DE3621464C2 - - Google Patents

Info

Publication number
DE3621464C2
DE3621464C2 DE19863621464 DE3621464A DE3621464C2 DE 3621464 C2 DE3621464 C2 DE 3621464C2 DE 19863621464 DE19863621464 DE 19863621464 DE 3621464 A DE3621464 A DE 3621464A DE 3621464 C2 DE3621464 C2 DE 3621464C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rowland
circle
monochromator
mirror
grating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19863621464
Other languages
English (en)
Other versions
DE3621464A1 (de
Inventor
Jan Dr.-Ing.-Mech. Warschau/Warszawa Pl Jasny
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
POLSKA AKADEMIA NAUK INSTYTUT CHEMII FIZYCZNEJ WARSCHAU/WARSZAWA PL
Original Assignee
POLSKA AKADEMIA NAUK INSTYTUT CHEMII FIZYCZNEJ WARSCHAU/WARSZAWA PL
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by POLSKA AKADEMIA NAUK INSTYTUT CHEMII FIZYCZNEJ WARSCHAU/WARSZAWA PL filed Critical POLSKA AKADEMIA NAUK INSTYTUT CHEMII FIZYCZNEJ WARSCHAU/WARSZAWA PL
Publication of DE3621464A1 publication Critical patent/DE3621464A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3621464C2 publication Critical patent/DE3621464C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G01J3/20Rowland circle spectrometers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein optisches System eines Monochromators gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs.
Allgemein bekannt sind Monochromatoren, deren optisches System aus zwei Spalten und einem Rowlandgitter besteht, d. h. aus einem Beugungsgitter, dessen Furchen mit gleichmäßigem Abstand an der konkaven kugelförmigen Fläche angeordnet sind. In diesen Monochromatoren ist das Gitter oder wenigstens einer der Spalte beweglich.
Der Nachteil der obengenannten Systeme ist deren großer Astigmatismus, d. h. ein optischer Fehler, der darin besteht, daß alle Punkte eines Spaltes durch das Gitter verzerrt abgebildet werden. Dieser Fehler erscheint derart, daß das Bild der Seitenkanten des Spaltes in der einen Ebene und das Bild der Ober- und Unterkante des Spaltes in einer anderen Ebene abgebildet wird, die erheblich von der ersten entfernt ist. Es existiert daher keine Möglichkeit, das Bild eines Spaltes im anderen Spalt abzubilden, was mit einem großen Verlust an Licht verbunden ist, das durch den Monochromator durchgelassen wird.
Bekannt sind zwei Verfahren zur bedeutenden Verminderung des Astigmatismus, d. h. des oben beschriebenen optischen Fehlers des Monochromators.
Das erste Verfahren besteht in der Anwendung von asphärischen, d. h. nicht kugelförmigen konkaven Flächen des Gitters. Die Herstellungstechnologie solcher Flächen ist jedoch extrem arbeits- und zeitaufwendig und mit großen Kosten verbunden.
Das zweite Verfahren, bekannt aus dem Lehrbuch der Firma JOBIN YVON mit dem Titel: "DIFFRACTION GRATINGS RULES AND HOLOGRAPHIC" 1976, besteht in der Anwendung von Gittern mit ungleichmäßigem Furchenabstand. Die Herstellungstechnologie solcher Gitter wird zwar schon gut beherrscht und ist auch verhältnismäßig ökonomisch, jedoch ergibt sich bei diesen Gittern der Nachteil der Unlinearität des durch sie entwickelten Spektrumbildes. Im Zusammenhang damit ist der Mechanismus, der die Wellenlänge des durch den Monochromator durchgehenden Lichtes verändert und anzeigt, kompliziert und teuer.
Allgemein bekannt sind auch Doppelmonochromatoren, bestehend aus zwei Monochromatoren mit Rowlandgitter, die eine Verminderung des sogenannten Parasitlichtes erstreben. Diese Monochromatoren weisen die gleichen oben dargestellten Fehler auf.
Aus der US-PS 35 75 511 ist ein Monochromator des Czerny- Turner Typs bekannt. Diese Monochromator weist ein ebenes Beugungsgitter und einen Konkavspiegel auf, der als Kollimator für das ein- und austretende Bündel dient. Bei dem bekannten Monochromator wird die Korrektur des Spektrumbildes durch einen in der Nähe des Eintrittsspaltes angeordneten unbeweglichen zylindrischen Konkavspiegel vorgenommen, der das gekrümmte Spektrumbild des Monochromators geraderichtet.
Aus der EP 00 98 429 A2 ist ein Doppelmonochromator mit konkaven Gittern bekannt, zwischen denen sich eine rotierende Scheibe mit einem spiraligen Schlitz und ein unbeweglicher sphärischer Hohlspiegel befinden, der den Auffächerungspunkt des einen Gitters im Auffächerungspunkt des anderen Gitters abbildet. Der Hohlspiegel dient hier als Kollektor.
Aus der DE 32 24 736 A1 ist ein Spektrometer mit einem konkaven Beugungsgitter und einem konkaven Spiegel bekannt, der sich außerhalb des optischen Systems des Spektrometers befindet. Der Spiegel erfüllt die Rolle eines Beleuchterobjektivs und bildet das Bild der Lichtquelle im Eintrittsspalt des Spektrometers ab, wobei das Licht vorher durch ein System austauschbarer Filter geführt ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein optisches System eines Monochromators anzugeben, das auch bei Einsatz des üblichen Rowlandgitters nur einen minimalen Astigmatismus aufweist.
Diese Aufgabe wird durch ein optisches System eines Monochromators, das zwei auf dem Rowlandkreis angeordnete Spalte sowie ein als Rowlandgitter ausgebildetes konkaves Beugungsgitter enthält, dadurch gelöst, daß ein zylindrischer Konkavspiegel vorgesehen ist, der drehbar um eine Achse, die durch den Mittelpunkt des Rowlandkreises geht und senkrecht zur Ebene dieses Kreises steht, gelagert ist, wobei eine in der Zylinderfläche des Konkavspiegels (Z) verlaufende Gerade in der Ebene des Rowlandkreises liegt und die Drehachse des Konkavspiegels schneidet und wobei sowohl die Spalte als auch das Rowlandgitter unbeweglich angeordnet sind.
Bei diesem optischen System eines Monochromators ist der Astigmatismus bedeutend vermindert trotz der Anwendung eines Gitters mit kugelförmiger Fläche und mit gleichmäßigem Furchenabstand. Die Wellenlängenänderung des durch den Monochromator durchgehenden Lichtes wird durch die einfache Drehung des den Astigmatismus korrigierenden Konkavspiegels durchgeführt.
Nachstehend wird die Erfindung an Ausführungsbeispielen unter Bezug auf Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 einen Querschnitt durch das optische System eines Monochromators,
Fig. 2 den Querschnitt durch das optische System eines Doppelmonochromators.
Die Querschnitte liegen jeweils in der Symmetrieebene des angegebenen Systems.
Das in Fig. 1 dargestellte optische System eines Monochromators besteht aus zwei Spalten S 1 und S 2, einem konkaven Gitter D mit einem Radius RD der kugelförmigen Fläche sowie aus einem zylindrischen Konkavspiegel Z mit einem Radius RZ der Zylinderfläche. Die Spalte S 1 und S 2 sowie das Gitter D sind unbeweglich. Der Spiegel Z befindet sich in einer Drehfassung und ist um eine Achse drehbar, die zur Zeichnungsebene senkrecht steht und durch den Punkt P geht. Dieser Punkt P liegt in der optischen Achse des Gitters D genau in der Mitte zwischen dem Scheitel W und dem Mittelpunkt K der kugelförmigen Fläche des Gitters D. Die Achse der Zylinderfläche des Spiegels Z verläuft senkrecht zur Drehachse des Spiegels und die Gerade WT in dieser Zylinderfläche schneidet die Drehachse im Punkt P. Die Mittelpunkte der Spalte S 1 und S 2 liegen auf dem sogenannten Rowlandkreis OR, d. h. auf dem Kreis, der durch den Mittelpunkt K geht und mit dem Scheitel W der kugelförmigen Fläche des Gitters D in Berührung steht. Der Punkt P ist der Mittelpunkt des Kreises OR, daher teilt die Gerade WT den Kreis in zwei gleiche Teile, was zur Folge hat, daß der Spiegel Z alle Punkte des Kreises OR ebenfalls auf diesem Kreis abbildet. Die Eigenschaft des Rowlandgitters ist, daß es für die auf dem Rowlandkreis angeordneten Spalte ein scharfes Bild der Seitenkanten dieser Spalte auf dem Kreis abbildet. Für das divergente Lichtbündel, das vom Spalt S 1 ausgeht und vom Gitter D reflektiert wird, wäre ein entsprechendes Bild des Spaltes S 1 am Punkt O 1 entstanden; aber noch vor Erreichen des Punktes O 1 wird das Licht derart vom Spiegel Z reflektiert, daß es sich bei entsprechendem Einstellen dieses Spiegels in dem Spalt S 2 konzentriert und an dieser Stelle ein scharfes Bild von den Seitenkanten des Spaltes S abbildet. Die Ober- und Unterkanten des Spaltes S 1 würden durch das Gitter D am Punkt O 2 abgebildet, d. h. weit außerhalb des Kreises OR. Durch die Auswahl des entsprechenden Radius RZ der Zylinderfläche des Spiegels Z erreicht man, daß im Spalt S 2 auch ein scharfes Bild von den Ober- und Unterkanten des Spaltes S 1 gebildet wird, d. h. man gewinnt ein Bild, das vom Fehler des Astigmatismus befreit ist.
Für diverse Lichtquellenlängen bildet das Gitter D das Bild O 1 in diversen Punkten des Kreises OR ab. Durch eine entsprechende Drehung des Spiegels Z um die Drehachse, die durch den Punkt P geht, kann jeder dieser Punkte des Kreises im Mittelpunkt des Spaltes S 2 abgebildet werden. Hierin besteht das Einstellen des Monochromators auf die gewünschte Wellenlänge.
Entsprechend der Eigenschaften des Rowlandgitters ist die Größe der Wellenlängenänderung proportional zur Größe des Drehwinkels des Spiegels Z. Die Stellung des Spaltes S 1 auf dem Kreis OR wird derart ausgewählt, daß das durch diesen Spalt durchgehende Licht nicht auf die Kante des Spiegels Z fällt, unabhängig von der Winkeleinstellung dieses Spiegels im Rahmen des Winkelbereichs, der dem Meßbereich des Monochromators entspricht. Außerdem soll der Spiegel Z ausreichend lang sein, damit das vom Gitter D reflektierte Licht bei jeder seiner Winkeleinstellungen im Rahmen des Meßbereiches vollständig vom Spiegel Z reflektiert wird. Der Spiegelradius RZ soll die Gewinnung der optimalen Qualität des Bildes des Spaltes S 1 im Spalt S 2 bei einer Lichtwellenlänge, die dem Mittelpunkt des Meßbereiches entspricht, sichern. Dann ist der Astigmatismus des optischen Systems über den ganzen Meßbereich gering.
In Fig. 2 ist das optische System eines Doppelmonochromators dargestellt, bestehend aus zwei oben beschriebenen Systemen. Die einzelnen Systeme sind zueinander um den Halbkreis-Winkel (180°) gedreht und sie berühren sich in dem Punkt, der dem Mittelpunkt des Spaltes S 2 in Fig. 1 entspricht. Da am Berührungspunkt diese Systeme das Spektrumbild in entgegengesetzten Richtungen entwickeln, kann der Spalt S 2 weggelassen sein. Um die optisch aktive Fläche beider Gitter D 1 und D 2 besser auszunutzen, befindet sich am Berührungspunkt eine Glas- oder Quarzlinse S mit derart ausgewählter optischer Leistung, daß sie das Bild des Gitters D 1 an der Fläche des Gitters D 2 abbildet und umgekehrt. Der zusätzliche Vorteil des Systems nach Fig. 2 ist, daß die optische Achse des Lichtbündels, das in den Doppelmonochromator hineingeht sowie die optische Achse des Lichtbündels, das aus ihm herausgeht, ihre Richtung während des Verstellens der Wellenlänge des durchgelassenen Lichtes nicht ändern. Das ist ein Vorzug, den bekannte Monochromatoren mit Rowlandgitter nicht aufweisen.

Claims (1)

  1. Optisches System eines Monochromators, enthaltend zwei auf dem Rowlandkreis angeordnete Spalte sowie ein als Rowlandgitter ausgebildetes konkaves Beugungsgitter, dadurch gekennzeichnet, daß ein zylindrischer Konkavspiegel (Z) vorgesehen ist, der drehbar um eine Achse, die durch den Mittelpunkt (P) des Rowlandkreises geht und zur Ebene dieses Kreises senkrecht steht, gelagert ist, wobei eine in der Zylinderfläche des Konkavspiegels (Z) verlaufende Gerade (WT) in der Ebene des Rowlandkreises liegt und die Drehachse des Konkavspiegels (Z) schneidet und wobei sowohl die Spalte (S 1, S 2) als auch das Rowlandgitter (D) unbeweglich angeordnet sind.
DE19863621464 1985-06-28 1986-06-26 Optisches system eines monochromators Granted DE3621464A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PL25423985A PL146554B1 (en) 1985-06-28 1985-06-28 Monochromator optical system with convex rowland-type reticule

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3621464A1 DE3621464A1 (de) 1987-01-08
DE3621464C2 true DE3621464C2 (de) 1989-08-10

Family

ID=20027327

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19863621464 Granted DE3621464A1 (de) 1985-06-28 1986-06-26 Optisches system eines monochromators

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE3621464A1 (de)
PL (1) PL146554B1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19853754A1 (de) * 1998-11-21 2000-05-25 Spectro Analytical Instr Gmbh Simultanes Doppelgitter-Spektrometer mit Halbleiterzeilensensoren oder Photoelektronenvervielfachern

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2262086C1 (ru) * 2004-04-01 2005-10-10 Лившиц Александр Маркович Способ измерения спектра излучения, спектрометр и малогабаритный спектрометр
RU194712U1 (ru) * 2017-06-30 2019-12-19 Илья Николаевич Карькин Портативный лазерный искровой эмиссионный спектрометр
JP7024624B2 (ja) * 2018-06-25 2022-02-24 株式会社リコー 支持枠、分光器、分光分析ユニット、及び画像形成装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1246098A (en) * 1968-01-10 1971-09-15 Pye Unicam Ltd Improvements in or relating to monochromators
DE3224559A1 (de) * 1982-07-01 1984-01-05 Bodenseewerk Perkin-Elmer & Co GmbH, 7770 Überlingen Monochromator
DE3224736A1 (de) * 1982-07-02 1984-01-05 Bodenseewerk Perkin-Elmer & Co GmbH, 7770 Überlingen Gitterspektrometer

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19853754A1 (de) * 1998-11-21 2000-05-25 Spectro Analytical Instr Gmbh Simultanes Doppelgitter-Spektrometer mit Halbleiterzeilensensoren oder Photoelektronenvervielfachern
DE19853754B4 (de) * 1998-11-21 2009-06-10 Spectro Analytical Instruments Gmbh Simultanes Doppelgitter-Spektrometer mit Halbleiterzeilensensoren oder Photoelektronenvervielfachern

Also Published As

Publication number Publication date
PL254239A1 (en) 1987-01-12
DE3621464A1 (de) 1987-01-08
PL146554B1 (en) 1989-02-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19603191C2 (de) Linsensystem änderbarer Brennweite und Verfahren zur Einstellung der Brennweite eines Linsensystems
EP1186956A2 (de) Projektionsbelichtungsanlage
DE2656119A1 (de) Spektrograph
EP0442596B1 (de) Echelle-Polychromator
DE2728141A1 (de) Spiegel
DE2539183C2 (de) Optisches Meßinstrument
DE3038469C2 (de) Vorrichtung zur Überprüfung der Ausrichtung von Radachsen
DE2330153A1 (de) Optisches instrument
DE3390532C2 (de) Optisches System zur mehrfachen Reflexion
DE3621464C2 (de)
DE69017373T2 (de) Fokussierungsdetektionsgerät.
DE3048132C2 (de) Automatisches Linsenmeßgerät
DE3113984C2 (de) Doppelmonochromator
DE3407898A1 (de) Projektionsobjektivbaureihe
DE3544512C2 (de)
DE2441294C2 (de) Varioobjektiv
CH424284A (de) Vorrichtung zur Prüfung und Messung der Oberflächenebenheit eines Werkstückes
DE3446014A1 (de) Interferometer nach dem michelson-prinzip
DE4223212C2 (de) Gitter-Polychromator
DE1547353B2 (de) Optischer Speicher
DE739515C (de) Anordnung zum Herstellen von Skaleneinteilungen von Zeigermessgeraeten
EP0454284A1 (de) Spektrometer
DE3041969C2 (de)
DE69726755T2 (de) Uhrenglas sowie verfahren zu dessen herstellung
DE1472641C3 (de) Einstellscheibe mit Biprismen, insbesondere für Kameras

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee