DE354391T1 - Duenner, korrosions- und hitzefester film aus einer aluminiumlegierung sowie verfahren zu dessen herstellung. - Google Patents
Duenner, korrosions- und hitzefester film aus einer aluminiumlegierung sowie verfahren zu dessen herstellung.Info
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Claims (5)
1. Korrosionsbeständiger und wärmebeständiger dünner Film
aus einer Legierung auf Aluminiumbasis, bestehend aus einer Masse mit einer Zusammensetzung der nachstehend angegebenen
allgemeinen Formel:
A1aNibXcNd
worin bedeuten:
X ein Metallelement, ausgewählt aus Y und Zr und
a, b- c und d Atomprozentsätze, die innerhalb der folgenden
7Q Bereiche liegen:
70 ^ a ^ 5-J3;
0,5 ^ b ^ 7,5;
0,5 ^ c ^ 12 und
0,5 ^ b ^ 7,5;
0,5 ^ c ^ 12 und
1 ^ r) &eacgr; 1 ft
&igr; — u — &igr;&ogr;,
wobei die Masse zu mindestens 50 Vol.-% aus einer amorphen
Phase besteht.
2. Verfahren zur Herstellung eines korrosionsbeständigen
und wärmebeständigen dünnen Films aus einer Legierung auf Aluminiumbasis, das umfaßt,
die Abscheidung eines Materials, das so hergestellt worden ist, daß es eine Zusammensetzung der allgemeinen Formel hat:
A1aNibXcNd
worin X für ein Metallelement, ausgewählt aus Y und Zr, steht
worin X für ein Metallelement, ausgewählt aus Y und Zr, steht
»· &bgr; &bgr; &ogr; &bgr; »&ogr; ··
-2-
und a, b, C und d Atomprozentsätze darstellen, die innerhalb
der folgenden Bereiche liegen: '
70 ^ a = 93;
0,5 = b = 7,5; 0,5 = c = 12 und
1 ^ d ^ 18,
auf einem Substrat unter Anwendung einer dünnen Filmbildungstechnik
unter Bildung eines dünnen Films mit der genannten Zusammensetzung,
3. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem der Stickstoff des Materials
als Gas zugeführt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, bei dem als dünne
Filmbildungstechnik das Zerstäuben, Vakuumabscheiden oder Ionenplattieren angewendet wird.
{
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, bei dem das
■· Substrat ein Metall oder ein Harz in Form einer P Latte, eines
Drahtes, eines Fadens oder eines Rohres oder in einer verformten Form vorliegt.
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