DE3615930C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur verstellbaren
Halterung des Spiegels eines Ringlaser-Gyroskops der im
Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Gattung, vgl.
DE-OS 30 32 997.
Bei Laserstrahl-Gyroskopen muß die durch die Reflektoren
mitbestimmte Länge des Laserstrahlengangs sehr genau eingestellt
werden können, was üblicherweise mit Hilfe von piezoelektrischen
Keramikscheiben geschieht, mit denen der Spiegel
verbunden ist. Durch Anlegen einer Spannung ändern
sich die Abmessungen dieser Piezoscheiben und damit die
Positionen des mit ihnen verbundenen Spiegels. Die Größe
und Polarität der an die Piezoscheiben angelegten Spannungen
wird vom Laserausgang abgeleitet, um eine optimale Laserverstärkung
und -frequenz zu erhalten. Die z. B. durch Temperaturschwankungen
und Inhomogenitäten der Werkstoffe verursachten
Abmessungsänderungen des Gyroskopblocks, die durch
die Lageeinstellung der Spiegel kompensiert werden müssen,
liegen bei ca. 2,54 µm, wobei die Genauigkeit und Auflösung
der Einstellbewegung unter 0,025 µm liegt. Wesentlich dabei
ist, daß die von den Laserstrahlen gebildete Ebene gegenüber
der Spiegelfläche, der Öffnung im Laserstrahlengang und
den Elektroden unverändert bleibt, weil jede Lageänderung
dieser Ebene die Betriebsbedingungen des Gyroskops nachteilig
beeinflußt. Formänderungen des Laserblocks durch
Beschleunigungen oder Wärmedehnungen in einer quer zur
Laserebene verlaufenden Richtung bewirken derartige Lageänderungen
der Ebene. Bei Ringlaser-Gyroskopen kleiner
Abmessungen von z. B. weniger als 38 cm kann der Laserblock
ausreichend starr gemacht werden, um diese nachteiligen
Verschiebungen der Laserebene auszuschließen. Die
auch bei diesen Gyroskopen auftretenden Lageänderungen
des Spiegels sind im wesentlichen auf Inhomogenitäten der
als Verstellorgane eingesetzten piezoelektrischen Keramikscheiben
sowie auf deren Fertigungstoleranzen zurückzuführen.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur verstellbaren
Halterung des Spiegels eines Ringlaser-Gyroskops
zu schaffen, die bei konstruktiv einfachem Aufbau unerwünschte
Lageänderungen und Verkantungen des Spiegels vermeidet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden
Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht die feinfühlig
verstellbare Halterung des Spiegels auf mechanisch einfache
Weise und vermeidet die bei bisherigen Halterungen auftretenden
Verkantungen und Vibrationen des Spiegels. Erreicht
wird dieses Ziel durch die Verwendung von zwei entgegengesetzt
nach außen gewölbten Bauteilen, zwischen deren gemeinsamer
Basis die piezoelektrischen Keramikscheiben angeordnet
sind, wobei sich die beiden gewölbten Bauteile mit ihren
in einer Achse liegenden Scheiteln einerseits an einer
Stirnplatte des Gehäuses und andererseits an der den Spiegel
tragenden Membran abstützen. Bei einer Ausdehnung oder
Kontraktion der piezoelektrischen Scheiben bewegt sich
die Membranmitte zusammen mit dem Spiegel genau in der
Mittelachse um Beträge, die durch die Geometrie der beiden
gewölbten Bauteile bestimmt wird.
Aus der US-PS 43 18 023 ist ein Stellglied zum Betätigen
eines Ventils bekannt, das über einen Stößel an einer vorgespannten
Membran abgestützt ist. Diese Membran ist an
einer Seite fest in einem Gehäuse eingespannt und an ihrem
anderen Rand an einem beweglichen Halteglied befestigt,
welcher der Einwirkung von piezoelektrischen Scheiben ausgesetzt
ist.
Zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand
der Unteransprüche.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung
anhand der Zeichnung im einzelnen erläutert. Es zeigt
Fig. 1 schematisch das Funktionsprinzip der verstellbaren
Spiegelhalterung;
Fig. 2 im einzelnen eine bevorzugte Ausführung
im Axialschnitt.
Die Strahlenganglänge in einem Ringlaser-Gyroskop wird
durch die Anordnung einer Spiegelfläche 10 bestimmt, die
im Hohlraum des Gyroskops angeordnet ist und einen Teil
einer Spiegelmembran 12 bildet. Diese Spiegelmembran 12
ist an einer Halterung 14 starr befestigt. Innerhalb der
Halterung 14 ist ein oberes konisches Bauteil 16 und ein
unteres konisches Bauteil 18 angeordnet. Zwischen beiden
konischen Bauteilen 16, 18 befindet sich eine piezoelektrische
Keramikscheibe 20 aus z. B. Bleizirkonat-Titanat
mit einem Durchmesser von z. B. 17,8 mm und einer Dicke
von 0,5 mm. Wenn über die Dicke dieser Keramikscheibe eine
Spannung von z. B. 500 V angelegt wird, erfolgt eine diametrale
Kontraktion von ca. 5,08 µm, die eine um einen Faktor
verstärkte Bewegung der Spiegelfläche 10 in X-Richtung
zur Folge hat. Bei einem Scheibenradius R und einer Seitenlänge
L der konischen Bauteile 16, 18 gilt
Es ist ersichtlich, daß die Verstärkung
dX/dR sich unendlich nähert, wenn der Neigungswinkel α der
Seiten der konischen Bauteile 16, 18 gegen Null geht. Unter
Berücksichtigung der Fertigungstoleranzen und der Werkstoffbeanspruchung
beträgt der Winkel α ca. 10°. Bei einer
typischen Ausgestaltung mit einem Scheibenradius von
R=8,9 mm und einer Seitenlänge L=9,03 mm beträgt die
Verstärkung dX/dR=5,7, so daß Änderungen der Strecke
X den 5,7fachen Änderungen des Radius R entsprechen. Eine
derartige Ausbildung ist ferner weniger anfällig gegen
Querbeschleunigungen. Bei einer theoretisch perfekten
Passung zwischen den einzelnen Bauteilen und absolut steifen
Elementen würde die Spiegelverschiebung bei Anlegen
einer Spannung von 500 V an die Keramikscheibe 20 eine
Strecke von 28,95 µm bzw. 0,058 µm/V betragen. Die Beziehung
zwischen der angelegten Spannung und der Spiegelbewegung
ist im wesentlichen linear und aufgrund der gewählten
geometrischen Konfiguration exakt wiederholbar. Durch den
Proportionalitätsfaktor wird ferner die an die Keramikscheiben
anzulegende Spannung vermindert.
Bei der Ausführung nach Fig. 2 sind an einem Paar von piezoelektrischen
Keramikscheiben 30, 32 Elektroden 34, 36 und
Zuleitungen 38, 40 zum Anlegen einer Spannung an die Keramikscheiben
30, 32 angeschlossen. Am unteren konischen
Bauteil 42 ist ein hohler Ansatz 44 vorgesehen, in den
ein Vorsprung 46 der Spiegeleinheit 48 eingreift. Die Keramikscheiben
30, 32 sind in die entgegengesetzt ausgerichteten
konischen Bauteile 42, 50 unter Vorspannung eingesetzt,
was durch Zusammendrücken der zentralen Bereiche dieser
konischen Bauteile 42 und 50 beim Einsetzen der Piezoscheiben
erreicht wird. Die Vorspannung gewährleistet eine
schlupffreie Passung zwischen den einzelnen Bauteilen.
Bei der Endmontage wird das konische Bauteil 42 um einen
vorbestimmten Betrag gegen den Vorsprung 46 vorgespannt.
Wenn im Betrieb die Position der Spiegelfläche 52 verstellt
werden soll, um die Weglänge im Ringlaser-Gyroskop einzustellen,
wird an die Elektroden 34, 36 eine Spannung angelegt,
die eine diametrale Kontraktion der Keramikscheiben
30, 32 und über die Konizität der beiden Bauteile eine
Bewegung der Spiegelfläche 52 bewirkt.
Bei dieser Ausführung spielen die in den piezoelektrischen
Keramikscheiben vorhandenen Unregelmäßigkeiten keine wesentliche
Rolle, da sich die konischen Bauteile 42, 50 am Außenrand
der Keramikscheiben infolge ihrer Vorspannung fest
anpassen. Ferner werden Wärmedehnungen der Keramikscheiben
automatisch ausgeglichen, und Verkantungen des Spiegels
bei seiner Verstellung werden sicher vermieden. Anders
als bei bekannten piezoelektrischen Spiegelhalterungen
ist die vorliegende Anordnung relativ unempfindlich gegen
Vibrationen, Beschleunigungen und Stöße, da die beweglichen
Teile von biegesteifen Teilen abgestützt sind. Insbesondere
sind die konischen Bauteile 42, 50 ausreichend steif, um
hohe Eigenfrequenzen sicherzustellen. Die vorstehend beschriebene
Vorrichtung gewährleistet somit präzise Einstellbewegungen
der Spiegelfläche 52 ohne deren Verkanten oder
Verkippen, wobei aufgrund des Verstärkungs- bzw. Proportionalitätsfaktors
die Spiegelbewegung exakt wiederholbar
ist.
Claims (3)
1. Vorrichtung zur verstellbaren Halterung des Spiegels
eines Ringlaser-Gyroskops, bestehend
aus einem Gehäuse und mindestens einer piezoelektrischen
Scheibe mit elektrischen Anschlüssen,
dadurch gekennzeichnet,
daß die piezoelektrische Scheibe (20; 30, 32) zwischen
zwei nach außen entgegengesetzt konischen elastischen
Bauteilen (16, 18; 42, 50) unter Vorspannung gehaltert
ist, von denen eines (16; 50) mittig an einer Stirnplatte
des Gehäuses (14) und das andere mittig an einer Membrane
(12; 48) befestigt ist, die in ihrem zentralen Teil außen
den Spiegel (10) trägt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwei piezoelektrische Scheiben (32, 34) aufeinanderliegend
vorgesehen sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß am zentralen Teil des einen konischen Bauteils (42)
ein hohler Ansatz (44) ausgebildet ist, in dem ein an der
Membran (48) ausgebildeter Vorsprung (46) befestigt ist.
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Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5162951A (en) * | 1990-07-31 | 1992-11-10 | Eastman Kodak Company | Method for designing an optical system |
US5323228A (en) * | 1991-04-22 | 1994-06-21 | Alliedsignal Inc. | Cavity length controller for ring laser gyroscope applications |
US5132979A (en) * | 1991-08-16 | 1992-07-21 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Laser frequency modulator for modulating a laser cavity |
RU2068191C1 (ru) * | 1996-02-12 | 1996-10-20 | Йелстаун Корпорейшн Н.В. | Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало |
DE19638507C1 (de) * | 1996-09-20 | 1998-01-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Piezoelektrischer Aktor mit veränderbarer Steifigkeit |
DE10115915A1 (de) * | 2001-03-30 | 2002-10-02 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Justierung von Einrichtungen und zum Einstellen von Verstellwegen |
DE10115914A1 (de) | 2001-03-30 | 2002-10-02 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes in einer Optik |
DE10136387A1 (de) | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Zeiss Carl | Objektiv, insbesondere Objektiv für die Halbleiter-Lithographie |
DE10219514A1 (de) | 2002-04-30 | 2003-11-13 | Zeiss Carl Smt Ag | Beleuchtungssystem, insbesondere für die EUV-Lithographie |
DE10248524A1 (de) * | 2002-10-17 | 2004-04-29 | Hensoldt Ag | Verfahren zum Anbringen einer Struktur |
US7265917B2 (en) | 2003-12-23 | 2007-09-04 | Carl Zeiss Smt Ag | Replacement apparatus for an optical element |
US7382463B2 (en) * | 2005-01-28 | 2008-06-03 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for improving optical flatness in a path length control driver |
US8415860B2 (en) | 2007-02-08 | 2013-04-09 | The Boeing Company | Spring disc energy harvester apparatus and method |
US20080191584A1 (en) * | 2007-02-08 | 2008-08-14 | Malkin Matthew C | Spring disc energy harvester apparatus and method |
DE102008000967B4 (de) | 2008-04-03 | 2015-04-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie |
FR2933782B1 (fr) * | 2008-07-11 | 2010-08-13 | Thales Sa | Dispositif de correction des defauts optiques d'un miroir de telescope |
JP5199133B2 (ja) * | 2009-01-14 | 2013-05-15 | 株式会社竹中工務店 | 載置台の支持装置 |
RU2589756C1 (ru) * | 2015-04-23 | 2016-07-10 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха" | Система регулировки периметра зеемановского лазерного гироскопа |
CN114939522B (zh) * | 2022-04-18 | 2024-05-07 | 上海船舶电子设备研究所(中国船舶重工集团公司第七二六研究所) | 碟形换能器的预应力施加系统、方法及介质 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3404352A (en) * | 1965-02-08 | 1968-10-01 | Raytheon Co | Mirror-supporting structure for lasers |
US4113387A (en) * | 1977-02-14 | 1978-09-12 | Rockwell International Corporation | Dual mode laser optics control for ring laser gyro |
US4383763A (en) * | 1979-09-12 | 1983-05-17 | Litton Systems, Inc. | Controllable mirrors |
CA1162281A (en) * | 1979-09-12 | 1984-02-14 | Thomas J. Hutchings | Controllable mirror |
US4318023A (en) * | 1980-02-21 | 1982-03-02 | Physics International Company | Sagittally amplified piezoelectric actuator |
US4386853A (en) * | 1980-12-01 | 1983-06-07 | The Singer Company | Bending actuator for ring laser gyroscope |
GB2104283B (en) * | 1981-07-24 | 1986-02-05 | Litton Systems Inc | Piezoelectric transducer |
DE3218528C2 (de) * | 1982-05-17 | 1984-11-08 | Honeywell Gmbh, 6050 Offenbach | Parallelverschiebevorrichtung |
DE3218576C2 (de) * | 1982-05-17 | 1984-11-08 | Honeywell Gmbh, 6050 Offenbach | Piezoelektrisches Stellglied |
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