DE3602596C2 - - Google Patents

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DE3602596C2 DE19863602596 DE3602596A DE3602596C2 DE 3602596 C2 DE3602596 C2 DE 3602596C2 DE 19863602596 DE19863602596 DE 19863602596 DE 3602596 A DE3602596 A DE 3602596A DE 3602596 C2 DE3602596 C2 DE 3602596C2
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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US3518752A (en) * 1967-07-28 1970-07-07 Western Electric Co Method of and apparatus for loading semiconductor devices

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