAJXPYVTFYEST-UHFFFAOYSA-N 2-Amino-3-methylbenzoate Chemical compound CC1=CC=CC(C(O)=O)=C1N WNAJXPYVTFYEST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HEQOJEGTZCTHCF-UHFFFAOYSA-N 2-amino-1-phenylethanone Chemical compound NCC(=O)C1=CC=CC=C1 HEQOJEGTZCTHCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZARYBZGMUVAJMK-UHFFFAOYSA-N 2-amino-4-chloro-5-nitrophenol Chemical compound NC1=CC(Cl)=C([N+]([O-])=O)C=C1O ZARYBZGMUVAJMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYYLQSCZISREGY-UHFFFAOYSA-N 2-amino-4-chlorobenzoic acid Chemical compound NC1=CC(Cl)=CC=C1C(O)=O JYYLQSCZISREGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUKXRHLWPSBCTI-UHFFFAOYSA-N 2-amino-5-bromobenzoic acid Chemical compound NC1=CC=C(Br)C=C1C(O)=O CUKXRHLWPSBCTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IFXKXCLVKQVVDI-UHFFFAOYSA-N 2-amino-5-chlorobenzoic acid Chemical compound NC1=CC=C(Cl)C=C1C(O)=O IFXKXCLVKQVVDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYRDWARBHMCOAG-UHFFFAOYSA-N 2-amino-5-chlorobenzonitrile Chemical compound NC1=CC=C(Cl)C=C1C#N QYRDWARBHMCOAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOLGILSVWFKZRQ-UHFFFAOYSA-N 2-amino-5-iodobenzoic acid Chemical compound NC1=CC=C(I)C=C1C(O)=O GOLGILSVWFKZRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBUUUJWWOARGNW-UHFFFAOYSA-N 2-amino-5-methylbenzoic acid Chemical compound CC1=CC=C(N)C(C(O)=O)=C1 NBUUUJWWOARGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCPJEHJGFKWRFM-UHFFFAOYSA-N 2-amino-5-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(N)C(O)=C1 HCPJEHJGFKWRFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHYVBIXKORFHFM-UHFFFAOYSA-N 2-amino-6-methylbenzoic acid Chemical compound CC1=CC=CC(N)=C1C(O)=O XHYVBIXKORFHFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMXYNJXDULEQCK-UHFFFAOYSA-N 2-amino-p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C(N)=C1 ZMXYNJXDULEQCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYIFNHCXNCRBQI-UHFFFAOYSA-N 2-aminoadipic acid Chemical compound OC(=O)C(N)CCCC(O)=O OYIFNHCXNCRBQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLXOMMTWPMQFDE-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-3-(trifluoromethyl)aniline Chemical compound NC1=CC=CC(C(F)(F)F)=C1Cl WLXOMMTWPMQFDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MEQBJJUWDCYIAB-UHFFFAOYSA-N 2-chloropyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=CN=C1Cl MEQBJJUWDCYIAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTTIQGSLJBWVIV-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-4-nitroaniline Chemical compound CC1=CC([N+]([O-])=O)=CC=C1N XTTIQGSLJBWVIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWBPWBPGNQWFSJ-UHFFFAOYSA-N 2-phenylaniline Chemical group NC1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 TWBPWBPGNQWFSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HEMGYNNCNNODNX-UHFFFAOYSA-N 3,4-diaminobenzoic acid Chemical compound NC1=CC=C(C(O)=O)C=C1N HEMGYNNCNNODNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INYDMNPNDHRJQJ-UHFFFAOYSA-N 3,4-dinitrotoluene Chemical compound CC1=CC=C([N+]([O-])=O)C([N+]([O-])=O)=C1 INYDMNPNDHRJQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UENRXLSRMCSUSN-UHFFFAOYSA-N 3,5-diaminobenzoic acid Chemical compound NC1=CC(N)=CC(C(O)=O)=C1 UENRXLSRMCSUSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPBZUKLDHPOCLS-UHFFFAOYSA-N 3,5-dinitroaniline Chemical compound NC1=CC([N+]([O-])=O)=CC([N+]([O-])=O)=C1 MPBZUKLDHPOCLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUKWKUSGGZNXGA-UHFFFAOYSA-N 3,5-dinitrobenzamide Chemical compound NC(=O)C1=CC([N+]([O-])=O)=CC([N+]([O-])=O)=C1 UUKWKUSGGZNXGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYWYYJYRVSBHJQ-UHFFFAOYSA-N 3,5-dinitrobenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC([N+]([O-])=O)=CC([N+]([O-])=O)=C1 VYWYYJYRVSBHJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSDNULNTQAUNFQ-UHFFFAOYSA-N 3,5-dinitrobenzonitrile Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC(C#N)=CC([N+]([O-])=O)=C1 SSDNULNTQAUNFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LWFUFLREGJMOIZ-UHFFFAOYSA-N 3,5-dinitrosalicylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC([N+]([O-])=O)=CC([N+]([O-])=O)=C1O LWFUFLREGJMOIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPAIWVOBMLSHQA-UHFFFAOYSA-N 3,6-dihydroxybenzene-1,2-dicarbonitrile Chemical compound OC1=CC=C(O)C(C#N)=C1C#N MPAIWVOBMLSHQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IUYPGBXHRROEGG-UHFFFAOYSA-N 3-amino-2-chlorobenzenesulfonic acid Chemical compound NC1=CC=CC(S(O)(=O)=O)=C1Cl IUYPGBXHRROEGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZBQFWVIYNLHFMO-UHFFFAOYSA-N 3-amino-2-methoxybenzoic acid Chemical compound COC1=C(N)C=CC=C1C(O)=O ZBQFWVIYNLHFMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FLROJJGKUKLCAE-UHFFFAOYSA-N 3-amino-2-methylphenol Chemical compound CC1=C(N)C=CC=C1O FLROJJGKUKLCAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMGFVJVLVZOSOE-UHFFFAOYSA-N 3-amino-4-chlorobenzoic acid Chemical compound NC1=CC(C(O)=O)=CC=C1Cl DMGFVJVLVZOSOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKFIFYROMAAUDL-UHFFFAOYSA-N 3-amino-4-methylbenzoic acid Chemical compound CC1=CC=C(C(O)=O)C=C1N XKFIFYROMAAUDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSOURMYKACOBIV-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-4-nitro-1-oxidopyridin-1-ium Chemical compound CC1=C[N+]([O-])=CC=C1[N+]([O-])=O SSOURMYKACOBIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OCYMJCILWYHKAU-UHFFFAOYSA-N 4,6-dimethyl-2-oxo-1h-pyridine-3-carbonitrile Chemical compound CC1=CC(C)=C(C#N)C(O)=N1 OCYMJCILWYHKAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXVONLUNISGICL-UHFFFAOYSA-N 4,6-dinitro-o-cresol Chemical compound CC1=CC([N+]([O-])=O)=CC([N+]([O-])=O)=C1O ZXVONLUNISGICL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCPQALWAROJVLE-UHFFFAOYSA-N 4-(2,4-dinitroanilino)phenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1NC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O BCPQALWAROJVLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SFUUYJQPERHCDC-UHFFFAOYSA-N 4-[(6-cyano-5-methylpyrazin-2-yl)methylamino]benzoic acid Chemical compound N1=C(C#N)C(C)=NC=C1CNC1=CC=C(C(O)=O)C=C1 SFUUYJQPERHCDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MBDUKNCPOPMRJQ-UHFFFAOYSA-N 4-amino-2-chlorobenzoic acid Chemical compound NC1=CC=C(C(O)=O)C(Cl)=C1 MBDUKNCPOPMRJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDGMAACKJSBLMW-UHFFFAOYSA-N 4-amino-2-methylphenol Chemical compound CC1=CC(N)=CC=C1O HDGMAACKJSBLMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIUKLAQDPKYBCP-UHFFFAOYSA-N 4-bromonaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=C2C(N)=CC=C(Br)C2=C1 LIUKLAQDPKYBCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IKKMKJOVXQEEHS-UHFFFAOYSA-N 4-chloro-6-methylpyridin-2-amine Chemical compound CC1=CC(Cl)=CC(N)=N1 IKKMKJOVXQEEHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DEPDZGNUVOAZCW-UHFFFAOYSA-N 4-chloronaphthalen-1-amine Chemical compound C1=CC=C2C(N)=CC=C(Cl)C2=C1 DEPDZGNUVOAZCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGNGOGOOPUYKMC-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-6-methylaniline Chemical compound CC1=CC(O)=CC=C1N QGNGOGOOPUYKMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEBCRAVYUWNFQT-UHFFFAOYSA-N 4-methoxy-1,3-benzothiazol-2-amine Chemical compound COC1=CC=CC2=C1N=C(N)S2 YEBCRAVYUWNFQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UEALKTCRMBVTFN-UHFFFAOYSA-N 4-nitroanthranilic acid Chemical compound NC1=CC([N+]([O-])=O)=CC=C1C(O)=O UEALKTCRMBVTFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVCFFVPEOLCYNN-UHFFFAOYSA-N 5-amino-2-chlorobenzoic acid Chemical compound NC1=CC=C(Cl)C(C(O)=O)=C1 GVCFFVPEOLCYNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLQFHJKRTDIZLX-UHFFFAOYSA-N 5-amino-2-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(N)C=C1O BLQFHJKRTDIZLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGOLHUGPTDEKCF-UHFFFAOYSA-N 5-bromopyridin-2-amine Chemical compound NC1=CC=C(Br)C=N1 WGOLHUGPTDEKCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKOSGBYZOWWAPH-UHFFFAOYSA-N 5-chloro-2-methyl-4-nitroaniline Chemical compound CC1=CC([N+]([O-])=O)=C(Cl)C=C1N OKOSGBYZOWWAPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFTMGCFOVOCPFF-UHFFFAOYSA-N 5-chloropurin-2-amine Chemical compound C1=NC(N)=NC2=NC=NC21Cl LFTMGCFOVOCPFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MAXBVGJEFDMHNV-UHFFFAOYSA-N 5-chloropyridin-2-amine Chemical compound NC1=CC=C(Cl)C=N1 MAXBVGJEFDMHNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKPXGNGUVSHWQQ-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-1,2-oxazol-3-amine Chemical compound CC1=CC(N)=NO1 FKPXGNGUVSHWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFVMXQJFTZCDPJ-UHFFFAOYSA-N 6-(chloromethyl)-4-hydroxy-3-iminopyrazine-2-carbonitrile Chemical compound ON1C=C(CCl)N=C(C#N)C1=N WFVMXQJFTZCDPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFXMWBGQRGABCI-UHFFFAOYSA-N 6-amino-2,4-dimethylpyridine-3-carbonitrile Chemical compound CC1=CC(N)=NC(C)=C1C#N ZFXMWBGQRGABCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QAJYCQZQLVENRZ-UHFFFAOYSA-N 6-chloropyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=C(Cl)N=C1 QAJYCQZQLVENRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHGPDSVHSDCMX-UHFFFAOYSA-N 6-methoxy-1,3-benzothiazol-2-amine Chemical compound COC1=CC=C2N=C(N)SC2=C1 KZHGPDSVHSDCMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DEWDWBYQOFXKIH-UHFFFAOYSA-N 6-methoxy-1,3-benzothiazole-2-carbonitrile Chemical compound COC1=CC=C2N=C(C#N)SC2=C1 DEWDWBYQOFXKIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUVDJIWRSIJEBS-UHFFFAOYSA-N 6-methoxypyridin-3-amine Chemical compound COC1=CC=C(N)C=N1 UUVDJIWRSIJEBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBNOVHJXQSHGRL-UHFFFAOYSA-N 7-amino-4-(trifluoromethyl)coumarin Chemical compound FC(F)(F)C1=CC(=O)OC2=CC(N)=CC=C21 JBNOVHJXQSHGRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URBSEJOKAKIABF-UHFFFAOYSA-N 7-amino-4-methyl-1h-1,8-naphthyridin-2-one Chemical compound NC1=CC=C2C(C)=CC(=O)NC2=N1 URBSEJOKAKIABF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSIKFJXEYJIZNB-UHFFFAOYSA-N 9-Nitroanthracene Chemical compound C1=CC=C2C([N+](=O)[O-])=C(C=CC=C3)C3=CC2=C1 LSIKFJXEYJIZNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XJGFWWJLMVZSIG-UHFFFAOYSA-N 9-aminoacridine Chemical compound C1=CC=C2C(N)=C(C=CC=C3)C3=NC2=C1 XJGFWWJLMVZSIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OBLNWSCLAYSJJR-UHFFFAOYSA-N Quinoclamin Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(N)=C(Cl)C(=O)C2=C1 OBLNWSCLAYSJJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- DFNYGALUNNFWKJ-UHFFFAOYSA-N aminoacetonitrile Chemical compound NCC#N DFNYGALUNNFWKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001441 aminoacridine Drugs 0.000 description 1
- 229940124277 aminobutyric acid Drugs 0.000 description 1
- OBESRABRARNZJB-UHFFFAOYSA-N aminomethanesulfonic acid Chemical compound NCS(O)(=O)=O OBESRABRARNZJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YUENFNPLGJCNRB-UHFFFAOYSA-N anthracen-1-amine Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(N)=CC=CC3=CC2=C1 YUENFNPLGJCNRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KEQZHLAEKAVZLY-UHFFFAOYSA-N anthracene-9-carbonitrile Chemical compound C1=CC=C2C(C#N)=C(C=CC=C3)C3=CC2=C1 KEQZHLAEKAVZLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- OQENBJBTQPIZKA-UHFFFAOYSA-N chrysen-1-amine Chemical compound C1=CC2=C3C=CC=CC3=CC=C2C2=C1C(N)=CC=C2 OQENBJBTQPIZKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- GLNDAGDHSLMOKX-UHFFFAOYSA-N coumarin 120 Chemical compound C1=C(N)C=CC2=C1OC(=O)C=C2C GLNDAGDHSLMOKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGNCLNQXLYJVJD-UHFFFAOYSA-N cyanuric chloride Chemical compound ClC1=NC(Cl)=NC(Cl)=N1 MGNCLNQXLYJVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 125000006575 electron-withdrawing group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- BTCSSZJGUNDROE-UHFFFAOYSA-N gamma-aminobutyric acid Chemical compound NCCCC(O)=O BTCSSZJGUNDROE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012456 homogeneous solution Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- YYOUTZBUOQBAAE-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-2,4-dinitroaniline Chemical compound CCNC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O YYOUTZBUOQBAAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- CWFIYYOQYVYBPW-UHFFFAOYSA-N phenanthrene-9-carbonitrile Chemical compound C1=CC=C2C(C#N)=CC3=CC=CC=C3C2=C1 CWFIYYOQYVYBPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBBVUWDTOVOOFB-UHFFFAOYSA-N phenyliminocarbamic acid Chemical compound OC(=O)N=NC1=CC=CC=C1 VBBVUWDTOVOOFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06G—ANALOGUE COMPUTERS
- G06G7/00—Devices in which the computing operation is performed by varying electric or magnetic quantities
- G06G7/12—Arrangements for performing computing operations, e.g. operational amplifiers
- G06G7/19—Arrangements for performing computing operations, e.g. operational amplifiers for forming integrals of products, e.g. Fourier integrals, Laplace integrals, correlation integrals; for analysis or synthesis of functions using orthogonal functions
- G06G7/195—Arrangements for performing computing operations, e.g. operational amplifiers for forming integrals of products, e.g. Fourier integrals, Laplace integrals, correlation integrals; for analysis or synthesis of functions using orthogonal functions using electro- acoustic elements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Software Systems (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen für die Erzielung eines Faltungsausgangssignals unter Ausnutzung der nichtlinearen gegenseitigen Beeinflussung bzw. Wechselwirkung von mindestens zwei Oberflächenschallwellen.
- Die Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen wird in den letzten Jahren als eine immer wichtigere Vorrichtung angesehen, die für die Übertragung diffuser Spektren bzw. für die Datenübertragung mittels diffuser Spektren eine Schlüsselstellung hat. Es werden auch intensive Untersuchungen über verschiedene Anwendungen als Echtzeitsignalverarbeitungsvorrichtung durchgeführt.
- Fig. 1 ist eine Draufsicht, die ein Beispiel für solch eine herkömmliche Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen zeigt, und Fig. 2 ist eine schematische Schnittzeichnung entlang einer Linie A-A' In diesen Zeichnungen sind ein Substrat 11, das aus einem piezoelektrischen Material wie z.B. Y-geschnittenem (im rechtshändigen XYZ-Koordinatensystem des Kristalls entlang einer Ebene, die senkrecht zu der Y-Achse verläuft, geschnittenem) Lithiumniobat (mit Z-Ausbreitung) besteht; Interdigitalelektroden 14, 15, die auf dem erwähnten piezoelektrischen Substrat 11 gebildet sind, zur Umwandlung eines elektrischen Signals in ein Oberflächenschallwellensignal; eine Ausgangselektrode 13, die auf dem erwähnten piezoelektrischen Substrat 11 gebildet ist, zur Erzielung eines Faltungsausgangssignals aus zwei Oberflächenschallwellensignalen und Erdelektroden 16, die auf dem piezoelektrischen Substrat 11 gebildet ist, gezeigt. Diese Elektroden bestehen aus einem leitfähigen Material wie z.B. Aluminium und werden im allgemeinen durch ein photolithographisches Verfahren gebildet.
- Um mit solch einer Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen ein Faltungsausgangssignal zu erhalten, werden zwei Eingangssignale mit einer Trägerfrequenz ω jeweils in die Interdigitaleingangselektroden 14, 15 eingegeben, um in Oberflächenschallwellensignale umgewandelt zu werden, die sich an der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 11 in einander entgegengesetzten Richtungen ausbreiten, wodurch aus der Ausgangselektrode 13 unter Ausnutzung des physikalischen nichtlinearen Effekts des Substrats ein Faltungssignal mit einer Trägerfrequenz 2ω erhalten wird.
- Zwei Oberflächenschallwellen:
- erzeugen auf dem Substrat wegen des nichtlinearen Effekts des erwähnten Substrats eine Oberflächenwelle, die durch ein Produkt:
- dargestellt wird. Dieses Signal wird innerhalb des Bereichs einer gleichmäßigen Ausgangselektrode integriert und wird daraus als ein Signal:
- entnommen, worin l die Länge des Bereichs der gegenseitigen Beeinflussung ist. Der Integrationsbereich kann praktisch als ± ∞ angesehen werden, wenn die Länge der gegenseitigen Beeinflussung größer ist als die Wellenlänge des Signals, und die Gleichung (1) kann unter der Annahme, daß τ = t - x/v, wie folgt transformiert werden:
- so daß das erwähnte Signal die Faltung der zwei Oberflächenschallwellen bildet.
- Der Mechanismus solch einer Faltung wird beispielsweise in "Application of surface acoustic wave", Shibayama, Television 30, 457 (1976) näher beschrieben.
- Da die elastische Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen auf der physikalischen Nichtlinearität des Substrats basiert, muß das erwähnte Substrat eine große elektromechanische Kopplungskonstante k², die die Fähigkeit zur Umwandlung der elektrischen Energie in die elastische Energie angibt, und einen großen Index der Fähigkeit zur Nichtlinearität M = V0/ ,worin V&sub0; die Ausgangsspannung ist und P&sub1; und P&sub2; Leistungen pro Strahlbreiteneinheit sind, haben. Andererseits wurde beispielsweise von A.K. Ganguly und K.L. Davis in "Nonlinearinteractions in degenerate surface acoustic wave elastic convolvers", J. Appl. Phys. 51, 920 (1980), schon berichtet, daß solch ein Index der Fähigkeit zur Nichtlinearität M theoretisch aus der Elastizitätskonstante, der piezoelektrischen Konstante, der Dielektrizitätskonstante usw. des Materials, das das Substrat bildet, ermittelt werden kann. Auf Basis dieser Tatsachen ist bei den herkömmlichen elastischen Vorrichtungen zur Faltung von Oberflächenschallwellen Y-geschnittenes Lithiumniobat (mit Z- Ausbreitung) als am meisten vorzuziehendes Substrat verwendet worden, wie von Cho und Yamanouchi in "Determination of non-linear constants in LiNbO&sub3; single crystal and application to nonlinear elastic wave devices", Research Report of Society for Electric Communication, US86-20, 53 (1986), beschrieben wird.
- Solch eine Nichtlinearität ist jedoch bei dein Material, das als Substrat verwendbar ist, beschränkt, so daß bei den vorstehend erläuterten herkömmlichen elastischen Vorrichtungen zur Faltung von Oberflächenschallwellen kein ausreichend großer Faltungseffekt (Faltungsausgangssignal für ein konstantes Eingangssignal) erzielt werden konnte.
- Es ist bekannt, daß zur Verstärkung des Faltungseffekts zwischen der Ausgangselektrode und dem Substrat ein akustisches Dämpfungsglied oder eine halbleitende Schicht angeordnet wird (FR-A 2 481 489) oder mehrere Ausgangselektroden verwendet werden (GB-A 1 540 704).
- Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine elastische Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen bereitzustellen, die fähig ist, einen ausreichend hohen Faltungswirkungsgrad zu zeigen, und einen einfachen Aufbau hat.
- Die vorstehend erwähnte Aufgabe kann gemäß der vorliegenden Erfindung, wie sie in Anspruch 1 dargelegt ist, gelöst werden, indem eine herkömmliche elastische Vorrichtungen zur Faltung von Oberflächenschallwellen mindestens in dem Bereich der Ausgangselektrode auf dem erwähnten Substrat mit einem dielektrischen Film versehen wird, der einen nichtlinearen Effekt hat, der größer als der des piezoelektrischen Substrats ist. Somit verstärkt gemäß der vorliegenden Erfindung ein Überzug aus einem dielektrischen Material mit einer hohen Nichtlinearität auf dem Substrat die Wechselwirkung zwischen der Oberflächenschallwelle und dem Medium, wodurch der Faltungswirkungsgrad verbessert wird.
- Fig. 1 und 2 sind eine Draufsicht bzw. eine schematische Schnittzeichnung einer herkömmlichen elastischen Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen;
- Fig. 3 und 4 sind eine Draufsicht bzw. eine schematische Schnittzeichnung einer Ausführungsform der elastischen Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen der vorliegenden Erfindung;
- Fig. 5 und 6 sind schematische Schnittzeichnungen, die andere Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung zeigen.
- Die vorliegende Erfindung wird nun durch Ausführungsformen davon, die in den beigefügten Zeichnungen gezeigt sind, näher erläutert.
- Fig. 3 ist eine Draufsicht einer ersten Ausführungsform der elastischen Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen der vorliegenden Erfindung, und Fig. 4 ist eine schematische Schnittzeichnung entlang einer Linie A-A' in Fig. 3, worin ein piezoelektrisches Substrat 1, das aus Y-geschnittenem Lithiumniobat (mit Z-Ausbreitung) besteht; auf dem erwähnten piezoelektrischen Substrat gebildete Interdigitaleingangselektroden 4, 5, die zur Erzeugung von Oberflächenschallwellen entsprechend Eingangssignalen dienen und somit Eingangswandler bilden; ein dielektrischer Film 2, der eine Nichtlinearität hat, die größer als die des erwähnten Substrats ist, und auf dem piezoelektrischen Substrat in einem Bereich gebildet ist, der nicht die erwähnten Interdigitaleingangselektroden 4, 5 hat; eine auf dem erwähnten dielektrischen Film 2 gebildete Ausgangselektrode 3, die zur Erzielung des Faltungsausgangssignals von zwei Oberflächenschallwellensignalen dient und somit einen Ausgangswandler bildet; und Erdelektroden 6, die auf dem dielektrischen Film 2 gebildet sind, gezeigt sind. Diese Elektroden bestehen aus einem leitfähigen Material wie z.B. Aluminium und werden durch ein photolithographisches Verfahren oder mit einer Aufdampfungsmaske strukturiert.
- Bei der vorliegenden Ausführungsform ist der erwähnte dielektrische Film 2 nur in dem Bereich der Ausgangselektrode 3 gebildet, so daß die Schwingung und die Ausbreitung der Oberflächenschallwelle hauptsächlich in dem piezoelektrischen Substrat 1, das aus Y-geschnittenem Lithiumniobat (mit Z-Ausbreitung) besteht, erfolgen und die Energie der Oberflächenschallwelle im Vergleich zu der Energie bei der herkömmlichen Vorrichtung selbst in dem Fall kaum abnimmt, daß das Material des dielektrischen Films 2 eine kleine elektromechanische Kopplungskonstante k² hat.
- Der erwähnte dielektrische Film 2 kann vorzugsweise aus MNA (2- Methyl-4-nitranilin) bestehen, das durch die folgende Formel:
- dargestellt wird und das eine starke Nichtlinearität zweiter Ordnung wie z.B. eine Polarisation, die durch ein elektrisches Feld verursacht wird, zeigt, die auf einer starken Polarisation des konjugierten π-Elektronensystems, das einen NH&sub2;-Rest und einen NO&sub2;-Rest hat, und einer asymmetrischen Struktur, die durch das Vorhandensein des CH&sub3;-Restes verursacht wird, basiert. Beispielsweise berichtete B.F. Levine in "An organic crystal with an exceptionally large optical second harmonic coefficient: 2- methyl-4-nitroaniline", J. Appl. Phys. 50, 2523 (1979), daß MNA einen Koeffizienten der optischen Nichtlinearität (d&sub1;&sub1;) zeigt, der etwa 40mal größer ist als der (d&sub3;&sub1;) von Lithiumniobat.
- Um bei der vorstehend erläuterten Ausführungsform eine Faltung zu bewirken, werden den Interdigitaleingangselektroden 4 bzw. 5 zwei Signale mit einer Trägerfrequenz ω zugeführt, um Oberflächenschallwellensignale zu erzeugen, die sich an der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 1 in einander entgegengesetzten Richtungen ausbreiten und einander im Bereich der Ausgangselektrode 3 überlappen. Somit wird aus der Ausgangselektrode 3 durch diese Oberflächenschallwellen und durch die nichtlineare Wechselwirkung zwischen dem Substrat 1 und dem dielektrischen Film 2 ein Faltungssignal mit einer Trägerfrequenz 2ω erhalten. Da der dielektrische Film 2 eine Nichtlinearität hat, die größer als die des piezoelektrischen Substrats 1 ist, ist das Faltungsausgangssignal bzw. die Faltungsausgangsleistung, die aus der Ausgangselektrode 3 erhältlich ist, größer als die, die aus der herkömmlichen Faltungsvorrichtung, bei der nur das Substrat ausgenutzt wird, erhältlich ist.
- Zusätzlich zu dem vorstehend erwähnten MNA können als Material für den dielektrischen Film zweckmäßig andere organische Materialien verwendet werden wie z.B.:
- ROM (3-Methyl-4-nitropyridin-1-oxid), das durch die folgende Formel dargestellt wird:
- m-NA (m-Nitranilin), das durch die folgende Formel dargestellt wird:
- PDA-NTDA (Polydiacetylen-NTDA), das ein Diacetylen-Polymer ist, das aus einem Monomer der folgenden Formel erhalten wird:
- und PDA-MNADA (Polydiacetylen-MNADA), das aus einem Monomer der folgenden Formel erhalten wird:
- Ferner kann im Rahmen der vorliegenden Erfindung ein dielektrischer Film verwendet werden, der einen Hauptbestandteil enthält, der aus einer Verbindung besteht, in der ein elektronenliefernder Rest und ein elektronenanziehender Rest oder ein elektronenanziehender Rest entweder direkt oder durch ein konjugiertes Elektronensystem verbunden sind (nachstehend allgemein als Verbindung A bezeichnet), wie in 34th Convention of the Society for Applied Physics of Japan, Preprints 30a-m-5, und in 36th Convention of the Society of Polymer Chemistry of Japan, Preprint 2-16-01 (1987), vorgeschlagen wird.
- In der erwähnten Verbindung A kann der elektronenliefernde Rest ein Amino-, Alkyl-, Alkoxy-, Alkylamino-, Hydroxyalkylamino-, Dialkylamino-, Hydroxyalkylalkylamino- Dihydroxyalkylamino-, Mercapto-, Hydroxyl- oder Protonrest sein; und der elektronenanziehende Rest kann ein Nitro-, Cyan-, Trifluormethyl-, Carbonyl-, Sulfonyl-, Carboxyl-, Carboxyester- oder Halogenrest sein.
- Beispiele für die Verbindung A schließen monosubstituierte Benzole, monosubstituierte Bipyridine, disubstituierte Bipyridine, trisubstituierte Bipyridine, tetrasubstituierte Bipyridine, trisubstituierte Benzole, tetrasubstituierte Benzole, pentasubstituierte Benzole, hexasubstituierte Benzole, monosubstituierte Biphenyle, disubstituierte Biphenyle, trisubstituierte Biphenyle, tetrasubstituierte Biphenyle, monosubstituierte Naphthaline, disubstituierte Naphthaline, trisubstituierte Naphthaline, tetrasubstituierte Naphthaline, monosubstituierte Pyridine, disubstituierte Pyridine, trisubstituierte Pyridine, tetrasubstituierte Pyridine, monosubstituierte Pyrazine, disubstituierte Pyrazine, trisubstituierte Pyrazine, tetrasubstituierte Pyrazine, monosubstituierte Pyrimidine, disubstituierte Pyrimidine, trisubstituierte Pyrimidine, tetrasubstituierte Pyrimidine, monosubstituierte Azulene, disubstituierte Azulene, trisubstituierte Azulene, tetrasubstituierte Azulene, monosubstituierte Pyrrole, disubstituierte Pyrrole, trisubstituierte Pyrrole, tetrasubstituierte Pyrrole, monosubstituierte Thiophene, disubstituierte Thiophene, trisubstituierte Thiophene, tetrasubstituierte Thiophene, monosubstituierte Furane, disubstituierte Furane, trisubstituierte Furane, tetrasubstituierte Furane, monosubstituierte Pyryliumsalze, disubstituierte Pyryliumsalze, trisubstituierte Pyryliumsalze, tetrasubstituierte Pyryliumsalze, monosubstituierte Chinoline, disubstituierte Chinoline, trisubstituierte Chinoline, tetrasubstituierte Chinoline, monosubstituierte Pyridazine, disubstituierte Pyridazine, trisubstituierte Pyridazine, tetrasubstituierte Pyridazine, monosubstituierte Triazine, disubstituierte Triazine, trisubstituierte Triazine, tetrasubstituierte Triazine, monosubstituierte Anthracene, disubstituierte Anthracene, trisubstituierte Anthracene, tetrasubstituierte Anthracene (alle von diesen sind Derivate) usw. ein.
- Speziellere Beispiele schließen 3-Nitro-4-hydroxy-3-natriumcarboxyazobenzol; 4-Chlorphenylchinazolin; Harnstoff; Aminoacetonitril; Aminoacetophenon, Aminoacridin; Aminoadipinsäure; Aminoanthracen; Aminobiphenyl; 2-Amino-5-brombenzoesäure; 1- Amino-4-brom-2-methylanthrachinon; 1-Amino-4-bromnaphthalin; 2- Amino-5-brompyridin; Aminobuttersäure; Aminochlorbenzolsulfonsäure; 2-Amino-4-chlorbenzoesäure; 2-Amino-5-chlorbenzoesäure; 3-Amino-4-chlorbenzoesäure; 4-Amino-2-chlorbenzoesäure; 5-Amino-2-chlorbenzoesäure; 2-Amino-5-chlorbenzonitril; 2-Amino-5- chlorbenzophenon; Aminochlorbenzotrifluorid; 3-Amino-6-chlormethyl-2-pyrazincarbonitril-4-oxid; 2-Amino-4-chlor-6-methylpyridin; 1-Amino-4-chlornaphthalin; 2-Amino-3-chlor-1,4-naphthochinon; 2-Amino-4-chlor-5-nitrophenol; 2-Amino-4-chlor-5-nitrotoluol; 2-Amino-4-chlor-4-phenol; N-(2-Amino-4-chlorphenyl)-anthranilsäure; 2-Amino-5-chlorpurin; 2-Amino-5-chlorpyridin; 3- Amino-2-chlorpyridin; 5-Amino-2-chlorpyridin; Aminochrysen; 2- Amino-p-kresol; 3-Amino-o-kresol; 4-Amino-o-kresol; 4-Amino-m- kresol; 6-Amino-m-kresol; 3-Aminocrotonitril; 6-Amino-3-cyano- 2,4-dimethylpyridin; 5-Amino-6-cyano-2-pyrazinylacetat; 4-[N- (2-Methyl-3-cyano-5-pyrazinylmethyl)-amino]-benzoesäure; 3,5- Dinitroanilin; 4-(2,4-Dinitroanilino)-phenol; 2,4-Dinitroanisol; 2,4-Dinitrobenzaldehyd; 2,6-Dinitrobenzaldehyd; 3,5-Dinitrobenzamid; 1,2-Dinitrobenzol; 1,3-Dinitrobenzol; 1,4-Dinitrobenzol; 3,4-Dinitrobenzoesäure; 3,5-Dinitrobenzoesäure; 3,5-Dinitrobenzonitril; 2,6-Dinitro-p-kresol; 4,6-Dinitro-o-kresol; 2,4-Dinitrodiphenylamin, Dinitrodurol; 2,4-Dinitro-N-ethylanilin; 2,7-Dinitrofluoren; 2,4-Dinitrofluorbenzol; 1,3-Dinitronaphthalin; 1,5-Dinitronaphthalin; 1,8-Dinitronaphthalin; 2,4- Dinitrophenol; 2,5-Dinitrophenol; 2,4-Dinitrophenylhydrazin; 3,5-Dinitrosalicylsäure; 2,3-Dinitrotoluol; 2,4-Dinitrotoluol; 2,6-Dinitrotoluol; 3,4-Dinitrotoluol; 9-Nitroanthracen; 4-Nitroanthranilsäure; 2-Amino-5-trifluormethyl-1,3,4-thiazol; 7- Amino-4-(trifluormethyl)-cumarin; 9-Cyanoanthracen; 3-Cyano-4,6- dimethyl-2-hydroxypyridin; 5-Cyanoindol; 2-Cyano-6-methoxybenzothiazol; 9-Cyanophenanthren; Cyanurchlorid; 1,2-Diaminoanthrachinon; 3,4-Diaminobenzoesäure; 3,5-Diaminobenzoesäure; 3,4- Diaminobenzophenon; 2,4-Diamino-6-(hydroxymethyl)-pteridin; 2,6-Diamino-4-nitrotoluol; 2,3-Dicyanohydrochinon; 2,4-Dinitroanilin; 2,6-Dinitroanilin; 2-Amino-5-iodbenzoesäure; Aminomethansulfonsäure; Aminomethoxybenzoesäure; 2-Amino-4-methoxybenzothiazol; 2-Amino-6-methoxybenzothiazol; 5-Amino-2-methoxyphenol; 5-Amino-2-methoxypyridin; 2-Amino-3-methylbenzoesäure; 2- Amino-5-methylbenzoesäure; 2-Amino-6-methylbenzoesäure; 3-Amino-4-methylbenzoesäure; 4-Amino-3-methylbenzophenon; 2-Amino-4- methylbenzophenon; 7-Amino-4-methylcumarin; 3-Amino-5-methylisoxazol und 7-Amino-4-methyl-1,8-naphthyridin-2-ol ein.
- Die Konstante der Mikro-Nichtlinearität zweiter Ordnung, die im allgemeinen durch die Molekülstruktur festgelegt wird, ist durch die folgende Gleichung gegeben, wie von J.F. Ward in "Reviews of Modern Physics", 37.1 (1965), erläutert wird:
- worin:
- ω (ng): Energiedifferenz zwischen Grundzustand und angeregtem Zustand
- : Plancksches Wirkungsquantum
- ri(gn): Komponente der Dipolmatrix zwischen Grundzustand und angeregtem Zustand
- e: Elektronenladung
- Δri(n) = ri(mm) -> ri(gg)
- Folglich ist bei dem Material, das Nichtlinearität zeigt, das Vorhandensein eines großen Dipolmoments wirksam.
- In Anbetracht der bisherigen Ausführungen wird eine Verbindung A mit einem elektronenliefernden Rest, der aus einem Amino-, Alkyl-, Alkoxy-, Alkylamino-, Hydroxyalkylamino-, Dialkylamino-, Hydroxyalkylalkylamino-, Dihydroxyalkylamino-, Mercapto-, Hydroxyl- und Protonrest ausgewählt ist, und einem elektronenanziehenden Rest, der aus einem Nitro-, Cyan-, Halogen-, Trifluormethyl-, Carbonyl-, Sulfonyl-, Carboxyl- und Carboxyesterrest ausgewählt ist, wegen eines großen intramolekularen Dipolmoments bevorzugt, das durch die Wechselwirkung des erwähnten elektronenliefernden Restes und des erwähnten elektronenanziehenden Restes verursacht wird. Die meisten dieser Verbindungen haben jedoch in der Kristallstruktur ein Symmetriezentrum, so daß die Nichtlinearität zweiter Ordnung nicht erzielt werden kann.
- Andererseits wird die erwähnte Verbindung A gemäß der vorliegenden Erfindung bei der Bildung des dielektrischen Films mit einem Polymer kombiniert, wobei die Verbindung A und das Polymer ineinander löslich sind, und eine Orientierungsbehandlung in einer Richtung wird angewandt, um solch ein Symmetriezentrum zu beseitigen und den nichtlinearen Effekt zu maximieren, wodurch ein ausgezeichneter nichtlinearer Effekt erzielt werden kann.
- Das erwähnte Polymer ist dafür geeignet, daß die Verbindung A, die ein großes Dipolmoment hat, und das Polymer ineinander löslich sind, und daß das Symmetriezentrum durch Wechselwirkung beseitigt wird, und es besteht zum Beispiel aus Polyoxyalkylen, das vorzugsweise die folgende Struktur hat:
- -(-R-O-)n- (2)
- worin R ein Alkylenrest ist, der 1 bis 6 Kohlenstoffatome enthält, und n eine ganze Zahl von 100 bis 200.000 ist.
- Ein Alkylenrest, der 1 bis 6 Kohlenstoffatome enthält, wird als Rest R bevorzugt, weil eine Zahl der Kohlenstoffatome, die gleich oder größer als 7 ist, die gegenseitige Löslichkeit des Polymers und der Verbindung A vermindert, so daß ein Film mit zufriedenstellenden physikalischen Eigenschaften nicht erhalten werden kann.
- Unter solchen Polyoxyalkylenen werden die, bei denen R 2 bis 4 Kohlenstoffatome enthält, besonders bevorzugt. Solch eine gegenseitige Löslichkeit ist vermutlich der Tatsache zuzuschreiben, daß das erwähnte Polyoxyalkylen im kristallinen Zustand eine spiralförmige Struktur hat.
- Der Orientierungsprozeß, der auf den dielektrischen Film, der die zwei vorstehend erwähnten Bestandteile enthält, anwendbar ist, schließt das Anlegen eines elektrischen Feldes oder eines Magnetfeldes und einen Streckvorgang ein.
- Eine besonders wirksame Orientierung mit einem elektrischen Feld besteht darin, daß der dielektrische Film auf eine Temperatur erhitzt wird, die mindestens so hoch wie der Schmelzpunkt des erwähnten Films ist, im geschmolzenen Zustand ein elektrisches Feld in einer Richtung angelegt wird, die dieselbe wie die Richtung des elektrischen Feldes der Oberflächenschallwelle ist, und der Film abgekühlt wird, während solch ein elektrisches Feld angelegt wird. Das Anlegen des elektrischen Feldes kann zum Beispiel erzielt werden, indem Elektroden, die oberhalb und unterhalb des erwähnten dielektrischen Films angeordnet sind, ein Gleichstrom zugeführt wird, oder indem eine Koronaentladung angewandt wird.
- Durch solch einen Orientierungsprozeß wird das Dipolmoment der Verbindung A in der Richtung des elektrischen Feldes ausgerichtet, wodurch die größte Konstante der Mikro-Nichtlinearität senkrecht zu der Ebene des dielektrischen Films angeordnet und die wirksamste Ausnutzung des nichtlinearen Effekts ermöglicht wird.
- Die erwähnte Orientierung kann auch durch ein Verfahren, bei dem der dielektrische Film auf eine Temperatur erhitzt wird, die so hoch wie oder höher als sein Schmelzpunkt ist, und der erwähnte Film während des Anlegens eines Magnetfeldes auf eine Temperatur abgekühlt wird, die unter dem erwähnten Schmelzpunkt liegt, oder durch ein- oder zweiachsiges Strecken erzielt werden.
- Für die Bildung des dielektrischen Films vor dem Orientierungsprozeß gibt es keine Einschränkung; sie kann jedoch zum Beispiel erzielt werden, indem die Verbindung A gleichmäßig in einer Lösung eines Polymers gelöst wird, wobei die Verbindung A und das Polymer ineinander löslich sind, und die auf diese Weise erhaltene homogene Lösung gegossen und getrocknet wird.
- Bei diesem Verfahren ermöglicht ein Erhitzen auf 40 bis 120 ºC die Erzielung eines zufriedenstellenden dielektrischen Films, ohne daß sich die Verbindung A und das Polymer trennen. Der dielektrische Film kann im Gegensatz zu einem massiven Material leicht mit einer gewünschten Dicke hergestellt werden.
- Die vorliegende Erfindung wird im folgenden durch bevorzugte Beispiele näher erläutert.
- 1,03 g (23 mmol) eines Polyoxyethylens mit einer Molmasse von 20.000 und 0,44 g (3 mmol) p-Nitranilin wurden in 10 ml Benzol hineingegeben und 5 Stunden lang gelöst. Die erhaltene Lösung wurde durch Schleuderbeschichtung auf einen außerhalb der Interdigitaleingangselektroden liegenden Bereich eines YZ-LiNbO&sub3;- Einkristall-Substrats aufgebracht und bei 60 bis 80 ºC getrocknet, um einen gleichmäßigen dielektrischen Film zu erhalten.
- Dann wurden die Interdigitaleingangselektroden und die Ausgangselektrode durch Vakuumaufdampfung und ein gewöhnliches photolithographisches Verfahren gebildet. Dann wurde auf die entgegengesetzte Fläche des erwähnten Substrats eine Aluminiumschicht aufgedampft. Die Vorrichtung wurde anschließend auf 80 ºC erhitzt und auf die Raumtemperatur abgekühlt, während zwischen der oberen und der unteren Elektrode ein elektrisches Feld von mindestens 100 V/cm angelegt wurde, um eine elastische Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen der vorliegenden Erfindung zu erhalten.
- 2,12 g (48 mmol) eines Polyoxyethylens mit einer Molmasse von 5.000.000 und 1,57 g (11 mmol) p-Nitranilin wurden zu 100 ml Acetonitril hineingegeben und 5 Stunden lang darin gelöst. Die erhaltene Lösung wurde durch Schleuderbeschichtung auf einen außerhalb der Interdigitalelektroden liegenden Bereich eines yZ-LiNbO&sub3;-Einkristall-Substrats aufgebracht und bei 60 bis 80 ºC getrocknet, um einen gleichmäßigen dielektrischen Film zu erhalten.
- Dann wurden die Interdigitaleingangselektroden und die Ausgangselektrode durch Aufdampfung unter Anwendung eines gewöhnlichen photolithographischen Verfahrens gebildet. Dann wurde eine Orientierungsprozeß durch eine Koronaentladung mit einer Spannung von 5 bis 6 kV durchgeführt.
- Fig. 5 und 6 veranschaulichen andere Ausführungsformen der elastischen Vorrichtung zur Faltung von Oberflächenschallwellen der vorliegenden Erfindung, wobei dieselben Bauteile wie in Fig. 4 mit denselben Bezugszahlen bezeichnet sind und nicht näher erläutert werden.
- Bei einer zweiten Ausführungsform, die in Fig. 5 gezeigt ist, wird der dielektrische Film 2 über dem gesamten Bereich des Substrats 1 gebildet, und darauf werden die Interdigitaleingangselektroden 4, 5, die Ausgangselektrode 3 und nicht dargestellte Erdelektroden gebildet.
- Bei einer dritten Ausführungsform, die in Fig. 6 gezeigt ist, wird der dielektrische Film 2 gleichmäßig über dem gesamten Bereich des Substrats 1, das schon die Interdigitaleingangselektroden 4, 5 hat, gebildet, und anschließend werden darauf die Ausgangselektrode 3 und die nicht dargestellten Erdelektroden gebildet.
- Auch die vorstehend erläuterte zweite und dritte Ausführungsform können dieselben Wirkungen liefern wie die vorstehend beschriebene erste Ausführungsform. Außerdem können die Geschwindigkeit der Oberflächenschallwelle und die elektromechanische Kopplungskonstante k² bei der erwähnten zweiten und dritten Ausführungsform durch die Bildung des dielektrischen Films variiert werden, so daß entsprechend den Konstanten der Materialien, die das Substrat und den dielektrischen Film bilden, eine optimale Struktur ausgewählt werden kann.
- Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die vorstehenden Ausführungsformen eingeschränkt, sondern ist verschiedenen Abänderungen zugänglich. Das in den vorstehenden Ausführungsformen verwendete Y-geschnittene Lithiumniobat (mit Z-Ausbreitung) kann durch ein Substrat mit anderem Schnitt oder anderer Ausbreitungsrichtung oder durch ein anderes piezoelektrisches Substrat für die Oberflächenschallwellen-Vorrichtung ersetzt werden.
- Ferner besteht die Interdigitaleingangselektrode 4 oder 5 bei den vorstehenden Ausführungsformen aus einer gewöhnlichen Einzelelektrode, jedoch kann sie auch aus einer Doppelelektrode bestehen, um den Einfluß der Zwischenelektroden-Reflexion der Oberflächenschallwelle zu vermindern. Außerdem ist die vorliegende Erfindung auf eine Vorrichtung anwendbar, bei der die Strahlbreite der Oberflächenschallwelle mittels eines Hornwellenleiters oder eines Kompressers unter Anwendung eines Mehrstreifen-Kopplers vermindert wird.
- Ferner kann eine Zweispurstruktur gewählt werden, um die Selbstfaltung zu unterdrücken. Außerdem ist die vorliegende Erfindung auf eine Struktur anwendbar, bei der die Faltungselektrode unterteilt ist.
Claims (8)
1. Elastische Vorrichtung zur Faltung von
Oberflächenschallwellen mit
einem piezoelektrischen Substrat (1);
mindestens zwei Eingangswandlern (4, 5), die auf dem erwähnten
Substrat gebildet sind, um jeweils Oberflächenschallwellen zu
erzeugen, die Eingangssignalen entsprechen; und
einem Ausgangswandler (3), der dazu dient, aus einer
Oberflächenschallwelle, die durch Interferenz der auf diese Weise durch
die erwähnten Eingangswandler erzeugten Oberflächenschallwellen
auf der Grundlage eines nichtlinearen Effekts zweiter Ordnung
erzeugt wird, ein Faltungssignal der erwähnten Eingangssignale
zu erhalten, gekennzeichnet durch
einen dielektrischen Film (2), der einen nichtlinearen Effekt
zweiter Ordnung hat, der größer als der des erwähnten Substrats
ist, und auf dem erwähnten Substrat mindestens in dem Bereich
gebildet ist, wo der erwähnte Ausgangswandler gebildet ist.
2. Elastische Vorrichtung zur Faltung von
Oberflächenschallwellen nach Anspruch 1, bei der der erwähnte dielektrische Film (2)
aus einem Material besteht, das aus 2-Methyl-4-nitranilin, 3-
Methylnitropyridin-1-oxid, m-Nitranilin und Diacetylen-Polymer
ausgewählt ist.
3. Elastische Vorrichtung zur Faltung von
Oberflächenschallwellen nach Anspruch 1, bei der der erwähnte dielektrische Film (2)
im wesentlichen aus einer Verbindung, in der ein
elektronenliefernder Rest und ein elektronenanziehender Rest oder ein
elektronenliefernder Rest entweder direkt oder durch ein
konjugiertes Elektronensystem verbunden sind, und einem Polymer besteht,
wobei die erwähnte Verbindung und das erwähnte Polymer ineinander
löslich sind, und der erwähnte Film einer Orientierungsbehandlung
unterzogen wird.
14. Elastische Vorrichtung zur Faltung von
Oberflächenschallwellen nach Anspruch 3, bei der der erwähnte elektronenliefernde
Rest ein Amino-, Alkyl-, Alkoxy-, Alkylamino-,
Hydroxyalkylamino-, Dialkylamino-, Hydroxyalkylalkylamino-,
Dihydroxyalkylamino- oder Mercaptorest ist.
5. Elastische Vorrichtung zur Faltung von
Oberflächenschallwellen nach Anspruch 3, bei der der erwähnte elektronenanziehende
Rest ein Nitro-, Cyan-, Halogen-, Trifluormethyl- oder
Carbonylrest ist.
6. Elastische Vorrichtung zur Faltung von
Oberflächenschallwellen nach Anspruch 3, bei der das erwähnte Polymer
Polyoxyalkylen ist.
7. Elastische Vorrichtung zur Faltung von
Oberflächenschallwellen nach Anspruch 1, bei der das erwähnte Substrat (1) aus
Lithiumniobat besteht.
8. Elastische Vorrichtung zur Faltung von
Oberflächenschallwellen nach Anspruch 1, bei der die erwähnten Eingangswandler (4,
5) aus Interdigitalelektroden bestehen.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6046687A JPH0640614B2 (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 | 弾性表面波コンボルバ |
| JP62220489A JPH0785531B2 (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 | 弾性表面波コンボルバ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3885923D1 DE3885923D1 (de) | 1994-01-13 |
| DE3885923T2 true DE3885923T2 (de) | 1994-05-05 |
Family
ID=26401537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE88104125T Expired - Fee Related DE3885923T2 (de) | 1987-03-16 | 1988-03-15 | Oberflächenschallwellenfaltungsvorrichtung mit dielektrischem Film mit hoher nichtlinearer Wirkung. |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4882715A (de) |
| EP (1) | EP0282978B1 (de) |
| DE (1) | DE3885923T2 (de) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0284229B1 (de) * | 1987-03-06 | 1993-07-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Nichtlineares optisches Material und Verfahren zu dessen Orientierung |
| EP0373404B1 (de) * | 1988-12-15 | 1997-01-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Oberflächenschallwellenfaltungsvorrichtung mit mehreren Wellenleiterwegen zur Erzeugung von Faltungssignalen mit gegenseitig verschiedenen Phasen |
| USH1586H (en) * | 1990-01-30 | 1996-09-03 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Methods of and systems for encoding and decoding a beam of light utilizing nonlinear organic signal processors |
| US5164628A (en) * | 1990-05-21 | 1992-11-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Elastic surface wave convolva having wave width converting means and communication system using same |
| US5185548A (en) * | 1990-10-11 | 1993-02-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface acoustic wave device with reflected wave at side edges on waveguide suppressed and communication system using the same |
| US5448126A (en) * | 1993-10-05 | 1995-09-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave-semiconductor composite device |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2250102B1 (de) * | 1973-10-31 | 1976-10-01 | Thomson Csf | |
| US4041536A (en) * | 1975-12-24 | 1977-08-09 | International Business Machines Corporation | Optical scanner |
| FR2353185A1 (fr) * | 1976-04-09 | 1977-12-23 | Thomson Csf | Dispositif correlateur rapide, et systeme de traitement des signaux d'un recepteur comportant un tel dispositif |
| US4224683A (en) * | 1978-08-25 | 1980-09-23 | Rockwell International Corporation | Multiple-channel acousto-electric convolver |
| FR2481489A1 (fr) * | 1980-04-25 | 1981-10-30 | Thomson Csf | Dispositif correlateur bidimensionnel |
| US4379998A (en) * | 1981-06-25 | 1983-04-12 | The Standard Oil Company | Acoustic degenerate four-wave mixing phase-conjugate reflector |
| US4556949A (en) * | 1983-04-04 | 1985-12-03 | Sperry Corporation | Three wave surface acoustic wave (SAW) signal processor |
| GB2166616B (en) * | 1984-09-21 | 1989-07-19 | Clarion Co Ltd | Surface acoustic wave device |
| JPS6362281A (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-18 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波コンボルバ |
-
1988
- 1988-03-11 US US07/167,254 patent/US4882715A/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-03-15 EP EP88104125A patent/EP0282978B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1988-03-15 DE DE88104125T patent/DE3885923T2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4882715A (en) | 1989-11-21 |
| EP0282978B1 (de) | 1993-12-01 |
| EP0282978A2 (de) | 1988-09-21 |
| EP0282978A3 (en) | 1990-03-07 |
| DE3885923D1 (de) | 1994-01-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2407649C2 (de) | Anordnung eines akustischen Oberflächenwellenbauteils im Rückkopplungszweig eines Verstärkers zur Bildung eines Oszillators | |
| DE3586199T2 (de) | Wandler fuer akustische oberflaechenwellen. | |
| DE2802946C2 (de) | ||
| DE69827187T2 (de) | Akustische Oberflächenwellenanordnung mit Nahfeldkopplung und differentiellen Ein- und Ausgängen | |
| DE69634949T2 (de) | Vorrichtung für elastische oberflächenwellen und elektronische schaltung mit einer solchen vorrichtung | |
| DE2938158A1 (de) | Schallwellenvorrichtung | |
| DE69228658T2 (de) | Breitbandiges, verlustarmes akustisches Filter mit parallelen Kanälen | |
| DE2521290A1 (de) | Oberflaechenwellenresonatorvorrichtung | |
| DE3885923T2 (de) | Oberflächenschallwellenfaltungsvorrichtung mit dielektrischem Film mit hoher nichtlinearer Wirkung. | |
| DE69028003T2 (de) | Akustische Oberflächenwellenanordnung | |
| DE2353840A1 (de) | Oberflaechenwellenoszillator | |
| DE69118581T2 (de) | Nichtlineare optische Vorrichtungen und Verfahren zur Herstellung | |
| DE2513672A1 (de) | Oberflaechenwellenfilter | |
| DE2139676C2 (de) | Frequenzdiskriminator | |
| DE3882403T2 (de) | Nichtlineares optisches Material und Verfahren zu dessen Orientierung. | |
| DE2512671A1 (de) | Mit akustischen oberflaechenwellen in einem ausgewaehlten frequenzbereich arbeitendes geraet | |
| DE2531151C3 (de) | Mit elastischen Oberflächenwellen arbeitende elektromechanische Einrichtung | |
| DE19610806A1 (de) | Oberflächenwellen-Filter und Antennenweiche | |
| DE2839177A1 (de) | Vorrichtung zum erzeugen, umwandeln oder verstaerken von elastischen oberflaechenwellen | |
| DE3039735A1 (de) | Akustische oberflaechenwellenvorrichtung | |
| DE2846164A1 (de) | Piezoelektrische vorrichtung mit selenschicht | |
| DE69022476T2 (de) | Akustische Oberflächenwellenanordnung. | |
| DE3324228C2 (de) | Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement | |
| JPH0785531B2 (ja) | 弾性表面波コンボルバ | |
| DE68918866T2 (de) | Nichtlineares optisches element zweiter ordnung. |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |