DE3616969C2 - - Google Patents

Info

Publication number
DE3616969C2
DE3616969C2 DE19863616969 DE3616969A DE3616969C2 DE 3616969 C2 DE3616969 C2 DE 3616969C2 DE 19863616969 DE19863616969 DE 19863616969 DE 3616969 A DE3616969 A DE 3616969A DE 3616969 C2 DE3616969 C2 DE 3616969C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
base plate
integrated circuit
semiconductor component
housing
component according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19863616969
Other languages
English (en)
Other versions
DE3616969A1 (de
Inventor
Wolfgang Dipl.-Phys. Dr. 7022 Leinfelden De Hauger
Lothar Dipl.-Ing. 7407 Rottenburg De Gademann
Rolf 7410 Reutlingen De Benz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE19863616969 priority Critical patent/DE3616969A1/de
Publication of DE3616969A1 publication Critical patent/DE3616969A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3616969C2 publication Critical patent/DE3616969C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/02Containers; Seals
    • H01L23/04Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Description

Stand der Technik
Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement nach der Gattung des Hauptanspruchs.
Aus der DE-OS 35 04 948 ist bereits ein Halbleiterbauelement dieser Art bekannt, bei dem der Gehäuserahmen aus einem wärmeausgehärteten Epoxidharz und/oder Silikonharz als einem thermoplastischen elektrischen Isolierstoff besteht und darüber hinaus die Öffnung in dem Gehäuserahmen mit einem Deckel abgedeckt ist. Bei der Verwendung dieser Isolierstoffe für den Gehäuserahmen reicht insbesondere bei einem Halbleiterbauelement mit einem integrierten Schaltkreis, der eine hohe Verlustleistung aufweist, die Hitzebeständigkeit der Isolierstoffe nicht aus, um der hohen beim Betrieb des Halbleiterbauelements entstehenden Verlustwärme standzuhalten, was zur Zerstörung des Gehäuserahmens und damit zum Ausfall des gesamten Halbleiterbauelements führen kann. Außerdem kann die Ableitung der Verlustwärme des integrierten Schaltkreises Schwierigkeiten bereiten, wenn bei der metallischen Grundplatte und den Anschlußleitern nicht eine bestimmte Stoffauswahl getroffen und/oder mindestens teilweise eine bestimmte Oberflächenveredelung vorgenommen wird.
Aus der DE-OS 27 34 439, Fig. 13 bzw. aus der CH-PS 5 31 242, Fig. 13 sind ferner bereits Halbleiterbauelemente mit jeweils einem mit einer Mehrzahl von Anschlüssen versehenen integrierten Schaltkreis bekannt, bei denen der integrierte Schaltkreis jeweils auf einer aus leitfähigem bzw. aus metallischem Werkstoff bestehenden Grundplatte in einer Öffnung eines aus thermoplastischem elektrischem Isolierstoff bestehenden Gehäuserahmens angeordnet ist. Die Anschlüsse des integrierten Schaltkreises sind hierbei jeweils innerhalb des Gehäuses mit durch den Gehäuserahmen hindurchgeführten Anschlußleitern elektrisch leitend verbunden. Der Gehäuserahmen ist durch Umspritzen der Anschlußleiter mit dem thermoplastischen elektrischen Isolierstoff gebildet. Der Aufbau dieser beiden bekannten Halbleiterbauelemente ist insbesondere deshalb nicht für integrierte Schaltkreise mit hoher Verlustleistung geeignet, weil im Gegensatz zu dem gattungsgemäßen Halbleiterbauelement bei diesen beiden bekannten Halbleiterbauelementen die Grundplatte entweder durch einen Luftspalt von einem etwaigen Kühlkörper getrennt ist oder innerhalb eines vollständig aus Kunststoff bestehenden Gehäuses eingebettet ist.
Aus der EP-PS 94 869 ist ferner ein Halbleiterbauelement mit einem mit einer Mehrzahl von Anschlüssen versehenen integrierten Schaltkreis bekannt, bei dem der integrierte Schaltkreis auf einer aus leitfähigem Werkstoff bestehenden Grundplatte in einer Öffnung eines Gehäuserahmens angeordnet ist und die Anschlüsse des integrierten Schaltkreises innerhalb des Gehäuses mit Anschlußleitern elektrisch leitend verbunden sind, die durch den Gehäuserahmen elektrisch isoliert hindurchgeführt sind. Bei diesem bekannten Halbleiterbauelement bildet zwar die aus Kupfer bestehende Grundplatte wie bei dem gattungsgemäßen Halbleiterbauelement eine Außenwand des Gehäuses. Jedoch besteht der auf die Grundplatte aufgebrachte Gehäuserahmen dort nicht aus einem thermoplastischen elektrischen Isolierstoff, sondern aus Metall, und die durch den Gehäuserahmen hindurchgeführten Anschlußleiter sind gegenüber dem Gehäuserahmen durch Glaseinschmelzungen elektrisch isoliert, was einen hohen Fertigungsaufwand mit sich bringt.
Aus dem Buch "Plastics for Electronics" von M. T. Goosey, London, New York (1985) ISBN Nr. 0-85334-338-1, Seite 274 ist es ferner bekannt, für das Umgießen von Anschlußleitern glasfasergefülltes Polybutylenterephthalat zu verwenden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Halbleiterbauelement nach der Gattung des Hauptanspruchs zu entwickeln, bei dem die Eigenschaften im Betrieb, insbesondere die Hitzebeständigkeit und die Ableitung der Verlustwärme, verbessert sind.
Erfindungsgemäß ist diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale des Hauptanspruchs gelöst. Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen 2 bis 8.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnung erläutert. Diese zeigt in
Fig. 1 eine Draufsicht auf ein erfindungsgemäßes Gehäuse für integrierte Schaltkreise bei abgenommenem Deckel;
Fig. 2 einen Querschnitt durch das Gehäuse nach Fig. 1 entlang Linie II-II mit aufgesetztem Deckel.
Ein Gehäuse 1 für integrierte Schaltkreise sieht eine Grundplatte 2 (siehe Fig. 2) vor. Diese Grundplatte 2 Fbesteht aus vernickeltem Kupfer und ist im Fließpreßverfahren hergestellt. Etwa im Zentrum der Grundplatte 2 ist eine Erhöhung 3 für einen Chip 4 aus der Grundplatte herausgeformt. Zur Fixierung des Chips 4 und zum Ausgleich verschiedener Chipgrößen ist auf der Erhöhung 3 ein Kontaktrahmen 5 angeordnet, welcher aus walzplattiertem Aluminium/Nickel besteht. In Fig. 2 ist weder der Chip 4 noch der Kontaktrahmen 5 der Übersichtlichkeit halber dargestellt.
Der Grundplatte 2 ist ein Gehäuserahmen 6 aufgesetzt, wobei zwei gestrichelt dargestellte Zapfen 7 in zwei entsprechende, ebenfalls gestrichelt dargestellte Bohrungen 8 in der Grundplatte 2 eingreifen. Der Gehäuserahmen 6 besteht aus 30% glasfasergefülltem Polybutylenterephthalat (PBTP). Auf seiner Oberseite weist der Ge­ häuserahmen zwei eingespritzte Hohlnieten 9 zur Befesti­ gung des Gehäuses 1 an einer Gerätewand oder dergleichen auf.
In den Gehäuserahmen 6 ist ein Anschlußkamm 10 einge­ spritzt, der im vorliegenden Ausführungsbeispiel 20 An­ schlüsse aufweist. Der Anschlußkamm 10 besteht aus ver­ nickeltem CuFe2 und ist im Bondbereich vergoldet. Die Anschlüsse 11 sind an beiden Enden miteinander verbunden (siehe Fig. 2). Auf der Innenseite werden sie nach dem Einspritzen freigestanzt.
Der Gehäuserahmen 6 weist mittig eine Öffnung 12 auf, durch die der Chip 4 in den Kontaktrahmen 5 bzw. auf die Erhöhung 3 aufgelegt werden kann. Die Öffnung 12 wird sodann von einem Deckel 14 überdeckt.
Die Montage des Gehäuses mit dem Chip erfolgt folgender­ maßen:
Mit einem Bleilot PbSn4 und mit Hilfe einer Lötschablone wird der Chip 4 auf die Erhöhung 3 der Grundplatte 2 aufgelötet. Sodann wird der Gehäuserahmen 6 auf die Grund­ platte 2 geklebt und die Zapfen 7 verschweißt, so daß Gehäuserahmen 6 und Grundplatte 2 fest und wasserdicht miteinander verbunden sind.
Die Kontaktierung von Chip 4 und Gehäuserahmen 6 bzw. Anschlußkamm 10 geschieht durch Bonden von Aluminium­ drähten. Bei höheren Strömen wird der Anschluß mehrfach kontaktiert.
Danach wird zum Schutz gegen Verunreinigungen der Chip 4 mit einem Silikongel abgedeckt. Der Deckel 14 wird über die Öffnung 12 gelegt und mittels einer Rastnase 15 und einem Rastring 16 positioniert, wobei Rastnase 15 und Rastring 16 in eine entsprechende Nut 17 im Gehäuse­ rahmen 6 eingreifen. Der Deckel 14 kann auch aufgeklebt oder verschweißt werden.
Vor dem elektrischen Messen werden zwischen den Anschlüs­ sen 11 vorhandene, nicht gezeigte Verbindungsstäbe ab­ gestanzt und die Anschlüsse 11 gebogen.

Claims (8)

1. Halbleiterbauelement aus einem mit einer Mehrzahl von Anschlüssen versehenen, insbesondere eine hohe Verlustleistung aufweisenden integrierten Schaltkreis und einem Gehäuse, bei dem der integrierte Schaltkreis (4) auf einer aus metallischem Werkstoff bestehenden Grundplatte (2) in einer Öffnung (12) eines aus thermoplastischem elektrischem Isolierstoff bestehenden Gehäuserahmens (6) angeordnet ist und bei dem die Anschlüsse des integrierten Schaltkreises innerhalb des Gehäuses mit durch den Gehäuserahmen (6) hindurchgeführten Anschlußleitern (11) durch Bonddrähte elektrisch leitend verbunden sind, wobei der Gehäuserahmen (6) durch Umspritzen der Anschlußleiter (11) mit dem thermoplastischen elektrischen Isolierstoff gebildet ist und die Grundplatte (2) eine Außenwand des Gehäuses bildet, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (2) aus fließgepreßtem, vernickeltem Kupfer besteht, daß der Gehäuserahmen (6) aus glasfasergefülltem Polybutylenterephthalat besteht und daß die Anschlußleiter (11) aus vernickeltem CuFe₂ bestehen und im Bondbereich vergoldet sind.
2. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Grundplatte (2) eine Erhöhung (3) aufweist, auf welcher der integrierte Schaltkreis (4) angeordnet ist.
3. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehäuserahmen (6) mit der Grundplatte (2) verklebt ist.
4. Halbleiterbauelement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehäuserahmen (6) mit der Grundplatte (2) über in Bohrungen (8) eingreifende Zapfen (7) verbunden ist.
5. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß dem integrierten Schaltkreis (4) ein Kontaktrahmen (5) zugeordnet ist, der den integrierten Schaltkreis (4) umschließt und auf der Grundplatte (2) angeordnet ist.
6. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der integrierte Schaltkreis (4) mit einem Silikongel abgedeckt ist.
7. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der integrierte Schaltkreis (4) auf die Grundplatte (2) aufgelöst ist, vorzugsweise mit einem Bleilot.
8. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (12) durch einen Deckel (14) abgedeckt ist.
DE19863616969 1986-05-20 1986-05-20 Gehaeuse fuer integrierte schaltkreise Granted DE3616969A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863616969 DE3616969A1 (de) 1986-05-20 1986-05-20 Gehaeuse fuer integrierte schaltkreise

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863616969 DE3616969A1 (de) 1986-05-20 1986-05-20 Gehaeuse fuer integrierte schaltkreise

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3616969A1 DE3616969A1 (de) 1987-11-26
DE3616969C2 true DE3616969C2 (de) 1989-06-01

Family

ID=6301233

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19863616969 Granted DE3616969A1 (de) 1986-05-20 1986-05-20 Gehaeuse fuer integrierte schaltkreise

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3616969A1 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10232788B4 (de) * 2001-07-18 2010-01-14 Infineon Technologies Ag Elektronisches Bauteil mit einem Halbleiterchip auf einem Systemträger, Systemträger und Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils
DE10223035A1 (de) 2002-05-22 2003-12-04 Infineon Technologies Ag Elektronisches Bauteil mit Hohlraumgehäuse, insbesondere Hochfrequenz-Leistungsmodul
DE102012202342B4 (de) * 2012-02-16 2017-10-12 Osram Gmbh Leuchtvorrichtung mit Leiterplatte und Strukturbauteil

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2122819A5 (de) * 1971-01-20 1972-09-01 Conso Adrien
US3909838A (en) * 1973-08-01 1975-09-30 Signetics Corp Encapsulated integrated circuit and method
US4079511A (en) * 1976-07-30 1978-03-21 Amp Incorporated Method for packaging hermetically sealed integrated circuit chips on lead frames
FR2526585A1 (fr) * 1982-05-07 1983-11-10 Thomson Csf Boitier d'encapsulation de circuit microelectronique a haute dissipation thermique et son procede de fabrication
IT1213139B (it) * 1984-02-17 1989-12-14 Ates Componenti Elettron Componente elettronico integrato di tipo "single-in-line" eprocedimento per la sua fabbricazione.

Also Published As

Publication number Publication date
DE3616969A1 (de) 1987-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19921109B4 (de) Elektronikbauteil und Elektronikkomponente mit einem Keramikbauteilelement
DE4421077B4 (de) Halbleitergehäuse und Verfahren zu dessen Herstellung
DE10316355B3 (de) Leistungshalbeitermodul mit flexibler äusserer Anschlussbelegung
DE112008000229B4 (de) Leistungshalbleitervorrichtung
DE2345149A1 (de) Elektronisches hybrid-bauteil mit halbleiter-chips
DE3913221A1 (de) Halbleiteranordnung
DE4126043C2 (de) Gekapseltes Halbleiterbauelement
DE19651122C2 (de) Halbleiterbauelement mit einem Halbleiterchip und einer Leiterplatte
DE20318266U1 (de) Vorrichtung zur Strommessung
WO1996007302A1 (de) Gerät mit einer elektrischen schaltungsanordnung
DE2815776A1 (de) Halbleiterbauelement mit einer elektrisch und thermisch leitenden tragplatte
DE3428881A1 (de) Verfahren zum herstellen einer integrierten schaltungsvorrichtung
DE4004737A1 (de) Elektronische baueinheit mit elektrisch isolierter waermeableitung
EP1450404A2 (de) Anordnung in Druckkontaktierung mit einem Leistungshalbleitermodul
DE4021871A1 (de) Hochintegriertes elektronisches bauteil
DE60030045T2 (de) Harzverkapselte elektronische Vorrichtung
DE3212442A1 (de) Gehaeuseanordnung mit paarweise miteinander ausgerichteten leitungsanschluessen, insbesondere zur kapselung von halbleiterbauteilen
DE4335946C2 (de) Anordnung bestehend aus einer Leiterplatte
DE1956501A1 (de) Gehaeuse fuer integrierte Halbleiter-Schaltungen
DE19929606A1 (de) Integrierte Schaltung und Verfahren zu ihrer Herstellung
EP0809094A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordung für die Temperaturmessung
DE102020105267A1 (de) Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben
DE102017221437A1 (de) Leistungsmodul
EP3619739B1 (de) Halbleitermodul
DE3616969C2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8320 Willingness to grant licenses declared (paragraph 23)
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee