DE3637410A1 - Verfahren zur messung von drehtischabweichungen - Google Patents

Verfahren zur messung von drehtischabweichungen

Info

Publication number
DE3637410A1
DE3637410A1 DE19863637410 DE3637410A DE3637410A1 DE 3637410 A1 DE3637410 A1 DE 3637410A1 DE 19863637410 DE19863637410 DE 19863637410 DE 3637410 A DE3637410 A DE 3637410A DE 3637410 A1 DE3637410 A1 DE 3637410A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
coordinate
measuring
determined
rotary table
turntable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19863637410
Other languages
English (en)
Other versions
DE3637410C2 (de
Inventor
Horst Prof Dr Kunzmann
Karl Dipl Ing Schepperle
Gerhard Ing Grad Trieb
Franz Dr Waeldele
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Priority to DE19863637410 priority Critical patent/DE3637410A1/de
Priority to GB8725547A priority patent/GB2197478B/en
Priority to US07/116,509 priority patent/US4819339A/en
Priority to JP62275874A priority patent/JPS63122912A/ja
Publication of DE3637410A1 publication Critical patent/DE3637410A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3637410C2 publication Critical patent/DE3637410C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
    • G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

Drehtische werden zunehmend auf Koordinatenmeßgeräten eingesetzt, da sich bestimmte Meßaufgaben mit Hilfe der vierten, rotatorischen Achse leichter durchführen lassen. Für einen derartigen Einsatz ist jedoch erforderlich, daß die vom Drehtisch ausgegebenen Winkelwerte und die Abweichungen der Achse des Drehtisches von einer idealen Drehachse möglichst gering sind und die Meßunsicherheit des Koordinatenmeßgerätes nicht vergrößern. Eine Zusammenfassung der damit zuhängenden Problematik ist in dem Beitrag "Genauigkeitsangaben zu Drehtischen und Besonderheiten ihrer Anwendung auf Koordinatenmeßgeräten" von H. J. Neumann in VDI-Berichte 529 (1984) gegeben.
Die Abweichungen eines Drehtisches lassen sich in folgende Komponenten einteilen:
  • 1. Winkelpositionsabweichungen
  • 2. Laufabweichungen der Drehachse
    • a) Axiale Abweichung
    • b) Radiale Abweichung
    • c) Taumelabweichung
Diese 4 Komponenten werden im Zuge der Abnahmeprüfung eines Drehtisches regelmäßig gemessen.
Es ist auch bereits bekannt, die gemessenen systematischen Winkelpositionsabweichungen eines Drehtisches abzuspeichern und als Korrekturwerte bei der Berechnung des Meßergebnisses zu berücksichtigen. Sollen die Drehtischabweichungen zur rechnerischen Korrektur der Meßwerte verwendet werden, so muß aber nicht nur der maximale Wert jeder Fehlerkomponente, sondern deren Verlauf in Abhängigkeit vom Drehwinkel gemessen werden. Dazu wurden bisher sehr unterschiedliche Meßverfahren benutzt:
Zur Messung der Winkelpositionsabweichung werden kalibrierte Winkelnormale vorzugsweise in Form von Polygonspiegeln auf den Drehtisch aufgesetzt, deren Spiegelflächen bezüglich ihrer Winkellage genau bekannt sind. Die Messung der Winkelposition des Drehtisches erfolgt dann durch Beobachtung der Spiegelflächen mit Hilfe eines Autokollimationsfernrohres.
Zur Ermittlung der axialen Laufabweichung der Drehachse wird eine Kugel zentrisch auf dem Drehtisch oder eine Planscheibe senkrecht zur Drehachse des Drehtisches befestigt und mit einem in der Drehachse angeordneten induktiven Taster kontinuierlich oder in verschiedenen Winkelstellungen abgetastet.
Die radiale Laufabweichung wird durch Antasten eines zentrisch aufgespannten Zylinders bzw. Ringes mit einem radial angeordneten Wegaufnehmer, d. h. in einer im Prinzip von Rundheits- Prüfeinrichtungen her bekannten Anordnung ermittelt.
Für die Messung der Taumelabweichung schließlich wird ein Planspiegel mit seiner Fläche senkrecht zur Drehachse auf dem Drehtisch befestigt und mit einem Autokollimationsfernrohr angemessen, oder es werden zwei, wie bei der Messung der radialen Laufabweichung radial gerichtete, aber axial versetzte Wegaufnehmer in Differenzschaltung benutzt.
Da bisher für jede der genannten Komponenten ein anderer Meßaufbau verwendet wird, ist schon die Abnahmeprüfung von Drehtischen ein langwieriger zeit- und personalaufwendiger Vorgang. Ein Nachkalibrieren bereits benutzter Drehtische am Einsatzort des Koordinatenmeßgerätes bzw. die Anpassung der für die rechnerische Korrektur gespeicherten Werte an die akutellen Lauf- und Positionsabweichungen wurde deshalb bisher nicht vorgenommen. Eine solche Nachkalibrierung ist aber unter Umständen erforderlich, da insbesondere die systematiche Laufabweichungen der Drehtische nicht völlig langzeitstabil sind, sondern durch Einlaufprozesse Änderungen unterliegen.
Aus der DE-OS 29 40 633 ist es bekannt, zur Ermittlung der Lage der Drehachse eines auf einem Koordinatenmeßgerät betriebenen Rundtisches einen Meßpunkt am Rundtisch zu befestigen und dessen Lage in drei Winkelstellungen der Drehachse zu bestimmen. Mit diesem Verfahren läßt sich aber allein die mittlere Lage der Drehachse, nicht jedoch deren Lauf- oder Positionsabweichung bestimmen.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zur Messung von Drehtischabweichungen anzugeben, das möglichst wenig zeitaufwendig ist und mit einem Minimum an Meßmitteln auskommt.
Diese Aufgabe wird gemäß dem im Kennzeichen des Hauptanspruches angegebenen Merkmalen dadurch gelöst, daß
  • - auf dem Drehtisch ein Prüfkörper befestigt wird, der eine Vielzahl definierter, durch Antastflächen gebildeter Meßpunkte (K 1, K 2 . . .) trägt,
  • - die Meßpunkte in verschiedenen Winkelstellungen (α i ) des Drehtisches jeweils mit dem Koordinatenmeßgerät durch Antastung ermittelt werden,
  • - aus den Sätzen von Meßpunktkoordinaten, die den jeweiligen Winkelstellungen (α i ) zugeordnet sind, die Drehtischabweichungen (p w , f a , f r , f t ) berechnet werden.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird nur ein einziges Meßmittel und zwar das Koordinatenmeßgerät selbst benutzt, für das der Drehtisch ohnehin vorgesehen ist. Durch Messungen des Prüfkörpers in verschiedenen Winkelstellungen erhält man in einem Meßdurchgang Datensätze, aus denen sich alle 4 eingangs genannten Komponenten der Drehtischabweichung gleichzeitig ermitteln lassen.
Dieses Verfahren ist äußerst einfach automatisierbar, denn außer dem Auflegen des Prüfkörpers auf den Drehtisch sind keine nennenswerten Handgriffe auszuführen. Das Antasten der Meßpunkte und die Drehung des Tisches können programmgesteuert erfolgen und die aus den Datensätzen errechneten Komponentenabweichungen können direkt als Korrekturparameter in den entsprechenden Speicher im Rechner des Koordinatenmeßgerätes übernommen werden. Das Meßverfahren kann daher am Einsatzort des Koordinatenmeßgerätes zum Beispiel vom Servicepersonal des Herstellers oder sogar des Kunden durchgeführt werden, da keine komplizierten Meßaufbauten erforderlich sind.
Für den Prüfkörper wählt man zweckmäßig eine Platte mit einer Vielzahl in einer Ebene, vorzugsweise gleichmäßig in bezug auf einen Mittelpunkt verteilter Kugeln. Solche Kugelplatten sind an sich bekannt. Es ist jedoch auch möglich Prüfkörper anderer Geometrie oder mit anderen Antastelementen, wie z. B. eine Lochplatte zu verwenden.
Zum besseren Verständnis werden nachstehend Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Fig. 1 bis 3 der Zeichnungen näher beschrieben.
Fig. 1 zeigt den zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens verwendeten Meßaufbau bestehend aus Koordinatenmeßgerät, Drehtisch und Prüfkörper in perspektivischer Darstellung;
Fig. 2 ist eine Aufsicht auf die Kugelplatte (4) in Fig. 1 im vergrößerten Maßstab;
Fig. 3 ist eine beispielhafte Darstellung der gemessenen Positionsabweichung in 24 verschiedenen Winkelstellungen des Drehtisches.
In Fig. 1 ist der Drehtisch, dessen Lauf und Positionsabweichungen gemessen werden sollen, mit (1) bezeichnet. Der motorisch angetriebene und mit einem photoelektrisch abgelesenen Teilkreis ausgerüstete Drehtisch ist auf die Grundplatte (4) eines Dreikoordinatenmeßgerätes (3) aufgestellt und gemeinsam mit dem Koordinatenmeßgerät an den Steuerrechner (6) angeschlossen. Die Achse (2) des Drehtisches (4) ist etwa parallel zur Z-Koordinate des Korrdinatenmeßgerätes ausgerichtet.
Für die Messung der Drehtischabweichungen ist auf dem Drehtisch (1) ein Prüfkörper (4) in Form einer Platte mit mehreren, möglichst regelmäßig auf der Plattenoberfläche angebrachten Kugeln befestigt. Die Kugelmittelpunkte verkörpern Meßpunkte, deren Koordinaten durch mehrfaches Antasten jeder Kugel mit dem Taster (5) des Koordinatenmeßgerätes bestimmt werden. Anstelle der Kugeln können für die Meßpunkte auch Antastflächen mit anderer Geometrie gewählt werden. Wesentlich ist nur, daß die Antastflächen einen Meßpunkt eindeutig definieren.
Die Anzahl der durch die Kugeln verkörperten Meßpunkte kann beliebig gewählt werden. Sie sollte jedoch mindestens 3 betragen, damit, wie nachstehend noch ausgeführt wird, alle Drehtischabweichungen ermittelt werden können. Auch auf die Verteilung der Meßpunkte und die genaue Lage der Meßpunkte zueinander kommt es nicht an. Die Kugeln müssen jedoch in für Prüfkörper üblicher Qualität (Rundheit) vorliegen, damit die von ihnen verkörperten Meßpunkte mit ausreichender Genauigkeit reproduzierbar sind.
In Fig. 2 ist der Prüfkörper (4) in vergrößertem Maßstab dargestellt. Auf der runden etwa 25 mm dicken Platte aus Stahl mit einem Durchmesser von ca. 400 mm sind 12 Kugeln auf einem äußeren Radius und 4 Kugeln auf einem inneren Radius symmetrisch um den gemeinsamen Mittelpunkt (S) herum angeordnet. Der Durchmesser der Kugeln beträgt etwa 30 mm.
Die Koordinaten dieser 16 Meßpunkte werden nun in verschiedenen Winkelstellungen des Drehtisches gemessen. Dazu geht man so vor, daß der Drehtisch in konstanten Inkrementen von z. B. 5° weitergedreht wird, bis eine bzw. zwei volle Umdrehungen (360° bzw. 720°) sowie ein gewisser Betrag darüber hinaus erreicht sind. Die Messung über zwei volle Umdrehungen ist insbesondere bei wälzkörpergelagerten Drehtischen notwendig, da dort die systematischen Laufabweichungen häufig eine Periode von <720° zeigen. Die Periode der systematischen Laufabweichungen hängt von der speziellen Konstruktion des Drehtisches ab.
Der zu jeder Winkelstellung gemessene Satz von Meßpunktkoordinaten wird an den Rechner (6) des Koordinatenmeßgerätes übergeben und dort gespeichert.
Der eben geschilderte Meßablauf kann nach dem Auflegen des Prüfkörpers (4) auf den Drehtisch automatisch entsprechend einem vorgegebenen Programm erfolgen. Als Resultat liegen im Speicher des Rechners dann i Sätze kartesischer Koordinaten von jeweils 16 Meßpunkten vor, wobei i die Zahl der Winkelstellungen ist, in denen die Meßpunkte aufgenommen wurden, d. h. bei Winkelschritten von Δα=5° über zwei volle Umdrehungen hinweg erhält man 144 Datensätze. Aus diesen Datensätzen lassen sich alle vier Komponenten der Drehtischabweichungen mit Hilfe von Rechenprogrammen wie folgt ermitteln:
Axiale Laufabweichung
Zur Berechnung der axialen Laufabweichung f a ( α ) bildet der Rechner (6) des Koordinatenmeßgerätes für jeden Datensatz den Schwerpunkt der 16 Meßpunkte. Bei Verwendung von Prüfkörpern mit gleichmäßiger Meßpunktverteilung und nicht zu großen Zentrierfehlern stellt der Verlauf der Z-Koordinate des Schwerpunktes in Abhängigkeit vom Drehwinkel direkt die axiale Laufabweichung des Drehtisches dar. Bei Verwendung von Prüfkörpern mit ungleichmäßiger Meßpunktverteilung ist ensprechend dem Abstand des Schwerpunkts von der Drehachse des Drehtisches in der zur Drehachse senkrechten Ebene (x, y) der Einfluß der Taumelabweichung (f t (α)) zu ermitteln und zu eliminieren.
Radiale Laufabweichung
Zur Berechnung der radialen Laufabweichung f r (α) bildet der Rechner (6) für jeden Datensatz den Flächenschwerpunkt der Meßpunkte. Dieser Flächenschwerpunkt, der mit dem in Fig. 2 mit S bezeichneten Mittelpunkt zusammenfällt, liegt im allgemeinen nicht exakt auf der Drehachse (2) des Drehtisches (4) und beschreibt deshalb während der Drehbewegung einen Kreis. Die Abweichungen der für die Datensätze ermittelten Schwerpunkte S( α ) von einem bestangepaßten Kreis ergeben die radiale Laufabweichung f a ( a ).
Taumelabweichung
Für die Berechnung der Taumelabweichung f t ( α ) bestimmt der Rechner (6) für jeden Datensatz eine an die 16 Meßpunkte des Datensatzes bestangepaßte Ebene. Die Flächennormalen auf diesen Ebenen beschreiben, bedingt durch eine nicht genau orthogonale Aufspannung des Prüfkörpers auf den Drehtisch, einen Kegel. Die Taumelabweichung f t ( α ) wird durch die Abweichungen der Flächennormalen von dem Kegel repräsentiert.
Die für die Berechnung der Laufabweichungen nötigen Programme "Flächenschwerpunkt", "Mittelwert", "Kreisanpassung", "Kegelanpassung" gehören zur Standardsoftware eines Koordinatenmeßgerätes, so daß an dieser Stelle nicht näher darauf eingegangen werden muß.
Winkelpositionsabweichung
Diese Fehlerkomponente besitzt bei Drehtischen die größte Bedeutung, da sie direkt das Meßergebnis beeinflußt, wenn der Drehtisch zu Winkelmessungen auf dem Koordinatenmeßgerät eingesetzt wird (z. B. Teilungsprüfung bei Zahnrädern). Zur Berechnung der Winkelpositionsabweichung führt der Rechner des Koordinatenmeßgerätes eine Koordinatentransformation durch. Hierbei wird das Koordinatensystem, das durch den Satz vom Koordinatenmeßgerät aufgenommener Meßpunkte in einer ersten Winkelstellung des Tisches gebildet ist, durch Anwendung einer reinen Drehoperation in das Koordinatensystem überführt, das einem zweiten Satz Meßpunkte, aufgenommen in einer um den Winkel α weitergedrehten, zweiten Position entspricht. Zur Verdeutlichung wird hier auf die Fig. 2 verwiesen, in der die Meßposition, in der der zweite Datensatz aufgenommen wird, gestrichelt dargestellt ist.
Im folgenden wird die mathematische Auswertung der Ermittlung der Winkelpositionsabweichungen in Matrizendarstellung beschrieben. Dabei ist zu berücksichtigen, daß hier ein zweidimensionales Problem vorliegt. Demzufoge erfolgt die mathematische Ableitung auch in zweidimensionaler Darstellung. Die verwendeten Matrizen sind mit Großbuchstaben bezeichnet.
1. Grundlagen
Ermittelt man einen Satz von Koordinaten der Prüfkörpermeßpunkte mit einem Koordinatenmeßgerät, das ein ideales, d. h. fehlerfreies Koordinatensystem aufweist, z. B. für die xy-Meßebene, so erhält man für die erste Winkelstellung "0" des Tisches bzw. für die zweite um den Winkel α gedrehte Position die beiden Koordinaten-Matrizen
bzw.
mit n=Anzahl der Prüfkörpermeßpunkte.
Durch eine lineare Transformation mit Hilfe der Rotationsmetrix R lassen sich die Koordinaten der 2. Stellung in die der ersten nach GL. (3) überführen:
X α = X 0 · R x (3)
Dabei sind:
Bei realen Messungen, also beim Einsatz von in der Regel fehlerbehafteten Koordinatenmeßgeräten müssen die systematischen Gerätefehler berücksichtigt werden. Hierzu werden folgende Annahmen getroffen:
Da von diesem Meßverfahren nur ein relativ kleiner Teil des Koordinatenmeßgerät-Koordinatensystems ausgenutzt wird, soll gelten, daß in diesem Bereich das (lokale) Koordinatensystem ungeradlinig und schiefwinklig ist und unterschiedliche Maßstabsfaktoren in den beiden verwendeten Achsen aufweist. Die diese Gerätefehler beschreibende Matrix ist die Metrik-Matrix M
mit
m₁₁ = Maßstabsfaktor der 1. Achse (z. B. x-Achse)
m₂₂ = Maßstabsfaktor der 2. Achse (z. B. y-Achse)
m₁₂ = cos ϕ (ϕ = Winkel zwischen den Achsen).
Die Metrik-Matrix eines im obigem Sinne fehlerfreien Koordinatenmeßgerätes würde somit
lauten.
2. Messung
Die Messung der Koordinaten der Prüfkörpermeßpunkte erfolgt im realen, d. h. fehlerhaften Koordinatensystem des Koordinatengerätes. Man erhält analog zu Gl. (1) und Gl. (2) folgenden Koordinaten-Matrizen für das reale Koordinatensystem:
bzw.
Der Zusammenhang zwischen den Koordinaten (Gl. (1), (2)), ermittelt in einem idealen Koordinatensystem und den gemessenen Koordinaten im realen Koordinatensystem (Gl. (6), (7)), wird mit Hilfe der Metrik-Matrix M durch Gl. (8) hergestellt:
X om = X o · M; X α m = X α · M (8)
Gl. (3) in Gl. (8) eingesetzt ergibt bei Auflösung nach X α m :
X α m = X om · M -1 · R · M (9)
Das hochgestellte -1 bedeutet hier und im folgenden die Invertierung von Matrizen, d. h. M -1 ist die Inverse der Matrix M.
Gl. (9) gilt nur, wenn außer den durch die Metrik berücksichtigten Abweichungen keine weiteren Abweichungen auftreten. In der Praxis werden jedoch aufgrund von zufälligen und nicht erfaßten systematischen Abweichungen beim Einsetzen der gemessenen Koordinatenwerte X om in Gl. (9) Widersprüche entstehen. Diese sollen mit Hilfe der Gaußschen "Methode der kleinsten Quadrate" minimiert werden. Dabei werden die nicht berücksichtigten systematischen Abweichungen wie zufällige behandelt.
Zur Berücksichtigung dieser Widersprüche wird deshalb in Gl. (9) eine Matrix E eingeführt.
X α m = X om · M -1 · R · M + E (10)
E ist eine Matrix, in der die o. a. zufälligen und nicht erfaßten systematischen Verfahrensfehler enthalten sind. Mit
K = M -1 · R · M (11)
vereinfacht sich Gl. (10) zu
X a m = X om · K + E (12)
Die Elemente der Matrix K sollen nun so bestimmt werden, daß die Summe der Quadrate der in E enthaltenen Abweichungen ein Minimum wird.
3. Lösung
Bei der Lösung dieses mathematischen Problemes kann von bekannten Ansätzen ausgegangen werden (siehe S. Brandt: "Statische Methoden der Datenanalysen", B I-Hochschulscripten 816, 816a (1968). Man erhält aufgrund der Forderung nach Minimierung der Fehlerquadratsumme als Lösung für K unter der Annahme gleichgenauer Meßwerte X
Hierbei bedeutet das hochgestellte T die transponierte Matrix. Durch Ausmultiplizieren von Gl. (11) erhält man die Elemente der Matrix K zu
Der gesuchte Drehwinkel α k ergibt sich aus
wobei für k₁₁ und k₂₂ die entsprechenden Zahlenwerte aus K nach Gl. (14) einzusetzen sind. Aus Gl. (14) bzw. (15) wird deutlich, daß unter den vorne angeführten Annahmen die Fehler des Koordinatengerätes nicht in das Meßergebnis eingehen.
Nachdem also der zu dieser Koordinatentransformation gehörige Drehwinkel α k durch Auflösen der betreffenden Matrixgleichungen ermittelt ist, ergibt die Differenz dieses, aus den vom Koordinatenmeßgerät gelieferten Meßwerten errechneten Winkels α k zu dem vom Drehtisch angezeigten Winkel α d dann die Winkelpositionsabweichung p w .
Das vorstehend beschriebene Verfahren, bei dem der Drehwinkel α k durch Vergleich zweier kartesischer Koordinatensysteme ermittelt wird, liefert ganz überraschend sehr genaue Ergebnisse. Grund dafür ist die Tatsache, daß ein Großteil der Maschinenfehler des zur Aufnahme der Meßpunkte benutzten Koordinatenmeßgerätes überhaupt nicht in das Meßergebnis eingeht. So ist der errechnete Winkel α k unabhängig von Rechtwinkligkeitsfehlern der Achsen des Koordinatenmeßgerätes. Auch unterschiedliche Maßstabsfaktoren, z. B. bedingt durch unterschiedliche Temperaturen an den Maßstäben des Koordinatenmeßgerätes, beeinflussen das Meßergebnis nicht.
Somit hängt die Genauigkeit dieses Verfahrens im wesentlichen von der Güte der Kugeln des Prüfkörpers, der Größe des Prüfkörpers, der Anzahl der Kugeln und den nichtlinearen Fehlern des Koordinatenmeßgerätes in den vom Prüfkörper eingenommenen Meßbereich ab. Mit handelsüblichen Koordinatenmeßgeräten und dem in Fig. 2 beschriebenen Prüfkörper läßt sich deshalb ohne weiteres eine Genauigkeit bei der Winkelpositionsbestimmung von besser als 0,2″ erzielen. Eine weitere Erhöhung der Zahl der Meßpunkte (Kugeln) bringt hierbei wenig Vorteile, sondern vergrößert nur die zu deren Antastung nötige Meßzeit. Diese läßt sich natürlich verkürzen, wenn der Tastkopf (5) der Meßmaschine ein selbstzentrierendes Antasten der Meßpunkte erlaubt und mit einem für derartige Zwecke üblichen Taststift gearbeitet wird. Hierzu wird auf den Artikel von F. Wäldele und H. Kunzmann mit dem Titel "Der Kugelstab als kinematischer Prüfkörper für Koordinatenmeßgeräte" in VDI-Bericht 529, Seite 161-177 verwiesen.
Die so ermittelte Winkelpositionsabweichung p w ( α ) kann ebenso wie die vorstehend genannten Laufabweichungen f a ( a ), f r ( α ) und f t ( α ) der Achse des Rundtisches im Rechner (6) des Koordinatenmeßgerätes gespeichert und zur Korrektur der im normalen Betrieb des Koordinatenmeßgerätes anfallenden Meßwerte verwendet werden.
In Fig. 3 ist ein Diagramm dargestellt, das beispielhaft den Verlauf der in Schritten von 15° gemessenen Werte der Winkelpositionsabweichung eines Serien-Drehtisches zeigt. Wenn für die rechnerische Korrektur des vom Drehtisch ausgegebenen Winkels Zwischenwerte benötigt werden, so lassen sich diese durch eine Interpolation zwischen den gemessenen Stützpunkten gewinnen.
Das beschriebene Verfahren ist selbstverständlich nicht davon abhängig, ob und zu welcher der Achsen des Koordinatenmeßgerätes der Drehtisch ausgerichtet ist. Es kam vielmehr auf sämtliche Achsen (x, y, z) des Koordinatenmeßgerätes angewendet werden.

Claims (10)

1. Verfahren zur Messung von Drehtischabweichungen, wobei der Drehtisch im Meßvolumen eines Koordinatenmeßgerätes angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß
  • - auf dem Drehtisch (1) ein Prüfkörper (4) befestigt wird, der eine Vielzahl definierter, durch Antastflächen gebildeter Meßpunkte (K 1, K 2 . . .) trägt,
  • - die Meßpunkte in verschiedenen Winkelstellungen (α i ) des Drehtisches jeweils mit dem Koordinatenmeßgerät (3) durch Antastung ermittelt werden,
  • - aus den Sätzen von Meßpunktkoordinaten, die den jeweiligen Winkelstellungen (α i ) zugeordnet sind, die Drehtischabweichungen (p w , f a , f r , f t ) berechnet werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Drehtisch (1) mit seiner Drehachse (2) etwa parallel zu einer der Maschinenachsen (Z) des Koordinatenmeßgerätes ausgerichtet und zur Berechnung der axialen Laufabweichung (f a ) des Drehtisches für jeden Satz der Meßpunktkoordinaten der Schwerpunkt (S( α )) ermittelt und in dieser Maschinenachse (Z) der Verlauf der Schwerpunktkoordinate (Z₁-Z₁₆) bestimmt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Berechnung der radialen Laufabweichung (f r ) des Drehtisches (1) für jeden Satz von Meßpunktkoordinaten der Schwerpunkt (S) ermittelt und der Verlauf der Schwerpunktkoordinate in einer zur Drehachse (Z) senkrechten Ebene (X, Y) bestimmt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Verlauf der Schwerpunkte (S( α )) der Koordinatensätze in der Ebene (X, Y) bestimmt und die durch Fehlzentrierung des Prüfkörpers (4) auf dem Drehtisch (1) verursachte Kreisbewegung rechnerisch ermittelt und eliminiert wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Berechnung der Taumelabweichung (f t ) des Drehtisches für jeden Satz von Meßpunktkoordinaten die Normale auf eine an die Meßpunkte bestangepaßte Ebene bestimmt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 2 und Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß bei Verwendung von Prüfkörpern mit unregelmäßiger Meßpunktverteilung der Verlauf der Schwerpunkte (S(α)) der Koordinatensätze in einer zur Drehachse des Drehtisches senkrechten Ebene (X, Y) bestimmt wird und daß der Einfluß der Taumelabweichung (f t ) entsprechend dem Abstand des Schwerpunkts von der Drehachse des Drehtisches ermittelt und bei der Berechnung der axialen Laufabweichung (f a ) berücksichtigt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Berechnung der Winkelpositionsabweichung (p w ) die den Sätzen von Meßpunkten zugeordneten Koordinatensysteme in den jeweiligen Drehstellungen des Tisches durch eine Transformation ineinander übergeführt werden, die einer reinen Rotation entspricht, und der zugehörige Rotationswinkel (α k ) berechnet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die in den einzelnen Winkelstellungen (α i ) ermittelten Werte für die Winkelpositions- bzw. Laufabweichungen als Korrekturwerte in den Rechner (6) des mit dem Drehtisch (1) betriebenen Koordinatenmeßgerätes (3) eingegeben werden.
9. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Prüfkörper eine Kugelplatte (4) ist.
10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kugeln (K₁ bis K₁₆) gleichmäßig auf der Platte (4) verteilt sind.
DE19863637410 1986-11-03 1986-11-03 Verfahren zur messung von drehtischabweichungen Granted DE3637410A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863637410 DE3637410A1 (de) 1986-11-03 1986-11-03 Verfahren zur messung von drehtischabweichungen
GB8725547A GB2197478B (en) 1986-11-03 1987-10-30 Method of measuring rotary-table deviations
US07/116,509 US4819339A (en) 1986-11-03 1987-11-02 Method of measuring rotary-table deviations
JP62275874A JPS63122912A (ja) 1986-11-03 1987-11-02 回転テーブルの偏位を測定する方法並びにこの方法を実施する装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863637410 DE3637410A1 (de) 1986-11-03 1986-11-03 Verfahren zur messung von drehtischabweichungen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3637410A1 true DE3637410A1 (de) 1988-05-11
DE3637410C2 DE3637410C2 (de) 1989-09-07

Family

ID=6313061

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19863637410 Granted DE3637410A1 (de) 1986-11-03 1986-11-03 Verfahren zur messung von drehtischabweichungen

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4819339A (de)
JP (1) JPS63122912A (de)
DE (1) DE3637410A1 (de)
GB (1) GB2197478B (de)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4027339A1 (de) * 1989-08-29 1991-03-14 Mitutoyo Corp Verfahren und vorrichtung zur vermessungssteuerung eines koordinaten-messfuehlers mit drehtisch
WO2002025220A1 (de) * 2000-09-18 2002-03-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Vorrichtung und verfahren zur erfassung der rotationsbewegung eines um eine achse drehbar gelagerten elementes
WO2005071350A1 (de) * 2004-01-26 2005-08-04 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Messsystem zum geometrischen vermessen eines werkstückes
WO2007107324A1 (de) 2006-03-22 2007-09-27 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Prüfkörper und verfahren zum einmessen eines koordinatenmessgerätes
EP1953615A1 (de) * 2007-01-26 2008-08-06 AfM Technology GmbH Vorrichtung und Verfahren zur Korrektur eines Positionierungssystems
DE102008058198A1 (de) 2008-11-13 2010-05-20 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Messgröße an einem Messobjekt
WO2013110338A1 (de) 2012-01-26 2013-08-01 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager
DE102012207336A1 (de) * 2012-05-03 2013-11-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Bestimmung der Achse eines Drehtisches bei einem Koordinatenmessgerät.
US8600523B2 (en) 2007-01-23 2013-12-03 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Control of an operation of a coordinate measuring device
DE102019208946A1 (de) * 2019-06-19 2020-12-24 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Lage einer Drehachse eines Drehtisches sowie Drehtisch und Koordinatenmessgerät
DE102019220247A1 (de) * 2019-12-19 2021-06-24 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zum optischen Kalibrieren von Drehachsen für Koordinatenmessungen
DE102021129694A1 (de) 2021-11-15 2023-05-17 Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig Und Berlin Verfahren zum Kalibrieren eines Koordinatenmessgeräts und/oder eines Drehtischs, Koordinatenmessgerät und Kugelteller
DE102010038783B4 (de) 2009-08-11 2024-10-24 Okuma Corporation Verfahren und Programm zum Erkennen von geometrischen Fehlern

Families Citing this family (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5209131A (en) * 1989-11-03 1993-05-11 Rank Taylor Hobson Metrology
IT1241183B (it) * 1990-02-27 1993-12-29 Prima Misure S.P.A. Sistema per la verifica metrologica e per l'autocorrezione degli errori geometrici di rilevamento di una macchina di misura.
IT1240203B (it) * 1990-04-20 1993-11-27 Comau Spa Procedimento e dispositivo per il controllo di attrezzature utilizzate in macchine o stazioni di linee di produzione
US5297055A (en) * 1990-04-20 1994-03-22 The Gleason Works Multi-functional measurement system
FR2662793B1 (fr) * 1990-05-30 1994-03-18 Renault Installation de mesure en continu des defauts de forme d'une piece, et procede de mesure mis en óoeuvre dans cette installation.
GB9119304D0 (en) * 1991-09-10 1991-10-23 Renishaw Transducer Syst Method and apparatus for calibration of angular displacement
GB9120029D0 (en) * 1991-09-19 1991-11-06 System E Controls Ltd Measuring apparatus and method
JP2809295B2 (ja) * 1992-03-26 1998-10-08 株式会社東京精密 座標測定機及びその測定方法
DE4238139C2 (de) * 1992-11-12 2002-10-24 Zeiss Carl Koordinatenmeßgerät
DE4326551C2 (de) * 1993-08-07 1997-04-17 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Kalibrier-Verfahren zum Ermitteln und Kompensieren unterschiedlicher Antastkraft-Verhältnisse bei Mehrkoordinaten-Tastsystemen
DE9403142U1 (de) * 1994-02-25 1994-06-09 Leitz Meßtechnik GmbH, 35578 Wetzlar Koordinatenmeßmaschine, bei der der Taster von Hand auf den Meßpunkt des Werkstückes gefahren wird
DE4424871C2 (de) * 1994-07-14 1998-04-09 Leitz Mestechnik Gmbh Verfahren zur Optimierung der Korrektur maschinenbedingter Meßfehler einer Koordinatenmeßmaschine
US6697748B1 (en) * 1995-08-07 2004-02-24 Immersion Corporation Digitizing system and rotary table for determining 3-D geometry of an object
US5832416A (en) * 1995-09-01 1998-11-03 Brown & Sharpe Manufacturing Company Calibration system for coordinate measuring machine
DE19534535C2 (de) * 1995-09-18 2000-05-31 Leitz Mestechnik Gmbh Koordinatenmeßmaschine
GB9612383D0 (en) 1995-12-07 1996-08-14 Rank Taylor Hobson Ltd Surface form measurement
US6024576A (en) * 1996-09-06 2000-02-15 Immersion Corporation Hemispherical, high bandwidth mechanical interface for computer systems
DE19644712A1 (de) * 1996-10-28 1998-05-07 Eugen Dr Trapet Kugelquader
DE19734695C1 (de) * 1997-08-11 1998-11-05 Leica Mikroskopie & Syst Verfahren zur Korrektur der Messfehler einer Koodinaten-Messmaschine
JP3126114B2 (ja) * 1997-11-12 2001-01-22 株式会社ミツトヨ 非接触表面粗さ測定装置
DE19815098B4 (de) * 1998-04-03 2005-07-14 Leitz Messtechnik Gmbh Verfahren zur Messung von Drehtischabweichungen
GB2350429B (en) * 1999-05-28 2003-11-12 Taylor Hobson Ltd A metrological instrument
DE10018214A1 (de) * 2000-04-12 2001-10-25 Dreier Technology Ag Chur Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen von Fertigungsmaschinen
JP2001330428A (ja) 2000-05-23 2001-11-30 Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti ３次元測定機の測定誤差評価方法及び３次元測定機用ゲージ
EP1342050B1 (de) * 2000-09-28 2006-06-14 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH Ermittlung von korrekturparametern einer dreh- schwenkeinheit mit messendem sensor ( koordinatenmessgerät ) über zwei parameterfelder
KR100491267B1 (ko) * 2001-01-30 2005-05-24 가부시키가이샤 아사누마 기켄 3차원 측정기의 측정 오차 평가 방법 및 3차원 측정기용 게이지
JP4020787B2 (ja) * 2001-04-27 2007-12-12 三洋電機株式会社 水処理装置
DE10122080A1 (de) * 2001-05-07 2002-11-14 Carl Zeiss 3D Metrology Servic Verfahren zum Bestimmen von Eigenschaften eines Koordinatenmeßgeräts sowie Testobjekt hierzu
WO2002091436A1 (en) * 2001-05-09 2002-11-14 Koninklijke Philips Electronics N.V. Apparatus for the measurement or machining of an object, provided with a displacement stage with wedge-shaped guides
DE10209776B3 (de) * 2002-02-28 2004-04-29 Carl Zeiss Fluid-Drehlager und Koordinaten-Messgerät
EP1491287B1 (de) * 2002-03-13 2009-12-02 IBS Precision Engineering B.V. Selbstzentrierende erfassungsvorrichtung
JP3837503B2 (ja) * 2002-05-09 2006-10-25 独立行政法人産業技術総合研究所 ３次元座標評価ゲージ
JP2004205288A (ja) * 2002-12-24 2004-07-22 Mori Seiki Co Ltd 計測装置及びこれを備えた精度解析装置
JP2005300248A (ja) * 2004-04-08 2005-10-27 Mitsutoyo Corp 載置テーブル、表面性状測定機および表面性状測定方法
US7191535B2 (en) * 2005-02-28 2007-03-20 United Technologies Corporation On-machine automatic inspection of workpiece features using a lathe rotary table
GB0712008D0 (en) * 2007-06-21 2007-08-01 Renishaw Plc Apparatus and method of calibration
US7587834B2 (en) * 2008-02-07 2009-09-15 Eaton Homer L Motorized coordinate measuring device
US8250772B2 (en) * 2008-02-07 2012-08-28 Eaton Homer L Spatial measurement and robotic arm device
GB2464509C (en) * 2008-10-17 2014-05-21 Taylor Hobson Ltd Surface measurement instrument and method
JP5287266B2 (ja) * 2009-01-09 2013-09-11 株式会社ニコン 測定装置
DE102009045515B3 (de) * 2009-10-09 2011-03-03 Dreier Lasermesstechnik Gmbh Vorrichtung zur Überprüfung der Genauigkeit von Werkzeugmaschinen und Messeinrichtungen
US8577495B2 (en) * 2010-11-22 2013-11-05 GM Global Technology Operations LLC Automatic calibration and compensation for a CNC machine table and an associated probe
US8712577B2 (en) * 2011-02-23 2014-04-29 GM Global Technology Operations LLC Electronic system and method for compensating the dimensional accuracy of a 4-axis CNC machining system using global and local offsets
US8761920B2 (en) * 2011-03-16 2014-06-24 GM Global Technology Operations LLC Automatic probing, compensation, and adjustment of a flexible fixture for a CNC machine
CN102430959A (zh) * 2011-10-10 2012-05-02 西安交通大学 数控机床转台运动误差的快速检测方法
DE102013204333A1 (de) * 2013-03-13 2014-09-18 Krones Ag Vorrichtung und Verfahren zum Überprüfen der Etikettiergenauigkeit an Behältern
CN104020006A (zh) * 2014-06-20 2014-09-03 烟台环球机床附件集团有限公司 一种检测数控转台综合性能的试验装置
DE102014116406B3 (de) * 2014-11-11 2016-01-28 Hexagon Metrology Gmbh Verfahren zur Korrektur eines Getriebewinkelfehlers bei einem Drehtisch eines Messgeräts
CN108780112A (zh) * 2016-03-11 2018-11-09 赛博光学公司 三维非接触式扫描系统的场校准
GB201702391D0 (en) 2017-02-14 2017-03-29 Renishaw Plc Surface sensing device
CN109765051A (zh) * 2017-11-09 2019-05-17 核工业理化工程研究院 旋转机械偏摆量的测量装置及测量方法
JP7261144B2 (ja) * 2018-11-01 2023-04-19 株式会社ミツトヨ 測定デバイスのスタイラスの位置を示すための誘導性位置検出構成体
JP6631984B1 (ja) * 2019-06-25 2020-01-15 株式会社浅沼技研 検査マスタ
EP3839416A1 (de) 2019-12-19 2021-06-23 Hexagon Metrology GmbH Anordnung zum reduzieren von fehlern einer drehvorrichtung bei der bestimmung von koordinatenmesswerten eines werkstückes
CN114986253A (zh) * 2022-06-27 2022-09-02 科德数控股份有限公司 一种圆柱型回转精度检测工装、制造方法和检测方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2940633A1 (de) * 1979-10-06 1981-04-16 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der drehachse eines rundtisches in mehrkoordinaten-messgeraeten

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1479621A (en) * 1974-08-07 1977-07-13 Rank Organisation Ltd Measuring apparatus
US4695982A (en) * 1985-07-12 1987-09-22 Verbatim Corporation Hub hole characterization system

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2940633A1 (de) * 1979-10-06 1981-04-16 Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der drehachse eines rundtisches in mehrkoordinaten-messgeraeten

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Z.: Feingerätetechnik, 31(1982) S. 394-397 *
DE-Z.: Technsiches Messen, 51(1984) S. 83-95 *

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4027339C2 (de) * 1989-08-29 2002-10-31 Mitutoyo Corp Verfahren und Vorrichtung zur Vermessungssteuerung eines Koordinaten-Meßfühlers mit Drehtisch
DE4027339A1 (de) * 1989-08-29 1991-03-14 Mitutoyo Corp Verfahren und vorrichtung zur vermessungssteuerung eines koordinaten-messfuehlers mit drehtisch
WO2002025220A1 (de) * 2000-09-18 2002-03-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Vorrichtung und verfahren zur erfassung der rotationsbewegung eines um eine achse drehbar gelagerten elementes
US6964102B2 (en) 2000-09-18 2005-11-15 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Device and method for detecting the rotational movement of an element rotatably mounted about an axis
WO2005071350A1 (de) * 2004-01-26 2005-08-04 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Messsystem zum geometrischen vermessen eines werkstückes
WO2007107324A1 (de) 2006-03-22 2007-09-27 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Prüfkörper und verfahren zum einmessen eines koordinatenmessgerätes
US8600523B2 (en) 2007-01-23 2013-12-03 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Control of an operation of a coordinate measuring device
EP1953615A1 (de) * 2007-01-26 2008-08-06 AfM Technology GmbH Vorrichtung und Verfahren zur Korrektur eines Positionierungssystems
DE102008058198A1 (de) 2008-11-13 2010-05-20 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Messgröße an einem Messobjekt
DE102010038783B4 (de) 2009-08-11 2024-10-24 Okuma Corporation Verfahren und Programm zum Erkennen von geometrischen Fehlern
WO2013110338A1 (de) 2012-01-26 2013-08-01 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zum ermitteln eines korrekturwerts für eine überwachung eines fluidlagers und maschine mit mindestens einem fluidlager
US9671210B2 (en) 2012-01-26 2017-06-06 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Method for determining a correction value for the monitoring of a fluid bearing and machine having at least one fluid bearing
US9683827B2 (en) 2012-05-03 2017-06-20 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Method for determining the axis of the rotary table in a coordinate measuring machine
DE102012207336A1 (de) * 2012-05-03 2013-11-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur Bestimmung der Achse eines Drehtisches bei einem Koordinatenmessgerät.
DE102019208946A1 (de) * 2019-06-19 2020-12-24 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Lage einer Drehachse eines Drehtisches sowie Drehtisch und Koordinatenmessgerät
US11592278B2 (en) 2019-06-19 2023-02-28 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Method and apparatus for determining a relative position of an axis of rotation of a rotary table for a coordinate measuring machine
DE102019220247A1 (de) * 2019-12-19 2021-06-24 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zum optischen Kalibrieren von Drehachsen für Koordinatenmessungen
DE102019220247B4 (de) 2019-12-19 2024-09-26 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren und Anordnung zum optischen Kalibrieren von Drehachsen für Koordinatenmessungen
DE102021129694A1 (de) 2021-11-15 2023-05-17 Physikalisch-Technische Bundesanstalt Braunschweig Und Berlin Verfahren zum Kalibrieren eines Koordinatenmessgeräts und/oder eines Drehtischs, Koordinatenmessgerät und Kugelteller

Also Published As

Publication number Publication date
GB8725547D0 (en) 1987-12-02
DE3637410C2 (de) 1989-09-07
JPS63122912A (ja) 1988-05-26
GB2197478B (en) 1990-08-29
US4819339A (en) 1989-04-11
GB2197478A (en) 1988-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3637410C2 (de)
EP0362626B1 (de) Prüfkörper für Koordinatenmessgeräte
EP2844953B1 (de) Verfahren zur bestimmung der achse eines drehtisches bei einem koordinatenmessgerät
DE60315050T2 (de) Vorrichtung und verfahren zur messung, kompensation und prüfung eines numerisch gesteuerten werkzeugskopfes und/oder tisches
EP0078984A2 (de) Verfahren zur Kalibrierung von Taststiften an Mehrkoordinaten-Messmaschinen
DE102016110453A1 (de) Messgerät und Verfahren zur Justage der Lage eines rotationssymmetrischen Werkstücks
EP0082441A2 (de) Verfahren und Einrichtung zur Ermittlung und Korrektur von Führungsfehlern
EP0185167B1 (de) Optisch-elektronisches Messverfahren, eine dafür erforderliche Einrichtung und deren Verwendung
DE2649641A1 (de) Maschine zur messung der abmessungen von werkstuecken
DE3540649C2 (de) Vorrichtung zum Messen der Profilform von zylindrischen Werkstückflächen
DE19611617C2 (de) Prüfeinrichtung zur Ermittlung geometrischer Abweichungen von taktilen Koordinatenmessgeräten, bestehend aus einem Präzisions-Prüfkörper und einer eindeutig zugehörigen Tasterkonfiguration
DE19810811B4 (de) Ebenheitsmeß- und Analysierverfahren
DE4424871C2 (de) Verfahren zur Optimierung der Korrektur maschinenbedingter Meßfehler einer Koordinatenmeßmaschine
DE19815098B4 (de) Verfahren zur Messung von Drehtischabweichungen
DE102021129694A1 (de) Verfahren zum Kalibrieren eines Koordinatenmessgeräts und/oder eines Drehtischs, Koordinatenmessgerät und Kugelteller
DE10048096A1 (de) Verfahren zur Kalibrierung eines messenden Sensors auf einem Koordinatenmeßgerät
DE19924511A1 (de) Vermessungverfahren für eine Handhabungsvorrichtung
EP1505464B1 (de) Verfahren zur Genauigkeitsüberprüfung einer Hochpräzisions-Werkzeugmaschine
DE102009020977B4 (de) Kegelradnormal
DE3719838A1 (de) Formverkoerperung zur genauigkeitsueberpruefung von koordinatenmessgeraeten
DE2938662C2 (de)
DE102017119488B9 (de) Verfahren zum Bestimmen der Summenteilungsabweichungen von Positionsverkörperungen eines Werkstücks mit einer Kreisteilung
DE19711361A1 (de) Prüfkörper für optische Industriemeßsysteme und Koordinatenmeßgeräte mit optischen Flächensensoren
DE19733711B4 (de) Verfahren zur Aufnahme und/oder Überprüfung der geometrischen Abweichungen der Z-Achse eines Koordinatenmeßgerätes
DE69604539T2 (de) Verfahren zur Bewertung verschiedener Fehler einer Werkzeugmaschine

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH, 73447 OB