DE3837442C2 - - Google Patents

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DE3837442C2
DE3837442C2 DE3837442A DE3837442A DE3837442C2 DE 3837442 C2 DE3837442 C2 DE 3837442C2 DE 3837442 A DE3837442 A DE 3837442A DE 3837442 A DE3837442 A DE 3837442A DE 3837442 C2 DE3837442 C2 DE 3837442C2
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    • C23C16/047—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using irradiation by energy or particles

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen eines Metallblattes mit einer profilierten Oberfläche durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen eines Metallblattes, wie es z. B. als Scher­ blatt in Trockenrasierern verwendet wird, das eine Anzahl von Löchern mit einem erhöhten Rand zur Aufnahme der Haare aufweist, oder eines Metallzierblattes mit einem Oberflächen­ muster, das Vorwölbungen und/oder Vertiefungen aufweist (im folgenden als konkav-konvexe Oberfläche bezeichnet).
Ein typisches Beispiel eines solchen Metallblattes ist ein äußeres Scherblatt mit einer Anzahl von Löchern zur Aufnahme der Haare, wobei jedes dieser Löcher von einem erhöhten Rand umgeben ist, der in Schereingriff mit einem komplementären Innenmesser steht. In der Vergangenheit sind verschiedene Verfahren zum Herstellen solcher äußeren Scherblätter vorgeschlagen worden. Die JP-C-60-55 123 betrifft ein Preßformverfahren, bei dem ein unbearbeitetes Metallblatt zwischen einer Formplatte und einem komplementären Stößel zu einer geeigneten Form gepreßt und anschließend getrimmt oder geschnitten wird. Diese Technik erfordert beträchtliche Sorgfalt zur Vermeidung übermäßiger Verformungen im Blatt während des Preßformvorganges, um die korrekte Herstellung des gewünschten Profils sicherzustellen, einschließlich der Konfiguration und der Größe der Löcher und des Abstands zwischen benachbarten Löchern.
Die JP-C-36-19 556 betrifft ein Ätzverfahren, bei dem die zwei gegenüberliegenden Flächen eines unbearbeiteten Metallblattes in bestimmten Teilbereichen geätzt werden, während sie auf den entsprechenden Flächen abgedeckt sind. Diese Technik erfordert daher doppelte Abdeck- und Ätzvorgänge oder -schritte bezüglich der gegenüberliegenden Oberflächen des unbearbeiteten Metallblattes mit den entsprechenden Schwierigkeiten der Kontrolle einer Ätzlösung, was ebenfalls ein Problem darstellen kann.
Die JP-C-42-27 388 betrifft ein galvanisches Metallabscheidungsverfahren, bei dem ein äußeres Scherblatt dadurch gebildet wird, daß eine wiederholte galvanische Metallabscheidung auf einem Substrat unter Verwendung eines elektrisch isolierenden Materials auf dem Substrat vorgenommen wird. Auch diese Technik erfordert lästige Abdeck- und Vorbereitungsschritte am Substrat, bevor die profilierte Metallschicht durch die galvanische Metallabscheidung hergestellt werden kann, was sich als nachteilig herausgestellt hat, zusätzlich zu den Schwierigkeiten bei der Kontrolle einer galvanischen Lösung.
Die JP-C-59-1 97 560 offenbart, obwohl sie nicht die Bildung eines äußeren Scherblattes für Trockenrasierer betrifft, die chemische Gasphasenabscheidung zum Abscheiden einer Metallschicht auf einem Substrat mit Hilfe von Laserlicht. Dieses Verfahren mag anwendbar sein, um ein vom Substrat getrenntes Metallblatt zu erhalten, es hat sich aber als praktisch unmöglich herausgestellt, mit diesem Verfahren ein profiliertes Metallblatt mit einer Anzahl von Löchern mit erhöhten Rändern oder anderen Vorwölbungen herzustellen.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein gattungsgemäßes Verfahren zur Verfügung zu stellen, bei dem ein exaktes Duplikat einer profilierten Oberfläche einer Formplatte auf einfache Weise hergestellt werden kann, ohne daß ein unbearbeitetes Metallblatt notwendig ist und man auf komplizierte Preßform- oder chemische Schritte zurückgreifen muß. Darüber hinaus soll das Verfahren die Herstellung eines profilierten Metallblattes in kontinuierlicher Weise oder in bandartiger Form ermöglichen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß eine Formplatte mit einer profilierten Oberfläche, die eine Anzahl von mit Zwischenraum angeordneten Vorwölbungen aufweist, vorgesehen wird; daß wenigstens ein Teil dieser profilierten Oberfläche mit einer Maske aus transparentem Material so überdeckt wird, daß die Maske in eng benachbarter Beziehung zu den oberen Flächen der Verwölbungen steht; daß ein Reaktionsgas mit wenigstens einer metallischen Verbindung einem zwischen der Maske und der profilierten Ober­ fläche der Formplatte gebildeten Zwischenraum zugeführt wird; daß ein Lichtstrahl durch die transparente Maske auf die pro­ filierte Oberfläche gerichtet wird, um das Reaktionsgas zu zersetzen und auf der profilierten Oberfläche eine Metallschicht abzuscheiden; und daß diese Metallschicht von der profilierten Oberfläche entfernt wird, um ein Metallblatt zu erhalten, dessen Oberfläche der profilierten Oberfläche der Formplatte ent­ spricht.
Vorzugsweise ist vorgesehen, daß als Formplatte eine drehbare Trommel verwendet wird, die auf ihrem Umfang die profilierte Oberfläche aufweist; daß die Maske so gebogen wird, daß sie sich in gleitendem Kontakt über einen Teil der profilierten Ober­ fläche erstreckt; und daß die Trommel in einer Richtung gedreht wird, um die Metallschicht auf dem von der Maske überdeckten Teil der profilierten Oberfläche kontinuierlich abzuscheiden, während gleichzeitig die bereits abgeschiedene Metallschicht von der profilierten Oberfläche abgezogen wird, um ein konti­ nuierliches Metallblatt mit entsprechendem Profil zu erhalten.
Das resultierende Metallblatt mit profilierter Konfiguration kann anschließend einer geeigneten Oberflächenbehandlung unter­ worfen werden, um es z. B. mit einer gehärteten Schicht auf oder in seiner profilierten Oberfläche zu versehen, was die Verwendung des profilierten Metallblattes in einer großen Vielzahl von An­ wendungsgebieten ermöglicht.
Das Verfahren der vorliegenden Erfindung ist insbesondere zum Herstellen eines Scherblattes vorteilhaft, die eine Anzahl von Löchern zur Aufnahme der Haare aufweist, wobei jedes dieser Löcher von einem erhöhten Rand umgeben ist, der mit dem Innenmesser eines Trockenrasierers zusammenwirkt. Bei der Herstellung des Scherblattes wird bevorzugt die Maske mit den oberen Flächen der Vorwölbungen auf der profilierten Oberfläche der Formplatte in Kontakt gebracht, so daß die Metallschicht auf der profilierten Oberfläche mit Ausnahme der oberen Flächen der Vorwölbungen abgeschieden wird, wodurch an den oberen Flächen der Vorwölbungen entsprechende Löcher verbleiben, von denen jedes von dem erhöhten Rand umgeben ist, der durch die Abscheidung auf der Seitenwand der Vorwölbung gebildet wird. Es ist so auf einfache Weise in einem einzigen Abscheidungsprozeß möglich, ein derartiges Scherblatt mit einer Anzahl von Löchern zur Aufnahme der Haare, wobei jedes der Löcher von einem erhöhten Rand umgeben ist, herzustellen. Weiter­ hin kann das Scherblatt so behandelt werden, daß eine gehärtete Schicht in oder auf der profilierten Oberfläche gebildet wird, die für den Scherkontakt mit einem komplementären Innenmesser nützlich ist.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfaßt eine Reaktionskammer, in der die profilierte Formplatte in Form einer Drehtrommel untergebracht ist und die mit dem die metallische Verbindung enthaltenen Reaktionsgas versorgt wird. Die transparente Maske liegt dabei über einem Teil der profilierten Oberfläche der Formplatte, wodurch ein Zwischenraum gebildet wird, in den das Reaktionsgas einströmen kann. Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfaßt weiterhin eine Lichtquelle, die einen Lichtstrahl erzeugt, der durch die Maske hindurch gerichtet ist und das Reaktions­ gas in dem Zwischenraum zersetzt und folglich eine Metallschicht auf der profilierten Oberfläche abscheidet. Die Trommel wird zur Drehung in einer Richtung angetrieben, während die Maske stationär gehalten wird, um die Metallschicht auf der von der Maske überdeckten Teil der profilierten Oberfläche konti­ nuierlich abzuscheiden, wenn sich die Trommel dreht. Ebenfalls in der erfindungsgemäßen Vorrichtung eingeschlossen ist eine Aufwickelrolle, die angetrieben wird, um das hergestellte Metall­ blatt aufzuwickeln, während es von der profilierten Oberfläche der Drehtrommel abgezogen wird.
Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung, in der Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen näher erläutert werden. Dabei zeigt
Fig. 1 die schematische Ansicht einer bevorzugten Aus­ führungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung;
Fig. 2 eine Teilansicht, die das Metallblatt zusammen mit einer in der Vorrichtung nach Fig. 1 ver­ wendeten Trommel und Maske zeigt;
Fig. 3 eine vergrößerte Ansicht eines Teils von Fig. 2;
Fig. 4 eine Draufsicht auf das nach einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung auf der Formplatte abge­ schiedene Metallblatt;
Fig. 5 einen Querschnitt der mit einer Maske überdeckten Formplatte, wie sie für die Ausführungsform nach Fig. 4 verwendet wird;
Fig. 6 einen Querschnitt durch die mit einer Maske über­ deckte Formplatte, wie sie in einer anderen Aus­ führungsform der vorliegenden Erfindung verwendet wird;
Fig. 7 einen vergrößerten Querschnitt des für ein Scherblatt eines Trockenrasierers hergestellten Metallblattes; und
Fig. 8 eine perspektivische Ansicht eines derartigen Scherblattes.
Fig. 1 stellt eine CVD-Vorrichtung 1 zur Herstellung eines Scherblattes mit einer Anzahl von Löchern 20 zur Aufnahme der Haare dar, wie diese in Fig. 8 als ein Beispiel eines Metall­ blattes mit konkav-konvexem Profil dargestellt ist. Bevor näher auf diese Ausführungsform der vorliegenden Erfindung einge­ gangen wird, soll noch einmal betont werden, daß die Erfindung nicht auf die Herstellung von Scherblättern für Trockenrasierer beschränkt ist, wie diese in der folgenden Beschreibung darge­ stellt sind, sondern zur Herstellung auch anderer Metallblätter mit profilierter Oberfläche geeignet ist. Die CVD-Vorrichtung 1 umfaßt eine Reaktionskammer oder Zelle 6, die mit einem Re­ aktionsgas 2 versorgt wird, das wenigstens eine metallische Ver­ bindung oder einen organometallischen Komplex enthält, und eine Lichtquelle 7, die einen Lichtstrahl 3, wie z. B. einen Laser-, UV- oder IR-Strahl, aussendet, der das Reaktionsgas zur Metallabscheidung aktiviert. Das Reaktionsgas, z. B. dampf­ förmiges Titantetrachlorid (TiCl4) oder Aluminiumchlorid (AlCl3) mit einem Trägergas wie Wasserstoff oder Sauerstoff, wird der Zelle 6 von einem Gasgenerator 11 zugeführt. Die Zelle 6 wird mit Hilfe einer Vakuumpumpe 23 und Ventilen 24 und 25 bis auf ein bis einige zehn Torr evakuiert. Innerhalb der Zelle 6 ist eine Formplatte 5 in Form einer Drehtrommel angebracht, auf die der Lichtstrahl 3 von der Lichtquelle 7 durch eine Linsenkombina­ tion 8, zusammengesetzt aus konvergenten und divergenten Linsen, und durch ein Fenster 9 am oberen Ende der Zelle 6 gelenkt wird. Diese Linsen sind so gewählt, daß der Bestrahlungsbereich auf der Formplatte 5 geeignet eingestellt werden kann, und können ggf. auch durch andere Einstellmittel ersetzt werden.
Die Formplatte oder Trommel 5 ist auf ihrem Umfang mit einer Anzahl von Vorwölbungen 5 A versehen, die in einem bestimmten Muster über die Oberfläche der Trommel 5 verteilt sind, das dem Muster der Löcher 20 in dem herzustellenden Scherblatt entspricht. Eine gebogen ausgebildete Maske 4 aus einem für den Lichtstrahl 3 transparentem Material ist so über einem Teil der Trommel 5 in gleitendem Kontakt auf den im allgemeinen abgeflachten, aber etwas gebogenen oberen Flächen der Vorwölbungen 5 A angeordnet, daß zwischen der Maske 4 und der Form­ plattenoberfläche ein Zwischenraum 5 B entsteht. Wie in den Fig. 1 und 2 dargestellt, wird die Trommel 5 so angetrieben, daß sie sich in einer Richtung P um eine Achse 10, die sich mit der Richtung des Lichtstrahls 3 kreuzt, dreht, während die Maske 4 im gleitendem Kontakt mit den oberen Flächen der Vor­ wölbungen 5 A stationär gehalten wird. Wenn die Trommel 5 sich dreht, wird das Reaktionsgas 2 in dem Zwischenraum 5 B zwischen der Maske 4 und dem entsprechenden Teil der Trommel 5 einge­ schlossen, wo es dem durch die Maske 4 einfallenden Lichtstrahl 3 ausgesetzt wird, was durch die chemische Reaktion, die durch den Lichtstrahl 3 oder dessen Wärme ausgelöst wird, zur Abschei­ dung einer Schicht 18 A aus einem Metall oder einer metallischen Verbindung auf der Oberfläche der Trommel 5 mit Ausnahme der oberen Flächen der Vorwölbungen 5 A führt. Beispielsweise wird eine Schicht aus Titan oder Aluminium abgeschieden, wenn Titan­ tetrachlorid (TiCl4) oder Aluminiumchlorid (AlCl3) mit Wasser­ stoff als Trägergas verwendet wird; eine Schicht aus Titannitrid (TiN) oder Titanoxid (TiO2) wird abgeschieden, wenn ein Ge­ misch aus Titantetrachlorid und Stickstoff (TiCl4 + N2) oder ein Gemisch aus Titantetrachlorid und Sauerstoff (TiCl4 + O2) mit Sauerstoff als Trägergas verwendet wird; und eine Schicht aus Aluminiumnitrid (AlN) wird abgeschieden, wenn ein Gemisch aus Aluminiumchlorid und Stickstoff (AlCl3 + N2) mit Kohlendioxid als Trägergas verwendet wird.
Wie in Fig. 3 dargestellt, wird bevorzugt eine transparente Maske 4, die aus Quarzglas hergestellt ist, verwendet, die an ihrer der Formplatte 5 zugewandten Seite einen feinen Säge­ zahnschliff aufweist, um den Lichtstrahl 3 wirksam zu streuen, was dazu dient, die Metallschicht 18 A mit im wesentlichen gleiche Dicke gleichmäßig auszubilden.
Die Metallschicht 18 A, die eine Dicke von etwa 50 µm aufweist und mit einer Anzahl von Löchern 20 an den Vorwölbungen 5 A ausgebildet wird, wird anschließend in kontinuierlicher Form von der Trommel 5 abgezogen, um ein kontinuierliches Metallblattband 18 zu liefern, wenn die Trommel 5 sich dreht, wobei dieses Blatt abschließend auf eine Aufwickelrolle 14 aufgewickelt wird. Das so hergestellte Metallblatt 18 weist demgemäß das Oberflächenprofil des Scher­ blattes auf, das durch eine Anzahl von Löchern 20 gekennzeichnet ist, von denen jedes entsprechend jeder Vorwölbung 5 A auf der Trommel 5 gebildet und von einem erhöhten Rand, der auf der Seitenwand der Vorwölbung 5 A gebildet ist, umgeben ist, wie am besten in Fig. 2 dargestellt. Um ein glattes Abziehen der abgeschiedenen Metallschicht 18 A sicherzustellen, kann ein dünnes Blatt (nicht gezeigt) aus einem leicht von der Metall­ schicht 18 A trennbaren Material über die Oberfläche der Trommel 5 gelegt werden. Zu diesem Zweck ist das Blatt mit einer Anzahl von Öffnungen versehen, die den oberen Flächen der Vorwölbungen 5 A entsprechen. Dieses Blatt kann auch von der Trommel 5 abge­ zogen werden, wobei es dann die Metallschicht 18 A in Form eines kontinuierlichen Blattes trägt, um nach Durchführung einer ge­ eigneten Oberflächenbehandlung der abgeschiedenen Schicht an­ schließend von dieser entfernt zu werden. Das Reaktionsgas 2, das der Zelle 6 zugeführt wurde, wird mit der Vakuumpumpe 23 mit Hilfe der Ventile 24 und 25 abgezogen, um das Vakuum innerhalb der Zelle 6 auf ein geeignetes Niveau einzustellen.
Obgleich die Formplatte in der oben beschriebenen Ausführungs­ form in Form einer Drehtrommel 5 vorliegt, ist es auch möglich, eine Formplatte 5 in Form einer flachen Platte mit den gleichen Vorwölbungen 5 A auf ihrer Oberfläche, wie in den Fig. 4 und 5 dargestellt, zu verwenden. Bei dieser Abwandlung wird das Reaktionsgas 2 in den Zwischenraum 5 B zwischen der Formplatte 5 und der Maske 4 vom Gasgenerator 11 eingeleitet und in gleicher Weise im Zusammenwirken mit der Maske 4 abgeschieden, um eine entsprechende Metallschicht 18 A zu bilden, die anschließend abge­ zogen wird, um das gleiche Scherblatt mit Löchern zur Aufnahme der Haare zu bilden, wobei wieder jedes der Löcher von einem erhöhten Rand umgeben ist.
Fig. 6 zeigt eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Er­ findung, die weitgehend mit derjenigen von Fig. 5 identisch ist, ausgenommen, daß die Maske 4 ein kleines Stück von den oberen Flächen der Vorwölbungen 5 A entfernt ist, so daß der Zwischen­ raum 5 B entsprechend vergrößert ist, wodurch eine Metallab­ scheidung auch auf den oberen Flächen der Vorwölbungen 5 A er­ möglicht wird. Das resultierende Metallblatt, das von der Form­ platte 5 abgezogen wird, ist so mit einer Anzahl von konkav- konvexen Erhebungen versehen.
Das erfindungsgemäß hergestellte Metallblatt 18 wird in einer Oberflächenbehandlungseinrichtung 12 einer geeigneten Ober­ flächenbehandlung unterworfen, bevor es auf die Aufwickelrolle 14 aufgewickelt wird. Die Oberflächenbehandlungseinrichtung 12, in der eine Ionenbestrahlung der Oberfläche des Metallblattes 18 mit Stickstoff oder Kohlenstoff vorgenommen wird, umfaßt eine Sekundärzelle 13, die mit der Zelle 6 durch einen länglichen Kanal 26 verbunden ist, und eine Ionenbestrahlungseinrichtung 15, die einen Ionenstrahl 16 auf das Metallblatt 18 wirft. Die Zelle 13, in der die Aufwickelrolle 14 angebracht ist, wird mit Hilfe der Vakuumpumpe 23 und des Ventils 25 auf ein höheres Vakuumniveau, d. h. 10 bis 3 Torr, evakuiert. Zu diesem Zweck ist in dem Kanal 26 zwischen den entsprechenden Einlaßöffnungen der Ventile 24 und 25 eine Reihe von Prallflächen 27 vorgesehen, um das Vakuumniveau der Zelle 13 von demjenigen der Zelle 6 zu trennen. Mit dieser Oberflächenbehandlung erhält das Metall­ blatt in seiner äußeren Oberfläche eine gehärtete Schicht 22 durch Bildung von Titannitrid (TiN) oder Titancarbid (TiC), wodurch ein oberflächenbehandeltes Metallblatt 19 entsteht, das mit der gehärteten Schicht 22 gefinisht ist. Das so er­ haltene Metallblatt 19 wird auf die geeignete Größe zugeschnitten, so daß es ohne weitere Bearbeitung oder Behandlung als Scherblatt mit Löchern 20 zur Aufnahme der Haare, wobei jedes der Löcher von einem erhöhten Rand umgeben ist, verwendet werden kann, wie in den Fig. 7 und 8 dargestellt. Aus diesen Zeichnungen wird auch deutlich, daß die gehärtete Schicht 22 in der gesamten Ober­ fläche gebildet ist, einschließlich des unteren Endes der er­ höhten Kanten, die mit einem Innenmesser (nicht gezeigt) in Scherkontakt kommen.
Die Oberflächenbehandlung ist nicht auf die obengenannte Ionen­ bestrahlung beschränkt und kann auch in einer Vakuumabscheidungs­ oder Kathodenzerstäubungstechnik bestehen, um eine gehärtete Schicht auf der Oberfläche des Metallblattes zu liefern, oder kann auch eine Galvanisierungstechnik umfassen. Darüber hinaus kann in der Vorrichtung nach Fig. 1 eine weitere Ionenbestrahlungs einrichtung vorgesehen werden, um auch die Unterfläche des Metall­ blattes 19 einer Oberflächenbehandlung zu unterwerfen.
Die in der vorstehenden Beschreibung, der Zeichnung sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungs­ formen wesentlich sein.
Bezugszeichenliste
(List of reference numerals)
 1 CVD-Vorrichtung
 2 Reaktionsgas
 3 Lichtstrahl
 4 Maske
 5 Formplatte (Trommel)
 5 A Vorwölbung
 5 B Zwischenraum
 6 Reaktionskammer (Zelle)
 7 Lichtquelle
 8 Linsenkombination
 9 Fenster
10 Achse
11 Gasgenerator
12 Oberflächenbehandlungseinrichtung
13 Sekundärzelle
14 Aufwickelrolle
15 Ionenbestrahlungseinrichtung
16 Ionenstrahl
18 Metallblatt
18 A abgeschiedene Metallschicht
19 oberflächenbehandeltes Metallblatt
20 Loch zur Aufnahme der Haare
22 gehärtete Schicht
23 Vakuumpumpe
24 Ventil
25 Ventil
26 Kanal
27 Prallfläche

Claims (5)

1. Verfahren zum Herstellen eines Metallblattes mit einer profilierten Oberfläche durch chemische Gasphasenabscheidung, dadurch gekennzeichnet, daß eine Formplatte (5) mit einer profilierten Oberfläche, die eine Anzahl von mit Zwischenraum angeordneten Vorwölbungen (5 A) aufweist, vorgesehen wird; daß wenigstens ein Teil dieser profilierten Oberfläche mit einer Maske (4) aus transparentem Material so überdeckt wird, daß die Maske (4) in eng benachbarter Beziehung zu den oberen Flächen der Vor­ wölbungen (5 A) steht; daß ein Reaktionsgas (2) mit wenigstens einer metallischen Verbindung einem zwischen der Maske (4) und der profilierten Oberfläche der Formplatte (5) gebildeten Zwischenraum (5 B) zugeführt wird; daß ein Lichtstrahl (3) durch die transparente Maske (4) auf die profilierte Oberfläche gerichtet wird, um das Reaktionsgas (2) zu zersetzen und auf der profilierten Ober­ fläche eine Metallschicht (18 A) abzuscheiden; und daß diese Metallschicht (18 A) von der profilierten Oberfläche entfernt wird, um ein Metallblatt (1 S) zu erhalten, dessen Oberfläche der profilierten Oberfläche der Formplatte (5) entspricht.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Formplatte (5) eine drehbare Trommel verwendet wird, die auf ihrem Umfang die profilierte Oberfläche aufweist; daß die Maske (4) so gebogen wird, daß sie sich in gleitendem Kontakt über einen Teil der profilierten Oberfläche erstreckt; und daß die Trommel in einer Richtung gedreht wird, um die Metallschicht (18 A) auf dem von der Maske (4) überdeckten Teil der profi­ lierten Oberfläche kontinuierlich abzuscheiden, während gleich­ zeitig die bereits abgeschiedene Metallschicht (18 A) von der profilierten Oberfläche abgezogen wird, um ein kontinuierliches Metallblatt (18) mit entsprechendem Profil zu erhalten.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallblatt (18) auf oder in seiner äußeren Oberfläche einer Oberflächenbehandlung unterworfen wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht (18 A) auf der profilierten Oberfläche der Form­ platte (5) außer auf den oberen Flächen der Vorwölbungen (5 A) abgeschieden wird, wodurch das resultierende Metallblatt (18) eine den Vorwölbungen (5 A) auf der Formplatte (5) entsprechende Anzahl von mit Zwischenraum angeordneten Löchern (20) aufweist; und daß auf oder in der Oberfläche des Metallblattes (18) gegen­ über den inneren Begrenzungsflächen der Löcher (20) eine ge­ härtete Subschicht (22) gebildet wird, um das resultierende Metallblatt (19) zur Verwendung als Scherblatt geeignet zu machen, wobei jedes Loch (20) von einem erhöhten Rand umgeben ist, der durch Abscheidung auf der Seitenwand der entsprechenden Vorwölbung (5 A) gebildet wird.
5. Vorrichtung zum kontinuierlichen Herstellen eines Metallblattes mit profilierter Oberfläche durch chemische Gasphasenabscheidung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine Reaktionskammer (6); eine in der Reaktionskammer angeordnete Formplatte (5) in Form einer Drehtrommel, die auf ihrem Umfang eine profilierte Oberfläche aufweist, die eine Anzahl von Vorwölbungen (5 A) aufweist; eine Maske (4) aus transparentem Material, die über einem Teil der profilierten Oberfläche in eng benachbarter Beziehung zu den oberen Flächen der Vorwölbungen (5 A) steht; eine Lichtquelle (7) zum Bestrahlen der profilierten Oberfläche durch die Maske (4) hindurch mit einem Lichtstrahl (3); eine Einrichtung zum Antreiben der Trommel (5) in einer Richtung; und eine Einrichtung zum Abziehen der abgeschiedenen Metallschicht (18 A) von der profilierten Oberfläche der Drehtrommel (5) und zum Aufwickeln des kontinuierlichen Metallblattes (18) auf eine Aufwickelrolle (14).
DE3837442A 1987-11-13 1988-11-04 Verfahren und vorrichtung zum herstellen eines metallblattes mit einer profilierten oberflaeche durch chemische gasphasenabscheidung Granted DE3837442A1 (de)

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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2747036B2 (ja) * 1989-07-07 1998-05-06 日本電信電話株式会社 薄膜形成方法
US5139825A (en) * 1989-11-30 1992-08-18 President And Fellows Of Harvard College Process for chemical vapor deposition of transition metal nitrides
US5383512A (en) * 1993-01-27 1995-01-24 Midwest Research Institute Method for fabricating a substrate having spaced apart microcapillaries thereon
DE4440386A1 (de) * 1994-11-11 1996-05-15 Pacesetter Ab Elektroden für medizinische Anwendungen
US6463992B1 (en) * 2000-03-22 2002-10-15 Pratt & Whitney Canada Corp. Method of manufacturing seamless self-supporting aerodynamically contoured sheet metal aircraft engine parts using nickel vapor deposition
US7191522B2 (en) * 2004-06-04 2007-03-20 Rovcal, Inc. Cutting blade and cutting blade assembly for electric shaver
KR101627047B1 (ko) * 2014-10-07 2016-06-03 에스엔유 프리시젼 주식회사 모노머 진공 증착 장치

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2685121A (en) * 1949-05-07 1954-08-03 Ohio Commw Eng Co Method and apparatus for manufacture of metal films
US2701901A (en) * 1952-04-03 1955-02-15 Ohio Commw Eng Co Method of manufacturing thin nickel foils
US3176356A (en) * 1962-07-12 1965-04-06 Union Carbide Corp Method and apparatus for obtaining release of gas plated metal deposits from substrate surfaces
US3608615A (en) * 1970-08-20 1971-09-28 Phelps Dodge Corp Foil production
JPS59197560A (ja) * 1983-04-22 1984-11-09 Nec Corp レ−ザ利用金属堆積方法
JPS6055123A (ja) * 1983-09-05 1985-03-30 Nishimatsu Kensetsu Kk 誘導杭を移動する地中連続壁掘削方法、並びに、その装置
JPS61235059A (ja) * 1985-04-10 1986-10-20 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd アモルフアス金属部材の製作方法

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Publication number Publication date
KR910003741B1 (ko) 1991-06-10
KR890008342A (ko) 1989-07-10
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