DE2952129A1

DE2952129A1 - Vorrichtung zum testen und/oder messen elektrisch leitfaehiger, fester, fluessiger, oder pulverfoermiger materialien auf materialfehler, materialveraenderungen oder aenderung ihrer elektrischen eigenschaften

Info

Publication number: DE2952129A1
Application number: DE19792952129
Authority: DE
Inventors: Bengt Hjalmar Toernblom
Original assignee: TOERNBLOMS KVALITETSKONTROLL
Current assignee: TOERNBLOMS KVALITETSKONTROLL
Priority date: 1978-12-28
Filing date: 1979-12-22
Publication date: 1980-07-10
Also published as: SE7813344L; GB2041535A

Description

"Vorrichtung zum Testen und/oder Messen elektrisch leitfähiger, fester flüssiger oder Pulverförmiger Materialien auf Materialfehler, Materialveränderungen oder Änderung ihrer elektrischen Eigenschaften."

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Testen und/oder Messen elektrisch leitfähiger, fester, flüssiger oder pulverförmiger Materialien auf Materialfehler , Materialveränderungen oder Änderung ihrer elektrischen Eigenschaften. Solche Vorrichtungen haben zumindest einen Generator, der wenigstens eine Frequenz erzeugt, die auf mindestens einen Meßfühler, beispielsweise eine Spule gegeben wird, um im Testobjekt mangnetische Felder aufzubauen, und mindestens einen Steuerschaltkreis zur automatischen Kompensation oder zum Ausgleich mindestens eines Signals oder einer Signalkomponente die direkt oder indirekt von den Meßfühlern stammt. Die erfindungsgemäße Vorrichtung erfasst auch äußere Einflüsse die Änderungen oder Abweichungen verursachen.

Testvorrichtungen ähnlicher Art sind bereits bekannt, bei denen zum Beispiel Wirbelströme in das Testobjekt induziert und Änderungen oder Abweichungen in beschränktem Maße durch Änderungen der Wirbelstromgebiete festgestellt werden können. Beeinträchtigungen werden hierbei häufig durch unerwünschte Signale verursacht, die das zu ermittelnde gewünschte Signal verdecken. Ein solches störendens Signal ist beispielsweise das jenige, welches direkt oder indirekt durch Lageänderungen des Meßfühlers

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in Bezug auf das elektrisch leitfähige Material hervorgerufen wird,was auch als Lift-Off bezeichnet wird.

In der Literatur werden auch induktiv arbeitende Vorrichtungen genannt, jedoch unterscheiden sich diese prinzipiell von der erfindungsgemäßen Vorrichtung.

Bei diesen bekannten Vorrichtungen werden aktive Filter verwendet, um unerwünschte Signale zu unterdrücken. Infolge des begrenzten Gütefaktors dieser Filter ist es jedoch schwierig, diese unerwünschten Signale wirksam zu unterdrücken, insbesondere wenn diese eine große Amplitude aufweisen. Außerdem erfordern Signale die durch große Lageänderungen hervorgerufen werden, eine hohe Dynamik, d.h. einen großen Betriebsbereich.

Wenn man gezwungen ist, mit einem zu großen Anteil an unerwünschten Signalen in der Signalverarbeitung zu arbeiten, werden die Meßergebnisse in ungünstiger Weise beeinflußt. Die Aufgabe der Erfindung ist es daher, diese und damit im Zusammenhang stehende Probleme zu lösen. Dies wird erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß bei einer Meßvorrichtung mit mindestens einem Generator zur Erzeugung mindestens zweier Frequenzen oder Frequenzkomponenten, welche über mindestens einen Meßfühler,-beispielsweise eine Spule,- gegeben werden wobei der Meßfühler so angeordnet ist, daß ein magnetisches Feld im Werkstück erzeugt wird und mit mindestens einem Steuerschaltkreis,- beispielsweise einem Steuerservo,- zur Kompensation,- beispielsweise zum automatischen Nullabgleich,- von zumindest zwei Signalen unterschiedlicher

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Frequenz oder Frequenzkomponenten, wobei die Signale direkt oder indirekt vom Meßfühler abgeleitet werden, daß die Kompensation in der Weise durchgeführt wird, daß Fehler z.B. dynamische Fehler, die durch sich verändernde Parameter (schwanken des Lift-Off, Temperatur- oder Abmessungsschwankungen) hervorgerufen werden, allgemein unterdrückt werden, so daß Änderungen oder Abweichungen besser geprüft oder gemessen werden können. Die Vorrichtung umfaßt dabei mindestens einen Steuerschaltkreis zur automatischen Kompensation, z.B. einem Abgleich von mindestens einem direkt oder indirekt vom Meßfühlers gegebenen Signals oder einer Signalkomponente.

Vorzugsweise ist, Steuergeschwindigkeit mindestens zweier Steuerfunktionen so eingestellt, daß relativ langsame Signalveränderungen ganz oder teilweise unterdrückt werden, während für schnelle Signalveränderungen, die durch Änderungen oder Schwankungen im Werkstück hervorgerufen sind, keine Zeit bleibt, um im gleichen Maße unterdrückt zu werden, so daß solche Signalveränderungen besser ermittelt und/oder gemessen werden können.

Eine einfache Ausführung der erfindungsgemäßen Vorrichtung die sich in der Praxis als nützlich erwiesen hat, besteht im wesentlichen aus einem Oberflächenmeßfühler, der sich über die Oberfläche eines Werkstückes bewegt, wobei sich der Abstand zwischen dem Meßfühler und dessen Oberfläche verändert, wenn Unregelmäßigkeiten in der Oberfläche festgestellt werden.Diese Lageänderungen (Abstandsänderungen) führen zu großen unerwünschten Störsignalen. Diese sind häufig von relativ niederer Frequenz. Wenn der

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Meßfühler über einen Riß, d.h. eine Fehlerstelle hinweggeführt wird, erzeugt dieser Riß ein Signal, welches verglichen mit dem Abstandssignal von relativ hoher Frequenz ist. Dies gilt solange die Abmessungen des Meßfühlers im Vergleich zur Störstelle relativ klein oder begrenzt sind, was sehr häufig der Fall ist. Durch Kompensation des Meßfühlersignales zu einer relativ frühen Zeit vor dem sich anschließenden Signalverarbeitungsprozess wird mit einem automatischen Verfahren, mit einer sogenannten langen Zeitkonstante (z.B. ein Steuerservo) eine Unterdrückung der unerwünschten Signale erreicht, während das Signal oder die Signale,die durch den Defekt oder den Riß hervorgerufen werden, relativ unbeeinflußt bleiben und auf diese Weise angezeigt werden können.

Häufig werden mehrere Frequenzen verwendet, wie z.B. bei der Vorrichtung gemäß dem schwedischen Patent Nr. 75 o7 857/6, wobei es ebenfalls vorteilhaft ist, unerwünschte Signale für die entsprechenden Frequenzen selektiv selbsttätig zu kompensieren. Dies erfordert, daß die Steuerschaltung für die jeweilige Frequenz die gleiche Zeitkonstante (Regelgeschwindigkeit) aufweist, da andernfalls ein sogenannter dynamischer Fehler entsteht, der durch unzureichende Nachführung erzeugt wird. Aufeinander abgestimmte Zeitkonstanten gehören auch zu den frequenzabgestimmten Steuerkreisen, d.h. das die Steuerschaltungen beispielsweise bestimmte Frequenzen verstärken oder unterdrücken.

