DE3502025C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen verformbaren Spiegel gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Ein gattungsgemäßer Spiegel ist aus der US 42 95 710 bekannt. Er weist Stellglieder in Form von Schrittmotoren auf, deren Stellbewegung jeweils über eine sehr aufwendige und sowohl schwierig einzubauende wie auch schwierig zu justierende Spindelkonstruktion sowie eine Hülsenverschraubung in den räumlich zugeordneten Bereich der Spiegelplatten-Rückseite übertragen wird. Diese axiale Stellbewegung wird von einer Dither-Vibration überlagert, die von die Spindel umgebenden Piezoringen der Spindelhalterung eingeprägt werden und über eine Frequenzkennung der Individualisierung des jeweiligen Bereiches der Spiegelplatte dienen können.

Aus Fig. 1 und Fig. 2 der Veröffentlichung von James E. Harvey und Gary M. Callahan "Wavefront Error Compensation Capabilities of Multiactuator Deformable Mirrors" (SPIE Vol. 141 Adaptive Optical Components, 1978, Seiten 50 bis 57) ist ein gattungsähnlicher Spiegel bekannt, bei dem Piezo-Säulen als Stellglieder dienen, was offensichtlich zu einer wesentlich vereinfachten Konstruktion gegenüber der Bewegungsumsetzung und Spindelführung nach der gattungsbildenden Vorveröffentlichung führt, ohne daß hinsichtlich des kontruktiven Aufbaus Details aus jener anderen Vorveröffentlichung ersichtlich sind.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen gattungsgemäßen Spiegel, wie er zur Zielsuche und Zielverfolgung in der älteren Patentschrift 34 22 232 näher beschrieben ist, derart auszulegen, daß er bei mechanisch unkompliziertem Aufbau ein für die Regelkreis-Auslegung optimales dynamisches Verhalten aufweist und einfache Justagemöglichkeiten eröffnet.

Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der gattungsgemäße Spiegel gemäß dem Kennzeichnungsteil des Anspruches 1 ausgelegt ist.

Nach dieser Lösung reduziert sich der Einbau der Stellglieder auf ein axiales Einspannen von Piezo-Säulen, die hinter der Spiegelplatte durch eine Klebeverbindung positioniert werden. Dabei ist über die konischen Koppelstücke eine praktisch punktförmige Ankopplung jeden Stellgliedes an der Rückseite der Spiegelplatte ermöglicht, während die Verklebung nicht in Axialrichtung, sondern längs Mantelflächen mit Halterungs-Hülsen lineare Beziehungen zwischen der Stellglied-Ansteuerung und der örtlich zugeordneten Spiegelflächen-Verformung fördert, also kompliziertes Regelkreisverhalten bei der Spiegelsteuerung vermeidet. Andererseits erbringt die relativ großflächige Mantelflächenverklebung zwischen Stellglied oder Koppelglied einerseits und andererseits Anschlußhülse eine hinreichend hoch beanspruchbare mechanische Kopplung zur Aufnahme von Zugkräften, die vorkommen können, wenn ein Piezo-Stellglied weniger stark ausgesteuert wird als die es umgebenden Stellglieder. Die Mantelflächen-Verklebung erbringt also die hohe mechanische Belastbarkeit, ohne stumpfe Klebeverbindungen im Stirnflächenbereich des Stellgliedes und/oder des Koppelgliedes ausbilden zu müssen, deren zwangsläufige Elastizität in Druckübertragungsrichtung nachteilige Dämpfungs- und Laufzeiteinflüsse auf die elektrische Auslegung des Regelkreises zur Stellglied-Ansteuerung zur Folge hätte.

Mit dieser mechanisch stabilen und steifen, konstruktiv einfach herstellbaren Ankopplung eröffnen sich auch sinnvolle Möglichkeiten einer Feinjustage hinsichtlich der Vorgabe einer Vorspannung des Andruckes der nicht elektrisch angesteuerten Stellglieder gegen die Spiegelplatte. Denn Empfindlichkeitseinbußen (hinsichtlich der Ankopplung eines Stellgliedes an den zugeordneten rückwärtigen Bereich der verformbaren Spiegelfläche) infolge von Elastizitäts- und von Hysterese-Einflüssen aufgrund zwischengeschalteter und alterungsabhängiger Klebeverbindungen treten nun nicht mehr auf.

Die Unteransprüche sind Gegenstand zusätzlicher Weiterbildungen der Erfindung, und weitere Vorteile der erfindungsgemäßen Lösung ergeben sich aus nachstehender Beschreibung von in der Zeichnung unter Beschränkung auf das Wesentliche stark abstrahiert und nicht maßstabsgerecht skizzierten bevorzugten Realisierungsbeispielen zur erfindungsgemäßen Lösung.

Fig. 1 einen verformbaren Kompensationsspiegel im Querschnitt, mit Hülsen-Verbindungen zwischen rückwärtig angeformten Zapfen und darauf abgestützten Stellgliedern,

Fig. 2 in rückwärtiger Schrägansicht die Anordnung von Zapfen auf der Rückseite einer Spiegelplatte gemäß Fig. 1,

Fig. 3 ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel für eine Spiegelplatte gemäß Fig. 1 oder Fig. 2, hier mit von Entkopplungsmassen umgebenden Hohlzapfen, in abgebrochener Querschnittsdarstellung,

Fig. 4 in rückwärtiger Daraufsicht einen Ausschnitt aus einer Spiegelplatte gemäß Fig. 3 und

Fig. 5 in Querschnittsdarstellung entsprechend Fig. 3 eine Verbund-Spiegelplatte.

Wie im einzelnen in der oben zitierten älteren Patentanmeldung der Anmelderin dargelegt, liegt im Strahlengang 3 die deformierbare Spiegelfläche 8 eines MDA-Kompensationsspiegels 9. Dieser dient, durch Beeinflussung der optischen Gegebenheiten in den entsprechenden Querschnittsbereichen des Strahlenganges 3, einem Ausgleich von Verzerrungen, die die Strahlengeometrie beim Durchgang durch die Atmosphäre erfährt, um die Strahlenenergie in einem möglichst eng begrenzten Brennfleck auf einem Ziel konzentrieren zu können.

Für die Verformung der Spiegelfläche 8 (durch Versatz einzelner ihrer Bereiche gegeneinander in Richtung der Normalen auf die Spiegelfläche 8) sind rückwärtig, zwischen der Spiegelfläche 8 und einem Widerlager 19, Linear-Stellglieder 18 eingespannt. Diese erfahren je nach ihrer elektrischen Ansteuerung eine Längsänderung zur entsprechenden Ausbeulung des davorliegenden Bereiches der Spiegelfläche 8. Vorzugsweise handelt es sich bei den Stellgliedern 18 um Piezo-Säulen, weil diese eine gut-lineare Ansprechcharakteristik bei hoher Ansprech-Grenzfrequenz aufweisen und hohe sowie reproduzierbare Druckkräfte hinter der Spiegelfläche 8 einbringen lassen.

Für solche definierte Verformung der Spiegelfläche 8 ist ein möglichst punktförmiger Angriff der Stellglieder 18 hinter ihr anzustreben. Hierfür ist die Spiegelfläche 8 an der Vorderseite einer dünnen Spiegelplatte 31 ausgebildet, an deren Rückseite 32 vergleichsweise dünne Zapfen 33 vorgesehen, nämlich (worauf unten noch näher eingegangen wird) einstückig ausgebildet sind. Der Durchmesser der Zapfen 33 ist im Beispielsfalle der Fig. 1 und Fig. 2 etwas größer als die Dicke der Spiegelplatte 31, liegt aber in derselben Größenordnung (von einigen Millimetern im Falle eines Durchmessers der Spiegelplatte in der Größenordnung von beispielsweise 150 mm bis 250 mm). Die Druckeinleitungspunkte für die Stellglieder 18 in die Spiegelplatte 31 sind konstruktiv also durch deren relativ dünnen, rückwärtig mit ihren Stirnflächen 34 frei vorstehenden Zapfen 33 gegeben.

Stellglieder 18 geringen Durchmessers können direkt stumpf auf die Zapfen-Stirnfläche 34 aufgesetzt sein. Bei Stellgliedern 18 größeren Durchmessers ist es zweckmäßig, wie in Fig. 1 berücksichtigt, konische Koppelstücke 35 zur geometrischen Anpassung und damit optimalen Krafteinleitung hinter der Spiegelfläche 8 zwischenzufügen. Anzustreben ist nämlich, daß der bezüglich der Spiegelfläche 8 wirksame Krafteinleitungsquerschnitt aufgrund des geringen Durchmessers der Zapfen 33 im Vergleich zum Durchmesser der Spiegelplatte 31 und im Vergleich zum gegenseitigen Abstand der Zapfen 33 möglichst punktförmig ist.

In Druckübertragungsrichtung ist zwischen den Stellgliedern 18 und der Spiegelplatten-Rückseite 32, also den zugeordneten Zapfen 33, kein nichtstarres mechanisches Kopplungsmittel und insbesondere kein Klebstoff erforderlich, weil die auf Zug beanspruchbare mechanische Verbindung zwischen Stellglied 18 und Zapfen 33 längs deren Mantelflächen, bei diesem Ausführungsbeispiel längs der Innenmantelfläche einer Hülse 36, herstellbar ist. Diese Hülse kann, wie in der Zeichnung berücksichtigt, im Axial-Längsschnitt trichterförmig ausgebildet sein, wenn zwischen einem Zapfen 33 und dem eigentlichen Stellglied 18 ein konisches Koppelstück 35 zur Querschnitts-Anpassung angeordnet ist. Die Hülse 36 kann aufgeschrumpft sein; am einfachsten ist sie aber längs der benachbarten Mantelflächen mit dem Stellglied 18 und dem Zapfen 33 verklebt; wobei die Verbindungs-Hülse 36 (und die Länge des Zapfens 33) so lang ausgelegt ist, daß die in paralleler Scherrichtung erforderliches Klebefläche für die Zugkraftaufnahme und -überleitung längs der Innenwandung der Hülse 36 gewährleistet ist. Die in Druckrichtung orientierte Kopplung vom Stellglied 18 zum Zapfen 33 und damit zum zugeordneten Bereich der Spiegelplatte 31 bzw. der Spiegelfläche 8 bleibt also aufgrund des direkten stumpfen Verbindungsstoßes frei von Klebematerial; und damit frei von der Krafteinleitung in die Platte 31 dämpfenden Massen, die andernfalls wegen des Erfordernisses, Dämpfungserscheinungen und möglicherweise auch Laufzeiterscheinungen berücksichtigen zu müssen, zu einer komplizierten Struktur des Regelkreises für die Kompensationsansteuerung der Spiegelfläche 8 führen würden.

Daß die bei Zugeinleitung auf Scherung beanspruchte ringspaltförmige Klebefläche eine gewisse Elastizität aufweist, stört nicht, weil diese wegen des dünnen Klebespaltes sehr gering ist; und außerdem erbringt das eine sogar wünschenswerte mechanische Entkopplung zwischen einem stark angesteuerten Stellglied 18 und einem benachbarten, weniger stark angesteuerten (und deshalb auf Zug beanspruchten) Stellglied 18 mit entsprechend stetig-ausgeglichenem Ausbeulungs-Verlauf der Spiegelfläche 8 zwischen den benachbarten, rückwärtigen Angriffspunkten der Stellglieder 18.

Wie in Fig. 1 berücksichtigt, liegt zur Druckkrafteinleitung eines Stellgliedes 18 in die Spiegelplatte 31 zweckmäßigerweise in Serie mit einem kurzen Modulations-Stellglied 18m ein separates, mehrfach so langes Korrektur-Stellglied 18k sowie eine rückwärtige Abstützung 37. Hinter dieser ist ein Justagemittel 38 angeordnet, vorzugsweise in Form eines im Spiegel-Widerlager 19 geführten Schraubenbolzens 39 mit Kontermutter 40, um die mechanische Vorspannung der einzelnen Stellglieder 18 individuell justieren und dabei beispielsweise der Spiegelfläche 8 eine stationäre Basis-Verformung in Anpassung an andere im Strahlengang 3 liegende optische Einflußgrößen geben zu können; vgl. im Detail die heutige Parallelanmeldung "Verformbarer Spiegel" der Anmelderin. Die Spiegelplatte 31 ist über eine umlaufende Gummidichtung 41 ein einem Stirnflansch 42 eines Hohlzylinders 43 gehaltert, der rückwärtig unter Zwischenlage einer elastischen Dichtung 44 das Widerlager 19 für die Stellglieder 18 trägt. Der Raum in dem Hohlzylinder 43, also um die Stellglieder 18 herum zwischen dem Widerlager 19 und der Spiegelplatte 31, ist vorzugsweise mit einer elektrisch isolierenden und relativ hoch-viskosen sowie möglichst gut wärmeleitenden Flüssigkeit 45, wie etwa Öl, gefüllt. Diese dient einerseits einer mechanischen Dämpfung der unter Einfluß der Ansteuerung der Stellglieder 18 auftretenden mechanischen Bewegungen in der Spiegelplatte 31, andererseits der Ableitung der dabei und durch den Einfall der Strahlen in die Spiegelfläche 8 entstehenden Wärme; und außerdem der elektrischen Isolierung zwischen den mit relativ hohen Spannungen angesteuerten Piezo-Stellgliedern 18.

Zur Entkopplung zwischen den Stellgliedern 18 und zur Aufnahme der Druckschwankungen in der relativ imkompressiblen Flüssigkeit 45 können Gaspolster 46 dienen, die beispielsweise in Form von Gittern aus geschlossenporigem Kunststoff zwischen den Stellgliedern 18 angeordnet sind.

Beim Realisierungsbeispiel gem. Fig. 3 weisen die rückwärtig an die Spiegelplatte 31 angeformten Zapfen 33 in ihrer Stirnfläche 34 einen koaxialen Hohlraum 47 auf, der sich vorzugsweise sogar bis in die Platte 31 und damit von rückwärts bis dicht an die Spiegelfläche heran erstreckt. In diesen Hohlraum 47 greift ein geometrisch entsprechend angepaßtes Koppelstück 35 hinein, so daß dessen Druckübertragungs-Spitze 48 zur punktförmigen Krafteinleitung dicht hinter der Spiegelfläche 8 führt.

Die Funktion der Hülse 36 (gemäß Fig. 1) wird hier also im Bereiche des Zapfens 33 von der Wandung seines Hohlraumes 47 übernommen. Vorzugsweise ist der Hohlraum 47 oder der eingreifende Bereich des Koppelstückes 35 im Längsschnitt derart profiliert, daß sich ein zur Stirnfläche 34 konisch sich aufweitender Klebespalt 49 zwischen Hohlraum 47 und eingreifendem Koppelstück 35 ergibt. Das erbringt den Vorteil, durch eine dünne Klebeschicht im Bereiche der Platten-Rückseite 32 eine starre Ankopplung des Koppelstückes 35, dagegen in Richtung auf die Zapfen-Stirnfläche 34 eine zunehmend elastischere Ankopplung zu erzielen; wodurch eine mechanische Überkopplung zu einem benachbarten Zapfen 33 über Kraftschlüsse längs der Außenwandung eines Zapfens 33 und die Platten-Rückseite 32 vermindert wird. Denn angestrebt wird eine kreissymetrische Ausbildung der Ausbeulung der Spiegelfläche 8 um die Krafteinleitungs-Spitze 48 herum mit im Querschnitt gemäß einer Gaußschen Verteilungskurve abklingender Ausbeul-Amplitude, was in der Praxis aber gestört wird durch die Krafteinleitungs-Gegebenheiten von den benachbarten Zapfen 33.

Die Spiegelplatte 31 mit den rückwärts angeformten Zapfen 33 und ihrer Spiegelfläche 8 kann spannend (beispielsweise aus dem Vollen gefräst) oder spanlos (beispielsweise als Gußteil) gefertigt sein; vorzugsweise besteht sie aus Kupfer, weil dieses günstige Reflexionseigenschaften für Infrarot-Strahlung bei guten Wärmeableiteigenschaften aufweist. Außerordentlich gute Reflexionseigenschaften weist eine metallische Spiegelplatte 31 auf, in der keine Korngrenzen vorliegen, die also als Einkristall aufgewachsen ist; günstigstenfalls bedarf ihre Spiegelfläche 8 nicht einmal einer Politur. In diesem Falle ist es besonders zweckmäßig, rückwärtig an die Platte 31 gleich die Zapfen 33 anwachsen zu lassen, also auch zu den Zapfen 33 hin jegliche Korngrenzen zu vermeiden; denn dadurch werden Gitterstörungen vermieden, die sonst an der Spiegelfläche 8 zu einer Beeinträchtigung der Reflexionswirkung führen würden, und eine solche einkristalline Struktur der Platte 31 mit rückwärtigen Zapfen 33 zeigt auch besonders günstige Eigenschaften hinsichtlich der regionalen Verformung nach Maßgabe örtlicher rückwärtiger Krafteinleitungen. Beim einkristallinen Aufwachsen der Zapfen 33 auf die Platten-Rückseite 32 werden zweckmäßigerweise durch entsprechende Keimrichtungs-Umlenkungsmaßnahmen geschwungene Wurzelbereiche 50 am Übergang von der Platten-Rückseite 32 zur zylindrischen Außenwandung der Zapfen 33 ausgebildet, um hier scharfe Knickstellen und damit Materialermüdungserscheinungen aufgrund der Wechselkrafteinleitungen von den Stellgliedern 18 möglichst zu vermeiden. Vorzugsweise verläuft ein solcher geschwungener Wurzelbereich 50 nicht kreissymetrisch um die Achse eines Zapfens 33, sondern in verschiedenen Richtungen oval verzerrt und damit kleeblattähnlich auf der Platten-Rückseite 32, wie durch die Prinzipdarstellung der Fig. 4 zum Ausdruck gebracht. Dadurch ist die (Zug-)Krafteinteilung von einem Koppelstück 35 über den umgebenden Hohl-Zapfen 33 in die Rückseite 32 der Spiegelplatte 31 nicht kreissymetrisch; wodurch sich die Anisotropie der mechanischen Eigenschaften (insbesondere des Elastizitätsmoduls) der einkristallinen Metall-Platte 31 weitgehend kompensieren läßt, die sonst trotz punktförmiger Krafteinleitung zu nicht-punktsymetrischer Verformung, und damit nicht zur gewünschten Ausbeulgeometrie der Spiegelfläche 8, führen kann. Ausbildung und Orientierung solcher nicht-kreisförmigen Wurzelbereiche 50 sind danach auszulegen, wie die Kristallgitter-Elementarwürfel im konkreten Falle in der einkristallin aufwachsenden Platte 31 orientiert sind (was mit den bekannten Mitteln der Kristallographie und Werkstoffkunde feststellbar ist).

Wie in Fig. 3 durch die Kreuzschraffur angedeutet, kann zur weiteren Erhöhung der mechanischen Festigkeit der Zapfen 33 - trotz möglichst weichen, nämlich leicht verformbaren Materials für die Platte 31 - und insbesondere zur Vermeidung von Sprödbruch-Erscheinungen im Wurzelbereich 50 vorgesehen sein, nach dem einkristallinen Aufwachsen der Platte 31 mit nicht verunreinigtem Grenzbereich der Spiegelfläche 8, der Schmelze einen Legierungsstoff wie insbesondere Beryllium (in der Größenordnung zwischen 1% und 2%) zuzusetzen; um den Angriffspunkt der Koppelstück-Spritze 48 herum und damit im Zapfen-Wurzelbereich 50 sowie bei den Zapfen 33 selbst, ein legiertes und dadurch mechanisch höher beanspruchbares Material auf der Gitterstruktur des Materials der Spiegelfläche 8 zu erhalten.

Das verstärkt auch die Kompensationswirkung eines in der Draufsicht vor der Kreisform abweichenden, strukturierten Wurzelbereiches 50 (Fig. 4).

Wie in Fig. 3 berücksichtigt, kann es zweckmäßig sein, die Querschnittsgeometrie und damit die Masse der Spiegelplatte 31 regional zu verändern, um dadurch eine Entdämpfungs-Kopplung für die mechanischen Schwingungen zu erzielen, die sich von den einzelnen Zapfen 33 zu den benachbarten Zapfen 33 ausbreiten, bzw. die am Plattenrand 51 reflektiert werden.

Solche Entkopplungsmassen bestehen insbesondere aus Wülsten 52, die sich über die Platten-Rückseite 32 längs des Randes 51 und um die Zapfen 33 herum erstrecken. Dabei brauchen diese Entkopplungs-Wülste 52, wie in Fig. 4 berücksichtigt, nicht kontinuierlich durchlaufend ausgebildet zu sein; es genügt die Ausbildung in Form einer Folge von einzelnen Höckern 53.

Wie ebenfalls aus Fig. 4 ersichtlich, ist es zweckmäßig, in der Verbindungslinie zwischen einander benachbarten Zapfen 33 größere Entkopplungsmaßnahmen in Form von beispielsweise höheren oder breiteren Höckern 53 auszubilden, als in Bereichen, in denen der nächst-benachbarte Zapfen 33 weiter entfernt ist. Eine mechanische Feinabstimmung kann einfach über regionale Massenverringerung, beispielsweise durch Abarbeiten bestimmter Höcker 53, erfolgen. Entgegen der vereinfachten Darstellung in Fig. 4 muß der Verlauf der Entkopplungswülste 52 nicht konzentrisch-kreisförmig um die jeweiligen Zapfen 33 sein; in Anpassung an die Verteilungs-Geometrie der Zapfen 33 auf der Platten-Rückseite 32 kann es sogar zweckmäßiger sein, einen polygonen Verlauf und damit eine wabenförmige Struktur der Gesamtheit der Entkopplungs-Wülste 52 auf der Platten-Rückseite 32 auszubilden.

Wie in Fig. 3 berücksichtigt, werden wenigstens einige solcher Wülste 52 bzw. Höcker 53 zweckmäßigerweise dafür ausgelegt und benutzt, die Gitterstrukturen der Gaspolster 46, zur mechanischen Entkopplung der Stellglieder 18 über die Dämpfungs-Flüssigkeit 45, zu haltern.

Statt der zusätzlichen Dämpfungsmassen in Form der einzelnen Höcker 53 oder umlaufenden Wülste 52 an der Platten-Rückseite 32 oder zusätzlich zu diesen Maßnahmen können für die mechanische Entkopplung der aneinander benachbarten Zapfen 33 auftretenden Krafteinleitungen auch Schwächungen des Materials der Platte 31 vorgesehen sein, wie insbesondere in der Platten-Rückseite 32 verlaufende Gräben 54. Auch diese können wieder - entgegen der vereinfachten Darstellung in Fig. 4 - ein wabenförmiges Muster nach Maßgabe der geometrischen Verteilung der Zapfen 33 aufweisen.

Im Interesse einer mechanisch - zumal auch im Hinblick auf die lokalen Wechsel beanspruchten - möglichst stabilen Spiegelplatte 31, bei möglichst geringen von den Stellgliedern 18 zu bewegenden Massen, kann gemäß der Prinzipdarstellung der Fig. 5 auch eine Verbund-Spiegelplatte 31 vorgesehen sein. Bei dieser ist eine als die Spiegelfläche 8 dienende Folie 55 aus Metall, vorzugsweise wieder aus Kupfer, starr auf der Vorderfläche 56 einer Träger-Platte 31 mit rückwärtig ausgebildeten Zapfen 33 befestigt.

Diese ist aus faserverstärktem Strukturwerkstoff erstellt, wobei der günstigeren Wärmeableitungseigenschaften wegen als Verstärkungsmaterialien Metallfasern oder Kohlefasern günstiger sind als Glasfasern. Durch kegelförmige Orientierungen 57 und ringförmige Orientierungen 58 der Fasern, insbesondere im Wurzelbereich 50 des Überganges vom Zapfen 33 zur Platte 31, läßt sich die geometrische Charakteristik der Krafteinleitung und damit die Verformung der Spiegelfläche 8 nach Maßgabe der Korn- oder Gitterorientierung der Folie 55 beeinflussen und dabei zugleich eine gewisse Entkopplung zu den vom benachbarten Zapfen 33 herrührenden Einflußgrößen realisieren.

Im übrigen kann für diese Entkopplung wieder eine Struktur der Platten-Rückseite 32 entsprechend Fig. 3, also mit Wülsten 52 und Gräben als Masse-Barrieren zwischen benachbarten Zapfen 33 und zum Rand 51, vorgesehen sein.

Eine noch weitergehende Entkopplung ist dadurch hervorrufbar, daß die Spiegelfläche 8 aus facettenförmig nebeneinander angeordneten Folien 55 besteht, die je einem Zapfen 33 zugeordnet sind. Die dünnen Schlitze zwischen den einzelnen Folien 55, also die jeweilige Facettengrenze 59, stört zwar die Normalverteilung des Abklingens einer punktförmigen Ausbeulung im Zentrum vor einem Zapfen 33, wirkt andererseits aber insbesondere als Barriere gegen Verformungsbeeinflussungen vom benachbarten Zapfen 33.

Da die Lage dieser Facettengrenzen 59 bezüglich der Anordnung der Zapfen 33 fest vorgesehen ist, kann im übrigen die Amplitudenstörung durch entsprechende Orientierung 57, 58 des Verlaufes der Verstärkungsfasern im Strukturwerkstoff der Spiegelplatte 51 weitgehend kompensiert werden.

Claims (6)

1. Verformbarer Spiegel (9), insbesondere für die Kompensation von atmosphärischen Störeinflüssen auf die Ausbreitung von Hochenergie-Laserstrahlen, mit einer Anzahl von hinter seiner Spiegelfläche (8) angeformten Zapfen (33) für koaxialen Anschluß von Stellgliedern (18) mittels in Hülsen (36) bei den Zapfen (33) eingreifender Koppelstücke (35), dadurch gekennzeichnet, daß Piezosäulen-Stellglieder (18) über konische Koppelstücke (35) axial unmittelbar gegen die Zapfen (33) eingespannt und peripher mittels übergreifender Hülsen (36) verklebt sind.

2. Spiegel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß hohle Zapfen (33) zugleich als die Hülsen (38) ausgebildet sind, an deren Grund die Koppelstücke (35) abgestützt sind.

3. Spiegel nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß für die periphere Verklebung mit den Hülsen (36) jeweils ein dünner Ring-Spalt (49) zur Aufnahme von Klebematerial freigespart ist, der zum Spiegel (9) hin eine geringere Weite aufweist, als zum Stellglied (18) hin.

4. Spiegel nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die in die Hülsen (38) eingreifenden Koppelstücke (35) mit Druckübertragungs-Spitzen (48) in Hohlräume (47) hinter der Spiegelfläche (8) eingreifen.

5. Spiegel nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß am von seiner Spiegelfläche (8) abgelegenen Ende des Stellgliedes (18) ein Widerlager (19) für ein Justagemittel (38) für die axiale Vorspannung des Stellgliedes (18) vorgesehen ist.

6. Spiegel nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Raum zwischen der Spiegelplatte (31) und dem Stellglied-Widerlager (38) ein elektrisch isolierendes Fluid (Flüssigkeit 45 oder Gaspolster 46) guten Wärmeleitvermögens eingeschlossen ist.