SE462663B - Anordning foer reglering av laeget hos en spegel - Google Patents
Anordning foer reglering av laeget hos en spegelInfo
- Publication number
- SE462663B SE462663B SE8602114A SE8602114A SE462663B SE 462663 B SE462663 B SE 462663B SE 8602114 A SE8602114 A SE 8602114A SE 8602114 A SE8602114 A SE 8602114A SE 462663 B SE462663 B SE 462663B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- mirror
- conical
- attached
- elements
- disk
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
- G01C19/64—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
- G01C19/66—Ring laser gyrometers
- G01C19/661—Ring laser gyrometers details
- G01C19/665—Ring laser gyrometers details control of the cavity
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/083—Ring lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/105—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Lasers (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
462
10
l5
20
25
30
35
663 2
utgöres den väsentliga orsaken till variationer i laserplanet
av oförmågan hos den piezoelektriska styrmekanísmen för väg-
längden att exakt förskjuta spegeln endast i laserstrålarnas
plan. Olíkformigheter hos de piezoelektriska elementen och
dimensionsonoggrannheter hos de tillverkade delarna i meka-
nismen medför, att spegeln lutas då den förflyttas för juste-
ring av väglängden och denna lutning medför att laserplanets
läge ändras. '
Ändamålet med föreliggande uppfinning är därför att åstad-
komma en exakt väglängdsstyrning i ett ringlasergyro med minsta
möjliga spegellutning.
Ett ytterligare ändamål med föreliggande uppfinning är
att åstadkomma en sådan väglängdsstyrning med en enkel mekanisk
uppbyggnad.
Enligt uppfinningen uppnås detta med hjälp av en väglängds-
styrmekanism innefattande piezoelektriska skivor. Skivorna är
monterade inuti koniska element, varav ett är fäst vid centrum
av ett spegelmembran, medan det andra är fäst vid en extern
yta eller referensyta för spegeln. Elektroder är fästa över de
piezoelektriska skivorna, Då en spänning anslutes till skivorna,
kommer skivornas diameter att reduceras genom kontraktion.
Skivornas kontraktion omvandlas till en önskad linjär rörelse,
med mekanisk förstärkning, genom deformation av de koniska
elementen. På detta sätt drages spegelns centrum i en rak linje
i laserstrålarnas plan mot spegelmembranets styvhet, vilket
ger en spegelrörelse utan lutning av spegeln.
I det följande skall uppfinningen närmare beskrivas med
hänvisning till bifogad ritning, i vilken _ I -
fig. l är ett schematiskt diagram över uppfinningen
illustrerande uppfinningens principiella funktion; och
fig. 2 illustrerar en föredrag utföringsform av upp-
finnínge.
De till grund för uppfinningen liggande principerna skall
först diskuteras i anslutning till fig. l. Såsom ovan nämnts,
regleras väglängden hos ett ringlasergyro medelst läget hos en
spegelyta, såsom spegelytan 10. Fackmannen inser, att denna
spegelyta 10 ingår i kaviteten hos ett ringlasergyro (ej visat)
för justering av väglängden. Spegelytan 10 utgör en del av ett
l0
15
20
25
30
35
3 462 663
spegelmembran 12, Spegelmembranet 12 är stelt fäst vid ett
bärande element lä. Inuti detta bärande element lfl finnes ett
övre koniskt element 16 och ett nedre koniskt element 18. Mellan
dessa koniska element är en piezoelektrisk eller piezokeramisk
skiva 20 placerad. En lämplig piezokeramisk skiva är tillverkad
av blyzirkonattitanat och har en diameter av ca 17,8 mm och en
tjocklek av ca 0,51 mm. En sådan skiva kommer att draga samman
sig diametralt ca 5,l um, då en spänning om 500 V anslutes
över skivans tjocklek. Det inses att skivans 20 kontraktion
resulterar i en förstärkt förskjutning av spegelytan 10 izden
med X markerade riktningen. Om skivans radie betecknas med R
och längden hos de koniska elementens 16 och 18 sida betecknas
med L, så blir dx/dR = R/ VL2-R2, eftersom x = VLZ-Rz. Det
inses, att förstärkningen dX/dR närmar sig oändligheten då
vinkeln a närmar sig noll. Av praktiska skäl med hänsyn till
tillverkningstoleranser och materialpåkänningsgränser väljes u
till att vara ca 100. Vid en typisk tillämpning med R = 8,89 mm
och L = 9,027 mm blir förstärkningen dX/dR = 5,7. Detta inne-
bär sålunda att ändringarna i dimensionen X kommer att vara
ca 5,7 gånger större än ändringarna i dimensionen R. Denna me-
kaniska förstärkning är resultatet av den geometriska konfigu-
riktade
accelerationer, och spegeln kommer att röra sig på ett nog-
grant repeterbart sätt. I det teoretiska fallet med perfekt
passning mellan delarna och oändligt styva element skulle
spegelns förskjutning vid anslutning av 500 V över skivan 20
bli 28,96 um eller 0,0579 um/V. Sambandet mellan den anslutna
spänningen och rörelsen hos spegelytan 10 är väsentligen
ration mindre känslig för fel som följd av tvärs
linjärt och repeterbart. Den mekaniska förstärkningen minskar
också den erforderliga spänningen över skivan för tillfreds-
ställande funktion.
Vid det i fig. 2 visade utförandet användes ett par
36 är
fästa vid skivan 30 respektive 32. Via ledningar 38 och 40
piezokeramiska skivor 30 och 32. Elektroder 34 och
kan spänningar anslutas över skivorna 30 och 32. Vid detta
utförande innefattar ett nedre koniskt element #2 en del 44,
som är utformad att fästas vid ett utskjutande parti 46 på
spegelenheten 48. Skivorna 30 och 32 monteras i de koniska
462
10
15
20
25
30
35
665 **
elementen 42 och 50 med en mekanisk förbelastning, vilken
åstadkommes genom att ett tryck utövas på de koniska elemen-
tens 42 och 50 mittpartier då skivorna sättes in. Denna för-
belastning säkerställer en god, glidfri passning mellan delarna.
Under den slutliga monteringen förbelastas det koniska elemen-
tet H2 mot spegeldelen 46 med ett förutbestämt belopp.
Då man under drift önskar ändra läget för spegelytan 52
för justering av väglängden i ett ringlasergyro, anslutes en
spänning över elektroderna 34 och 36. Såsom beskrivits i det
föregående, kommer denna spänning att medföra, att de piezo-
keramiska skivorna 30 och 32 kontraherar i diametral riktning.
Som följd av den geometriska konfigurationen, vilken ger en
mekanisk förstärkning, medför denna diametrala kontraktion en
förflyttning av spegelytan 52.
De inneboende onogrannheterna hos ett piezokeramiskt
element är av liten betydelse vid denna utföringsform, efter-
som de koniska elementen 42 och 50 anpassar sig till omkrets-
kanten hos den keramiska skivan som följd av förbelastningen.
Vidare kompenseras skivans termiska utvidgning automatiskt
och ingen noggrann anpassning av de keramiska delarna till
de andra delarna av konstruktionen erfordras. Den föreliggande
utformningen närmar sig det ideala villkoret för applicering
av krafter mellan spegelns centrum och en fast punkt på stöd-
elementet på ett repeterbart sätt. Detta arrangemang medför,
att spegelytan 52 rör sig utan praktiskt taget nåogn lutning.
I motsats till tidigare piezoelektriska enheter är den före-
liggande enheten relativt okänslig mot störningar som följd av
vibrationer, accelerationer och stötar, eftersom överhänget
är litet och de rörliga delarna uppbäres av styva element.
I synnerhet göres de koniska elementen 42 och 50 tillräckligt
styva för att ge höga resonansfrekvenser.
Ändamålen med uppfinningen uppnås sålunda medelst den
beskrivna anordningen, vilken ger en exakt förflyttning av
spegelytan utan någon åtföljande lutning av densamma. Den be-
skrivna anordningen ger vidare mekanisk förstärkning och
spegelrörelsen är i hög grad repeterbar.
Det inses att modifikationer och variationer av uppfin-
ningen är möjliga inom ramen för bifogade patentkrav.
Claims (4)
- l. Anordning för reglering av läget hos en spegel (10), k ä n n e t e c k n a d av att den innefattar ett bärande element (lä) fäst vid spegelns (10) omkrets, ett par koniska element (16, 18) anordnade inuti det bärande elementet (14), varvid det ena koniska elementet (18) är fäst vid en central del av spegeln (10) och det andra ko- niska elementet (16) är fäst vid det bärande elementet (lH); en piezoelektrisk skiva (20) anordnad med sin yttre kant i kontakt med de koniska elementen (16, 18); och organ för anslutning av en spänning över den piezo- elektriska skivan (20), varvid skivans kontraktion i diametral riktning medför en linjär förflyttning av spegelns (10) yta.
- 2. Anordning enligt krav l, k ä n n e t e c k n a d av att den piezoelektriska skivan innefattar ett par, på varandra liggande, piezokeramiska skivor (30, 32).
- 3. Anordning enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a d av att de piezokeramiska skivorna är tillverkade av blyzirkonat- titanat.
- 4. Anordning enligt krav l, k ä n n e t e c k n a d av att nämnda organ för anslutning av en spänning över den piezo- elektriska skivan innefattar elektroder (SM, 36) fästa på ömse sidor av skivan.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/740,557 US4969726A (en) | 1985-06-03 | 1985-06-03 | Ring laser gyro path-length-control mechanism |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE8602114D0 SE8602114D0 (sv) | 1986-05-09 |
SE8602114L SE8602114L (sv) | 1986-12-04 |
SE462663B true SE462663B (sv) | 1990-08-06 |
Family
ID=24977039
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE8602114A SE462663B (sv) | 1985-06-03 | 1986-05-09 | Anordning foer reglering av laeget hos en spegel |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4969726A (sv) |
JP (1) | JPS62122187A (sv) |
DE (1) | DE3615930A1 (sv) |
FR (1) | FR2582803B1 (sv) |
GB (1) | GB2176336B (sv) |
SE (1) | SE462663B (sv) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5162951A (en) * | 1990-07-31 | 1992-11-10 | Eastman Kodak Company | Method for designing an optical system |
US5323228A (en) * | 1991-04-22 | 1994-06-21 | Alliedsignal Inc. | Cavity length controller for ring laser gyroscope applications |
US5132979A (en) * | 1991-08-16 | 1992-07-21 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Laser frequency modulator for modulating a laser cavity |
RU2068191C1 (ru) * | 1996-02-12 | 1996-10-20 | Йелстаун Корпорейшн Н.В. | Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало |
DE19638507C1 (de) * | 1996-09-20 | 1998-01-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Piezoelektrischer Aktor mit veränderbarer Steifigkeit |
DE10115915A1 (de) * | 2001-03-30 | 2002-10-02 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Justierung von Einrichtungen und zum Einstellen von Verstellwegen |
DE10115914A1 (de) | 2001-03-30 | 2002-10-02 | Zeiss Carl | Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes in einer Optik |
DE10136387A1 (de) | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Zeiss Carl | Objektiv, insbesondere Objektiv für die Halbleiter-Lithographie |
DE10219514A1 (de) | 2002-04-30 | 2003-11-13 | Zeiss Carl Smt Ag | Beleuchtungssystem, insbesondere für die EUV-Lithographie |
DE10248524A1 (de) * | 2002-10-17 | 2004-04-29 | Hensoldt Ag | Verfahren zum Anbringen einer Struktur |
US7265917B2 (en) | 2003-12-23 | 2007-09-04 | Carl Zeiss Smt Ag | Replacement apparatus for an optical element |
US7382463B2 (en) * | 2005-01-28 | 2008-06-03 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for improving optical flatness in a path length control driver |
US20080191584A1 (en) * | 2007-02-08 | 2008-08-14 | Malkin Matthew C | Spring disc energy harvester apparatus and method |
US8415860B2 (en) | 2007-02-08 | 2013-04-09 | The Boeing Company | Spring disc energy harvester apparatus and method |
DE102008000967B4 (de) | 2008-04-03 | 2015-04-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie |
FR2933782B1 (fr) * | 2008-07-11 | 2010-08-13 | Thales Sa | Dispositif de correction des defauts optiques d'un miroir de telescope |
JP5199133B2 (ja) * | 2009-01-14 | 2013-05-15 | 株式会社竹中工務店 | 載置台の支持装置 |
RU2589756C1 (ru) * | 2015-04-23 | 2016-07-10 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха" | Система регулировки периметра зеемановского лазерного гироскопа |
CN114939522B (zh) * | 2022-04-18 | 2024-05-07 | 上海船舶电子设备研究所(中国船舶重工集团公司第七二六研究所) | 碟形换能器的预应力施加系统、方法及介质 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3404352A (en) * | 1965-02-08 | 1968-10-01 | Raytheon Co | Mirror-supporting structure for lasers |
US4113387A (en) * | 1977-02-14 | 1978-09-12 | Rockwell International Corporation | Dual mode laser optics control for ring laser gyro |
US4383763A (en) * | 1979-09-12 | 1983-05-17 | Litton Systems, Inc. | Controllable mirrors |
CA1162281A (en) * | 1979-09-12 | 1984-02-14 | Thomas J. Hutchings | Controllable mirror |
US4318023A (en) * | 1980-02-21 | 1982-03-02 | Physics International Company | Sagittally amplified piezoelectric actuator |
US4386853A (en) * | 1980-12-01 | 1983-06-07 | The Singer Company | Bending actuator for ring laser gyroscope |
GB2104283B (en) * | 1981-07-24 | 1986-02-05 | Litton Systems Inc | Piezoelectric transducer |
DE3218528C2 (de) * | 1982-05-17 | 1984-11-08 | Honeywell Gmbh, 6050 Offenbach | Parallelverschiebevorrichtung |
DE3218576C2 (de) * | 1982-05-17 | 1984-11-08 | Honeywell Gmbh, 6050 Offenbach | Piezoelektrisches Stellglied |
-
1985
- 1985-06-03 US US06/740,557 patent/US4969726A/en not_active Expired - Fee Related
-
1986
- 1986-04-28 GB GB8610344A patent/GB2176336B/en not_active Expired
- 1986-04-28 FR FR868606118A patent/FR2582803B1/fr not_active Expired
- 1986-05-09 SE SE8602114A patent/SE462663B/sv not_active IP Right Cessation
- 1986-05-12 DE DE19863615930 patent/DE3615930A1/de active Granted
- 1986-05-30 JP JP61127111A patent/JPS62122187A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62122187A (ja) | 1987-06-03 |
GB2176336A (en) | 1986-12-17 |
SE8602114D0 (sv) | 1986-05-09 |
SE8602114L (sv) | 1986-12-04 |
JPH0142153B2 (sv) | 1989-09-11 |
FR2582803B1 (fr) | 1989-12-01 |
US4969726A (en) | 1990-11-13 |
GB8610344D0 (en) | 1986-06-04 |
DE3615930C2 (sv) | 1989-02-23 |
FR2582803A1 (fr) | 1986-12-05 |
DE3615930A1 (de) | 1986-12-04 |
GB2176336B (en) | 1989-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SE462663B (sv) | Anordning foer reglering av laeget hos en spegel | |
US4160184A (en) | Piezoelectric actuator for a ring laser | |
US4385373A (en) | Device for focus and alignment control in optical recording and/or playback apparatus | |
US6724127B2 (en) | Piezoelectric/electrostrictive device | |
EP0067317A1 (en) | Fluid bearing assembly | |
US6246552B1 (en) | Read/write head including displacement generating means that elongates and contracts by inverse piezoelectric effect of electrostrictive effect | |
US6449127B1 (en) | Low mass disc drive suspension | |
US4685767A (en) | Fine adjustment apparatus for optical system lens | |
US5148076A (en) | Apparatus for thermal tuning of path length control drivers | |
US6798984B2 (en) | Image pick-up device on board a space craft, space craft and image sensing method comprising same | |
US5162870A (en) | Substrate for ring laser gyro with nonuniform outer rim | |
US9780290B2 (en) | Precision return actuator | |
JPS61163305A (ja) | 光フアイバ位置決め装置 | |
JP2554794B2 (ja) | 静圧流体支持装置 | |
CN115388872B (zh) | 加速度下激光陀螺敏感轴向偏差闭环控制装置及方法 | |
KR100455122B1 (ko) | 초점 심도 미세 보정장치 | |
US20240162062A1 (en) | A gimbal bonding tool and a method to correct surface non-uniformities using a bonding tool | |
JPS6334995A (ja) | レ−ザ集光装置 | |
JPS63276288A (ja) | 半導体レ−ザ光学装置 | |
SU1041979A1 (ru) | Двухкоординатный дефлектор | |
JPH0248631A (ja) | 光ビーム走査方法及びその装置 | |
JPS61190311A (ja) | 光走査装置 | |
JPS62257774A (ja) | 光電素子の保持装置 | |
JPH07325091A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JPS63269591A (ja) | リングレ−ザジヤイロ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 8602114-4 Effective date: 19941210 Format of ref document f/p: F |
|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 8602114-4 Format of ref document f/p: F |