DE3814706A1 - Verfahren zur abscheidung einer duennen metallischen schutzschicht auf einem galvano - Google Patents
Verfahren zur abscheidung einer duennen metallischen schutzschicht auf einem galvanoInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur
Abscheidung einer dünnen metallischen Schutzschicht auf
der Informationsseite eines Galvanos, das zunächst
gereinigt, passiviert und gespült und danach mit der
Schutzschicht versehen wird und auf eine Vorrichtung zur
Durchführung dieses Verfahrens.
Ein derartiges Verfahren ist durch die DE-PS 30 35 690
bekannt geworden. Bei diesem bekannten Verfahren erfolgt
die Reinigung, Spülung, Passivierung und erneute Reinigung
des mit der Information versehenen Galvanos im Rahmen der
sogenannten Vorbehandlung. Diese Vorbehandlung läuft unter
Reinluftbedingungen ohne Verunreinigungen durch Fremd
partikel aus der Umgebung ab. Dazu dient eine besondere,
in sich abgeschlossene Reinigungs-, Passivierungs- und
Spülanlage. Im Anschluß an den letzten Spülgang der
Vorbehandlung erfolgt dann das Aufbringen der Schutz
schicht in dem Galvanikbad, und zwar in einem räumlich und
verfahrenstechnisch von der Vorbehandlung getrennten,
gesonderten Verfahrensabschnitt.
Bei dem bekannten Verfahren ist das Galvanikbad Bestand
teil einer mehrere Galvanikzellen umfassenden Galvanisier
anlage, die nicht in einer Reinluftatmosphäre steht und
somit durch Fremdpartikel aus der Umgebung verunreinigt
werden kann. Jede dieser Zellen enthält ein Galvanisier
bad, in dem jeweils nur ein Galvano verarbeitet werden
kann. Jede Zelle enthält ferner eine besondere Aufnahme-
und Drehvorrichtung für ein in die Zelle eingesetztes
Galvano. Zur Erzielung einer großen Kapazität der
Galvanikanlage ist eine große Anzahl von Zellen erforder
lich. Somit ergibt sich eine große räumliche Ausdehnung
der Galvanikanlage und eine große Entfernung von der Spül
anlage der Vorbehandlungseinrichtung. Zum Galvanisieren
werden die nassen Galvanos aus dem letzten Spülbad
entnommen und in das Galvanikbad transportiert. Während
der dabei entstehenden Verweilzeit kann Staub auf die
ungeschützten, zu galvanisierenden Informations-Ober
flächen der Galvanos fallen. Insbesondere aber kann der
auf der Galvano-Oberfläche befindliche Wasserfilm
abreißen, d. h. die die Information enthaltende Oberfläche
kann antrocknen. Dadurch können störende, die Information
verfälschende Beläge und Flecken auf der Galvano-Ober
fläche entstehen. Diese Gefahr versucht man bei dem
bekannten Verfahren dadurch zu vermindern, daß die
Galvanos von der Spülstation in einem speziellen Wasser
behälter zu der Galvanikanlage transportiert werden. Dies
ist umständlich, zeitraubend und kann die Gefahr von
Verunreinigungen nicht ausschließen. Ferner können beim
Transport und Kontaktieren im galvanischen Bad Hand
habungsfehler, z.B. Fingerabdrücke, oder Beschädigungen
der Oberfläche durch Hilfsgeräte und Transportgeräte
entstehen. Wollte man diese Gefahren vermindern, so müßte
auch die gesamte Galvanikanlage unter Reinluftbedingungen
betrieben werden. Dies würde wegen der großen räumlichen
Ausdehnung einen unverhältnismäßig großen Aufwand
bedeuten.
Bei dem bekannten Verfahren dient das Galvanikbad in der
Galvanisieranlage sowohl zur Herstellung der genannten
dünnen Schutzschicht im Rahmen der Vorgalvanisierung als
auch zur Verstärkung dieser Schutzschicht im Rahmen einer
Hauptgalvanisierung, z. B. zum Ziehen eines Positivs oder
einer Preßmatrize. Vor- und Hauptgalvanisierung erfolgen
also in ein und demselben Bad. Dabei sind die
Abscheidungsbedingungen aus verfahrenstechnischen Gründen
grundsätzlich auf die Hauptgalvanisierung abgestimmt. Aus
diesem Grund können optimale Abscheidungsbedingungen für
die erste dünne Galvanoschicht, die zur Abbildung der
Information benötigt wird, nicht gewährleistet werden.
Diese erste Schicht ist aber die wichtigste, denn sie muß
die Oualität der Informationsoberfläche gewährleisten. Für
die genannten Abscheidungsbedingungen sind insbesondere
die Temperatur und der PH-Wert maßgebend, unter denen die
Galvanikbäder betrieben werden. Um bei dem bekannten
Verfahren eine qualitativ hochwertige Schutzschicht ohne
Poren und Verunreinigungen zu erhalten, erfolgt die
Vorgalvanisierung über einen relativ kurzen Zeitraum
(z.B. einige Minuten) bei relativ kleinen Stromdichten.
Nach Bildung der Schutzschicht wird dann der Strom im
Rahmen der Hauptgalvanisierung für einen größeren Zeitraum
(ca. 1 1/2 Stunden) auf große Stromdichten zur Erzeugung
einer zweiten dickeren Schicht erhöht. Die Oualität dieser
Schicht braucht nicht so gut zu sein, da die Information
ja bereits durch die erste Schutzschicht geschützt ist. Um
gleiche mechanische Eigenschaften in beiden Verfahrens
schritten zu erhalten, müßte bei der Vorgalvanisierung die
Temperatur niedriger sein als bei der Hauptgalvanisie
rung. In der Praxis fährt man jedoch mit einer einzigen,
konstanten Temperatur und einem konstanten PH-Wert, da
eine Temperaturregelung und entsprechende PH-Regelung für
die Vor- und Hauptgalvanisierung technisch nur schwer
und wirtschaftlich nicht realisierbar ist. Dies hat zur
Folge, daß das Galvanisierbad chemisch aus dem Gleichge
wicht gerät und der Niederschlag in der Vorgalvanisier
phase nicht die optimalen Abscheidungsbedingungen
erfüllt. Ferner sind in einem derartigen Hauptgalvani
sierbad immer sehr viel Festpartikel aus dem Anoden
material in der Lösung, so daß zur Erzielung einer
qualitativ hochwertigen dünnen Schicht in der Vorgalvani
sierungsphase ein hoher Filtrieraufwand erforderlich ist.
Überdies ist eine Rotation der als Kathode geschalteten
Galvanos erforderlich, um die Bildung von Pickeln und
Poren durch Gasbläschen zu vermeiden.
Wie oben bereits erwähnt, muß die erste, galvanisch
aufgebrachte Schicht von höchster Qualität sein, da damit
die Information abgebildet wird. Um die Informationsseite
des Galvanos gegen Staub, Abtrockenung und dergl. zwischen
erfolgter Vorbehandlung (Reinigen und Spülen) und dem
ersten Galvanisierschritt zu schützen, reicht jedoch
bereits eine sehr dünne Schicht aus, deren Stärke etwa in
der Größenordnung von einigen Angström liegt. Nach dem
bisher bekannten Verfahren erfolgt das Aufbringen der
ersten Schicht in einem Galvanisierbad, das dafür von Haus
aus überhaupt nicht ausgelegt und geeignet ist. Einerseits
ist das für die Hauptgalvanisierung ausgelegte Bad
energiemäßig zur Bildung der hauchdünnen ersten Schutz
schicht völlig überdimensioniert. Zum anderen muß das für
die Hauptgalvanisierung ausgelegte Bad mit einem großen
Filtrieraufwand betrieben werden, um die für das Aufbrin
gen der ersten Schicht erforderliche höchste Reinheit zu
erhalten. Diese Reinheit und damit der hohe Filtrierauf
wand wären jedoch für die Hauptgalvanisierung überhaupt
nicht erforderlich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem
Verfahren der eingangs genannten Art die Herstellung der
Schutzschicht zu vereinfachen und die Qualität der Schutz
schicht zu verbessern. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst,
daß die Abscheidung der Schutzschicht unmittelbar nach dem
letzten Spülgang in mindestens einem in die Vorbehandlung
einbezogenen Verfahrensschritt erfolgt und daß die
Abscheidungsbedingungen speziell auf die Abscheidung
dieser Schutzschicht abgestimmt sind. Damit entfällt also
jeglicher Transport des mit der ungeschützten Informa
tionsschicht versehenen Galvanos, so daß weder Verschmut
zungen auf der Oberfläche noch Beläge oder dergl. als
Folge von Antrocknung der Oberflächen entstehen können.