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Eine Ausführungsform der Erfindung wird in der folgenden Beschreibung anhand der beigefügten Zeichnungen im einzelnen erläutert. Dabei zeigt

Fig. 1 ein Blockschaltbild der erfindungsgemäßen Vorrichtung;

Fig. 2 einen Meßfühler über der zu prüfenden Oberfläche und die sich ergebenden Spannungsverläufe im unkompensierten Fall D und im kommpensierten Fall B

Fig. 3 ein Blockschaltbild des Steuerkreises 5 in Fig. 1.

In der Praxis ist es sehr häufig vorteilhaft, die Kompensation durchzuführen, bevor das Signal vom Meßfühler weiter verarbeitet, beispielsweise gleichgerichtet wird, wie es aus Fig. 1 zu ersehen ist, in der die erfindungsgemäße Vorrichtung in mehreren Einzelheiten dargestellt ist. Wie aus der folgenden Beschreibung hervorgeht, ist es am günstigsten, wenn relative Bewegungen zwischen dem Meßfühler und dem zu überprüfenden, oder durchzumessenden Material auftreten. Diese Relativbewegung tritt in der Praxis sehr oft auf, sie kann gegebenenfalls auch künstlich erzeugt werden, beispielsweise indem der Meßfühler mit einer bestimmten Geschwindigkeit vorwärts und rückwärts bewegt wird.

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Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist in Fig. 1 exemplarisch dargestellt, wobei der Oberflächenmeßfühler 2 mit einer Spannung mit einem bestimmten Frequenzinhalt aus dem Generator 1 versorgt wird. Die Sekundärspannung des Meßfühlers wird über den Summationspunkt 3 einem nachfolgenden

Verstärker 4 zugeführt, welcher gegebenenfalls auch mit Filtern o.dgl. ausgestattet ist. Das Ausgangssignal des Verstärkers 4, bildet das Eingangssignal für die Steuerschaltung 5 deren Ausgangssignal über den Summationspunkt 3 die Sekundärspannung bzw. den Sekundärstrom, der Sekundärwicklung des Meßfühlers kompensiert. Das mit Hilfe dieses relativ langsamen Regelvorganges kompensierte und verstärkte Meßfühlersignal, welches noch Einflüsse vom zu testenden Material beinhaltet, wird anschließend gleichgerichtet, beispielsweise mit einem phasengesteuerten Gleichrichter 6.

Im Prinzip ist auf diese Weise eine Schaltung entstanden, die am ehesten mit einem komplizierten Filter, mit speziellen Eigenschaften in Bezug auf die Dynamik u.dgl. verglichen werden kann. Ein zusätzlicher Vorteil besteht darin, daß die Phasendiskrimination wie sie beispielsweise im schwedischen Patent Nr. 76 13 7o8/2 beschrieben ist, sehr viel leichter durchgeführt werden kann, wenn der sogenannte Lift-Off Vektor vor der Diskrimination unterdrückt wird, was die Ergebnisse der Messung wesentlich verbessert. Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß langsame Temperaturänderungen usw. häufig vollständig unterdrückt oder eliminiert werden können, da diese eine sehr geringe Frequenz aufweisen.

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Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird mit Vorteil dann eingesetzt, wenn mehrere Frequenzen verwendet werden, beispielsweise wenn es erforderlich ist, die Rißtiefe o.dgl. zu ermitteln. Es können dabei beispielsweise mehrere Frequenzen gleichzeitig miteinander gemischt werden, die dann während der Signalverarbeitung mit Filtern voneinander getrennt werden, so daß im Anschluß daran jede Frequenz für sich kompensiert werden kann. Es kann dabei auch ein Multiplexverfahren zum Einsatz gelangen. Diese konventionelle Analogschaltung läßt sich auch durch Computer mit geeigneten Adaptern ersetzen, wenn es darum geht andere erfindungsgemäße Ausführungsformen der Erfindung zu schaffen.

Phasengesteuerte Steuerschaltungen können beispielsweise bestimmte Variablen selektiv kompensieren beispielsweise den Lift-Off Vektor, was besonders dann vorteilhaft ist, wenn es darum geht, andere Signale oder Vektoren möglichst wenig zu stören.

