DE3676667D1 - Elektronenstrahlgeraet zum testen der kennwerte von elektronischen vorrichtungen und methode zu seiner benutzung. - Google Patents
Elektronenstrahlgeraet zum testen der kennwerte von elektronischen vorrichtungen und methode zu seiner benutzung.Info
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- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/305—Contactless testing using electron beams
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60177449A JPH0682718B2 (ja) | 1985-08-12 | 1985-08-12 | 電子デバイスの試験装置およびその使用方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3676667D1 true DE3676667D1 (de) | 1991-02-07 |
Family
ID=16031138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8686110947T Expired - Fee Related DE3676667D1 (de) | 1985-08-12 | 1986-08-07 | Elektronenstrahlgeraet zum testen der kennwerte von elektronischen vorrichtungen und methode zu seiner benutzung. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4851768A (de) |
EP (1) | EP0228502B1 (de) |
JP (1) | JPH0682718B2 (de) |
DE (1) | DE3676667D1 (de) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3677034D1 (de) * | 1985-03-11 | 1991-02-28 | Nippon Telegraph & Telephone | Methode und geraet zum testen eines integrierten elektronischen bauteils. |
NL8700933A (nl) * | 1987-04-21 | 1988-11-16 | Philips Nv | Testmethode voor lcd-elementen. |
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US6184696B1 (en) * | 1998-03-23 | 2001-02-06 | Conexant Systems, Inc. | Use of converging beams for transmitting electromagnetic energy to power devices for die testing |
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CN1354833A (zh) * | 1999-05-27 | 2002-06-19 | 科内森特系统公司 | 为测试管芯而用会聚束将电磁能传输到功率器件 |
US6515282B1 (en) * | 2000-03-28 | 2003-02-04 | Applied Materials, Inc. | Testing of interconnection circuitry using two modulated charged particle beams |
EP1296351A4 (de) * | 2000-06-27 | 2009-09-23 | Ebara Corp | Untersuchungsvorrichtung für geladene teilchenstrahlen und verfahren zur herstellung eines bauelements mit dieser untersuchungsvorrichtung |
EP1344018A1 (de) * | 2000-12-22 | 2003-09-17 | Fei Company | Partikel-optisches inspektionssystem, insbesondere für halbleiterwafer |
JP2003331774A (ja) * | 2002-05-16 | 2003-11-21 | Toshiba Corp | 電子ビーム装置およびその装置を用いたデバイス製造方法 |
JP3979945B2 (ja) * | 2003-01-23 | 2007-09-19 | 日本電子株式会社 | 電子分光系を有した電子線装置 |
US8214169B2 (en) * | 2003-08-18 | 2012-07-03 | International Business Machines Corporation | Circuits and methods for characterizing random variations in device characteristics in semiconductor integrated circuits |
JP4610182B2 (ja) * | 2003-12-05 | 2011-01-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査型電子顕微鏡 |
JP5059297B2 (ja) * | 2005-05-09 | 2012-10-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線式観察装置 |
JP5103050B2 (ja) * | 2007-04-06 | 2012-12-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子線応用装置 |
AU2011316696B2 (en) | 2010-10-11 | 2015-07-02 | Cook Medical Technologies Llc | Medical devices with detachable pivotable jaws |
DE102012206891A1 (de) * | 2012-04-26 | 2013-10-31 | Zumtobel Lighting Gmbh | Anordnung und Verfahren zur Beurteilung des Zustands einer zu Beleuchtungszwecken verwendeten elektronischen Einheit |
CN116106717B (zh) * | 2023-04-12 | 2023-06-30 | 合肥瀚博智能科技有限公司 | 一种集成微光机电半导体器件智能检测分析系统 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3531716A (en) * | 1967-06-16 | 1970-09-29 | Agency Ind Science Techn | Method of testing an electronic device by use of an electron beam |
GB1286454A (en) * | 1968-08-24 | 1972-08-23 | Cambridge Scientific Instr Ltd | Surface potential analysis by electron beams |
DE3036734A1 (de) * | 1980-09-29 | 1982-05-06 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur messung von widerstaenden und kapazitaeten von elektronischen bauelementen |
JPS57126056A (en) * | 1981-01-29 | 1982-08-05 | Akashi Seisakusho Co Ltd | Scanning-type electronic microscope which can display plural sample images simultaneously, and device similar to it |
US4417203A (en) * | 1981-05-26 | 1983-11-22 | International Business Machines Corporation | System for contactless electrical property testing of multi-layer ceramics |
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DE3235461A1 (de) * | 1982-09-24 | 1984-03-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur kontaktlosen pruefung eines objekts, insbesondere von mikroverdrahtungen, mit einer korpuskularstrahl-sonde |
-
1985
- 1985-08-12 JP JP60177449A patent/JPH0682718B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1986
- 1986-08-07 EP EP86110947A patent/EP0228502B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-08-07 DE DE8686110947T patent/DE3676667D1/de not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-06-24 US US07/212,047 patent/US4851768A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0228502A1 (de) | 1987-07-15 |
JPH0682718B2 (ja) | 1994-10-19 |
US4851768A (en) | 1989-07-25 |
JPS6237939A (ja) | 1987-02-18 |
EP0228502B1 (de) | 1990-12-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |