DE3801976C2 - - Google Patents

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DE3801976C2
DE3801976C2 DE3801976A DE3801976A DE3801976C2 DE 3801976 C2 DE3801976 C2 DE 3801976C2 DE 3801976 A DE3801976 A DE 3801976A DE 3801976 A DE3801976 A DE 3801976A DE 3801976 C2 DE3801976 C2 DE 3801976C2
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Germany
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Norbert Dr.Rer.Nat. 7101 Massenbachhausen De Gellrich
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Aumovio Microelectronic GmbH
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Telefunken Electronic GmbH
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EP89100359A EP0325939B1 (de) 1988-01-23 1989-01-11 Verfahren zum Planarisieren von Halbleiteroberflächen
DE58909171T DE58909171D1 (de) 1988-01-23 1989-01-11 Verfahren zum Planarisieren von Halbleiteroberflächen.

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EP0325939B1 (de) 1995-04-12
EP0325939A3 (en) 1990-04-18
DE58909171D1 (de) 1995-05-18
DE3801976A1 (de) 1989-08-03
EP0325939A2 (de) 1989-08-02

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