In der Praxis ist es unter gewissen Umständen nützlich zu kompensieren, beispielsweise wenn ein vorher bestimmter Grenzwert überschritten wird, beispielsweise in Bezug auf den Modulationsgrad. Typische Anwendungsfälle der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind das überprüfen von Werkstücken oder Gegenständen auf Risse oder andere Fehler, beispielsweise von Schienen, Röhren usw.. In diesen Anwendungsfällen können sowohl Oberflächenmessfühler

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als auch solche verwendet werden, die tiefer in das Werkstück eindringen können, was vom jeweiligen Testmaterial bzw. Testgegenstand abhängig ist,

Die in der Meßvorrichtung mehrfach auftretende Steuerschaltung ist ziemlich kompliziert aufgebaut und enthält beispielsweise phasengesteuerte Gleichrichter, Integratoren, variable Widerstände usw.. Der Steuerschaltkreis erzeugt dabei einen oder mehrere Sektoren, welche beispielsweise dem Meßfühlersignal entgegengesetzt sind, so daß am Kompensations- oder Summationspunkt 3 in Fig. die Kompensation erreicht wird.

Der Ausdrück Meßfühlersignal ist hier so zu verstehen, daß darin das Beeinflussen des Testmaterials über eine elektrische Kopplung zwischen Meßfühler und Testmaterial eingeschlossen ist.

In Fig. 2 ist ein Oberflächenmeßfühler A dargestellt, der über eine Oberfläche B bewegt wird, in welcher sich ein Riß C befindet, der ermittelt werden soll. Außerdem ist das nichtkompensierte Meßfühlersignal D und das kompensierte Meßfühlersignal E in Bezug zur Abstandsänderung dargestellt. Das Lift-Off Signal welches durch die Abstandsänderungen hervorgerufen wird, ist wie ersichtlich von erheblich geringerer Frequenz als das Fehlersignal. In einer herkömmlichen Schaltung würde das Lift-Off Signal wahrscheinlich zu einer Übersteuerung der Eingangsverstärker führen, die hier im einzelnen nicht dargestellt

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sind, da es hier nur um den Kompensations und Regelungsvorgang geht. Das kompensierte Meßfühlersignal wird vorzugsweise einem aktiven Filter zugeführt, welcher auf die tatsächliche Fehlersignalfrequenz eingestellt ist, was die Meßergebnisse weiter verbessert.

Zusammenfassend läßt sich sagen, daß die vorliegende Erfindung das schwedische Patent Nr. 75 o7 857/6 und die schwedische Patentanmeldung Nr. 76 13 7o8/2 ergänzt, wenn zwischen dem zu überprüfenden Material und dem Meßfühler Relativbewegungen auftreten. Natürlich läßt sich die Erfindung innerhalb der durch die Ansprüche festgelegten Grenzen in beliebiger Weise abwandeln.

Da es in zunehmendem Maße gewünscht wird, eine Signaldeutung durchzuführen, wird es insbesondere bei der zerstörungsfreien Materialprüfung mehr und mehr üblich, mit mehreren Frequenzen zu arbeiten, beispielsweise um die Tiefe von Rissen o.dgl. festzustellen. Dies ist der Grund dafür, daß die erfindungsgemäße Vorrichtung an erster Stelle für die Verwendung mehrerer Frequenzen eingerichtet ist, d.h. daß die Steuerschaltung Kompensationseinrichtungen für mehr als eine Frequenz gleichzeitig enthält, was häufig dazu führt, daß mehrere Steuerfunktionen unabhängig voneinander durchgeführt werden müssen. Weiterhin ist es wichtig zu bemerken, dass die Nachführung der Steuerfunktionen häufig und oft sogar synchron erfolgen muß, damit keine dynamischen Fehler entstehen können, die beispielsweise dann auftreten, wenn insbesondere bei schnellen Vorgängen die Steuerfunktionen zeitlich zurückhängen. Es gibt bereits Vorrichtungen, bei denen eine Kompensation beispielsweise mit einer

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Brückenschaltung für eine Frequenz durchgeführt wird, wobei eine langsame mechanische Nachführung folgt. Die Aufgabe derartiger Einrichtungen liegt jedoch nicht im Unterdrücken unerwünschter Signale, wie beispielsweise das Lift-Off Signal sondern sie besteht einzig und allein darin, einen Fixpunkt bzw. Ausgangspunkt für die nachfolgende Messung festzulegen. Dieses Problem wird bei der vorliegenden Erfindung erheblich schwieriger, da hier eine optimale Steuergeschwindigkeit in Bezug auf die Relativbewegung des Meßfühlers erforderlich ist, wobei dann mehrere Frequenzen gleichzeitig kompensiert werden müssen und die Steuerschaltungen dann beispielsweise in Bezug auf ihre Steuergeschwindigkeit eine Nachführgeschwindigkeit aufweisen müssen, die einen Mittelwert darstellt.

Bei bekannten Vorrichtungen wird die Kompensation meist so durchgeführt, daß der Meßfühler in irgendeiner Weise mit einer Brückenschaltung verbunden ist, auf die gleichzeitig solange eine Steuerschaltung einwirkt, bis das Gleichgewicht hergestellt ist. Ein eleganterer Weg ist es natürlich, den gewünschten Kompensationsvektormit zumindest zwei voneinander unabhängigen Phasen (d.h. 0° und 90°) zu erzeugen, wie es aus Fig. 1 hervorgeht. Wenn der Signalverarbeitungsvorgang frequenzselektiv gemacht wurde, ist es sehr einfach, diese Vektorerzeugung zu vervielfachen, so daß jede (Träger) Frequenz ihren eigenen Kompensationsvektor erhält.

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Das in Fig. 2 dargestellte kompensierte Signal E zeigt sehr deutlich das von dem Riß hervorgerufene Signal. Normalerweise hat dieses Signal die Form einer halben Periode, da aber die Steuerschaltung auch dieses Signal auszuregeln versucht, nimmt es die Form einer vollen Periode o.dgl. an. Dies ist von Vorteil, da dann der sich anschließende Filter einen höheren Gütefaktor aufweisen kann, so daß das durch den Riß erzeugte Signal sehr viel besser verstärkt werden kann.

Der Ausdruck " zumindest ein vom Meßfühler direkt oder indirekt erhaltenes Signal " beinhaltet auch Signalkombinationen d.h. zusammengesetzte Signale wie sie beispielsweise bei Fourier Transformationen auftreten, wobei dann natürlich die gesamte Signalkombination kompensiert wird. Diese Kompensation findet meistens später im Signalverarbeitungsvorgang statt und meistens nach der Gleichrichtung der Signale. Beispiele für eine solche Transformation erscheinen in der schwedischen Patentanmeldung Nr. 76 13 7o8/2.

In den Fällen, in denen eine solche Vektortransformation stattfindet, beispielsweise nach den Libby*s-Verfahren oder nach dem der schwedischen Patentanmeldung Nr. 76 13 7o8/2, um unerwünschte Signale zu unterdrücken, bildet die vorliegende Erfindung eine gute Ergänzung beispielsweise durch das Merkmal, daß der sogenannte Lift-Off Vektor durch die Kompensation schon von Anfang an zu

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einem Minimum gemacht wird, so daß geringere Anforderungen an die Transformation gestellt werden, was die Meßergebnisse erheblich verbessert.

Es lassen sich beispielsweise Vektoren oder Funktionen davon kombinieren, was nach einer phasenselektiven Gleichrichtung zu mindestens zwei Frequenzen führt, so daß sich eine maximale Empfindlichkeit für Störstellen ergibt, woraufhin dann mit Hilfe der Steuerfunktion der gesamte Funktionenkomplex kompensiert werden kann, um die Lift-Off Abhängigkeit zu unterdrücken.

