DE3621464C2 - - Google Patents
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
- G01J3/20—Rowland circle spectrometers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein optisches System eines
Monochromators gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs.
Allgemein bekannt sind Monochromatoren, deren optisches
System aus zwei Spalten und einem Rowlandgitter besteht,
d. h. aus einem Beugungsgitter, dessen Furchen mit
gleichmäßigem Abstand an der konkaven kugelförmigen Fläche
angeordnet sind. In diesen Monochromatoren ist das Gitter
oder wenigstens einer der Spalte beweglich.
Der Nachteil der obengenannten Systeme ist deren großer
Astigmatismus, d. h. ein optischer Fehler, der darin besteht,
daß alle Punkte eines Spaltes durch das Gitter verzerrt
abgebildet werden. Dieser Fehler erscheint derart, daß das
Bild der Seitenkanten des Spaltes in der einen Ebene und das
Bild der Ober- und Unterkante des Spaltes in einer anderen
Ebene abgebildet wird, die erheblich von der ersten entfernt
ist. Es existiert daher keine Möglichkeit, das Bild eines
Spaltes im anderen Spalt abzubilden, was mit einem großen
Verlust an Licht verbunden ist, das durch den Monochromator
durchgelassen wird.
Bekannt sind zwei Verfahren zur bedeutenden Verminderung des
Astigmatismus, d. h. des oben beschriebenen optischen Fehlers
des Monochromators.
Das erste Verfahren besteht in der Anwendung von
asphärischen, d. h. nicht kugelförmigen konkaven Flächen des
Gitters. Die Herstellungstechnologie solcher Flächen ist
jedoch extrem arbeits- und zeitaufwendig und mit großen
Kosten verbunden.
Das zweite Verfahren, bekannt aus dem Lehrbuch der Firma
JOBIN YVON mit dem Titel: "DIFFRACTION GRATINGS RULES AND
HOLOGRAPHIC" 1976, besteht in der Anwendung von Gittern mit
ungleichmäßigem Furchenabstand. Die Herstellungstechnologie
solcher Gitter wird zwar schon gut beherrscht und ist auch
verhältnismäßig ökonomisch, jedoch ergibt sich bei diesen
Gittern der Nachteil der Unlinearität des durch sie
entwickelten Spektrumbildes. Im Zusammenhang damit ist der
Mechanismus, der die Wellenlänge des durch den Monochromator
durchgehenden Lichtes verändert und anzeigt, kompliziert und
teuer.
Allgemein bekannt sind auch Doppelmonochromatoren, bestehend aus
zwei Monochromatoren mit Rowlandgitter, die eine
Verminderung des sogenannten Parasitlichtes erstreben.
Diese Monochromatoren weisen die gleichen oben dargestellten
Fehler auf.
Aus der US-PS 35 75 511 ist ein Monochromator des Czerny-
Turner Typs bekannt. Diese Monochromator weist ein ebenes
Beugungsgitter und einen Konkavspiegel
auf, der als Kollimator für das ein- und austretende Bündel
dient.
Bei dem bekannten Monochromator
wird die Korrektur des Spektrumbildes durch
einen in der Nähe des Eintrittsspaltes angeordneten
unbeweglichen zylindrischen Konkavspiegel vorgenommen, der das
gekrümmte Spektrumbild des Monochromators geraderichtet.
Aus der EP 00 98 429 A2 ist ein Doppelmonochromator mit
konkaven Gittern bekannt, zwischen denen sich eine rotierende
Scheibe mit einem spiraligen Schlitz und ein unbeweglicher
sphärischer Hohlspiegel befinden, der den Auffächerungspunkt
des einen Gitters im Auffächerungspunkt des anderen Gitters
abbildet. Der Hohlspiegel dient hier als Kollektor.
Aus der DE 32 24 736 A1 ist ein Spektrometer mit einem
konkaven Beugungsgitter und einem konkaven Spiegel bekannt, der
sich außerhalb des optischen Systems des Spektrometers
befindet. Der Spiegel erfüllt die Rolle eines
Beleuchterobjektivs und bildet das Bild der Lichtquelle im
Eintrittsspalt des Spektrometers ab, wobei das Licht vorher
durch ein System austauschbarer Filter geführt ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein optisches System
eines Monochromators anzugeben, das auch bei Einsatz des
üblichen Rowlandgitters nur einen minimalen Astigmatismus
aufweist.
Diese Aufgabe wird durch ein optisches System eines
Monochromators, das zwei auf dem Rowlandkreis angeordnete
Spalte sowie ein als Rowlandgitter ausgebildetes konkaves
Beugungsgitter enthält, dadurch gelöst, daß ein zylindrischer
Konkavspiegel vorgesehen ist, der drehbar um eine Achse, die
durch den Mittelpunkt des Rowlandkreises geht und senkrecht zur
Ebene dieses Kreises steht, gelagert ist, wobei eine in der
Zylinderfläche des Konkavspiegels (Z) verlaufende Gerade in der
Ebene des Rowlandkreises liegt und die Drehachse des
Konkavspiegels schneidet und wobei sowohl die Spalte als auch
das Rowlandgitter unbeweglich angeordnet sind.
Bei diesem optischen System eines Monochromators ist der
Astigmatismus bedeutend vermindert trotz der Anwendung eines
Gitters mit kugelförmiger Fläche und mit gleichmäßigem
Furchenabstand. Die Wellenlängenänderung des durch den
Monochromator durchgehenden Lichtes wird durch die einfache
Drehung des den Astigmatismus korrigierenden Konkavspiegels
durchgeführt.
Nachstehend wird die Erfindung an Ausführungsbeispielen unter
Bezug auf Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 einen Querschnitt durch das optische System eines
Monochromators,
Fig. 2 den Querschnitt durch das optische System eines
Doppelmonochromators.
Die Querschnitte liegen jeweils in der Symmetrieebene des
angegebenen Systems.
Das in Fig. 1 dargestellte optische System eines Monochromators
besteht aus zwei Spalten S 1 und S 2, einem konkaven Gitter D mit
einem Radius RD der kugelförmigen Fläche sowie aus einem
zylindrischen Konkavspiegel Z mit einem Radius RZ der
Zylinderfläche. Die Spalte S 1 und S 2 sowie das Gitter D sind
unbeweglich. Der Spiegel Z befindet sich in einer Drehfassung
und ist um eine Achse drehbar, die zur
Zeichnungsebene senkrecht steht und durch den Punkt P geht.
Dieser Punkt P liegt in der optischen Achse des Gitters D
genau in der Mitte zwischen dem Scheitel W und dem
Mittelpunkt K der kugelförmigen Fläche des Gitters D. Die
Achse der Zylinderfläche des Spiegels Z verläuft senkrecht
zur Drehachse des Spiegels und die Gerade WT in dieser
Zylinderfläche schneidet die Drehachse im Punkt P. Die
Mittelpunkte der Spalte S 1 und S 2 liegen auf dem sogenannten
Rowlandkreis OR, d. h. auf dem Kreis, der durch den
Mittelpunkt K geht und mit dem Scheitel W der kugelförmigen
Fläche des Gitters D in Berührung steht. Der Punkt P ist der
Mittelpunkt des Kreises OR, daher teilt die Gerade
WT den Kreis in zwei gleiche Teile, was zur Folge hat, daß
der Spiegel Z alle Punkte des Kreises OR ebenfalls auf
diesem Kreis abbildet. Die Eigenschaft des Rowlandgitters
ist, daß es für die auf dem Rowlandkreis angeordneten Spalte
ein scharfes Bild der Seitenkanten dieser Spalte auf dem
Kreis abbildet. Für das divergente Lichtbündel, das vom
Spalt S 1 ausgeht und vom Gitter D reflektiert wird, wäre ein
entsprechendes Bild des Spaltes S 1 am Punkt O 1 entstanden;
aber noch vor Erreichen des Punktes O 1 wird das Licht derart
vom Spiegel Z reflektiert, daß es sich bei entsprechendem
Einstellen dieses Spiegels in dem Spalt S 2 konzentriert und
an dieser Stelle ein scharfes Bild von den Seitenkanten des
Spaltes S abbildet. Die Ober- und Unterkanten des Spaltes S 1
würden durch das Gitter D am Punkt O 2 abgebildet, d. h. weit
außerhalb des Kreises OR. Durch die Auswahl des
entsprechenden Radius RZ der Zylinderfläche des Spiegels Z
erreicht man, daß im Spalt S 2 auch ein scharfes Bild von den
Ober- und Unterkanten des Spaltes S 1 gebildet wird, d. h. man
gewinnt ein Bild, das vom Fehler des
Astigmatismus befreit ist.
Für diverse Lichtquellenlängen bildet das Gitter D das Bild
O 1 in diversen Punkten des Kreises OR ab. Durch eine
entsprechende Drehung des Spiegels Z um die Drehachse, die
durch den Punkt P geht, kann jeder dieser Punkte des Kreises
im Mittelpunkt des Spaltes S 2 abgebildet werden. Hierin
besteht das Einstellen des Monochromators auf die gewünschte
Wellenlänge.
Entsprechend der Eigenschaften des Rowlandgitters ist die
Größe der Wellenlängenänderung proportional zur Größe des
Drehwinkels des Spiegels Z. Die Stellung des Spaltes S 1 auf
dem Kreis OR wird derart ausgewählt, daß das durch diesen
Spalt durchgehende Licht nicht auf die Kante des Spiegels Z
fällt, unabhängig von der Winkeleinstellung dieses Spiegels
im Rahmen des Winkelbereichs, der dem Meßbereich des
Monochromators entspricht. Außerdem soll der Spiegel Z
ausreichend lang sein, damit das vom Gitter D reflektierte
Licht bei jeder seiner Winkeleinstellungen im Rahmen des
Meßbereiches vollständig vom Spiegel Z reflektiert wird. Der
Spiegelradius RZ soll die Gewinnung der optimalen Qualität
des Bildes des Spaltes S 1 im Spalt S 2 bei einer
Lichtwellenlänge, die dem Mittelpunkt des Meßbereiches
entspricht, sichern. Dann ist der Astigmatismus des
optischen Systems über den ganzen Meßbereich
gering.
In Fig. 2 ist das optische System eines Doppelmonochromators
dargestellt, bestehend aus zwei oben beschriebenen Systemen.
Die einzelnen Systeme sind zueinander um den
Halbkreis-Winkel (180°) gedreht und sie berühren sich in dem
Punkt, der dem Mittelpunkt des Spaltes S 2 in Fig. 1
entspricht. Da am Berührungspunkt diese Systeme das
Spektrumbild in entgegengesetzten Richtungen entwickeln,
kann der Spalt S 2 weggelassen sein. Um die optisch aktive
Fläche beider Gitter D 1 und D 2 besser auszunutzen, befindet
sich am Berührungspunkt eine Glas- oder Quarzlinse S mit
derart ausgewählter optischer Leistung, daß sie das Bild des
Gitters D 1 an der Fläche des Gitters D 2 abbildet und
umgekehrt. Der zusätzliche Vorteil des Systems nach Fig. 2
ist, daß die optische Achse des Lichtbündels, das in den
Doppelmonochromator hineingeht sowie die optische Achse des
Lichtbündels, das aus ihm herausgeht, ihre Richtung während
des Verstellens der Wellenlänge des durchgelassenen Lichtes
nicht ändern. Das ist ein Vorzug, den bekannte
Monochromatoren mit Rowlandgitter nicht aufweisen.
Claims (1)
- Optisches System eines Monochromators, enthaltend zwei auf dem Rowlandkreis angeordnete Spalte sowie ein als Rowlandgitter ausgebildetes konkaves Beugungsgitter, dadurch gekennzeichnet, daß ein zylindrischer Konkavspiegel (Z) vorgesehen ist, der drehbar um eine Achse, die durch den Mittelpunkt (P) des Rowlandkreises geht und zur Ebene dieses Kreises senkrecht steht, gelagert ist, wobei eine in der Zylinderfläche des Konkavspiegels (Z) verlaufende Gerade (WT) in der Ebene des Rowlandkreises liegt und die Drehachse des Konkavspiegels (Z) schneidet und wobei sowohl die Spalte (S 1, S 2) als auch das Rowlandgitter (D) unbeweglich angeordnet sind.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19853754A1 (de) * | 1998-11-21 | 2000-05-25 | Spectro Analytical Instr Gmbh | Simultanes Doppelgitter-Spektrometer mit Halbleiterzeilensensoren oder Photoelektronenvervielfachern |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2262086C1 (ru) * | 2004-04-01 | 2005-10-10 | Лившиц Александр Маркович | Способ измерения спектра излучения, спектрометр и малогабаритный спектрометр |
RU194712U1 (ru) * | 2017-06-30 | 2019-12-19 | Илья Николаевич Карькин | Портативный лазерный искровой эмиссионный спектрометр |
JP7024624B2 (ja) * | 2018-06-25 | 2022-02-24 | 株式会社リコー | 支持枠、分光器、分光分析ユニット、及び画像形成装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1246098A (en) * | 1968-01-10 | 1971-09-15 | Pye Unicam Ltd | Improvements in or relating to monochromators |
DE3224559A1 (de) * | 1982-07-01 | 1984-01-05 | Bodenseewerk Perkin-Elmer & Co GmbH, 7770 Überlingen | Monochromator |
DE3224736A1 (de) * | 1982-07-02 | 1984-01-05 | Bodenseewerk Perkin-Elmer & Co GmbH, 7770 Überlingen | Gitterspektrometer |
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1985
- 1985-06-28 PL PL25423985A patent/PL146554B1/pl unknown
-
1986
- 1986-06-26 DE DE19863621464 patent/DE3621464A1/de active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19853754A1 (de) * | 1998-11-21 | 2000-05-25 | Spectro Analytical Instr Gmbh | Simultanes Doppelgitter-Spektrometer mit Halbleiterzeilensensoren oder Photoelektronenvervielfachern |
DE19853754B4 (de) * | 1998-11-21 | 2009-06-10 | Spectro Analytical Instruments Gmbh | Simultanes Doppelgitter-Spektrometer mit Halbleiterzeilensensoren oder Photoelektronenvervielfachern |
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PL146554B1 (en) | 1989-02-28 |
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