DE3817574C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3817574C2 DE3817574C2 DE3817574A DE3817574A DE3817574C2 DE 3817574 C2 DE3817574 C2 DE 3817574C2 DE 3817574 A DE3817574 A DE 3817574A DE 3817574 A DE3817574 A DE 3817574A DE 3817574 C2 DE3817574 C2 DE 3817574C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- signal
- output signal
- demodulator
- amplifier
- sensor according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
- G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
- G01N27/9046—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents by analysing electrical signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
- G01N27/90—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws using eddy currents
- G01N27/9073—Recording measured data
- G01N27/9086—Calibrating of recording device
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Wirbelstromsensor mit
einer Meßspule gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs
1.
Ein Wirbelstromsensor gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs
1 ist beispielsweise aus "Nondestructive Testing Handbook",
Vol. 4, 1986, S. 293 bis 302 von McMaster, McIntire
und Mester bekannt.
Gattungsgleiche Wirbelstromsensoren, die beispielsweise in
der zerstörungsfreien Werkstoffprüfung eingesetzt werden,
sind ferner aus dem Buch "Magnetische und magnetinduktive
Werkstoffprüfung" von H. Heppner und H. Stroppe, VEB Deutscher
Verlag für Grundstoffindustrie, Leipzig, 2. Auflage,
1969 oder aus dem in "Der Elektroniker" 1974, Heft 9,
Seite 7 bis 13 erschienen Artikel "Elektronik in der zerstörungsfreien
Werkstoffprüfung" von H. Luz bekannt.
Auf die dort angegebenen Anwendungsmöglichkeiten von Wirbelstromsensoren
gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs
1 beispielsweise in der Werkstoffprüfung wird ausdrücklich
Bezug genommen.
Die bekannten Wirbelstromsensoren weisen in der Regel eine
Meßspule, in deren magnetischem Feld das zu erfassende
Objekt angeordnet ist, sowie eine Referenzspule auf. Ferner
ist in der Regel ein Signalgenerator, beispielsweise
ein Sinusgenerator vorgesehen, dessen Ausgangssignal an
die Spulen angelegt ist. Die an den beiden Spulen anstehenden
Ausgangssignale werden mittels eines Subtrahierers
voneinander substrahiert. Das Ausgangssignal des Subtrahierers
ist direkt an einen ersten Demodulator und über
einen 90°-Phasenschieber an einen zweiten Demodulator
angelegt. Dabei ist an die Demodulatoren als zusätzliches
Signal das über einen Phasenschieber mit einstellbarem
Phasenwinkel verschobene Ausgangssignal des Sinusgenerators
angelegt.
Durch die zweifache Demodulation liegt das (verstärkte)
Sensorsignal als Vektor in der "komplexen Impedanzebene"
vor, wobei Betrag und Phase des Signals zur Auswertung
herangezogen werden können.
Da weiterhin im Parallelzweig das Signal des Sinusgenerators
durch den Phasenschieber mit einstellbarem Phasenwinkel
um 0°τ360° phasenverschoben wird (τ beschreibt
den Winkel, um den die Achsen der gebildeten Signalebene
gegenüber den Achsen der Impedanzebene gedreht sind), können
das Nutzsignal, z. B. das Signal einer Schweißnaht,
und das Störsignal, das beispielsweise durch Abhebeeffekte
einer oder beider Spulen erzeugt wird, in einem beliebigen
Winkel α zueinander liegen. Das Störsignal ist dabei vom
Betrag meist wesentlich größer als das Nutzsignal.
Üblicherweise wird das komplexe Signal auf einem Bildschirm
angezeigt und visuell ausgewertet. Dabei wird zum
Erkennen des interessierenden Signals (Nutzsignal) der
Winkel τ am Phasenschieber so eingestellt, daß das Störsignal
genau in Richtung der y-Achse zu liegen kommt. Der
"Kanal x" wird dann z. B. mit einer "gefühlsmäßig" eingestellten
Triggerschwelle zur Auswertung herangezogen. Die
bekannten Sensoren, die beispielsweise zur Werkstoffprüfung
eingesetzt werden, haben damit eine Reihe von Nach
teilen:
Zunächst einmal versteht es sich von selbst, daß eine
visuelle Auswertung an einem Bildschirm nicht geeignet
ist, wenn der Sensor in eine automatisierte Anlage zur
Werkstoffprüfung integriert werden soll.
Darüberhinaus wird bei den bekannten Sensoren nur die
Projektion des Nutzsignals auf die x-Achse ausgewertet.
Damit wird der Störabstand zum Störsignal weiter ver
kleinert.
Ferner muß der Winkel τ präzise justiert werden. Minimale
Änderungen in den Eigenschaften der Prüfobjekte - wie sie
beispielsweise bei Chargenwechsel auftreten - können Fehlerkennungen
zur Folge haben.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Wirbelstromsensor,
der beispielsweise zur Werkstoffprüfung einsetzbar
ist, anzugeben, der bei vollem Störabstand eine
automatisierte Auswertung der Signale erlaubt.
Eine erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe ist mit ihren
Weiterbildungen in den Patentansprüchen gekennzeichnet.
Zwar ist bereits aus der DE 33 24 444 A1 bekannt, bei
einer Fehlstellenerkennungsvorrichtung anderer Gattung
das Ausgangssignal des ersten Demodulators über einen
Verstärker mit einstellbarem Verstärkungsfaktor (a) und
das Ausgangssignal des zweiten Demodulators über einen
Verstärker mit einstellbarem Verstärkungsfaktor (b) an
einen weiteren Subtrahierer anzulegen, dieser Druckschrift
ist jedoch kein Hinweis auf die erfindungsgemäß erfolgte
spezielle Wahl der beiden Verstärkungsfaktoren, durch die
erst eine automatisierte Auswertung der Wirbelstromsensor-
Ausgangssignale mit hohem Nutz-/Störsignal-Abstand erreicht
werden kann, zu entnehmen.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen
unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben,
in der zeigt
Fig. 1 ein Blockschaltbild eines bekannten Wirbelstromsensors,
von dem die Erfindung ausgeht,
Fig. 2 Beispiele für Sensorsignale in der "Impedanzebene",
Fig. 3 die Signalauswertung bei herkömmlichen Wirbel
stromsensoren,
Fig. 4 die Signalauswertung bei einem erfindungsgemäßen
Wirbelstromsensor, und
Fig. 5a und 5b Blockschaltbilder von Ausführungsbeispielen,
mit der die in Fig. 4 gezeigte Signalauswertung
realisiert werden kann, und
Fig. 6 die erfindungsgemäße Selbstkalibrierung.
Fig. 1 zeigt einen herkömmlichen Wirbelstromsensor, der
als Signalgenerator einen Sinusgenerator 1 aufweist, dessen
Ausgangssignal an einer Meßspule 2, einer Referenzspule
3 sowie an dem Eingangsanschluß eines Phasenschiebers
6 mit zwischen 0 und 360° einstellbarem Phasenwinkel
anliegt.
Die Ausgangssignale der Meßspule 2 und der Referenzspule
werden zunächst voneinander subtrahiert (Bezugszeichen 2-
3) und mittels eines Verstärkers 4 verstärkt. Das Ausgangssignal
des Verstärkers 4 liegt über einen Phasenschieber
5 mit einem festen Phasenwinkel von 90° an dem
einen Eingangsanschluß eines Demodulators 8 an. Ferner
liegt das Ausgangssignal des Verstärkers 4 direkt an dem
einen Eingangsanschluß eines Demodulators 7 an. An den
anderen Eingangsanschlüssen der Demodulatoren 7 und 8
liegt das Ausgangssignal des Phasenschiebers 6 mit einstellbarem
Phasenwinkel an.
Die Ausgangssignale der Demodulatoren 7 und 8 werden in
Übereinstimmung mit der Literatur als x-Kanal und y-Kanal
bezeichnet.
Fig. 2 zeigt Beispiele für Sensorsignale (x- und y-Kanal)
in der sogenannten "komplexen Impedanzebene". Dabei ist
mit N das Nutzsignal und S das Störsignal bezeichnet.
Wie man unmittelbar den gezeigten Beispielen entnehmen
kann, sind "je nach Drehung" der einzelnen Signale die
Größenrelationen zwischen den beiden Signalen unterschiedlich:
Beispielsweise kann das Nutzsignal sehr viel kleiner
als das Störsignal sein (linkes oberes Teilbild), in der
gleichen Größenordnung (linkes unteres Teilbild) oder
wesentlich größer als das Störsignal sein (rechtes Teil
bild).
Bei den herkömmlichen Wirbelstromsensoren erfolgt die
Signalauswertung in der in Fig. 3 dargestellten Weise:
Wie bereits ausgeführt, liegt das Sensordifferenzsignal
durch die zweifache Demodulation in den Demodulatoren 7
und 8 als Vektor in der komplexen Impedanzebene vor. Dabei
ist τ der Winkel, um den die x- und y-Achse gegenüber den
Achsen RE und IM der Impedanzebene durch die Phasenverschiebung
um den Winkel τ durch den Phasenschieber 6 gedreht
sind. Der Winkel τ wird am Phasenschieber 6 nun so
eingestellt, daß das Störsignal genau in Richtung der y-
Achse
zu liegen kommt. Der Kanal X, d. h. das Ausgangssignal
des Demodulators 7, wird dann über eine Triggerschwelle
zur Auswertung herangezogen.
Die vorstehende Beschreibung zeigt nochmals deutlich den
bereits einleitend ausgeführten Nachteil der bekannten
Wirbelstromsensoren, nämlich die Verschlechterung des
Nutz/Störsignal-Abstandes aufgrund der Tatsache, daß lediglich
die Projektion des Nutzsignals auf die x-Achse zur
Auswertung herangezogen wird.
Die Erfindung geht zur Verbesserung des Nutz-/Störsignal-
Abstandes von dem Grundgedanken aus, nicht nur den Kanal X
mit dem projizierten Nutzsignal, sondern beide Kanäle, d. h.
die Ausgangssignale der Demodulatoren 7 und 8 zur Auswertung
heranzuziehen.
Hierzu wird die xy-Ebene so gedreht, daß das Nutzsignal in
Richtung der x-Achse zu liegen kommt. Der Nullpunkt des
xy-Koordinatensystems liegt erfindungsgemäß nicht mehr im
Nullpunkt der "komplexen Impedanzebene" sondern wird so
verschoben, daß er in dem Arbeitspunkt des Sensors zu
liegen kommt.
Hierzu wird das Störsignal mit einem Filter unterdrückt,
der die Signale X und Y miteinander verknüpft:
c*Z=a*X-b*Y mit tan α=a/b
Dieses Filter unterdrückt alle Signale, die im Winkel α
zur x-Achse liegen. Der Faktor c beschreibt lediglich eine
Anpassung der Amplitude des verknüpften Signals an die
folgende Auswerteschaltung, beispielsweise an den Arbeitsbereich
eines A/D-Wandlers.
Fig. 5a zeigt eine Prinzipschaltung einer erfindungsgemäßen
Erweiterung der in Fig. 1 gezeigten Grundschaltung
eines Wirbelstromsensors.
Die an den Ausgangsanschlüssen der Demodulatoren 7 und 8
anstehenden Signale, d. h. das "x-Kanal- und das y-Kanal-
Signal" werden zunächst in Verstärkern 11 und 12 verstärkt
und dann in einem Substrahierer 11-12 voneinander subtrahiert.
Das Ausgangssignal des Substrahierers 11-12 wird von
einem Verstärker 13 verstärkt und ausgewertet (z-Kanal).
Durch Wahl der Verstärkungsfaktoren a und b der Verstärker
11 und 12 läßt sich der Winkel der vorstehend beschriebenen
Signalunterdrückung auf den Winkel α zwischen Nutz- und
Störsignal einstellen.
Fig. 5b zeigt ein erweitertes Blockschaltbild der erfindungsgemäßen
Weiterbildung des in Fig. 1 dargestellten
Wirbelstromsensors. Bei dieser Weiterbildung sind den
Verstärkern 11, 12 und 13 zusätzliche Signalverarbeitungsmodule
11′, 12′ und 13′ vorgeschaltet, die beispielsweise
eine Hochpaßfunktion, eine Tiefpaßfunktion, eine Differenzier-
oder Integrierfunktion haben können.
Durch die in den Fig. 5a und b dargestellten exemplarischen
Weiterbildungen der bekannten Wirbelstromsensoren
läßt sich eine automatisierte Auswertung der Wirbelstromsensor-
Ausgangssignale mit hohem Nutz-/Störsignal-Abstand
erreichen.
Dabei hat die erfindungsgemäße Auswertung insbesondere den
überraschenden Vorteil, daß der Winkel α für ähnliche
Werkstücke nahezu unabhängig von der Charge ist. Dies
bedeutet, daß die Größe tan α, d. h. das Verhältnis der
Verstärkungsfaktoren a/b der Verstärker 11 und 12 einmal
vor Ablauf einer automatisierten Prüfung eingestellt werden
kann und während der Prüfung auch bei einem Chargenwechsel
nicht mehr verändert werden muß.
Bei der automatisierten Erkennung von axialen Merkmalen an
rotationssymmetrischen Werkstücken z. B. von Schweißnähten
an längs geschweißten Rohren mit elektromagnetischen Meßverfahren,
d. h. mittels Wirbelstrom- bzw. Streuflußmessung,
stellt sich das zuästzliche Problem, daß sich die
elektromagnetischen Eigenschaften des Werkstoffes von
Werkstück zu Werkstück unterscheiden. Eine einfache Triggerschwelle
im z-Kanal in Fig. 5a und b ist damit für die
automatische Erkennung des Merkmals zu unsicher, da die
Schwelle laufend an unterschiedliche Werkstücke, beispielsweise
bei Chargen- und/oder Herstellerwechsel angepaßt
werden muß.
Deshalb ist erfindungsgemäß bei der Orientierung von axialen
Merkmalen eine Selbstkalibrierung vorgesehen, die nach
der Digitalisierung des Sensorsignals in einer Digital-
Funktionseinheit im Anschluß an den z-Ausgangsanschluß
hard- und/oder softwaremäßig realisiert werden kann.
Diese orientierende Selbstkalibrierung wird im folgenden
unter Bezugnahme auf Fig. 6 näher beschrieben:
In der ersten Phase, die auch als Selbstkalibrierungsphase
bezeichnet werden kann, wird das rotationssymmetrische
Werkstück um etwa 400° gedreht und die in dieser Zeit
auftretenden Spannungsmaxima und -minima gespeichert. Das
zu erkennende axiale Merkmal wird während dieser Phase
mindestens einmal überfahren. Das Spannungsmaximum repräsentiert
das Signal des gesuchten Merkmals. Beide Spannungswerte
werden über die Beziehung
UReferenz=umax-(umax-umin)*d
miteinander verknüpft.
In der zweiten Phase (Orientierung) wird das rotationssymmetrische
Werkstück weiter gedreht, bis das Signal die
Referenzspannung UReferenz wieder erreicht. Damit ist das
axiale Merkmal relativ zum Sensor orientiert.
Der Faktor d berücksichtigt dabei Meßunsicherheiten, die
durch mechanische, thermische oder elektrische Ungenauigkeiten
des Meßaufbaus verursacht werden. Bei einem Wert
von d von 0,05 werden beispielsweise bei höchstens dreimaligem,
direkt aufeinanderfolgenden Überfahren desselben
Merkmals Streuungen der Merkmalsamplitude um 5% der Gesamtamplitude
des Sensorsignals zugelassen.
Vorstehend ist die Erfindung exemplarisch ohne Beschränkung
des allgemeinen Erfindungsgedankens und/oder des
Anwendungsbereichs beschrieben worden. Dabei kann die im
Anspruch 1 gekennzeichnete Erfindung insbesondere bei
einer automatischen Erkennung von Wirbelstrom-Signalen mit
einer Triggerschwelle Verwendung finden. Die im Anspruch 5
angegebene erfindungsgemäße Ausgestaltung ermöglicht dabei in
vorteilhafter Weise die Orientierung von axialen Merkmalen
an rotationssymmetrischen Werkstücken, z. B. von Schweißnähten
an längs geschweißten Rohren und/oder Wandstärkenminima
an Innensechskantrohren.
Die im Anspruch 5 angegebene Weiterbildung kann aber auch
bei anderen Meßverfahren als Wirbelstromverfahren verwendet
werden, beispielsweise bei Orientierungsgeräten, die
mit Streuflußverfahren (beispielsweise unter Verwendung
von Hallsensoren) arbeiten.
Claims (6)
1. Wirbelstromsensor mit einer Meßspule, in deren magnetischem
Feld das zu erfassende Objekt angeordnet ist, und
einer Referenzspule sowie einem Sinusgenerator, dessen
Ausgangssignal an die Spulen angelegt ist, deren Ausgangssignale
mittels eines Subtrahierers voneinander subtrahiert
werden, dessen Ausgangssignal an einen ersten Demodulator
direkt und an einen zweiten Demodulator über einen
90°-Phasenschieber angelegt ist, wobei an den Demodulatoren
als zusätzliches Signal das über einen Phasenschieber
mit einstellbarem Phasenwinkel verschobene Ausgangssignal
des Sinusgenerators angelegt ist, und der Phasenwinkel so
gewählt ist, daß Störsignale in der so gebildeten Signalebene
eine bestimmte Richtung haben,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Ausgangssignal des ersten Demodulators über einen Verstärker mit einstellbarem Verstärkungsfaktor (a) und das Ausgangssignal des zweiten Demodulators über einen Verstärker mit einstellbarem Verstärkungsfaktor (b) an einen weiteren Subtrahierer angelegt ist, dessen Ausgangssignal (Utrig) beispielsweise über eine Triggerschwelle als Maß für das zu erfassende Objekt herangezogen wird, und
daß die Verstärkungsfaktoren a und b vor der Überprüfung einer Reihe von Objekten so eingestellt werden, daß zwischen dem vorgegebenen Winkel α zwischen Nutz- und Störsignal und den Faktoren a und b gilt: a/b=tan α
daß das Ausgangssignal des ersten Demodulators über einen Verstärker mit einstellbarem Verstärkungsfaktor (a) und das Ausgangssignal des zweiten Demodulators über einen Verstärker mit einstellbarem Verstärkungsfaktor (b) an einen weiteren Subtrahierer angelegt ist, dessen Ausgangssignal (Utrig) beispielsweise über eine Triggerschwelle als Maß für das zu erfassende Objekt herangezogen wird, und
daß die Verstärkungsfaktoren a und b vor der Überprüfung einer Reihe von Objekten so eingestellt werden, daß zwischen dem vorgegebenen Winkel α zwischen Nutz- und Störsignal und den Faktoren a und b gilt: a/b=tan α
2. Sensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das Nutzsignal in Richtung
einer Achse der gebildeten Signalebene liegt.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß dem weiteren Subtrahierer ein
weiterer Verstärker mit einstellbarem Verstärkungsfaktor
(c) nachgeschaltet ist.
4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß vor den beiden Verstärkern mit
einstellbarem Verstärkungsfaktor (a, b) und/oder dem
weiteren Verstärker Signalformerstufen vorgesehen sind.
5. Sensor nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die Signalformerstufen eine
Hochpaß-, Tiefpaß-, Differenzier- und/oder Integrierfunktion
haben.
6. Wirbelstromsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß zum Erkennen von axialen
Merkmalen, wie z. B. Schweißnähten bei ansonsten rotationssymmetrischen
Werkstücken zunächst das Werkstück um mehr
als 360° gedreht wird, und daß zum Positionieren des
Merkmals über der Meßspule das Werkstück anschließend so
gedreht wird, daß das Ausgangssignal Utrig des weiteren
Subtrahierers den Wert
Umax-[Umax-Umin] * derreicht mit d typischerweise: 0,01 . . . 0,25.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3817574A DE3817574A1 (de) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | Wirbelstromsensor |
AT89109240T ATE97739T1 (de) | 1988-05-24 | 1989-05-23 | Wirbelstromsensor. |
EP89109240A EP0343590B1 (de) | 1988-05-24 | 1989-05-23 | Wirbelstromsensor |
DE89109240T DE58906234D1 (de) | 1988-05-24 | 1989-05-23 | Wirbelstromsensor. |
US07/356,347 US5003262A (en) | 1988-05-24 | 1989-05-24 | Eddy current system with interference signal rejection |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3817574A DE3817574A1 (de) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | Wirbelstromsensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3817574A1 DE3817574A1 (de) | 1989-11-30 |
DE3817574C2 true DE3817574C2 (de) | 1992-07-23 |
Family
ID=6354994
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3817574A Granted DE3817574A1 (de) | 1988-05-24 | 1988-05-24 | Wirbelstromsensor |
DE89109240T Expired - Fee Related DE58906234D1 (de) | 1988-05-24 | 1989-05-23 | Wirbelstromsensor. |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE89109240T Expired - Fee Related DE58906234D1 (de) | 1988-05-24 | 1989-05-23 | Wirbelstromsensor. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5003262A (de) |
EP (1) | EP0343590B1 (de) |
AT (1) | ATE97739T1 (de) |
DE (2) | DE3817574A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004010362A1 (de) * | 2004-03-03 | 2005-09-22 | Austriamicrosystems Ag | Sensor, insbesondere Magnetfeldsensor, mit Störsignal-Kompensation und Verfahren zur Störsignal-Kompensation eines Sensors |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DK76293D0 (da) * | 1993-06-25 | 1993-06-25 | Brueel & Kjaer As | Forskydningstransducer |
US5514337A (en) * | 1994-01-11 | 1996-05-07 | American Research Corporation Of Virginia | Chemical sensor using eddy current or resonant electromagnetic circuit detection |
US7374477B2 (en) | 2002-02-06 | 2008-05-20 | Applied Materials, Inc. | Polishing pads useful for endpoint detection in chemical mechanical polishing |
US6924641B1 (en) * | 2000-05-19 | 2005-08-02 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for monitoring a metal layer during chemical mechanical polishing |
US6878038B2 (en) * | 2000-07-10 | 2005-04-12 | Applied Materials Inc. | Combined eddy current sensing and optical monitoring for chemical mechanical polishing |
US6602724B2 (en) | 2000-07-27 | 2003-08-05 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing of a metal layer with polishing rate monitoring |
US6608495B2 (en) | 2001-03-19 | 2003-08-19 | Applied Materials, Inc. | Eddy-optic sensor for object inspection |
US6966816B2 (en) * | 2001-05-02 | 2005-11-22 | Applied Materials, Inc. | Integrated endpoint detection system with optical and eddy current monitoring |
US6811466B1 (en) | 2001-12-28 | 2004-11-02 | Applied Materials, Inc. | System and method for in-line metal profile measurement |
US7016795B2 (en) * | 2003-02-04 | 2006-03-21 | Applied Materials Inc. | Signal improvement in eddy current sensing |
US6945845B2 (en) * | 2003-03-04 | 2005-09-20 | Applied Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing apparatus with non-conductive elements |
US7112960B2 (en) * | 2003-07-31 | 2006-09-26 | Applied Materials, Inc. | Eddy current system for in-situ profile measurement |
US7274253B2 (en) * | 2005-03-28 | 2007-09-25 | Broadcom Corporation | Transmitter apparatus with extended gain control |
US8337278B2 (en) * | 2007-09-24 | 2012-12-25 | Applied Materials, Inc. | Wafer edge characterization by successive radius measurements |
US8408965B2 (en) | 2008-10-16 | 2013-04-02 | Applied Materials, Inc. | Eddy current gain compensation |
JP5615831B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2014-10-29 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 縁部分解能強化渦電流センサ |
NZ598827A (en) * | 2009-09-22 | 2014-03-28 | Adem Llc | Impedance sensing systems and methods for use in measuring constituents in solid and fluid objects |
US9528814B2 (en) | 2011-05-19 | 2016-12-27 | NeoVision, LLC | Apparatus and method of using impedance resonance sensor for thickness measurement |
US9465089B2 (en) | 2011-12-01 | 2016-10-11 | Neovision Llc | NMR spectroscopy device based on resonance type impedance (IR) sensor and method of NMR spectra acquisition |
US8952708B2 (en) | 2011-12-02 | 2015-02-10 | Neovision Llc | Impedance resonance sensor for real time monitoring of different processes and methods of using same |
US11004708B2 (en) | 2016-10-28 | 2021-05-11 | Applied Materials, Inc. | Core configuration with alternating posts for in-situ electromagnetic induction monitoring system |
JP7055712B2 (ja) * | 2018-07-06 | 2022-04-18 | 株式会社東芝 | 渦電流探傷の信号処理装置、方法及びプログラム |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3588682A (en) * | 1967-11-28 | 1971-06-28 | Forster F M O | System for inspecting a welded seam with means for generating a signal which is a function of the welding temperature |
FR2195021B1 (de) * | 1972-08-03 | 1976-01-23 | Commissariat A En Atomique Fr | |
US3904957A (en) * | 1973-09-29 | 1975-09-09 | Foerster Inst Dr Friedrich | Eddy current test apparatus with peak signal value storage means |
US4128803A (en) * | 1977-04-29 | 1978-12-05 | Pni, Inc. | Metal detector system with ground effect rejection |
DE2825958C2 (de) * | 1978-06-14 | 1986-02-20 | Institut Dr. Friedrich Förster Prüfgerätebau GmbH & Co KG, 7410 Reutlingen | Magnetisches oder magnetinduktives Werkstoffprüfgerät mit Nullpunktkompensationseinrichtung |
US4424486A (en) * | 1980-10-14 | 1984-01-03 | Zetec, Inc. | Phase rotation circuit for an eddy current tester |
US4486713A (en) * | 1981-09-28 | 1984-12-04 | Gifford Jack D | Metal detector apparatus utilizing controlled phase response to reject ground effects and to discriminate between different types of metals |
US4514692A (en) * | 1982-05-03 | 1985-04-30 | Frl, Inc. | Metal detector and discriminator using differentiation for background signal suppression |
US4641092A (en) * | 1982-07-08 | 1987-02-03 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Rotary probe apparatus for detecting flaws in a test object |
US4603295A (en) * | 1982-07-15 | 1986-07-29 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Two-headed DC magnetic target proximity sensor |
JPS5975146A (ja) * | 1982-10-21 | 1984-04-27 | Chugoku X Sen Kk | 金属管の渦流探傷装置 |
JPS6039552A (ja) * | 1983-08-13 | 1985-03-01 | Shimadzu Corp | 渦流探傷装置 |
FR2570500B1 (fr) * | 1984-09-20 | 1987-03-20 | Siderurgie Fse Inst Rech | Procede et dispositif de detection de defauts typiques sur un produit en defilement, notamment pour la detection de criques sur une brame |
US4700139A (en) * | 1984-10-29 | 1987-10-13 | Garrett Electronics, Inc. | Metal detector circuit having selectable exclusion range for unwanted objects |
US4783630A (en) * | 1986-03-27 | 1988-11-08 | White's Electronics, Inc. | Metal detector with circuits for automatically screening out the effects of offset and mineralized ground |
-
1988
- 1988-05-24 DE DE3817574A patent/DE3817574A1/de active Granted
-
1989
- 1989-05-23 EP EP89109240A patent/EP0343590B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-05-23 AT AT89109240T patent/ATE97739T1/de not_active IP Right Cessation
- 1989-05-23 DE DE89109240T patent/DE58906234D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-05-24 US US07/356,347 patent/US5003262A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102004010362A1 (de) * | 2004-03-03 | 2005-09-22 | Austriamicrosystems Ag | Sensor, insbesondere Magnetfeldsensor, mit Störsignal-Kompensation und Verfahren zur Störsignal-Kompensation eines Sensors |
US7701207B2 (en) | 2004-03-03 | 2010-04-20 | Austriamicrosystems Ag | Sensor, in particular a magnetic field sensor, with interference compensation and method for interference compensation of a sensor |
DE102004010362B4 (de) * | 2004-03-03 | 2010-11-25 | Austriamicrosystems Ag | Sensor, insbesondere Magnetfeldsensor, mit Störsignal-Kompensation und Verfahren zur Störsignal-Kompensation eines Sensors |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0343590A3 (en) | 1990-07-25 |
EP0343590A2 (de) | 1989-11-29 |
DE3817574A1 (de) | 1989-11-30 |
US5003262A (en) | 1991-03-26 |
DE58906234D1 (de) | 1994-01-05 |
ATE97739T1 (de) | 1993-12-15 |
EP0343590B1 (de) | 1993-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3817574C2 (de) | ||
EP1847810B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Positionsdetektion | |
DE2637201C2 (de) | ||
DE3542159A1 (de) | Verfahren zur werkstoffpruefung nach dem wirbelstromprinzip und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE19838536A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Bildung eines oder mehrerer Magnetfeldgradienten durch einen geraden Leiter | |
DE2928899C2 (de) | Vorrichtung zur Bestimmung von Größe und Richtung der seitlichen Abweichung eines Prüfkopfes von der Mittellinie einer Schweißnaht | |
DE2732979C2 (de) | ||
DE2439122C3 (de) | Wirbelstrom-Prüfgerät | |
DE3525376C2 (de) | ||
EP1189058A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung eines Werkstücks mittels Wirbelströmen | |
DE2829784A1 (de) | Geraet zur materialbearbeitung mittels eines durch ein stoermagnetfeld verlaufenden ladungstraegerstrahles | |
DE3125732A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur werkstoffpruefung nach dem wirbelstromprinzip | |
EP0595117A1 (de) | Vorrichtung zum ortsaufgelösten, zerstörungsfreien Untersuchen von magnetischen Kenngrössen | |
DE2701857A1 (de) | Messbruecke fuer vorrichtung zur werkstoffpruefung | |
DE2952129A1 (de) | Vorrichtung zum testen und/oder messen elektrisch leitfaehiger, fester, fluessiger, oder pulverfoermiger materialien auf materialfehler, materialveraenderungen oder aenderung ihrer elektrischen eigenschaften | |
DE4122635B4 (de) | Einrichtung zur Defekterkennung bei Sensoren | |
EP3571703B1 (de) | Verfahren und anordnung zur bestimmung der ankerposition eines elektromagneten | |
DE3723360C2 (de) | ||
DE2219780C3 (de) | Schaltanordnung zum Messen auch sehr schwacher magnetischer Wechselfelder | |
DD220714A1 (de) | Vorrichtung zur messung der muef | |
DE2817574B2 (de) | Wirbelstrompriifsonde zur Untersuchung metallischer Werkstoffe auf Materialtrennungen und fehlerhafte Einschlüsse | |
DE3127455C2 (de) | Spulenanordnung zur Wirbelstromprüfung von Objekten mit ebenen oder gekrümmten Oberflächen | |
DE102010020784A1 (de) | Verfahren zum Erkennen von magnetisch gekennzeichneten Objekten sowie entsprechende Vorrichtung | |
DE4210394C2 (de) | Vorrichtung zur Messung von Magnetfeldern und Strömen | |
DE3403137C2 (de) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |