DE3633916A1 - Verfahren zur selektiven messung der konzentrationen von ir- bis uv-strahlung absorbierenden gasfoermigen und/oder fluessigen substanzen in gasen und/oder fluessigkeiten und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens - Google Patents

Verfahren zur selektiven messung der konzentrationen von ir- bis uv-strahlung absorbierenden gasfoermigen und/oder fluessigen substanzen in gasen und/oder fluessigkeiten und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
Zur kontinuierlichen Bestimmung einer gasförmigen oder auch flüssigen Substanz innerhalb eines Gemisches werden für den prozeßtechnischen Einsatz Photometer eingesetzt.
Ein Photometer mißt die Absorption elektromagnetischer Strahlung im Bereich vom UV bis IR. Basierend auf dem Einstrahl-Bifrequenzverfahren wird lediglich ein Meßstrahl verwendet, aber bei zwei verschiedenen Wellenlängen im Zeitmultiplex gemessen.
Bei einem Meßgerät genannter Art gelangt ein Lichtbündel von der Strahlungsquelle durch eine Meßzelle, die das zu analysierende Gas- oder Flüssigkeitsgemisch enthält, durch zwei alternierend in den Strahlengang eingebrachte optische Filter und eine Linse auf den Photodetektor. Diese Filter sind auf einer sich drehenden Scheibe angebracht und weisen unterschiedliche Wellenlängen für ihre Transmission auf.
Die zeitliche Zuordnung der auf den Detektor fallenden Strahlungsimpulse zu dem richtigen Filter wird durch eine zweite Scheibe erreicht, die auf derselben Achse wie das Filterrad angeordnet ist und deren Schlitze eine Lichtschranke steuern.
Die vom Detektor gelieferten Signale werden nach Vorverstärkung entweder auf analoge Weise oder nach Analog-Digital-Umsetzung rein digital weiterverarbeitet.
Die optischen Filter werden so ausgewählt, daß für die zu erfassende Komponente innerhalb des Gemisches ein Filter mit einer solchen Durchlaßwellenlänge eingesetzt wird, bei der diese Komponente eine für sie charakteristische Absorption zeigt. Neben dem "Meßfilter" wird noch ein "Referenzfilter" verwendet, dessen Durchlaßwellenlänge möglichst mit keiner Absorptionswellenlänge einer in der Absorptionszelle vorhandenen Substanz zusammenfällt. Durch Logarithmierung und Differenzbildung der Meß- und Referenzsignale kann mittels des Lambert-Beerschen Gesetzes die Extinktion und durch Multiplikation mit einem konstanten Faktor die Konzentration der gewünschten Substanz bestimmt werden.
Bei einem aus der DE-PS 27 27 976 bekannten Gerät, das wie gerade beschrieben funktioniert, läßt sich nur die Extinktion oder Konzentration einer einzigen Substanz in einem Gemisch bestimmen, was auf den optischen Aufbau und die Signalverarbeitung zurückgeht. Eine Erweiterung auf mehrere Substanzen ist bei dieser Methode ohne weiteres nicht möglich, da dann die verschiedenen Meßsignale überlappen und sich somit alle Meßwerte gegenseitig beeinflussen. Während bei dem oben beschriebenen Analysengerät für die Einkomponentenmessung eine Überlappung aufeinanderfolgender Signale durch einen zeitlich konstanten Korrekturwert näherungsweise kompensierbar ist, kann dieses Verfahren bei einem Multikomponentengerät nicht angewendet werden, da es die Konstanz des vorhergehenden Impulses zur Voraussetzung hat.
Das beschriebene System weist weiterhin den Nachteil auf, daß bei einigen Anwendungsfällen eine spektrale Überlappung der Absorption der zu messenden Substanz mit denen anderer Komponenten möglich ist, so daß daraus eine nicht mehr tragbare Querempfindlichkeit resultiert.
Fig. 1 zeigt schematisch den optischen Aufbau des Detektorkopfes eines Photometers nach dem Stand der Technik. Dieser ist durch die rotierende Scheibe mit den zwei Interferenzfiltern gekennzeichnet, die vor der Sammellinse und dem Detektor angeordnet ist.
Der Anzahl der gleichzeitig meßbaren Komponenten sind bei dieser Anordnung jedoch gewisse Grenzen gesetzt: Zum einen lassen sich bei den bisherigen Filterdurchmessern kaum weitere Filter unterbringen, kleinere würden dagegen einen Intensitätsverlust und somit größeres Rauschen bedeuten. Weiterhin müßte mit extremen Überlagerungen der Signalimpulse gerechnet werden, die auf die thermische Zeitkonstante des pyroelektrischen Detektors zurückgehen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Prozeßphotometer eingangs genannter Art so zu verbessern, daß eine gleichzeitige Messung der Konzentrationen mehrerer Substanzen ermöglicht wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mittels der im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Verfahrensschritte und einer Vorrichtung nach Anspruch 3 zur Durchführung derselben gelöst.
Die übrigen Ansprüche geben vorteilhafte Weiterbildungen und Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens und der Vorrichtung zur Durchführung desselben an.
Erfindungsgemäß weist das Filterrad statt 2 weitere Filter auf: Für jede zu erfassende Gas- oder Flüssigkeitskomponente i wird ein Filter mit einer solchen Durchlaßwellenlänge eingesetzt, bei dem diese Komponente eine für sie charakteristische Absorption zeigt. Neben diesen i "Meßfiltern" werden noch ein oder mehrere "Referenzfilter" verwendet, deren Durchlaßwellenlängen möglichst mit keiner Absorption einer in der Absorptionsküvette vorhandenen Substanz zusammenfallen.
Das genannte Filterrad ist in den konvergenten Strahlengang zwischen Linse und Detektor eingebracht.
Die Meßwertverarbeitung wird nach A/D-Umsetzung rein digital mittels Mikrocomputer durchgeführt, wobei eine zeitliche Überlappung der Detektorsignale in der Weise kompensiert wird, daß von den integrierten Rohmeßwerten eine Größe subtrahiert wird, die proportional zum Rohmeßwert des vorhergehenden Signals ist oder als Potenzfunktion dieses Signals dargestellt wird.
Diese Kompensation wird sowohl für das Meßsignal als auch für das entsprechende Dunkelsignal durchgeführt. Wichtig ist die Reihenfolge: Erst Kompensation der zeitlichen Signalüberlappung für Meß- und Dunkelsignal, danach Subtraktion des so korrigierten Dunkelsignals von dem korrigierten Meßsignal. Andernfalls sind drastische Fehler bei starker Eigenstrahlung, z. B. bei beheizter Absorptionszelle, möglich.
Querempfindlichkeiten, die durch eine spektrale Überlappung der Absorptionsbanden der verschiedenen Gas- oder Flüssigkeitskomponenten entstanden, werden rechnerisch kompensiert. Dies kann durch iterative oder analytische Lösung eines Gleichungssystems erreicht werden, das bei i Komponenten aus i Gleichungen mit i Extinktionswerten besteht, wobei jede einzelne Gleichung die Extinktion E i (λ i ) bei der Wellenlänge g i als lineare Funktion aller i Konzentrationen darstellt. Nichtlineare Abhängigkeiten sind näherungsweise korrigierbar.
Die Erfindung ist im folgenden anhand der Fig. 1 bis 5 beschrieben. Dabei zeigt
Fig. 1 den optischen Aufbau eines Meßkopfes eines Prozeßphotometers nach dem Stand der Technik mit der Anordnung des Filters im Bereich der parallelen Strahlen im Strahlengang vor der Linse,
Fig. 2 den optischen Aufbau eines Prozeßphotometers nach dem Stand der Technik,
Fig. 3 den optischen Aufbau eines Multikomponenten-Systems mit der erfindungsgemäßen Anordnung der Filter im konvergenten Strahl zwischen Linse und Detektor,
Fig. 4 ein Blockschaltbild der Vorrichtung mit den funktionellen Bereichen: Meßkopf, Meßwert-Erfassung, -Verarbeitung und -Darstellung,
Fig. 5 eine schematische Darstellung der Signale Meßfenster, des verstärkten und integrierten Detektorsignals.
Die grundsätzliche Idee besteht darin, ein bisher nach Fig. 1 vor der Sammellinse angeordnetes Filterrad, wie in Fig. 3 dargestellt, zwischen Linse und Detektor in den konvergenten Strahlengang zu bringen. Dadurch kann die Zahl der Filter erhöht werden. Ein Intensitätsverlust tritt nicht auf.
Das durch diese Filteranordnung bedingte Kanalübersprechen wird durch das erfindungsgemäße Signalverarbeitungsverfahren auf ein vertretbares Maß herabgesetzt.
Das grundsätzliche Prinzip des Verfahrens besteht darin, von dem integrierten Meßsignal der Komponente i eine Spannung zu subtrahieren, die dem integrierten Meßsignal der Komponente i-1 proportional ist. Denkbar ist auch eine Erweiterung mit dem Polynom. Diese Prozedur kann sowohl durch Elektronik oder besser noch softwaremäßig mittels Mikroprozessor durchgeführt werden.
Die Fig. 4 zeigt ein Blockschaltbild der Vorrichtung mit den funktionellen Bereichen: Meßkopf 2, 5, 6, 6 a, 6 b, Meßwerterfassung 9, 10, 11, 12, 13, 27, Meßwertverarbeitung 8, 17 und Darstellung 15, 16, 19.
Das Antriebsorgan 6, das Filterrad 5 und die Synchronisierscheibe 6 a sind über die Antriebswelle 20 synchronisiert. Die von der Synchronisierscheibe 6 a beeinflußte Lichtschranke 6 b ist mit ihrem elektrischen Ausgang 21 mit einem Interrupteingang 22 des Mikroprozessors 8 und dem Triggereingang 23 eines ersten Zählers 11 verbunden, auf dessen Eingang 23 a der CPU-Takt geschaltet ist.
Der Zähler 11 wird über den Busanschluß programmiert und erzeugt softwarekontrolliert die dem jeweiligen Filter bzw. Referenzfilter zugeordneten Meßfenster, die über die Verbindung 24 am ersten Gattereingang 25 anstehen. Der Ausgang des Detektors 2 ist mit dem Eingang eines Spannungs-Frequenz-Umsetzers 10 verbunden, dessen Ausgang auf den zweiten Gattereingang 26 des Zählers 12 führt, der die seriellen Meßwerte innerhalb der Grenzen der Meßfenster integriert und in parallel kodierte Meßwerte umsetzt, die an der Busschnittstelle als Rohdaten anstehen.
Der an den Bus angeschlossene dritte Zähler 13 ist als programmierbarer Umsetzer geschaltet und dient der Steuerung des Antriebsorgans 6 (hier ein Schrittmotor), wobei eine Leistungsstufe 27 zwischengeschaltet ist.
Für bestimmte Antriebsorgane kann die Regelschleife für das Antriebsorgan 6 über die mechanische Kopplung mittels Antriebswelle 20, Lichtschranke 6 b und Mikroprozessor 8 geschlossen werden.
Zur Erläuterung der Software der Meßwertverarbeitung sind in Fig. 5 schematisch die Signale A Meßfenster, B das verstärkte und C das integrierte Detektorsignal dargestellt.
Folgende Abkürzungen werden für die maßgebenden Spannungen verwendet:
U R :ReferenzsignalU RD :Dunkelsignal Referenz
U′ R :Korrigiertes ReferenzsignalU′ RD :Korrigiertes Dunkelsignal Referenz
U′′ R :Zusammenfassung von U′ R und U′ RD
U M,i :Meßsignal der Meßkomponente Mi U MD,i :Dunkelsignal von Meßsignal der Komponente Mi
U′ M,i :Korrigiertes Meßsignal der Meßkomponente Mi U′ MD,i :Korrigiertes Dunkelsignal des Meßsignals der Meßkomponente Mi
U′′ M,i :Zusammenfassung von U′ M,i und U′ MD,i
E i :Extinktion der Meßkomponente Mi
Für ein 1-Komponenten-System mit drei gleichen Filtern und einem Referenzfilter gilt:
Dunkelsignalkorrektur
U′′ R = U R - n · U RD U′′ M,1= U M,1 - n · U MD,1
Extinktionsberechnung
E₁ = lg U′′ R - lg U′′ M,1
Im Fall eines 3-Komponenten-Systems mit drei Filtern und einem Referenzfilter gilt:
Erhöhung der Übersprechdämpfung
U′ R = U R - a U M,3 U′ RD = U RD - b U M,3
Dunkelsignalkorrektur
U′′ R = U′ R - n · U′ RD = (U R - n · U RD ) + (nb- a) U M,3
Erhöhung der Übersprechdämpfung
U′ M,1= U M,1 - a U R U′ MD,1= U MD,1 - b U R
Dunkelsignalkorrektur
U′′ M,1= U′ M,1 - n · U′ MD,1 = (U R - n · U MD,1) + (nb - a) U R
Erhöhung der Übersprechdämpfung
U′ M,2= U M,2 - a U M,1 U′ MD,2= U MD,2 - b U M,1
Dunkelsignalkorrektur
U′′ M,2= U′ M,2 - n · U′ MD,2 = (U M,2 - n · U MD,2) + (nb - a) U M,1
Erhöhung der Übersprechdämpfung
U′ M,3= U M,3 - a U M,2 U′ MD,3= U MD,3 - b U M,2
Dunkelsignalkorrektur
U′′ M,3= U′ M,3 - n · U′ MD,3 = (U M,3 - n · U MD,3) + (nb - a) · U M,2
Extinktionsberechnung für 3 Komponenten
E₁ = lg U′′ R - lg U′′ M,1
E₂ = lg U′′ R - lg U′′ M,2
E₃ = lg U′′ R - lg U′′ M,3
Zu beachten ist, daß der Korrekturterm proportional zu U M,i oder U R ist. Andernfalls kann ein systematischer Fehler bei hoher Eigenstrahlung auftreten. Zur Verdeutlichung sei als Extremfall angenommen, das Dunkelsignal betrage U RD =1V, das Referenzsignal U R =4V. Würde nun erst die Dunkelsignalkorrektur durchgeführt, dann wäre U R =0V und somit auch der Korrekturterm Null, obwohl starke Signale auf den Detektor fallen und eine Überlappung zu erwarten ist.
  • Bezugszeichen:  1 Strahlungsquelle
     2 Detektor
     3 Meßraum
     4 Linse
     5 Filterrad
     6 Antriebsorgan
     6 a Synchronisierscheibe
     6 b Lichtschranke
     7 Auswerteeinrichtung
     8 Mikroprozessor
     9 Schaltungsanordnung zur Meßwerterfassung
    10 Spannungs-Frequenz-Umsetzer
    11 erster Zähler
    12 zweiter Zähler
    13 dritter Zähler
    14 Streulichtblende
    15 Digital-Analog-Umsetzer
    16 Anzeigefeld
    17 Bedienfeld
    18 Synchronisationseinheit
    19 Spannungs-Strom-Wandler
    20 Antriebswelle
    21 Ausgang von 6 b
    22 Interrupt-Eingang von 8
    23 Triggereingang von 11
    23 a Eingang von 11
    24 Verbindung
    25 erster Gattereingang von 12
    26 zweiter Gattereingang von 12
    27 Leistungstreiber

Claims (6)

1. Verfahren zur selektiven Messung der Konzentrationen von IR- bis UV-Strahlung absorbierenden gasförmigen und/oder flüssigen Substanzen in Gasen und/oder Flüssigkeiten mittels der Transmissionstechnik, wobei die den Substanzen Ii₁ . . . Ii n-1 zugeordnete Intensität eines periodisch mittels Filter Fi₁ . . . Fi n-1 in Meßkomponenten Mi₁ . . . Mi n-1 unterbrochenen Strahls gemessen wird und jede Meßkomponente Mi aus einem Meßsignal und einem Dunkelsignal besteht, dadurch gekennzeichnet,
daß vom Meßwert des Meßsignals der Meßkomponente Mi ein Wert subtrahiert wird, der proportional zum Meßwert des jeweils vorhergehenden Meßsignals der Meßkomponente Mi-1 ist, vom Meßwert des Dunkelsignals der Meßkomponente Mi ein Wert subtrahiert wird, der proportional zum Meßwert des jeweils vorhergehenden Meßsignals der Komponente Mi-1 ist, und
daß die Querempfindlichkeit, die durch eine spektrale Überlappung der Absorptionsbanden der verschiedenen Gas- oder Flüssigkeitskomponenten entsteht, rechnerisch kompensiert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kompensation durch iterative oder analytische Lösung eines Gleichungssystems gelöst wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßwerte der Meßsignale und/oder der Dunkelsignale integriert werden.
4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 und 3 mit einer Strahlungsquelle (1), einem Detektor (2), einem im Strahlgang zwischen der Strahlenquelle (1) und einem Detektor (2) angeordneten, die Gase und/oder Flüssigkeiten enthaltenden Meßraum (3), einer Linse (4), einem Filterrad (5), einem Antriebsorgan (6), einer Synchronisierscheibe (6 a) und einer Auswerteeinrichtung (7) für die vom Detektor (2) gelieferten Meßsignale, mit einem Mikroprozessor (8), an dessen Bus eine Schaltungsanordnung zur Meßwerterfassung (9) angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß
das Filterrad (5) für jede Meßkomponente (Mi) ein Filter (Fi) ausweist, neben den Filtern (Fi) mindestens ein Referenzfilter (R ) vorhanden ist,
das Filterrad (5) derart angeordnet ist, daß die Filter (Fi) bzw. Referenzfilter (R ) in den konvergenten Strahlgang (4 a) zwischen Linse (4) und Detektor (2) einbringbar sind und die Schaltungsanordnung zur Meßwerterfassung (9)
einen Spannungs-Frequenz-Umsetzer (10), der das vom Detektor (2) bereitgestellte Meßsignal in eine Frequenz umsetzt,
einen ersten Zähler (11), der zum Erzeugen eines zeitvariablen Meßfensters dient,
einen zweiten Zähler (12), der innerhalb des Meßfensters die Meßfrequenz integrierend in einen parallel kodierten Meßwert umsetzt und
einen dritten Zähler (13), der als Umsetzer zum Steuern des Antriebsorgans (6) dient, aufweist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Linse (4) und Film (5) eine Streulichtblende (14) angeordnet ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Synchronisierscheibe (6 a) auf ihren Umfang jeweils eine jedem Filter (Fi) und jedem Referenzfilter (R ) zugeordnete Aussparung und eine weitere zur Markierung des Anfangs vom Meßzyklus aufweist.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995006873A1 (en) * 1993-09-03 1995-03-09 Shell Internationale Research Maatschappij B.V. A method and apparatus for determining the concentration of a component present in a fluid stream in dispersed form
DE10047728A1 (de) * 2000-09-27 2002-04-18 Draeger Medical Ag Infrarotoptischer Gasanalysator
EP3555592A4 (de) * 2016-12-16 2019-10-30 Siemens Healthcare Diagnostics Inc. Simultane messung von mehreren analyten eines flüssigkeitstests

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1235630B (de) * 1964-04-24 1967-03-02 Wolfgang Witte Dipl Phys Dr Verfahren zur spektroskopischen Identifizierung reiner Substanzen
US3723731A (en) * 1971-03-18 1973-03-27 Environmental Res & Tech Absorption spectroscopy
DE2527900B2 (de) * 1974-06-24 1977-04-28 Aeronutronic Ford Corp., Philadelphia, Pa. (V.StA.) Gasanalysator
DE2365605B2 (de) * 1971-09-07 1978-08-31 Chrysler Corp., Highland Park, Mich. (V.St.A.) Spektralphotometer
DE2324049C3 (de) * 1972-05-17 1979-07-26 Deutsche Itt Industries Gmbh, 7800 Freiburg Gerät zur photoelektrischen Analyse
DE2727976B2 (de) * 1977-06-22 1979-09-06 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe Vorrichtung zur Messung der Konzentration mindestens einer Komponente eines Gasgemisches und Verfahren zum Eichen derselben
DE2838706A1 (de) * 1978-08-07 1980-02-21 Foss Electric As N Vorrichtung zum messen der bestandteile einer fluessigkeitsprobe
DE3211571A1 (de) * 1981-06-30 1983-01-13 Shimadzu Corp., Kyoto Spektrophotometereinrichtung und verfahren zur korrektur von damit erhaltenen messwerten
DE3137660A1 (de) * 1981-09-22 1983-04-07 H. Maihak Ag, 2000 Hamburg Verfahren und vorrichtung zur messung des konzentrationsverhaeltnisses zweier ir-, nir-, vis- oder uv-strahlung absorbierender komponenten eines komponentengemischs
DE3444768A1 (de) * 1983-12-13 1985-06-20 Olympus Optical Co., Ltd., Tokio/Tokyo Verfahren zum korrigieren kolorimetrischer messergebnisse

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1235630B (de) * 1964-04-24 1967-03-02 Wolfgang Witte Dipl Phys Dr Verfahren zur spektroskopischen Identifizierung reiner Substanzen
US3723731A (en) * 1971-03-18 1973-03-27 Environmental Res & Tech Absorption spectroscopy
DE2365605B2 (de) * 1971-09-07 1978-08-31 Chrysler Corp., Highland Park, Mich. (V.St.A.) Spektralphotometer
DE2334964B2 (de) * 1971-09-07 1978-10-12 Chrysler Corp., Highland Park, Mich. (V.St.A.) Spektralphotometer
DE2324049C3 (de) * 1972-05-17 1979-07-26 Deutsche Itt Industries Gmbh, 7800 Freiburg Gerät zur photoelektrischen Analyse
DE2527900B2 (de) * 1974-06-24 1977-04-28 Aeronutronic Ford Corp., Philadelphia, Pa. (V.StA.) Gasanalysator
DE2727976B2 (de) * 1977-06-22 1979-09-06 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe Vorrichtung zur Messung der Konzentration mindestens einer Komponente eines Gasgemisches und Verfahren zum Eichen derselben
DE2838706A1 (de) * 1978-08-07 1980-02-21 Foss Electric As N Vorrichtung zum messen der bestandteile einer fluessigkeitsprobe
DE3211571A1 (de) * 1981-06-30 1983-01-13 Shimadzu Corp., Kyoto Spektrophotometereinrichtung und verfahren zur korrektur von damit erhaltenen messwerten
DE3137660A1 (de) * 1981-09-22 1983-04-07 H. Maihak Ag, 2000 Hamburg Verfahren und vorrichtung zur messung des konzentrationsverhaeltnisses zweier ir-, nir-, vis- oder uv-strahlung absorbierender komponenten eines komponentengemischs
DE3444768A1 (de) * 1983-12-13 1985-06-20 Olympus Optical Co., Ltd., Tokio/Tokyo Verfahren zum korrigieren kolorimetrischer messergebnisse

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995006873A1 (en) * 1993-09-03 1995-03-09 Shell Internationale Research Maatschappij B.V. A method and apparatus for determining the concentration of a component present in a fluid stream in dispersed form
DE10047728A1 (de) * 2000-09-27 2002-04-18 Draeger Medical Ag Infrarotoptischer Gasanalysator
DE10047728B4 (de) * 2000-09-27 2005-12-08 Dräger Medical AG & Co. KGaA Infrarotoptischer Gasanalysator
EP3555592A4 (de) * 2016-12-16 2019-10-30 Siemens Healthcare Diagnostics Inc. Simultane messung von mehreren analyten eines flüssigkeitstests
AU2017378148B2 (en) * 2016-12-16 2020-05-07 Siemens Healthcare Diagnostics Inc. Simultaneous measurement of multiple analytes of a liquid assay
US11668707B2 (en) 2016-12-16 2023-06-06 Siemens Healthcare Diagnostics Inc. Simultaneous measurement of multiple analytes of a liquid assay

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