DE3818101C2 - Lösung zur Herstellung eines gegen Anfärbung resistenten Isolierfilms eines Farbfilters für ein Festkörper-Bildaufnahmeelement und das den Isolierfilter tragende Farbfilter - Google Patents
Lösung zur Herstellung eines gegen Anfärbung resistenten Isolierfilms eines Farbfilters für ein Festkörper-Bildaufnahmeelement und das den Isolierfilter tragende FarbfilterInfo
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 18
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 21
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 7
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 25
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 23
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 7
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 7
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- XXXFZKQPYACQLD-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hydroxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOCCO XXXFZKQPYACQLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- -1 glycidyl ester Chemical class 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N (R)-(-)-Propylene glycol Chemical compound C[C@@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N 0.000 description 1
- WOGITNXCNOTRLK-VOTSOKGWSA-N (e)-3-phenylprop-2-enoyl chloride Chemical compound ClC(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WOGITNXCNOTRLK-VOTSOKGWSA-N 0.000 description 1
- AZUYLZMQTIKGSC-UHFFFAOYSA-N 1-[6-[4-(5-chloro-6-methyl-1H-indazol-4-yl)-5-methyl-3-(1-methylindazol-5-yl)pyrazol-1-yl]-2-azaspiro[3.3]heptan-2-yl]prop-2-en-1-one Chemical compound ClC=1C(=C2C=NNC2=CC=1C)C=1C(=NN(C=1C)C1CC2(CN(C2)C(C=C)=O)C1)C=1C=C2C=NN(C2=CC=1)C AZUYLZMQTIKGSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LHENQXAPVKABON-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-1-ol Chemical compound CCC(O)OC LHENQXAPVKABON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JQCWLRHNAHIIGW-UHFFFAOYSA-N 2,8-dimethylnonan-5-one Chemical compound CC(C)CCC(=O)CCC(C)C JQCWLRHNAHIIGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXDLWJWIAHWIKI-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCO HXDLWJWIAHWIKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004342 Benzoyl peroxide Substances 0.000 description 1
- OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N Benzoylperoxide Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)OOC(=O)C1=CC=CC=C1 OMPJBNCRMGITSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920008712 Copo Polymers 0.000 description 1
- LCGLNKUTAGEVQW-UHFFFAOYSA-N Dimethyl ether Chemical compound COC LCGLNKUTAGEVQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000083869 Polyommatus dorylas Species 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- OHBRHBQMHLEELN-UHFFFAOYSA-N acetic acid;1-butoxybutane Chemical compound CC(O)=O.CCCCOCCCC OHBRHBQMHLEELN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KVXNKFYSHAUJIA-UHFFFAOYSA-N acetic acid;ethoxyethane Chemical compound CC(O)=O.CCOCC KVXNKFYSHAUJIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TUVYSBJZBYRDHP-UHFFFAOYSA-N acetic acid;methoxymethane Chemical compound COC.CC(O)=O TUVYSBJZBYRDHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229960003328 benzoyl peroxide Drugs 0.000 description 1
- 235000019400 benzoyl peroxide Nutrition 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- KVNRLNFWIYMESJ-UHFFFAOYSA-N butyronitrile Chemical compound CCCC#N KVNRLNFWIYMESJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N dichromate(2-) Chemical compound [O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N diphenyl ether Chemical compound C=1C=CC=CC=1OC1=CC=CC=C1 USIUVYZYUHIAEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N dipropyl ether Chemical compound CCCOCCC POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- AJDUTMFFZHIJEM-UHFFFAOYSA-N n-(9,10-dioxoanthracen-1-yl)-4-[4-[[4-[4-[(9,10-dioxoanthracen-1-yl)carbamoyl]phenyl]phenyl]diazenyl]phenyl]benzamide Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2NC(=O)C(C=C1)=CC=C1C(C=C1)=CC=C1N=NC(C=C1)=CC=C1C(C=C1)=CC=C1C(=O)NC1=CC=CC2=C1C(=O)C1=CC=CC=C1C2=O AJDUTMFFZHIJEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- 239000008213 purified water Substances 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- YXZRCLVVNRLPTP-UHFFFAOYSA-J turquoise blue Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Cu+2].NC1=NC(Cl)=NC(NC=2C=C(NS(=O)(=O)C3=CC=4C(=C5NC=4NC=4[N-]C(=C6C=CC(=CC6=4)S([O-])(=O)=O)NC=4NC(=C6C=C(C=CC6=4)S([O-])(=O)=O)NC=4[N-]C(=C6C=CC(=CC6=4)S([O-])(=O)=O)N5)C=C3)C(=CC=2)S([O-])(=O)=O)=N1 YXZRCLVVNRLPTP-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 239000001043 yellow dye Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
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- C09D133/04—Homopolymers or copolymers of esters
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- C09D133/10—Homopolymers or copolymers of methacrylic acid esters
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Lösung zur Her
stellung eines gegen Anfärbung resistenten Isolierfilms eines
Farbfilters für ein Festkörper-Bildaufnahmeelement,
insbesondere eines solchen gegen Anfärbung resistenten
Isolierfilms zur Herstellung eines aus organischen Verbindun
gen bestehenden Farbfilters, welches direkt auf dem auf
Licht ansprechenden Teil eines Festkörper-Bildaufnahmeelements
gebildet wird.
In Forschung und Entwicklung bezüglich Festkörper-Bildaufnah
meelemente wurden in den letzten Jahren bemerkenswerte Fort
schritte erzielt. Bei bekannten Festkörper-Bildaufnahmeelemen
ten können im Gegensatz zu kolbenartigen Röhren die Farbfil
ter sehr genau den auf Licht an sprechenden Teilen angepaßt
werden. Da bei den bekannten Festkörper-Bildaufnahmeelementen
die Lichtsignale (Lichtintensität von Schwarz- und Weißstel
len) in Form elektrischer Ladungen akkumulieren und dann als
elektrische Signale ausgesendet werden, ist es jedoch nicht
möglich, bezüglich der reinen Farbinformationen zu unterschei
den. Für diese Farbunterscheidung und Farbwiedergabe wird
daher ein Farbfilter auf dem auf Licht ansprechenden Teil
eines Festkörper-Bildaufnahmeelements angeordnet. Ein solches
Farbfilter umfaßt üblicherweise in drei Farben angefärbte
Schichten, welche direkt auf die auf Licht ansprechenden Teile
auflaminiert sind und so angepaßt sind, daß die auf Licht an
sprechenden Teile zwischen den einzelnen Farben unterscheiden
können, indem man sie den entsprechenden gefärbten Schichten
aussetzt, welche den drei Hauptfarben des Lichtes entsprechen,
nämlich Rot, Grün und Blau. Ein Festkörper-Bildaufnahmeelement
weist das Merkmal auf, daß es durch sorgfältige Anordnung des
Farbfilters möglich ist, daß es in Form eines Vielfarben
elementes die gleiche Auflösungsschärfe aufweist wie ein mono
chromatisches Element.
Die Grundeigenschaften, welche für ein Festkörper-Bildaufnahme
element gefordert werden müssen, sind die Lichtempfindlichkeit
und die Auflösungsschärfe, und es wurden bereits die verschie
densten Vorschläge gemacht, um diese Grundeigenschaften eines
Systems in Form eines Festkörper-Bildaufnahmeelements zu ver
bessern. Im Hinblick auf die Leichtigkeit, mit der der Geräusch-
oder Störpegel verringert werden kann, wird im allgemeinen ein
Bildaufnahmeelement in Form eines ladungsgekoppelten Bauele
mentes eingesetzt (nachstehend der Einfachheit halber abgekürzt
als CCD-Bildaufnahmeelement). Weil es sich bei einem CCD-Bild
aufnahmeelement um ein vollständig analog arbeitendes Element
handelt, führt eine ungenaue Anpassung in den Eigenschaften
zwischen einer Mehrzahl von auf Licht ansprechenden Teilen des
Elements direkt zu Bildverzerrungen. Demgemäß war eine außer
ordentliche Gleichmäßigkeit bei den Herstellungsverfahren und
auch in bezug auf die Materialqualität erforderlich, um der
artige Bildaufnahmeelemente in guter Ausbeute ohne abweichende
Grundeigenschaften herstellen zu können.
In diesem Zusammenhang wird darauf hingewiesen, daß ein zu
sammen mit einem CCD-Bildaufnahmeelement eingesetzter Farbfil
ter üblicherweise dadurch hergestellt wird, daß man direkt auf
dem auf Licht ansprechenden Teil des CCD-Bildaufnahmeelementes
eine Farbfilterschicht bildet. Insbesondere wird ein solches
Farbfilter erhalten, indem man auf dem auf Licht ansprechen
den Teil des CCD-Bildaufnahmeelements eine Polymerschicht in
Form einer Ausgleichsschicht herstellt, um dadurch eine ebene
Oberfläche zu gewährleisten, und dann darüber eine gefärbte
Rasterschicht anbringt, auf letzterer eine transparente, gegen
Anfärbung resistente Isolationsschicht bildet und schließlich
über dieser Isolationsschicht die nächste gefärbte Raster
schicht aufbringt.
Bei einer solchen Herstellungsweise stellt die richtige Aus
wahl der gegenüber Anfärben resistenten Isolierschicht einen
wesentlichen Faktor für die Erzielung einer hohen Qualität
beim Farbfilter dar. Insbesondere ist es von Bedeutung, ein
Ausbluten der Farbe aus der gefärbten Schicht zu verhindern
und zu verhindern, daß zwischen der gefärbten Schicht und dem
auf Licht ansprechenden Teil ein Streubereich auftritt. Wei
terhin muß von der gegenüber Anfärbung resistenten Isolations
schicht gefordert werden, daß sie eine befriedigende Farb
widerstandsfähigkeit aufweist und gleichzeitig eine gute Bin
dung mit der Ausgleichsschicht und der gefärbten Schicht ein
geht, daß sie ferner die erforderliche Transparenz, chemische
Beständigkeit und filmbildende Eigenschaften hat. Bisher sind
für diesen Zweck Filme aus den verschiedensten organischen
glasartigen Materialien verwendet worden, beispielsweise aus
Polymethylmethacrylat.
Es ist auch bekannt, die gegenüber Anfärben resistente Isolier
schicht aus einem Polymer zu bilden, welches durch radikali
sche Copolymerisation des Glycidylesters der Acrylsäure oder
des Glycidylesters der Methacrylsäure mit einem Reaktionspro
dukt von 2-Hydroxyäthylacrylat oder 2-Hydroxyäthylmethacrylat
und Cinnamoylchlorid oder einem Derivat davon erhalten werden
kann. Als Initiator für eine solche radikalische Copolymeri
sation wird beispielsweise Azo-bis-isobutyronitril oder Ben
zoylperoxid eingesetzt (vgl. japanische Offenlegungsschrift
Nr. Sho 61-180235).
Diese bekannten polymeren Materialien haben jedoch nicht
bezüglich aller Eigenschaften befriedigt, welche die gegen
Anfärbung resistente Isolierschicht aufweisen muß. Die aus
dem in der japanischen Offenlegungsschrift Sho 61-180235 be
schriebenen Polymer hergestellte Isolationsschicht neigt
nämlich dazu, ein Streuen zwischen der angefärbten Schicht und
der auf Licht ansprechenden Schicht des Bildaufnahmeelementes
zu begünstigen, während Polymethacrylat eine schlechte Bindung
gegenüber der gefärbten Schicht aufweist. Demgemäß eignen sich
in der Praxis beide polymere Materialien nicht zur Herstellung
des gegen Anfärbung resistenten Isolierfilms.
Aufgabe der Erfindung war es daher, eine Lösung zur Herstellung eines
gegenüber Anfärbung resistenten Isolierfilm zur Verfügung zu stellen, welcher
die Nachteile der üblichen, aus einem organischen Glas hergestell
ten Filme nicht aufweist, so daß sich mit diesem Isolierfilm
ein Farbfilter hoher Qualität herstellen läßt, welches insbe
sondere für Festkörper-Bildaufnahmeelemente geeignet ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß man als
Polymer ein Copolymer von Glycidylmethacrylat und Methylmeth
acrylat einsetzt.
Die erfindungsgemäße Lösung zur Herstellung eines gegen Anfärbung resistenten
Isolierfilms eines Farbfilters für ein Festkörper-Bildauf
nahmeelement ist daher dadurch gekennzeichnet, daß sie ein
Glycidylmethacrylat-Methylmethacrylat-Copolymer enthält,
in welchem Glycidylmethacrylat und Methylmethacrylat in einem
Gewichtsverhältnis von 8 : 2 bis 2 : 8 vorliegen und das
Copolymer ein Molekulargewicht im Bereich von 50 000 bis
550 000 und eine Dispersion im Bereich von 1,05 bis 3,50
aufweist.
Da auf diese Weise ein gegen Anfärbung resistenter Isolierfilm
erhalten werden kann, welcher dafür sorgt, daß die gefärbte
Schicht mit dem auf Licht ansprechenden Teil des Festkörper-
Bildaufnahmeelements genauestens übereinstimmt, und außerdem
eine gute Bindungsfähigkeit mit der gefärbten Schicht er
reicht werden kann, läßt sich erfindungsgemäß ein Farbfilter
von außerordentlich hoher Qualität zur Verfügung stellen.
Wie vorstehend bereits festgestellt worden ist, enthält die
erfindungsgemäße Lösung zur Herstellung eines gegen Anfärben resistenten
Isolierfilms ein Copolymer von Glycidylmethacrylat (nachstehend als GMA
abgekürzt) und Methylmethacrylat (nachstehend als MMA abge
kürzt) mit dem angegebenen Bereich für das Gewichtsverhältnis der
Monomeren und dem angegebenen Bereich für die Dispersion.
Ein solches Copolymer wird mittels an sich bekannter Verfahren
für die radikalische Copolymerisierung von GMA und MMA erhalten.
Das Mischungsverhältnis der Monomeren GMA und MMA im Polyme
risationsansatz entspricht vorzugsweise einem Gewichtsverhältnis von
3 : 7 bis 5 : 5. Bei Überschreiten der angegebenen Mischungsver
hältnisse werden leicht Bilder mit Farbschatten gebildet, da
dann keine vollständige Übereinstimmung zwischen den auf Licht
ansprechenden Teilen und der gefärbten Schicht erhalten werden
kann. Ein solches Festkörper-Bildaufnahmeelement weist daher
bezüglich der Auflösungskraft keine besonders günstigen Er
gebnisse auf, und daher sollten diese Bereiche nicht über
schritten werden.
Von den durch radikalische Polymerisation herstellbaren Copo
lymeren werden bevorzugt solche mit einem Molekulargewicht in einem
Bereich von 150 000 bis 400 000 verwendet, um die Überzugslösun
gen herzustellen, aus denen in der Praxis der gegen Anfärbung
resistente Isolierfilm gebildet wird.
Dabei werden Copolymere mit einer Dispersion im Bereich von
1,05 bis 3,50 angewendet (die Dispersion ist ein
Hinweis auf die Molekulargewichtsverteilung).
Wenn das Molekulargewicht und die Dispersion der Copolymeren
innerhalb der vorstehend angegebenen Bereiche gewählt werden,
dann wird ein gegen Anfärbung resistenter Isolierfilm erhal
ten, welcher die Übereinstimmung in den Eigenschaften zwischen
der gefärbten Schicht und der auf Licht ansprechenden Teile
nicht verschlechtert.
Der gegen Anfärben resistente Isolierfilm wird hergestellt, indem man in
der üblichen Weise eine erfindungsgemäße Überzugslösung aufbringt, welche das
vorstehend beschriebene Copolymere in einem organischen Lösungsmittel gelöst
enthält. Für diesen Zweck eignen sich beispielsweise die folgen
den Lösungsmittelarten:
- (1) Ketone, wie Aceton, Methyläthylketon, Cyclohexanon und Isoamylketon;
- (2) Mehrwertige Alkohole und ihre Derivate, wie Äthylenglykol, Athylenglykolmonoacetat, Diäthylenglykol, Monomethyläther von Diäthylenglykolmonoacetat, Monoäthyläther von Diäthy lenglykolmonoacetat, Monopropyläther von Diäthylenglykol monoacetat, Monobutyläther von Diäthylenglykolmonoacetat oder Monophenyläther von Diäthylenglykolmonoacetat;
- (3) Derivate von Glykol, wie Methyläther von Propylenglykol, Äthyläther von Propylenglykol oder Butyläther von Propy lenglykol, Methylätheracetat von Propylenglykol, Äthyl ätheracetat von Propylenglykol oder Butylätheracetat von Propylenglykol.
Diese Lösungsmittel können entweder allein oder auch als
Mischung eingesetzt werden.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Fig. 1a bis 1g
näher erläutert. Diese Figuren zeigen die Herstellung eines
gegen Anfärben resistenten Isolierfilms in Form verschiedener
Herstellungsschritte unter Verwendung einer erfindungsgemäßen Lösung.
In den Figuren ist mit (1) ein Siliciumplättchen bezeichnet,
mit (2) der auf Licht ansprechende Teil, mit (3) ein Schutz
film, mit (4) ein Ausgleichsfilm zur Erzielung einer ebenen
Oberfläche, während eine Schicht (5) aus einem fotosensitiven
Material besteht und im Verlauf der weiteren Herstellung an
gefärbt wird. Mit (5′) wird die gefärbte Rasterschicht be
zeichnet. Sie wird unter Verwendung einer Maske (6) herge
stellt. Darüber ist die auf der Grundlage der erfindungsgemäßen Lösung hergestellte, gegen Anfärbung
resistente Isolierschicht (7) aufgebracht und darüber befindet
sich eine zweite gefärbte Rasterschicht (8), über welcher wie
derum eine zweite auf der Grundlage der erfindungsgemäßen Lösung hergestellte, gegen Anfärbung resistente
Isolierschicht (9) aufgebracht worden ist.
Die zur Herstellung des gegen Anfärbung
resistenten Isolierfilms verwendete, erfindungsgemäße Überzugslösung wird in
der nachstehenden Weise eingesetzt:
Wie in den Fig. 1a und 1b wiedergegeben ist, wird ein auf
Licht ansprechender Teil (2) auf einem Siliciumplättchen (1)
angebracht und darüber wird ein Bildaufnahmeelement in Form
eines Schutzfilms (3) aus glasartigem Phosphor oder Quarz
gebildet, und über diesem Schutzfilm wird zur
Herstellung einer ebenen Oberfläche die Ausgleichsschicht (4)
angebracht.
Die anzufärbende Schicht (5) besteht aus einem wasserlöslichen
fotosensitiven Material, nämlich einer Mischung aus Gelatine,
Kasein, Klebstoff, Polyvinylalkohol und Bichromat. Diese
Schicht wird aus einer wäßrigen Lösung der betreffenden Kompo
nenten gebildet.
Die Schicht (5) wird gemäß einem vorbestimmten Raster einer
Lichtbestrahlung ausgesetzt.
Die fotosensitive Schicht wird entwickelt und dadurch eine
Rasterschicht gebildet.
Die Rasterschicht wird angefärbt und bildet dadurch eine
Farb-Rasterschicht.
Über der gesamten so gebildeten Oberfläche wird mittels üb
licher Methoden eine erfindungsgemäße Überzugslösung aufgebracht, um so den
gegen Anfärbung resistenten Isolierfilm
zu bilden. Der Auftrag wird bei einer Temperatur zwischen
150 und 200°C getrocknet und bildet dann einen transparenten
Isolierfilm (7).
Für das Aufbringen der Überzugslösung können übliche Methoden
zur Anwendung kommen, beispielsweise Schleudern, Eintauchen oder
Sprühen.
In der vorstehend beschriebenen Weise wird auf dem mittels der erfindungs
gemäßen Lösung erhaltenen Isolierfilm eine weitere Farb-Rasterschicht aufgebracht
und darüber wird erneut ein mittels der erfindungsgemäßen Lösung erhaltener, gegen Anfärbung
resistenter Isolierfilm aufgebracht, und diese Maßnahmen wer
den so oft wie erforderlich wiederholt. Auf diese Weise wird
ein Farbfilter in völliger Übereinstimmung mit dem auf Licht
ansprechenden Teil des Festkörper-Bildaufnahmeelementes gebil
det.
Für die Bildung der Ausgleichsschicht (4) kann das gleiche
Copolymer verwendet werden wie für die Herstellung des mittels der erfin
dungsgemäßen Lösung erhaltenen, gegen Anfärbung resistenten Isolierfilms.
Nachstehend wird eine Ausführungsform eines unter Verwendung
des mittels der erfindungsgemäßen Lösung hergestellten, gegen Anfärbung
resistenten Isolierfilms hergestellten Farbfilters näher erläutert.
Das erfindungsgemäße Farbfilter umfaßt eine gegen Anfärbung
resistente Isolierschicht (7) und die Farb-Rasterschicht (5′)
(vgl. Fig. 1f).
Das auf Licht ansprechende Teil hat beispielsweise die in
der Fig. 1a wiedergegebene Anordnung (2) und ist auf einem
Siliciumplättchen (1) angeordnet. Außerdem ist auf der oberen
Oberfläche ein Schutzfilm (3) aus glasförmigem Phosphor oder
Quarz angeordnet.
Auf dem Schutzfilm (3) des Bildaufnahmeelementes wird der
Ausgleichsfilm (4) in einer Dicke von 0,2 bis 2,0 µm gebildet.
Als Copolymer für die Herstellung dieser Ausgleichsschicht
wird sehr zweckmäßig das gleiche Copolymer eingesetzt, welches
auch für die Herstellung des gegen Anfärbung resistenten Isolierfilms
mit Hilfe der erfindungsgemäßen Lösung verwendet wird. Die Oberfläche
des Bildaufnahmeelementes wird durch diese Ausgleichsschicht
eingeebnet, wie in Fig. 1b wiedergegeben ist.
Anschließend wird die Schicht aus dem wasserlöslichen foto
sensitiven Material, wie oben beschrieben, auf der Ausgleichs
schicht (4) in einer Dicke von 0,1 µm bis 2,0 µm ausgebildet
(vgl. Fig. 1c).
Zur Herstellung der Farb-Rasterschicht (5′) wird die später
anzufärbende Schicht (5) mit energiereichen Strahlen bestrahlt
und zwar entsprechend dem Raster, welches durch die Maske (6)
gebildet wird (vgl. Fig. 1d). Anschließend werden die nicht
bestrahlten Teile entfernt, indem man die Schicht aus foto
sensitivem Material in Wasser entwickelt und dann wird das
so gebildete Raster in an sich bekannter Weise mit einem Farb
stoff angefärbt und bildet dadurch die in Fig. 1e wiedergegebene
Farb-Rasterschicht (5′).
Schließlich wird eine erfindungsgemäße Überzugslösung über die gesamte Ober
fläche aufgetragen und so ein gegen Anfär
bung resistenter Isolierfilm gebildet, welcher dann getrocknet
wird, so daß sich eine feste Schicht (7) ausbildet (vgl. Fig.
1f).
Der auf diese Weise hergestellte fertige Farbfilter wird in
Fig. 1g wiedergegeben.
100 g Glycidylmethacrylat und 100 g Methylmethacrylat werden
miteinander vermischt, dann setzt man 0,5 g N,N′-Azo-bis-iso
butyronitril hinzu und läßt die Mischung unter einer Schutz
atmosphäre aus Stickstoffgas etwa 7 Stunden bei 60°C unter
Rühren polymerisieren. Nach Beendigung der Polymerisations
reaktion wird das Reaktionsprodukt in einen Liter Methanol
eingegossen, so daß sich das gebildete Polymerisat absetzt.
Es wird unter vermindertem Druck bei Zimmertemperatur ge
trocknet. Die Ausbeute an dem Polymer beträgt 150 g und das
Durchschnittsmolekulargewicht (Gewichtsmittel) beträgt
360 000, die Dispersion-hat einen Wert von 1,7.
b) Durch Auflösen von 10 g des so hergestellten Copolymers
in 100 g Äthylenglykolmonoäthylätheracetat und Filtrieren
der Lösung durch ein Membranfilter, um feinteilige Verun
reinigungen daraus zu entfernen, erhält man die erfindungsgemäße
Überzugslösung zur Herstellung eines gegen Anfärbung
resistenten Isolierfilms.
Diese Überzugslösung wird auf einem Bildaufnahmeelement auf
getragen, welches aus einem auf Licht ansprechenden Teil,
einem Steuerschaltkreis für die Steuerung einer aus glasarti
gem Phosphor bestehenden Schicht besteht, welche als Schutz
schicht auf einem Siliciumplättchen angeordnet ist. Die Über
zugslösung wird mittels einer Schleudervorrichtung in einer
Dicke von 2,0 µm aufgetragen und 30 Minuten bei 170°C ge
trocknet. Sie bildet dann die Ausgleichsschicht. Anschließend
bringt man einen fotosensitiven Überzug auf der Basis von
einem Kasein in Form einer wäßrigen Lösung in einer Film
dicke von 1 µm auf der Ausgleichsschicht auf. Es handelt sich
bei dem fotosensitiven Material um das Handelsprodukt
CFR-100.
Diese Schicht trocknet man 30 Minuten bei 70°C und bestrahlt
sie dann durch eine Maske mit vorbestimmtem Raster, worauf
man sie 30 Sekunden bei 30°C mit gereinigtem Wasser ent
wickelt. Anschließend wird der Kaseinfilm durch 15minütiges
Erhitzen auf 120°C gehärtet. Schließlich taucht man den
Film in eine 0,1-gewichtsprozentige wäßrige Lösung eines
gelben Farbstoffes (Kayanol Yellow N5G), welche mit Essigsäure auf
einen pH-wert von 4 eingeregelt worden war. Die Anfärbung
dauerte 1 Minute und wurde bei 65°C durchgeführt, wodurch man
einen gelb gefärbten Kasein-Rasterfilm erhielt.
Anschließend wurde die erfindungsgemäße Überzugslösung mit
tels einer Schleudervorrichtung in einer Filmdicke von 1 µm
aufgebracht und nachdem man diesen Überzug 30 Minuten bei
170°C getrocknet hatte, wurde in der vorstehend beschriebenen
Weise ein weiterer Rasterfilm aus Kasein gebildet und in eine
etwa 3-gewichtsprozentige wäßrige Lösung eines blauen Farb
stoffes eingetaucht (Diacron Turquoise Blue GF), welche mit
Essigsäure wiederum auf einen pH-Wert von 4 eingestellt worden
war. Die Anfärbung dauerte 1 Minute und wurde bei 65°C durch
geführt, und bei diesem zweiten Anfärbungsvorgang wurde nur
der Kasein-Rasterfilm gefärbt. Schließlich wurde nochmals
eine erfindungsgemäße Überzugslösung aus dem Copolymeren in
einer Filmdicke von 0,5 µm auf die gesamte Oberfläche aufge
bracht und auf diese Weise ein Farbfilter erhalten, das
direkt mit dem Bildaufnahmeelement fest verbunden war.
Wenn man dieses Bildaufnahmeelement vertikal von oben mit
einem Elektronenmikroskop beobachtete, ließen sich keine
Abweichungen zwischen den auf Licht ansprechenden Teilen und
der Farb-Rasterschicht beobachten. Vielmehr bildete das
Farbfilter mit dem Bildaufnahmeelement eine in sich stimmige
Einheit.
In der in Beispiel 1 beschriebenen Weise wurden verschiedene
Farbfilter hergestellt, welche direkt mit den betreffenden
Bildaufnahmeelementen verbunden waren, wobei die einge
setzten Copolymere in der in Beispiel 1a beschriebenen Weise
hergestellt worden waren und nur das Gewichtsverhältnis zwi
schen Glycidylmethacrylat und Methylmethacrylat verändert
wurde. Es wurde anschließend die Abweichung zwischen dem auf
Licht ansprechenden Teil und der Farb-Rasterschicht sowie
die Neigung zum Abblättern der Farb-Rasterschicht beobachtet.
Die dabei erhaltenen Ergebnisse sind nachstehend in den Ta
bellen 1a bis 1g wiedergegeben.
Fußnoten
*1) 0: ohne Abweichung
: Abweichung zwischen 3 und 5 µm
X: Abweichung zwischen 5 und 20 µm
*2): Es wurde die Neigung zum Abblättern des nach der Entwicklung mit Wasser erhaltenen Kaseinrasters von der mittels der erfindungsgemäßen Lösung hergestellten, gegen Anfärbung resistenten Isolierfilmschicht beobachtet.
0: kein Abblättern
X: Abblättern über die gesamte Oberfläche.
*1) 0: ohne Abweichung
: Abweichung zwischen 3 und 5 µm
X: Abweichung zwischen 5 und 20 µm
*2): Es wurde die Neigung zum Abblättern des nach der Entwicklung mit Wasser erhaltenen Kaseinrasters von der mittels der erfindungsgemäßen Lösung hergestellten, gegen Anfärbung resistenten Isolierfilmschicht beobachtet.
0: kein Abblättern
X: Abblättern über die gesamte Oberfläche.
Claims (4)
1. Lösung zur Herstellung eines gegen Anfärbung
resistenten Isolierfilms eines Farbfilters für ein Fest
körper-Bildaufnahmeelement
dadurch gekennzeichnet,
daß sie in einem organischen Lösungsmittel gelöst ein
Glycidylmethacrylat-Methylmethacrylat-Copolymer enthält, in
dem Glycidylmethacrylat und Methylmethacrylat in einem
Gewichtsverhältnis von 8 : 2 bis 2 : 8 vorliegen und das
Copolymer ein Molekulargewicht im Bereich von 50 000 bis
550 000 und eine Dispersion im Bereich von 1,05 bis 3,50
aufweist.
2. Lösung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das Copolymer aus Glycidylmethacrylat und Methylmethacrylat
ein Gewichtsverhältnis von 3 : 7 bis 5 : 5 aufweist.
3. Lösung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeich
net, daß das Copolymer ein Molekulargewicht im Bereich von
150 000 bis 400 000 aufweist.
4. Farbfilter für ein Festkörper-Bildaufnahmeelement,
enthaltend mindestens eine Farb-Rasterschicht (5′) und darü
ber angeordnet mindestens einen gegen Anfärbung resistenten
Isolierfilm (7), welcher aus einem Glycidylmethacrylat-
Methylmethacrylat-Copolymer gemäß Anspruch 1 bis 3 besteht.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12982187A JPH07104447B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | カラーフィルター形成用有機ガラス組成物およびカラーフィルター形成用有機ガラス層を形成する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3818101A1 DE3818101A1 (de) | 1988-12-15 |
DE3818101C2 true DE3818101C2 (de) | 1995-06-14 |
Family
ID=15019055
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3818101A Expired - Fee Related DE3818101C2 (de) | 1987-05-28 | 1988-05-27 | Lösung zur Herstellung eines gegen Anfärbung resistenten Isolierfilms eines Farbfilters für ein Festkörper-Bildaufnahmeelement und das den Isolierfilter tragende Farbfilter |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4983020A (de) |
JP (1) | JPH07104447B2 (de) |
KR (1) | KR880014661A (de) |
DE (1) | DE3818101C2 (de) |
GB (1) | GB2206593B (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1013854C2 (nl) | 1999-03-03 | 2001-05-30 | Sumitomo Chemical Co | Kleurfilter, werkwijze voor het vervaardigen van een kleurfilter en fotogevoelig kleurenmengsel. |
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US3096313A (en) * | 1958-05-20 | 1963-07-02 | Du Pont | Copolymer of methyl methacrylate and glycidyl methacrylate |
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-
1987
- 1987-05-28 JP JP12982187A patent/JPH07104447B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-05-14 KR KR1019880005651A patent/KR880014661A/ko not_active Application Discontinuation
- 1988-05-26 GB GB8812485A patent/GB2206593B/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-27 DE DE3818101A patent/DE3818101C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-04-14 US US07/338,523 patent/US4983020A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3818101A1 (de) | 1988-12-15 |
US4983020A (en) | 1991-01-08 |
GB8812485D0 (en) | 1988-06-29 |
KR880014661A (ko) | 1988-12-24 |
GB2206593A (en) | 1989-01-11 |
JPS63295614A (ja) | 1988-12-02 |
JPH07104447B2 (ja) | 1995-11-13 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8125 | Change of the main classification |
Ipc: C09D133/12 |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |