SE462663B - Anordning foer reglering av laeget hos en spegel - Google Patents

Anordning foer reglering av laeget hos en spegel

Info

Publication number
SE462663B
SE462663B SE8602114A SE8602114A SE462663B SE 462663 B SE462663 B SE 462663B SE 8602114 A SE8602114 A SE 8602114A SE 8602114 A SE8602114 A SE 8602114A SE 462663 B SE462663 B SE 462663B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
mirror
conical
attached
elements
disk
Prior art date
Application number
SE8602114A
Other languages
English (en)
Other versions
SE8602114D0 (sv
SE8602114L (sv
Inventor
M Koning
Original Assignee
Northrop Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Northrop Corp filed Critical Northrop Corp
Publication of SE8602114D0 publication Critical patent/SE8602114D0/sv
Publication of SE8602114L publication Critical patent/SE8602114L/sv
Publication of SE462663B publication Critical patent/SE462663B/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/58Turn-sensitive devices without moving masses
    • G01C19/64Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
    • G01C19/66Ring laser gyrometers
    • G01C19/661Ring laser gyrometers details
    • G01C19/665Ring laser gyrometers details control of the cavity
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/08Construction or shape of optical resonators or components thereof
    • H01S3/081Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
    • H01S3/083Ring lasers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/105Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

462 10 l5 20 25 30 35 663 2 utgöres den väsentliga orsaken till variationer i laserplanet av oförmågan hos den piezoelektriska styrmekanísmen för väg- längden att exakt förskjuta spegeln endast i laserstrålarnas plan. Olíkformigheter hos de piezoelektriska elementen och dimensionsonoggrannheter hos de tillverkade delarna i meka- nismen medför, att spegeln lutas då den förflyttas för juste- ring av väglängden och denna lutning medför att laserplanets läge ändras. ' Ändamålet med föreliggande uppfinning är därför att åstad- komma en exakt väglängdsstyrning i ett ringlasergyro med minsta möjliga spegellutning.
Ett ytterligare ändamål med föreliggande uppfinning är att åstadkomma en sådan väglängdsstyrning med en enkel mekanisk uppbyggnad.
Enligt uppfinningen uppnås detta med hjälp av en väglängds- styrmekanism innefattande piezoelektriska skivor. Skivorna är monterade inuti koniska element, varav ett är fäst vid centrum av ett spegelmembran, medan det andra är fäst vid en extern yta eller referensyta för spegeln. Elektroder är fästa över de piezoelektriska skivorna, Då en spänning anslutes till skivorna, kommer skivornas diameter att reduceras genom kontraktion.
Skivornas kontraktion omvandlas till en önskad linjär rörelse, med mekanisk förstärkning, genom deformation av de koniska elementen. På detta sätt drages spegelns centrum i en rak linje i laserstrålarnas plan mot spegelmembranets styvhet, vilket ger en spegelrörelse utan lutning av spegeln.
I det följande skall uppfinningen närmare beskrivas med hänvisning till bifogad ritning, i vilken _ I - fig. l är ett schematiskt diagram över uppfinningen illustrerande uppfinningens principiella funktion; och fig. 2 illustrerar en föredrag utföringsform av upp- finnínge.
De till grund för uppfinningen liggande principerna skall först diskuteras i anslutning till fig. l. Såsom ovan nämnts, regleras väglängden hos ett ringlasergyro medelst läget hos en spegelyta, såsom spegelytan 10. Fackmannen inser, att denna spegelyta 10 ingår i kaviteten hos ett ringlasergyro (ej visat) för justering av väglängden. Spegelytan 10 utgör en del av ett l0 15 20 25 30 35 3 462 663 spegelmembran 12, Spegelmembranet 12 är stelt fäst vid ett bärande element lä. Inuti detta bärande element lfl finnes ett övre koniskt element 16 och ett nedre koniskt element 18. Mellan dessa koniska element är en piezoelektrisk eller piezokeramisk skiva 20 placerad. En lämplig piezokeramisk skiva är tillverkad av blyzirkonattitanat och har en diameter av ca 17,8 mm och en tjocklek av ca 0,51 mm. En sådan skiva kommer att draga samman sig diametralt ca 5,l um, då en spänning om 500 V anslutes över skivans tjocklek. Det inses att skivans 20 kontraktion resulterar i en förstärkt förskjutning av spegelytan 10 izden med X markerade riktningen. Om skivans radie betecknas med R och längden hos de koniska elementens 16 och 18 sida betecknas med L, så blir dx/dR = R/ VL2-R2, eftersom x = VLZ-Rz. Det inses, att förstärkningen dX/dR närmar sig oändligheten då vinkeln a närmar sig noll. Av praktiska skäl med hänsyn till tillverkningstoleranser och materialpåkänningsgränser väljes u till att vara ca 100. Vid en typisk tillämpning med R = 8,89 mm och L = 9,027 mm blir förstärkningen dX/dR = 5,7. Detta inne- bär sålunda att ändringarna i dimensionen X kommer att vara ca 5,7 gånger större än ändringarna i dimensionen R. Denna me- kaniska förstärkning är resultatet av den geometriska konfigu- riktade accelerationer, och spegeln kommer att röra sig på ett nog- grant repeterbart sätt. I det teoretiska fallet med perfekt passning mellan delarna och oändligt styva element skulle spegelns förskjutning vid anslutning av 500 V över skivan 20 bli 28,96 um eller 0,0579 um/V. Sambandet mellan den anslutna spänningen och rörelsen hos spegelytan 10 är väsentligen ration mindre känslig för fel som följd av tvärs linjärt och repeterbart. Den mekaniska förstärkningen minskar också den erforderliga spänningen över skivan för tillfreds- ställande funktion.
Vid det i fig. 2 visade utförandet användes ett par 36 är fästa vid skivan 30 respektive 32. Via ledningar 38 och 40 piezokeramiska skivor 30 och 32. Elektroder 34 och kan spänningar anslutas över skivorna 30 och 32. Vid detta utförande innefattar ett nedre koniskt element #2 en del 44, som är utformad att fästas vid ett utskjutande parti 46 på spegelenheten 48. Skivorna 30 och 32 monteras i de koniska 462 10 15 20 25 30 35 665 ** elementen 42 och 50 med en mekanisk förbelastning, vilken åstadkommes genom att ett tryck utövas på de koniska elemen- tens 42 och 50 mittpartier då skivorna sättes in. Denna för- belastning säkerställer en god, glidfri passning mellan delarna.
Under den slutliga monteringen förbelastas det koniska elemen- tet H2 mot spegeldelen 46 med ett förutbestämt belopp.
Då man under drift önskar ändra läget för spegelytan 52 för justering av väglängden i ett ringlasergyro, anslutes en spänning över elektroderna 34 och 36. Såsom beskrivits i det föregående, kommer denna spänning att medföra, att de piezo- keramiska skivorna 30 och 32 kontraherar i diametral riktning.
Som följd av den geometriska konfigurationen, vilken ger en mekanisk förstärkning, medför denna diametrala kontraktion en förflyttning av spegelytan 52.
De inneboende onogrannheterna hos ett piezokeramiskt element är av liten betydelse vid denna utföringsform, efter- som de koniska elementen 42 och 50 anpassar sig till omkrets- kanten hos den keramiska skivan som följd av förbelastningen.
Vidare kompenseras skivans termiska utvidgning automatiskt och ingen noggrann anpassning av de keramiska delarna till de andra delarna av konstruktionen erfordras. Den föreliggande utformningen närmar sig det ideala villkoret för applicering av krafter mellan spegelns centrum och en fast punkt på stöd- elementet på ett repeterbart sätt. Detta arrangemang medför, att spegelytan 52 rör sig utan praktiskt taget nåogn lutning.
I motsats till tidigare piezoelektriska enheter är den före- liggande enheten relativt okänslig mot störningar som följd av vibrationer, accelerationer och stötar, eftersom överhänget är litet och de rörliga delarna uppbäres av styva element.
I synnerhet göres de koniska elementen 42 och 50 tillräckligt styva för att ge höga resonansfrekvenser. Ändamålen med uppfinningen uppnås sålunda medelst den beskrivna anordningen, vilken ger en exakt förflyttning av spegelytan utan någon åtföljande lutning av densamma. Den be- skrivna anordningen ger vidare mekanisk förstärkning och spegelrörelsen är i hög grad repeterbar.
Det inses att modifikationer och variationer av uppfin- ningen är möjliga inom ramen för bifogade patentkrav.

Claims (4)

    d.. 462 663 Patentkrav
  1. l. Anordning för reglering av läget hos en spegel (10), k ä n n e t e c k n a d av att den innefattar ett bärande element (lä) fäst vid spegelns (10) omkrets, ett par koniska element (16, 18) anordnade inuti det bärande elementet (14), varvid det ena koniska elementet (18) är fäst vid en central del av spegeln (10) och det andra ko- niska elementet (16) är fäst vid det bärande elementet (lH); en piezoelektrisk skiva (20) anordnad med sin yttre kant i kontakt med de koniska elementen (16, 18); och organ för anslutning av en spänning över den piezo- elektriska skivan (20), varvid skivans kontraktion i diametral riktning medför en linjär förflyttning av spegelns (10) yta.
  2. 2. Anordning enligt krav l, k ä n n e t e c k n a d av att den piezoelektriska skivan innefattar ett par, på varandra liggande, piezokeramiska skivor (30, 32).
  3. 3. Anordning enligt krav 2, k ä n n e t e c k n a d av att de piezokeramiska skivorna är tillverkade av blyzirkonat- titanat.
  4. 4. Anordning enligt krav l, k ä n n e t e c k n a d av att nämnda organ för anslutning av en spänning över den piezo- elektriska skivan innefattar elektroder (SM, 36) fästa på ömse sidor av skivan.
SE8602114A 1985-06-03 1986-05-09 Anordning foer reglering av laeget hos en spegel SE462663B (sv)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/740,557 US4969726A (en) 1985-06-03 1985-06-03 Ring laser gyro path-length-control mechanism

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE8602114D0 SE8602114D0 (sv) 1986-05-09
SE8602114L SE8602114L (sv) 1986-12-04
SE462663B true SE462663B (sv) 1990-08-06

Family

ID=24977039

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE8602114A SE462663B (sv) 1985-06-03 1986-05-09 Anordning foer reglering av laeget hos en spegel

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4969726A (sv)
JP (1) JPS62122187A (sv)
DE (1) DE3615930A1 (sv)
FR (1) FR2582803B1 (sv)
GB (1) GB2176336B (sv)
SE (1) SE462663B (sv)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5162951A (en) * 1990-07-31 1992-11-10 Eastman Kodak Company Method for designing an optical system
US5323228A (en) * 1991-04-22 1994-06-21 Alliedsignal Inc. Cavity length controller for ring laser gyroscope applications
US5132979A (en) * 1991-08-16 1992-07-21 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Laser frequency modulator for modulating a laser cavity
RU2068191C1 (ru) * 1996-02-12 1996-10-20 Йелстаун Корпорейшн Н.В. Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало
DE19638507C1 (de) * 1996-09-20 1998-01-15 Fraunhofer Ges Forschung Piezoelektrischer Aktor mit veränderbarer Steifigkeit
DE10115915A1 (de) * 2001-03-30 2002-10-02 Zeiss Carl Vorrichtung zur Justierung von Einrichtungen und zum Einstellen von Verstellwegen
DE10115914A1 (de) 2001-03-30 2002-10-02 Zeiss Carl Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes in einer Optik
DE10136387A1 (de) 2001-07-26 2003-02-13 Zeiss Carl Objektiv, insbesondere Objektiv für die Halbleiter-Lithographie
DE10219514A1 (de) 2002-04-30 2003-11-13 Zeiss Carl Smt Ag Beleuchtungssystem, insbesondere für die EUV-Lithographie
DE10248524A1 (de) * 2002-10-17 2004-04-29 Hensoldt Ag Verfahren zum Anbringen einer Struktur
US7265917B2 (en) 2003-12-23 2007-09-04 Carl Zeiss Smt Ag Replacement apparatus for an optical element
US7382463B2 (en) * 2005-01-28 2008-06-03 Honeywell International Inc. Methods and systems for improving optical flatness in a path length control driver
US20080191584A1 (en) * 2007-02-08 2008-08-14 Malkin Matthew C Spring disc energy harvester apparatus and method
US8415860B2 (en) 2007-02-08 2013-04-09 The Boeing Company Spring disc energy harvester apparatus and method
DE102008000967B4 (de) 2008-04-03 2015-04-09 Carl Zeiss Smt Gmbh Projektionsbelichtungsanlage für die EUV-Mikrolithographie
FR2933782B1 (fr) * 2008-07-11 2010-08-13 Thales Sa Dispositif de correction des defauts optiques d'un miroir de telescope
JP5199133B2 (ja) * 2009-01-14 2013-05-15 株式会社竹中工務店 載置台の支持装置
RU2589756C1 (ru) * 2015-04-23 2016-07-10 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт "Полюс" им. М.Ф. Стельмаха" Система регулировки периметра зеемановского лазерного гироскопа
CN114939522B (zh) * 2022-04-18 2024-05-07 上海船舶电子设备研究所(中国船舶重工集团公司第七二六研究所) 碟形换能器的预应力施加系统、方法及介质

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3404352A (en) * 1965-02-08 1968-10-01 Raytheon Co Mirror-supporting structure for lasers
US4113387A (en) * 1977-02-14 1978-09-12 Rockwell International Corporation Dual mode laser optics control for ring laser gyro
US4383763A (en) * 1979-09-12 1983-05-17 Litton Systems, Inc. Controllable mirrors
CA1162281A (en) * 1979-09-12 1984-02-14 Thomas J. Hutchings Controllable mirror
US4318023A (en) * 1980-02-21 1982-03-02 Physics International Company Sagittally amplified piezoelectric actuator
US4386853A (en) * 1980-12-01 1983-06-07 The Singer Company Bending actuator for ring laser gyroscope
GB2104283B (en) * 1981-07-24 1986-02-05 Litton Systems Inc Piezoelectric transducer
DE3218528C2 (de) * 1982-05-17 1984-11-08 Honeywell Gmbh, 6050 Offenbach Parallelverschiebevorrichtung
DE3218576C2 (de) * 1982-05-17 1984-11-08 Honeywell Gmbh, 6050 Offenbach Piezoelektrisches Stellglied

Also Published As

Publication number Publication date
JPS62122187A (ja) 1987-06-03
GB2176336A (en) 1986-12-17
SE8602114D0 (sv) 1986-05-09
SE8602114L (sv) 1986-12-04
JPH0142153B2 (sv) 1989-09-11
FR2582803B1 (fr) 1989-12-01
US4969726A (en) 1990-11-13
GB8610344D0 (en) 1986-06-04
DE3615930C2 (sv) 1989-02-23
FR2582803A1 (fr) 1986-12-05
DE3615930A1 (de) 1986-12-04
GB2176336B (en) 1989-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE462663B (sv) Anordning foer reglering av laeget hos en spegel
US4160184A (en) Piezoelectric actuator for a ring laser
US4385373A (en) Device for focus and alignment control in optical recording and/or playback apparatus
US6724127B2 (en) Piezoelectric/electrostrictive device
EP0067317A1 (en) Fluid bearing assembly
US6246552B1 (en) Read/write head including displacement generating means that elongates and contracts by inverse piezoelectric effect of electrostrictive effect
US6449127B1 (en) Low mass disc drive suspension
US4685767A (en) Fine adjustment apparatus for optical system lens
US5148076A (en) Apparatus for thermal tuning of path length control drivers
US6798984B2 (en) Image pick-up device on board a space craft, space craft and image sensing method comprising same
US5162870A (en) Substrate for ring laser gyro with nonuniform outer rim
US9780290B2 (en) Precision return actuator
JPS61163305A (ja) 光フアイバ位置決め装置
JP2554794B2 (ja) 静圧流体支持装置
CN115388872B (zh) 加速度下激光陀螺敏感轴向偏差闭环控制装置及方法
KR100455122B1 (ko) 초점 심도 미세 보정장치
US20240162062A1 (en) A gimbal bonding tool and a method to correct surface non-uniformities using a bonding tool
JPS6334995A (ja) レ−ザ集光装置
JPS63276288A (ja) 半導体レ−ザ光学装置
SU1041979A1 (ru) Двухкоординатный дефлектор
JPH0248631A (ja) 光ビーム走査方法及びその装置
JPS61190311A (ja) 光走査装置
JPS62257774A (ja) 光電素子の保持装置
JPH07325091A (ja) 走査型プローブ顕微鏡
JPS63269591A (ja) リングレ−ザジヤイロ

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed

Ref document number: 8602114-4

Effective date: 19941210

Format of ref document f/p: F

NUG Patent has lapsed

Ref document number: 8602114-4

Format of ref document f/p: F