DE3801976C2 - - Google Patents
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- DE3801976C2 DE3801976C2 DE3801976A DE3801976A DE3801976C2 DE 3801976 C2 DE3801976 C2 DE 3801976C2 DE 3801976 A DE3801976 A DE 3801976A DE 3801976 A DE3801976 A DE 3801976A DE 3801976 C2 DE3801976 C2 DE 3801976C2
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- polymer
- etching
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-
- H10P95/064—
-
- H10P50/283—
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3801976A DE3801976A1 (de) | 1988-01-23 | 1988-01-23 | Verfahren zum planarisieren von halbleiteroberflaechen |
| EP89100359A EP0325939B1 (de) | 1988-01-23 | 1989-01-11 | Verfahren zum Planarisieren von Halbleiteroberflächen |
| DE58909171T DE58909171D1 (de) | 1988-01-23 | 1989-01-11 | Verfahren zum Planarisieren von Halbleiteroberflächen. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3801976A DE3801976A1 (de) | 1988-01-23 | 1988-01-23 | Verfahren zum planarisieren von halbleiteroberflaechen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| DE3801976C2 true DE3801976C2 (OSRAM) | 1993-02-18 |
Family
ID=6345879
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE58909171T Expired - Lifetime DE58909171D1 (de) | 1988-01-23 | 1989-01-11 | Verfahren zum Planarisieren von Halbleiteroberflächen. |
Country Status (2)
| Country | Link |
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| DE (2) | DE3801976A1 (OSRAM) |
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| DE19636956A1 (de) * | 1996-09-11 | 1998-03-12 | Siemens Ag | Verfahren zum Auffüllen eines Grabens |
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Families Citing this family (4)
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-
1988
- 1988-01-23 DE DE3801976A patent/DE3801976A1/de active Granted
-
1989
- 1989-01-11 DE DE58909171T patent/DE58909171D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-01-11 EP EP89100359A patent/EP0325939B1/de not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0325939B1 (de) | 1995-04-12 |
| EP0325939A3 (en) | 1990-04-18 |
| DE58909171D1 (de) | 1995-05-18 |
| DE3801976A1 (de) | 1989-08-03 |
| EP0325939A2 (de) | 1989-08-02 |
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