DE3723865A1 - Reaktor fuer eine plasmabehandlung - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Reaktor für eine Be­ handlung von Flachmaterial, beispielsweise Stoffe oder Fil­ me, mit einem kalten Plasma.

In jüngster Zeit sind Verfahren zum Behandeln von Flachmate­ rial wie Stoff- und Filmbahnen in einem kalten bzw. Niedrig­ temperaturplasma bekanntgeworden, bei denen das Flachmate­ rial zur Verbesserung seiner Eigenschaften durch eine Reak­ tionskammer mit einem kalten Plasma geführt wird. Dabei wird ein Gas in die mit Elektroden zum Erzeugen eines kalten Plasmas versehene Kammer eingespeist. Die Elektroden werden mit hochfrequentem Strom beispielsweise einer Fre­ quenz von 13.56 MHz versorgt und das Flachmaterial durch das kalte Plasma geführt.

Die herkömmlichen Reaktoren für die Behandlung von Flach­ material mit einem kalten Plasma sind jedoch mit einer Reihe von Nachteilen, beispielsweise einem geringen Wir­ kungsgrad bei der Erzeugung des kalten Plasmas, einer min­ deren Qualität des kalten Plasmas und einer unzureichenden Brauchbarkeit behaftet. So ist es zwar möglich, in der Reak­ tionskammer ein kaltes Plasma zu erzeugen, jedoch handelt es sich bei dem für die Behandlung des Flachmaterials verwendeten kalten Plasma nur um einen Teil des erzeugten Gases, während die Restmenge üblicherweise verlorengeht, worunter die Wirtschaftlichkeit des Verfahrens bzw. der Wirkungsgrad des für die Erzeugung des Plasmas erforderli­ chen hochfrequenten Stroms leidet. Des weiteren gelangt bei den herkömmlichen Reaktoren zum kontinuierlichen Behandeln von Flachmaterial mit einem kalten Plasma eine große Menge Außenluft infolge unzureichender Dichtungen in die Reak­ tionskammer, so daß sich die Fremdgasmenge in der Kammer unvermeidbar erhöht. Dementsprechend viel Fremdgas wird an der Oberfläche des Flachmaterials adsorbiert, worunter die Wirksamkeit der Behandlung leidet.

Darüber hinaus beeinträchtigen auch Temperaturänderungen beim kontinuierlichen Behandeln von Flachmaterial mit einem kalten Plasma, insbesondere beim Behandeln von Textilien wie Stoffbahnen die Qualität des behandelten Materials in­ folge der schwankenden Behandlungstemperatur, was bei einer zu starken Abweichung von der notwendigen Behandlungstempe­ ratur zu Ausschuß führen kann. Daraus resultiert die Forde­ rung, die Temperatur des durch die Reaktionskammer bzw. das kalte Plasma geführten textilen Behandlungsguts während der ganzen Behandlung auf dem vorgegebenen Niveau konstant zu halten. Weiterhin erwärmen sich bei den herkömmlichen Reak­ tionskammern beispielsweise die Führungsrollen, Plattenelek­ troden und Kammerwände im Verlaufe der Behandlung; sie übertragen zwangsläufig ihre Wärme direkt und/oder indirekt auf das Behandlungsgut, dessen Temperatur sich somit er­ höht. Die Folge davon ist eine ungleichmäßige Behandlung mit dem kalten Plasma, so daß es zu Ausschuß kommen kann.

Unabhängig davon erfordert eine Behandlung breiten Flach­ materials, beispielsweise mit einer Breite von 90 bis 180 cm in einem kalten Plasma eine große Reaktionskammer mit entsprechend großen Elektroden, bei denen es infolge eines Ausströmens zwischen dem Leitungsdraht und der Elektrode leicht zu Plasmaverlusten und demgemäß zu einem verhältnis­ mäßig hohen Energieverbrauch kommt. Um dem zu begegnen ließen sich die Elektroden im Innern der Reaktionskammer anordnen und wirksam mit einem Hochfrequenzstrom von einem Generator außerhalb der Reaktionskammer mit Hilfe eines ummantelten Drahtes, beispielsweise eines Koaxialkabels ver­ sorgen. Die Isolierung des Leiters eines ummantelten bzw. Koaxialkabels besteht jedoch üblicherweise aus einem wenig hitzebeständigen Kunststoff wie Polyäthylen. Da die sich in den Elektroden akumulierende Wärme zu Temperaturen von etwa 100°C führt und auch ein derartiges Kabel erreichen würde, kann es infolge Schmelzens der Isolierung zu einem Kabelbruch kommen.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Reak­ tor für eine Behandlung von Flachmaterial mit einem kalten Plasma ohne die Gefahr einer Verunreinigung durch Fremdgas in der Reaktionskammer zu schaffen und somit das Flachmate­ rial mit einem kalten Plasma hoher Qualität zu behandeln. Dabei sollten die Menge des außerhalb des Transportwegs des Flachmaterials erzeugten kalten Plasmas sowie die Leckver­ luste im Hinblick auf eine hohe Wirtschaftlichkeit und einen geringen Energieverbrauch klein sein. Weiterhin soll­ te auch die Temperatur der Führungsrollen für das Flachma­ terial und der Elektroden zum Erzeugen des kalten Plasmas in der Reaktionskammer gesteuert werden, um das durch die Reaktionskammer geführte Behandlungsgut auf der erforderli­ chen Temperatur zu halten und eine gleichmäßige Behandlung sowie eine hohe Produktqualität zu gewährleisten. Schließ­ lich sollte aber auch der elektrische Anschluß der Elektro­ den zum Erzeugen des kalten Plasmas frei von den obenerwähn­ ten Nachteilen sein.

Im Hinblick auf die Lösung der sich aus Vorstehendem erge­ benden Probleme besteht die Erfindung u.a. in einem Reaktor mit einer evakuierbaren und geerdeten Reaktionskammer mit mehreren geerdeten und vorzugsweise im wesentlichen ge­ schlossenen Reaktionszonen, durch die das zu behandelnde Flachmaterial geführt wird, und in denen eine an einen Hochfrequenzgenerator außerhalb der Reaktionskammer ange­ schlossene Elektrode sowie mehrere Düsen für ein Behand­ lungsgas angeordnet sind.

Bei einem Reaktor der vorerwähnten Art kann die Reaktions­ kammer mit mehreren Führungsrollen für das Flachmaterial und mehreren beiderseits des Flachmaterials paarweise ange­ ordneten Plattenelektroden versehen sein. Die Führungsrol­ len und die Plattenelektroden können gekühlt oder beheizbar sein; sie weisen dann Anschlüsse für ein Kühlmittel oder einen Wärmeträger auf.

Schließlich können die Elektroden zum Erzeugen des kalten Plasmas in der Reaktionskammer über einen gekühlten elektri­ schen Anschluß und ein Mantelkabel mit einem externen Hoch­ frequenzgenerator verbunden sein.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen des näheren erläutert. In der Zeichnung zeigen:.

Fig. 1 einen Reaktor zum kontinuierlichen Behandeln von bahnförmigem Gut in schematischer Darstellung,

Fig. 2 die Reaktionszone des Reaktors nach Fig. 1,

Fig. 3 die Vorderansicht der Reaktionszone nach Fig. 2,

Fig. 4 einen Reaktor zum chargenweisen Behandeln nach der Erfindung,

Fig. 5 den Flüssigkeitsdurchgang des Reaktors nach Fig. 4,

Fig. 6 die perspektivische Ansicht einer Plattenelektro­ de mit ihrem elektrischen Anschluß,

Fig. 7 eine Vorderansicht der Elektrode nach Fig. 6,

Fig. 8 einen Kabelanschluß teilweise im Schnitt, und

Fig. 9 die Vorderansicht des Kabelanschlusses nach Fig. 8.

Der Reaktor nach Fig. 1 eignet sich zum Behandeln von Flach­ material, beispielsweise bahnförmigen Textilien, nicht ge­ webter Ware oder eines Films bei sehr niedrigem Druck in einem kalten bzw. Niedrigtemperaturplasma. Die Reaktions­ kammer 1 besitzt auf einander gegenüberliegenden Seiten je eine Einlaß- und eine Auslaßschleuse 3, durch die das Behandlungsgut 2 geführt wird, und die gewährleisten, daß sich in der Kammer ein sehr niedriger Druck aufrechterhal­ ten läßt. Im Innern der Kammer 1 befinden sich vier flache Reaktionszonen 4 durch die das über Führungsrollen 5 verlau­ fende Behandlungsgut 2 geführt wird. Mit Hilfe einer exter­ nen Vakuumpumpe 6 läßt sich die Reaktionskammer 1 evakuie­ ren. Jede der Reaktionszonen 4 besitzt nach den zeichneri­ schen Darstellungen in den Fig. 2 und 3 einander gegenüber­ liegende Öffnungen 7 am oberen und unteren Ende für das Behandlungsgut, die mit nicht dargestellten Dichtungen, bei­ spielsweise Lippen- oder Labyrinthdichtungen versehen sind, um das Innere der Reaktionszonen während des Durchlaufs des Behandlungsguts auf niedrigem Druck halten zu können.

Wie sich aus den zeichnerischen Darstellungen in den Fig. 2 und 3 ergibt, ist in der Reaktionszone 4 eine Elektrode 8 zum Erzeugen eines kalten Plasmas aus einem Gas angeordnet. Dieses Gas tritt über Leitungen 9 mit mehreren über die Breite des Behandlungsguts verteilten Düsen 10 in das Inne­ re der Reaktionszone 4 ein. Elektrische Leiter 11 verbinden einen außerhalb der Reaktionskammer 1 angeordneten Hochfre­ quenzgenerator 12 über ein Koaxialkabel 11 a mit den Elektro­ den 8. Der Innenleiter ist unter Zwischenschaltung eines Isolators beispielsweise aus Polyäthylen mit einem Draht­ netz 11 b umhüllt. Der Innenleiter 11 a ist in einer weiter unten noch zu beschreibenden Weise mit den Elektroden 8 verbunden. Die Reaktionskammer 1 und deren Reaktionszonen 4 sind im übrigen geerdet.

Beim Betrieb der Reaktionskammer 1 wird zunächst die Vakuum­ pumpe 6 eingeschaltet, um den Innendruck der Kammer ein­ schließlich deren Reaktionszonen 4 auf beispielsweise etwa 5 · 10^-2 Torr zu bringen. Sobald die Kammer evakuiert ist, wird ein Gas zum Erzeugen eines Plasmas über die Zuleitun­ gen 9 und die Düsen 10 in die Reaktionszonen 4 geleitet und gleichzeitig ein durch den Generator 12 erzeugter Hoch­ frequenzstrom mit beispielsweise 1 KHz bis 300 MHz auf die Elektroden 8 geschaltet. Auf diese Weise entsteht in den Reaktionszonen 4 ein kaltes Plasma, das die Oberfläche des durch die Reaktionszonen geführten Behandlungsguts 2 akti­ viert.

Die Reaktionszonen 4 mit dem kalten Plasma sind in der Reak­ tionskammer 1 geschützt, deren niedriger Innendruck mit Hilfe der Vakuumpumpe 6 aufrechterhalten wird, während das Gas über die Zuleitung 9 kontinuierlich in die Reaktionszo­ nen 4 strömt, deren Innendruck niemals geringer als der Innendruck der Reaktionskammer 1 ist. Demzufolge besteht nicht die Gefahr einer Verunreinigung des Innern der Reak­ tionszone 4 durch die Außenatmosphäre aus luft- oder gasför­ migen Nebenprodukten. Im Innern der Reaktionszonen 4 befin­ det sich daher stets eine Atmosphäre aus einem hochreinen kalten Plasmagas, das eine sehr wirksame Behandlung des bahnförmigen Guts 2 erlaubt.

Da die Reaktionszonen 4 einen flach-rechteckigen Quer­ schnitt besitzen und nicht direkt mit der Vakuumpumpe 6 verbunden sind, läßt sich die Kontaktwirkung zwischen dem Behandlungsgut 2 und dem kalten Plasma ohne die Gefahr ei­ nes wesentlichen Plasmagasverlustes erhöhen. Das führt zu einem hohen Ausnutzungsgrad des kalten Plasmas und zu einem geringeren Energieverbrauch beim Erzeugen des Plasmas. Da zudem jede Elektrode 8 mit einer leitenden, jedoch geerde­ ten benachbarten Reaktionszone 4 gegeben ist und die Reak­ tionszonen 4 ihrerseits von der geerdeten Reaktionskammer 1 umgeben sind, läßt sich ein Verlust an Hochfrequenzstrom und Plasma wirksam verhindern. Demgemäß gelingt es, das kalte Plasma nur im Innern der Reaktionszonen 4 zu erzeugen und so dessen Ausnutzungsgrad zu verbessern, gleichzeitig aber auch den schädlichen Einfluß hochfrequenter Ströme von außerhalb der Reaktionskammer wirkungsvoll zu vermeiden.

Die Reaktionskammer 2 dient zwar der Behandlung bahnförmi­ gen Behandlungsguts; sie eignet sich jedoch auch für ein chargenweises Arbeiten, wenn sie auf beiden Seiten eine Aufnahmekammer für bahnförmiges Flachmaterial besitzt.

Der in den Fig. 4 und 5 dargestellte Reaktor eignet sich für ein chargenweises Behandeln von Stoffen oder anderen Textilien und Filmen; er läßt sich jedoch auch für eine kontinuierliche Behandlung bahnförmigen Guts umrüsten.

Nach Fig. 4 ist eine Reaktionskammer 21 mit einer Einlaß­ kammer 22 und einer dieser gegenüberliegenden Auslaßkammer 23 versehen. Die Kammern 22, 23 stehen über einen Einlaß­ schlitz bzw. einen Auslaßschlitz 24 mit dem Reaktionskammer­ innern in Verbindung. Demgemäß gelangt die zu behandelnde Stoffbahn 25 von einer Abwickelvorrichtung in der Einlaßkam­ mer 22 durch die Reaktionskammer 21 zu einer Aufwickelvor­ richtung in der Auslaßkammer 23. Dabei verläuft die Stoff­ bahn 25 zickzackförmig über oben und unten in der Reaktions­ kammer 21 angeordnete Führungsrollen 26.

Beiderseits der Stoffbahnschlingen sind jeweils paarweise Plattenelektroden 27, 28 angeordnet. Jeweils eine Elektrode jeden Elektrodenpaars, beispielsweise jede Plattenelektrode 27, wird von einem externen Hochfrequenzgenerator 29 mit einem hochfrequenten Strom versorgt, während die jeweils anderen Elektroden 28 jedes Elektrodenpaars geerdet sind. Mit Hilfe einer Rotationspumpe 30 wird ein Gas in den mit einem Gasauslaß 31 versehenen Reaktor 21 eingespeist. Eine nicht dargestellte Vakuumpumpe erlaubt es, das Innere der Reaktionskammer 21 zu evakuieren, beispielsweise auf einen Druck von 0,6 bis 0,7 Torr einzustellen. Nach dem Evakuie­ ren der Reaktionskammer 21 wird mit Hilfe der Rotationspum­ pe 30 ein Gas, beispielsweise Luft oder Sauerstoff, in einer solchen Menge in die Reaktionskammer eingespeist, daß deren Innendruck sich auf etwa 1 Torr einstellt. Schließ­ lich werden die Plattenelektroden 27 oder 28 von dem Gene­ rator 29 mit einem hochfrequenten Strom mit beispielsweise 13,56 MHz versorgt, um ein kaltes Plasma zu erzeugen. Während des Transports der Stoffbahn 25 durch die Zwi­ schenräume der Plattenelektroden 27, 28 mit dem kalten Plas­ ma kommt es zu einer wirksamen Plasmabehandlung.

Die Plasmabehandlung sollte während des Stoffdurchlaufs durch das kalte Plasma gleichmäßig über die Stoffbahn wirk­ sam sein; die Stoffbahn sollte daher über ihre ganze Länge und Breite dieselbe Temperatur besitzen. Um demgemäß die Stoffbahntemperatur in der Reaktionskammer 21 konstant zu halten, läßt sich die Temperatur der Führungsrollen 26 für die Stoffbahn und der Elektrodenpaare 27, 28 beiderseits der die Kammer durchlaufenden Stoffbahn auf einen konstan­ ten Wert regeln. Um das zu erreichen, sind in der Reaktions­ kammer 21 vorzugsweise Hohlrollen 26 angeordnet und die Oberflächen der Plattenelektroden 27, 28 mit Rohrschlangen 32 verbunden. Unter dem Einfluß einer Pumpe 34 strömt ein Heiz- oder Kühlmedium durch die hohlen Führungsrollen 26 und die Rohrschlangen 32 bzw. längs den Plattenelektroden 27, 28 in einen Flüssigkeitstank 33 (vgl. Fig. 5).

Um die den Führungsrollen 26 und den Plattenelektroden 27, 28 zugeführte Menge des Heiz- oder Kühlmediums einstellen zu können, befindet sich in der Leitung zu dem Flüssigkeits­ tank 33 ein Steuerventil 35, das mit Hilfe eines Signals von einem Steuergerät 36 gesteuert wird. Ein Temperaturfüh­ ler 37 mißt die Temperatur der von den Führungsrollen 26 und den Plattenelektroden 27, 28 kommenden Flüssigkeit, während ein Temperaturfühler 38 die Temperatur in dem mit einem Wärmetauscher 39 versehenen Flüssigkeitstank 33 mißt. Ein weiteres Steuerventil 40 ist in der Zuleitung des Wärme­ tauschers 39 angeordnet und mit einem Steuergerät 41 verbun­ den, daß das Steuerventil 40 aufgrund der vom Temperatur­ fühler 38 kommenden Signale einstellt. In dem Flüssigkeits­ tank 33 befindet sich entweder ein Kühlmittel, beispiels­ weise Wasser oder ein Wärmeträger beispielsweise Öl. Ein elektromagnetisches Ventil 42 für das Kühlmedium und ein elektromagnetisches Ventil 43 für den Wärmeträger werden automatisch in Abhängigkeit von einem Füllstandfühler 44 betätigt, um die Menge des Kühlmediums oder Wärmeträgers in dem Flüssigkeitstank 33 konstant zu halten. Das Kühlmedium oder der Wärmeträger gelangt über eine Drehverbindung 45 in das Innere der Führungsrollen 26.

Soll die Temperatur der die Reaktionskammer 21 durchlaufen­ den Stoffbahn auf verhältnismäßig hohem Niveau, beispiels­ weise bei 80°C konstant gehalten werden, dann wird am Steuergerät 36 eine Temperatur von 80°C und am Steuergerät 41 eine demgegenüber höhere Temperatur von beispielsweise 90 bis 100°C eingestellt und der Flüssigkeitstank 33 mit einem Wärmeträger einer Temperatur von 90 bis 100°C ge­ füllt. Alsdann wird die Reaktionskammer 21 in Betrieb ge­ setzt; gleichzeitig werden die Führungsrollen 26 und die Plattenelektroden 27, 28 mit Hilfe der Umwälzpumpe 34 er­ wärmt.

Die Temperatur der Führungsrollen 26 und der Plattenelektro­ den 27, 28 wird in der Weise auf einem vorgegebenen Niveau gehalten, daß die Temperatur des die Führungsrollen und Elektroden verlassenden Wärmeträgers mit Hilfe des Tempera­ turfühlers 37 gemessen und das Steuerventil 35 in Abhän­ gigkeit von der gemessenen Isttemperatur automatisch geöff­ net oder geschlossen wird, um die Temperatur der Stoffbahn während der Behandlung konstant zu halten. Auf diese Weise läßt sich die über die Führungsrollen 26 an den Plattenelek­ troden 27, 28 vorbeigeführte Stoffbahn bei hoher Temperatur in einem kalten Plasma behandeln, um die charakteristischen Eigenschaften, beispielsweise das Absorptionsvermögen für Wasser oder die Haltbarkeit merklich zu verbessern.

Anders als bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel läßt sich die Temperatur der die Reaktionskammer 21 durch­ laufenden Stoffbahn umgekehrt auch auf niedrigem Niveau halten. So läßt sich beispielsweise eine Stoffbahn aus Po­ lyestergarn in einem kalten Plasma durch Kühlen auf Raum­ temperatur oder darunter intensiv färben. Des weiteren be­ steht bei einer Stoffbahn aus niedrigschmelzenden Fasern, beispielsweise aus Polypropylen oder Vinylchlorid die Ge­ fahr, daß die Fasern bei höherer Temperatur schmelzen und damit die Stoffeigenschaften, beispielsweise das Empfinden der Haut des Trägers beeinträchtigen. Um das zu verhindern, sollte die durch die Reaktionskammer 21 geführte Stoffbahn 25 gekühlt werden.

Auch beim Kühlen wird an dem Steuergerät 36 zunächst die Stoffbahntemperatur, beispielsweise 20°C, und an dem Steuer­ gerät 41 eine niedrigere Temperatur von beispielsweise 15°C eingestellt und der Flüssigkeitstank 33 mit einem Kühlme­ dium einer Temperatur von etwa 15°C gefüllt. Alsdann wird die Reaktionskammer 21 in Betrieb gesetzt, um ein kaltes Plasma zu erzeugen. Gleichzeitig strömt das Kühlmedium un­ ter dem Einfluß der Umwälzpumpe 34 durch die Führungsrollen 26 und die Rohrschlangen 32 auf den Plattenelektroden 27, 28. Auf diese Weise werden sowohl die Führungsrollen 26 als auch die Plattenelektroden 27, 28 auf eine vorgegebene Temperatur heruntergekühlt und unterliegt die Stoffbahn 25 einer Plasmabehandlung bei niedriger Temperatur.

Somit läßt sich bei der zuvor beschriebenen Reaktionskammer 21 die Stoffbahntemperatur während der Behandlung im kalten Plasma auf einen bestimmten Wert einstellen und eine gleich­ mäßige und wirkungsvolle Niedrigtemperaturbehandlung durch­ führen.

In den Fig. 6 bis 9 ist die elektrische Versorgung der Elek­ troden zum Erzeugen eines kalten Plasmas mit elektrischer Energie einer Reaktionskammer zum Behandeln eines Flach­ materials wie Stoffbahnen und Filme mit einem kalten Plasma der zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiele dargestellt.

Dabei besteht ein Elektrodenpaar 51 zum Erzeugen eines kalten Plasmas aus zwei parallel zueinander angeordneten Elektrodenplatten 52, 52′. Das Elektrodenpaar 51 ist an einer Ecke mit einem Kabelanschluß 53 für ein ummanteltes Kabel bzw. Koaxialkabel 57 versehen. Der kastenförmige Ka­ belanschluß 53 aus einem elektrisch leitenden Werkstoff, beispielsweise Aluminium, besteht aus einer Kühlkammer 54 mit einem Kaltwassereinlaß 55 und einem Kaltwasserauslaß 56, eine Anschlußbohrung 59 für einen Innenleiter 58 des Koaxialkabels 57 sowie eine Aufnahme 61 für die Isolierung 60, beispielsweise aus Polypropyäthylen, des Koaxialkabels 57. Quer zu der Bohrung 59 erstreckt sich eine Schraubenboh­ rung 62 zum Festlegen des Leiterendes, und quer zu der Aufnahme 61 eine Schraubenbohrung 63 zum Festlegen der Kabelisolierung 60. Die beiden Plattenelektroden 52, 52′ sind mit dem Kabelanschluß 53 verschweißt, um auf diese Weise einen elektrischen Kontakt herzustellen. Die Isolie­ rung 60 des Kabels ist aus Gründen der Erdung mit einem Metallgespinst 65 umhüllt.

Beim Anschließen des Elektrodenpaars 51 wird der Innenlei­ ter 58 des Kabels 57 mit dem Anschlußkasten 53 verbunden und je ein Wasserrohr 64 aus stark wärmedämmendem Material wie Teflon mit dem Kühlwassereinlaß 55 und dem Kühlwasser­ auslaß 56 verbunden, um Kühlwasser durch die Kühlkammer 54 strömen zu lassen. Da der Anschlußkasten 53 auch dann kontinuierlich gekühlt wird, wenn sich die Plattenelek­ troden 52, 52′ infolge der Erzeugung des kalten Plasmas beispielsweise auf nahezu 100°C erwärmen, besteht keine Gefahr, daß sich der Anschlußkasten 53 auch nur geringfügig erwärmt. Daher besteht auch keine Gefahr, daß die Isolier­ schicht 60 des Kabels 57 schmilzt. Auf diese Weise trägt die Beschaffenheit des elektrischen Anschlußes merklich zur Erhöhung der Lebensdauer des Kabels bei.

Claims (5)

1. Reaktor für die Behandlung von Flachmaterial mit einem kalten Plasma, gekennzeichnet durch eine evakuierbare, geerdete Reaktionskammer (1, 21) mit jeweils einer Einlaß- und einer Auslaßschleuse (3; 22, 23) sowie mehreren geerdeten Reaktionszonen (4) mit an einen Hochfrequenzgenerator (12) angeschlossenen Elektroden (8; 27, 28; 52, 52′) und mehreren Düsen (10) für ein Behandlungsgas.

2. Reaktor nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch mehrere Führungsrollen (26) und paarweise beiderseits des zu behandelnden Flachmaterials (2, 25) angeordneten Plat­ tenelektroden (4, 8; 27, 28), jeweils mit einem An­ schluß (45) für ein Kühlmedium oder einen Wärmeträger.

3. Reaktor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Reaktionskammer (1, 21) auf einander ge­ genüberliegenden Seiten mit einer Einlaßkammer (22) und einer Auslaßkammer (23) versehen ist.

4. Reaktor nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeich­ net, daß die Führungsrollen (26) als Hohlrollen ausge­ bildet und die Elektroden (27, 28) mit Rohrschlangen (32) versehen sind.

5. Reaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Elektrodenpaare (52, 52′) mit einem gekühlten Anschlußkasten (53) für ein Koaxialka­ bel (57) versehen sind.