Bei diesem, in die Vorbehandlung einbezogenen Verfahrens
schritt erfolgt eine Metallisierung der mit der Informa
tion versehenen Seite des Galvanos in der gewünschten
Schichtdicke. Diese Schicht braucht nur so dick zu sein,
daß gerade die Informationsoberfläche des Galvanos durch
gehend geschlossen ist. Die Dicke dieser Schicht kann sich
im Bereich von einigen Angström bewegen. Die Metalli
sierung erfolgt in absolut reiner Luft. Zum Aufbringen
dieser dünnen Schicht ist ferner nur ein Minimum an
Energie erforderlich. In einer bevorzugten Ausführungsform
erfolgt die Abscheidung der Schutzschicht galvanisch in
mindestens einer Abscheidungszelle, die zweckmäßig in die
Reinigungs-, Passivierungs- und Spüleinrichtung integriert
ist. Dabei genügt zum Aufbringen einer derart dünnen
Schicht eine sehr geringe Stromdichte, eine geringe
Temperatur des Galvanisierbades und insgesamt eine Galva
nisierzelle mit geringem Volumen. Das Galvano wird ledig
lich eingetaucht, ohne daß eine Drehbewegung erforderlich
wäre. Die Zeit zum Aufbringen der sehr dünnen Metall
schicht ist gering, der Elektrolyt braucht nur wenig
gewartet zu werden, da wegen der niedrigen Stromdichten
nur geringe Mengen an Elektrolytzersetzungsprodukten und
wenige Festpartikel aus dem Anodenmaterial anfallen.
Die Galvanisierzeit kann in etwa gleich der Taktzeit der
Reinigungs- und Passivierungsanlage, aber auch unter
schiedlich sein. In Ausgestaltung der Erfindung wird das
mit der Schutzschicht versehene Galvano der Abscheidungs
zelle innerhalb der Vorbehandlungseinrichtung entnommen
und ohne Abspülung, mit einem Abschirmring am äußeren Rand
ringsum versehen, in ein weiteres Galvanisierbad
gebracht. Dort wird die in dem ersten Verfahrensschritt
als Vorgalvanoschicht aufgebrachte sehr dünne Metall
schicht zu der gewünschten Dicke verstärkt. Dabei wird das
Galvano mit der zuerst aufgebrachten dünnen Metallschicht
nicht abgespült, so daß der Elektrolyt des ersten Bades
auf der Schicht haften bleibt. Damit wird eine Passi
vierung vermieden, d.h. der anhaftende Elektrolyt hat die
Wirkung eines Schutzfilmes
und eines Aktivators gleichzeitig. Diese Eigenschaften
bewirken eine gute Haftung zwischen der ersten und der
zweiten galvanisch abgeschiedenen Metallschicht. Wie
Erfahrungen gezeigt haben, erfolgt bei dem Transport von
dem ersten Bad aus der Vorbehandlungseinrichtung in das
zweite Hauptgalvanisierbad keine Verunreinigung in Form
von Flecken oder Belägen.
Sehr stark vereinfacht wird dieses Verfahren, wenn beide
Schritte miteinander in einem Durchlauf-Automaten verbun
den sind, bei dem der letzten Spülzelle eine entsprechend
lange Abscheidungszelle nachgeschaltet ist, in der der
gesamte Galvanisierungsprozeß im Durchlaufverfahren
abläuft. In einer solchen Galvanisieranlage ist als
letzter Prozeßschritt das Spülen und Trocknen des Galvano
paketes (Vater oder Mutter mit aufgalvanisiertem Galvano)
vorgesehen. Da die abzubildende Galvano-Oberfläche sofort
nach dem letzten Spülgang mit der hauchdünnen Schutz
schicht versehen wird, ist praktisch die abzubildende
Galvano-Oberfläche versiegelt. Trockenflecke, Ober
flächen-Fehler durch Handhabung und Kontaktierung während
des Transportes zwischen der ersten separaten Galvanisier
zelle und dem eigentlichen Galvanisierblock werden jetzt
auf der abzubildenden Oberfläche völlig vermieden.
Sämtliche Arbeitsgänge nach der ersten Schutzgalvanisie
rung bis zum fertig galvanisiertem Sandwich sind
unabhängig von Bedienungspersonal.
Die Schutzschicht kann auch als Konservierungsschicht für
die Lagerung dienen, wobei die Schutzschicht des Galvanos
nach dem Aufbringen gespült und getrocknet und somit von
dem Elektrolyt befreit wird. Für ein späteres galvanisches
Verstärken dieser Schutzschicht ist dann in der Regel eine
Aktivierung dieser Schutzschicht erforderlich.
Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß in jeder der
Vorbehandlungseinrichtung zugeordneten Abscheidungszelle
gleichzeitig mehrere Galvanos mit einer derartigen hauch
dünnen Metallschicht versehen werden können. Dies ergibt
einen erheblichen Zeitgewinn gegenüber dem bisher verwen
deten Verfahren. Aufwendige Warenbewegungen, Drehvorrich
tungen oder Pendelbewegungen für die Galvanos sind dabei
nicht erforderlich. In einer im Querschnitt quadratischen
Abscheidungszelle können dabei z.B. vier Galvanos gleich
zeitig behandelt werden. Bei einem sechseckförmigen Quer
schnitt wären es sechs Galvanos usw.
In der Zeichnung sind in den Fig. 1 bis 5 schematisch
Ausführungsbeispiele gemäß der Erfindung dargestellt.
Fig. 1 zeigt in einem Blockschaltbild den schematischen
Ablauf eines Verfahrens gemäß der Erfindung,
Fig. 2 zeigt eine einfache Galvanikzelle zur Aufnahme
eines einzelnen Galvanos,
Fig. 3 zeigt eine Galvanikzelle gemäß Fig. 2 in einer
gesonderten Grundwanne,
Fig. 4 zeigt zwei Galvanikzellen gemäß Fig. 1 in einer
gemeinsamen Grundwanne, und
Fig. 5 zeigt eine Galvanikzelle in einer Draufsicht mit
vier eingesetzten Galvanos.
Fig. 1 zeigt eine Anlage 10 zur Bearbeitung von mit einer
Informationsschicht versehenen Galvanos. Die Anlage 10
enthält Stationen 11 bis 20, durch die die verschiedenen
Verfahrensschritte angedeutet sind. Station 10 dient zur
Eingabe der zu bearbeitenden Galvanos, die entweder nur
mit einer Schutzschicht versehen und danach gelagert oder
die vervielfältigt werden sollen. In der Station 12 werden
die Galvanos gereinigt. Dazu gibt es verschiedene, hier
nicht relevante Reinigungsverfahren. In der Station 13
werden die gereinigten Galvanos durch Absprühen oder
Tauchen gespült. In der Station 14 erfolgt eine Passivie
rung der Galvanos, und zwar entweder als anodische
Passivierung oder als chemische Passivierung. In Station
15 erfolgt eine erneute Spülung durch Sprühen oder
Tauchen. Die auf diese Weise gereinigten, passivierten und
gespülten Galvanos werden sodann direkt und unmittelbar in
der Station 16 mit einer hauchdünnen metallischen Schutz
schicht versehen. Die Stationen 11 bis 16 befinden sich in
der sogenannten Vorbehandlungseinrichtung. Station 17
dient als Pufferstation. Hier werden die mit der dünnen
Schutzschicht versehenen Galvanos, die in einer Haupt
galvanisieranlage weiterverarbeitet werden sollen,
zwischengelagert. Station 17 enthält einen Elektrolyten,
in dem das mit der frisch aufgebrachten Schutzschicht
versehene Galvano mit einem niedrigen Schutzstrom, z.B.
2 A, beaufschlagt wird. Dadurch soll die frisch aufge
brachte Schutzschicht nicht wieder passivieren. Danach
wird das Galvano entnommen und ohne Abspülung direkt in
das Hauptgalvanikbad 17 a gehängt. Dies hat den Vorteil,
daß das Galvano beim Transport auf der im Hauptgalvanikbad
zu verstärkenden Schutzschicht aktiv bleibt. Die Galvanos,
die ohne Weiterverarbeitung gelagert werden sollen, über
fahren die Station 17 und werden in Station 18 direkt mit
kaltem oder heißem Wasser gespült. Danach werden diese
Galvanos in Station 19 mit heißer Umluft getrocknet.
Station 20 bezeichnet die Ausgabestation zum Lager für die
mit der Schutzschicht versehenen, gespülten und getrockne
ten Galvanos. Bei Bedarf kann die Anlage 10 durch eine
Aktivierungseinheit 21 für wiederzuverarbeitende, schutz
vernickelte Galvanos erweitert werden.
Als metallische Schicht wird vorzugsweise eine Nickel
schicht abgeschieden. Es kann jedoch auch eine Kobalt/
Nickel-Legierung oder eine andere zweckmäßige Schicht
abgeschieden werden. Fig. 2 zeigt eine Abscheidungszelle
22 mit einem Elektrolyt 23, einer Anode 24 und einem als
Kathode geschalteten Galvano 25. Mit 26 ist ein eine Pumpe
27 und ein Filter 28 enthaltender Kreislauf für den
Elektrolyten 23 bezeichnet. Bei Stromdurchgang erfolgt
eine Abscheidung einer sehr dünnen Schicht 29 auf dem
Galvano 25. Das Galvano 25 kann unterschiedlich angeströmt
werden, z. B. parallel oder rechtwinklig zur Oberfläche.
Das Auftragen der dünnen Schicht kann entweder bei einer
Stromdichte oder nach einem Stromzeitdiagramm erfolgen. Es
können entweder eine einzige Galvanisierzelle mit einer
oder mehreren Galvanisierpositionen oder mehrere
hintereinandergeschaltete Zellen verwendet werden. Bei
Verwendung mehrerer Zellen kann das Galvano in Stufen alle
hintereinandergeschalteten Zellen durchlaufen, wobei jede
nachfolgende Zelle eine höhere Stromdichte zu fahren
erlaubt, in Abstimmung mit den optimalen
Abscheidungsbedingungen bezüglich Temperatur und
Elektroyt-Zusammensetzung.
Gemäß Fig. 3 ist eine Zelle gemäß Fig. 2 in eine Grund
wanne 30 gestellt. Der Elektrolyt ist bis zum Rand der
Zelle 22 gefüllt. Der Pumpenkreislauf 26 ist an die Wanne
30 angeschlossen. In Betrieb fließt der Elektrolyt 23 über
die Ränder der Zelle 22, wie durch 31 angedeutet. Damit
ergibt sich immer eine gleichmäßige Füllstandshöhe in der
Zelle 22.
Gemäß Fig. 4 werden mit einem Elektrolyten 23 mehrere
Galvanikzellen 22 versorgt. Hierbei kann man zur gleichen
Zeit bei optimaler Elektrolyt-Zusammensetzung, bei
optimalem Strom und optimaler Temperatur in allen Zellen
unter gleichen Bedingungen zur gleichen Zeit eine Schutz
schicht, z.B. Nickel, abscheiden. Dabei ist die Nickel-
Abscheidungszeit von Zelle zu Zelle variierbar, so daß für
jedes Galvano 25 unterschiedlich dicke Schutzschichten
erhalten werden können. So können z.B. für die Galvanos,
die sofort in die nachgeordnete Hauptvernickelungsanlage
gebracht werden, Schichtdicken aufgebracht werden, die
kleiner sind als die Schichtdicken der Galvanos, die nach
der Vorvernickelung ins Lager gebracht werden sollen. Es
ist auch möglich, in dieser Anlage Master mit einer noch
dickeren Schicht zu versehen. Es ergibt sich somit eine
optimale Flexibilität der Anlage. In Fig. 4 ist mit 32 ein
Elektrolyt-Vorratstank bezeichnet, der zusätzlich vorge
sehen sein kann.
Fig. 5 zeigt in einer schematischen Draufsicht eine
Abscheidungszelle 33 mit vier an den Innenwänden angeord
neten Anoden 24 und vier als Kathoden geschalteten
Galvanos 25. Jedem Galvano ist ein eigener Pump-
Filterkreislauf 34 zugeordnet. Alle vier Galvanos 25
können bei Bedarf auf einer einzigen Tragvorrichtung 35
angeordnet werden.
Zusammenfassend sind mit der Erfindung folgende Vorteile
erzielbar:
Die Schutzschicht kann in einfachster Weise bei optimalen
Abscheidungsbedingungen aufgebracht werden, weil nur noch
eine Stromdichte pro Elektrolyt-Einheit gefahren wird. Es
sind nur sehr geringe Elektrolyt-Volumina erforderlich,
dadurch ist eine sehr gute und nur mit geringem Aufwand
verbundene Prozeßkontrolle möglich, z.B. im Hinblick auf
Temperatur, Zusammensetzung, PH-Wert, Strömung,
Filtration. Durch einen sehr geringen Gesamtstrom ist
keine Galvanobewegung notwendig, auch werden keine aufwen
digen Kontakte benötigt. Da die Behälter kleindimen
sioniert sind, beansprucht die Anlage wenig Platz und kann
somit leicht mit einer Luft einer sehr guten Reinraum
klasse beaufschlagt werden. Da alle qualitätsbestimmenden
Schritte integriert sind, ist eine mann-unabhängige
Abbildung der Information möglich. Da die Anlage aktiv und
passiv von einem Computer gesteuert und kontrolliert wird,
ergibt sich eine organisatorisch bessere Prozeßkontrolle.
Durch die Trennung der Schritte "Abbilden" der Information
und "Hinterfüttern" dieser Schicht kann beim Verstärken
der Informationsabbildung unter einfachen Reinraumklassen
gearbeitet werden. Der Grund dafür liegt darin, daß die
qualitätsbestimmenden Schritte: Spülen, Passivieren,
Spülen, Abbilden der Information unter optimalen
Bedingungen in einem Teil der Anlage durchgeführt werden,
der auf einfache Weise mit einer Reinraumklasse kleiner 10
beaufschlagt werden kann.
Claims (14)
1. Verfahren zur Abscheidung einer dünnen metallischen
Schutzschicht auf der Informationsseite eines Galvanos,
das zunächst gereinigt, passiviert und gespült und danach
mit der Schutzschicht versehen wird,
dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidung der
Schutzschicht (29) unmittelbar nach dem letzten Spülgang
(15) in mindestens einem in die Vorbehandlung einbezogenen
Verfahrensschritt (16) erfolgt und daß die
Abscheidungsbedingungen speziell auf die Abscheidung
dieser Schutzschicht (29) abgestimmt sind.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidung der
Schutzschicht (29) galvanisch in mindestens einer
Abscheidungszelle (22, 23) erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (29) in
einem getakteten Verfahren mit jeweils unterschiedlichen
Stromdichten aufgebracht wird.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (29) des
Galvanos (25) ohne vorheriges Spülen und Trocknen in einem
weiteren Galvanikbad (17 a) zu einer gewünschten Dicke
verstärkt wird, wobei die Schutzschicht (29) als
Vorgalvano-Schicht für das abzubildende Galvano (25)
dient.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (29) des
Galvanos (25) nach dem Aufbringen gespült und getrocknet
wird, wobei die Schutzschnicht (29) als Konservierungs
schicht für die Lagerung dient.
6. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Abscheidung der Schutz
schicht (29) stromlos durch Eintauchen in ein chemisches
Bad erfolgt (Metallisieren).
7. Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Metallisierung durch einen
kurzen Initialstrom eingeleitet wird.
8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem
der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß die besondere Abscheidungs
zelle (22, 23) zum Aufbringen der Schutzschicht (29) in
die Reinigungs-, Passivierungs- und Spüleinrichtung
integriert ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß jede Abscheidungszelle (22,
23) mindestens eine Anode (24) und eine Vorrichtung (35)
zur Aufnahme mindestens eines, als Kathode geschalteten
Galvanos (25) aufweist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9,
gekennzeichnet durch einen quadratischen Querschnitt der
Abscheidungszelle (33) mit vier an den Wänden angeordneten
Anoden (24) und mit einer zentralen Vorrichtung (35) zur
Aufnahme und gleichzeitigen Verarbeitung von vier als
Kathoden geschalteten Galvanos (25).
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 10,
dadurch gekennzeichnet, daß jede Abscheidungszelle (22,
23) mit mindestens einer Pumpe (27) und einem Filter (28)
zur Umwälzung und Filterung des Elektrolytes (23) versehen
ist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 8 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß jede Abscheidungszelle (22) in
einer Wanne (30) angeordnet ist, daß die Anoden (24) an
den Innenseiten der Zelle (22) angeordnet sind und daß der
der Zelle (22) zugeführte Elektrolyt (23) durch Überlauf
über die oberen Kanten (31) der Zelle (22) dem Umwälz- und
Filterkreislauf (26) zugeführt wird.
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gkennzeichnet, daß der Vorbehandlungseinrichtung
(11-16) mit den Reinigungs-, Passivierungs-, Spül-,
Metallisierungsstationen eine Pufferstation (17) mit einem
Elektrolyten nachgeschaltet ist, in der das Galvano (25)
mit einem Schutzstrom beaufschlagbar ist, und daß der
Pufferstation (17) eine Spülstation (18), eine
Trockenstation (19) und eine Ausgabestation (20)
nachgeschaltet ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13,
gekennzeichnet durch eine Aktivierungsstation (21) für
weiterzuverarbeitende, mit einer metallischen
Schutzschicht (29) versehene Galvanos (25).
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19883814706 DE3814706A1 (de) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | Verfahren zur abscheidung einer duennen metallischen schutzschicht auf einem galvano |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19883814706 DE3814706A1 (de) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | Verfahren zur abscheidung einer duennen metallischen schutzschicht auf einem galvano |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3814706A1 true DE3814706A1 (de) | 1989-11-09 |
Family
ID=6353299
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19883814706 Withdrawn DE3814706A1 (de) | 1988-04-30 | 1988-04-30 | Verfahren zur abscheidung einer duennen metallischen schutzschicht auf einem galvano |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3814706A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19781822B4 (de) * | 1996-07-08 | 2004-09-09 | Speedfam-Ipec Corp.(N.D.Ges.D.Staates Delaware), Chandler | Reinigungsstation zur Verwendung bei einem System zum Reinigen, Spülen und Trocknen von Halbleiterscheiben |
-
1988
- 1988-04-30 DE DE19883814706 patent/DE3814706A1/de not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19781822B4 (de) * | 1996-07-08 | 2004-09-09 | Speedfam-Ipec Corp.(N.D.Ges.D.Staates Delaware), Chandler | Reinigungsstation zur Verwendung bei einem System zum Reinigen, Spülen und Trocknen von Halbleiterscheiben |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: POLYGRAM RECORD SERVICE GMBH, 3012 LANGENHAGEN, DE |
|
8120 | Willingness to grant licenses paragraph 23 | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: POLYGRAM MANUFACTURING & DISTRIBUTIONS CENTRES GMB |
|
8141 | Disposal/no request for examination |