Der Ausdruck Vektortransformation umfaßt alle Prinzipien bei denen aus mindestens zwei Frequenzen oder Frequenzkomponenten, Informationen zum Testen oder Messen benutzt werden.

Mit der Vektortransformation ist ein Verfahren oder eine Vorrichtung zur Fehlererkennung ergriffen worden, bei der mehr als ein Frequenz oder Frequenzkomponenteverwendet wird und bei der eine phasenempfindliche Gleichrichtung (Phasendiskrimination) in beliebiger Art stattfindet, beispielsweise mit phasenempfindlichen Gleichrichtern. Beispiele hiervon, sind zu finden in H.L. Libby, "Multiparameter Eddy Current Concepts" und im schwedischen Patent Nr. 75 o7 857/6 und in der schwedischen Patentanmeldung 76 13 7o8/2. Bei Libby wird ein Mehrparameter-Wirbelstromtestgerät beschrieben, welches ein typisches

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Beispiel für das darstellt, was hier mit Vektortransformationen gemeint ist. Dies bekannte Verfahren basiert auf zwei festgelegten Arbeitspunkten im Impedanz der Meßfühler. Falls dieses Verfahren nun mit einer automatischen Kompensation kombiniert wird, wie sie durch die vorliegende Erfindung gegeben ist, werden bewegliche oder dynamische Arbeitspunkte erzielt, was im Vergleich zu dem beschriebenen Verfahren mit festen Arbeitspunkten von Vorteil ist.

Der hier verwendete Ausdruck "Nachführung" oder "Nachführbarkeit" bezieht sich auf Steuerabfolgen oder Steuereigenschaften, die für jede einzelne Frequenz keine wesentlichen dynamischen Meßfehler ergeben, beispielsweise in Verbindung mit einer Kompensation des sich verändernden Abstandes. Außerdem wird darunter die Fähigkeit zu schnellen Steuerungsaktionen verstanden.

Die Steuerschaltung 5 in Fig. 1 kann so aufgebaut sein, wie es in Fig. 3 dargestellt ist, wobei der Einfachheit halber anstelle zahlreicher Frequenzen nur die beiden Frequenzen w1 und w2 auftreten. In den Frequenzfiltern 7 und 8 werden die Frequenzen w1 und w2 voneinander getrennt. Mit Hilfe der Spannungsteiler 9 und 1o wird die Eingangsspannung eingestellt. Die Blöcke 11 bis 14 enthalten alle phasenempfindliche oder phasengesteuerte Gleichrichter, die mit den Steuersignalen F1 und F2 versorgt werden, die vom Meßfühlergenerator 1, in Fig. 1 stammen. Mit den Blöcken 15 bis 18 sind Integratoren

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dargestellt, mit den jeweiligen Zeitkonstanten von T1 und T2. Die Blöcke 19 bis 22 stellen veränderbare Widerstände dar, welche jeweils mit einem konstanten Signal der Frequenz w1 und w2 versorgt werden. Die Ausgangssignale dieser Widerstände 19 bis 22 werden in einem Summenverstärker 23 addiert, dessen Ausgangssignal zur Kompensation des Meßfühlersignals zum Summationspunkt 3 geleitet wird.

Durch die geeignete Auswahl der F1, F2 und T1, T2 und der Eigenschaft des Steuerservos, wird die gewünschte Nachführbarkeit während der Kompensation gewährleistet.

In den Fig. 1 und 3 ist nur ein Beispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt, die sich in großem Umfang abwandeln läßt. Mehrere der hier durch einzelne Schaltkreise erzeugten Funktionen lassen sich auch mit programmgesteuerten Rechnern herstellen.

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Claims

UNSER ZEICHEN OUR REF. Törnbloms Kvalitetskontroll AB Vikhus Ryttarne S- 7259ο Västeras Vorrichtung zum Testen und/oder Messen elektrisch leitfähiger, fester, flüssiger oder pulverförmiger Materialien auf Materialfehler, Materialveränderungen oder Änderungen ihrer elektrischen Eigenschaften. Patentansprüche: ί—-"-gg-F—--—— ^H?-^- m .. ■——» — — mι i.^-—■ — — — — — —.— — — —

1) Vorrichtung zum Testen und/oder Messen elektrisch leitfähiger, fester, flüssiger oder pulverförmiger Materialien auf Materialfehler, Materialveränderungen oder Änderungen ihrer elektrischen Eigenschaften, mit mindestens einem Generator zur Erzeugung mindestens zweier Frequenzen oder Frequenzkomponenten, welche über mindestens einen Meßfühler, beispielsweise eine Spule gegeben werden, die so angeordnet ist, daß ein magnetisches Feld im Werkstück erzeugt wird und mit mindestens einem Steuerschaltkreis,- beispielsweise einem Steuerservo-, zur Kompensation,- beispielsweise zum automatischen Nullabgleich, -von zumindest zwei Signalen unterschiedlicher

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ORIGINAL

Frequenz oder Frequenzkomponenten, wobei die Signale direkt oder indirekt vom Meßfühler abgeleitet werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensation in der Weise durchgeführt wird, daß Fehler z.B. dynamische Fehler, die durch sich verändernde Parameter (schwanken, des Lift-off, Temperatur- oder Abmessungsschwankungenhervorgerufen werden, allgemein unterdrückt werden, so daß Änderungen oder Abweichungen besser geprüft oder gemessen werden können.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die Steuergeschwindigkeit mindestens zweier Steuerfunktionen so eingestellt ist, daß relativ langsame Signalveränderungen ganz oder teilweise unterdrückt werden, während für schnelle Signalveränderungen, die durch Änderungen oder Schwankungen im Werkstück hervorgerufen sind, keine Zeit bleibt, um im gleichen Maße unterdrückt zu werden, so daß solche Signalveränderungen besser ermittelt und/oder gemessen werden können.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Meßfühler sich relativ zum Werkstück bewegt, beispielsweise mit einer bestimmten Geschwindigkeit.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1-3 dadurch gekennzeichnet, daß die ganz oder teilweise zu unterdrückenden Signalveränderungen durch eine veränderliche Stellung des Meßfühlers, beispielsweise des Abstandes des Meßfühlers vom Testmaterial hervorgerufen werden.

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5. Vorrichtung nach Anspruch 1-4 dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Steuerschaltkreis eine programmierbare Elektronik, z.B. einen Computer einschließt.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1-5 dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensation selektiv erfolgt, beispielsweise in Bezug auf eine bestimmte Variable (Lift-Off).

7. Vorrichtung nach Anspruch 1-6 dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensation intermittierend erfolgt, beispielsweise bei Vorhandensein bestimmter Bedingungen.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1-7 gekennzeichnet durch den Einschluß der sogenannten Vektor-Transformation.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1-8 dadurch gekennzeichnet, daß die Vektor-Transformationund die Kompensation kombiniert sind.

10. Vorrichtung nach Anspruch 1-9 dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein unerwünschtes Signal oder eine Signalkombination bis zu einem gewissen Grade durch die Steuer-Kompensations-Funktion nicht und das verbleibende Signal oder die Signalkombination direkt oder indirekt zur weiteren Unterdrückung des unerwünschten Signals oder der Signalkombination mittels der Vektor-Transformation unterdrückt wird.

11. Vorrichtung nach Anspruch 1-1o dadurch gekennzeichnet, daß die automatische Kompensation mindestens eines Signals oder einer Signalkomponente, welche direkt oder indirekt vom Meßfühler kommt vor der Gleichrichtung, z.B. einer phasengesteuerten Gleichrichtung und/oder der Vektor-Transformation ausgeführt wird.

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