DE3540280A1 - Verfahren zur umwandlung von fluorhaltigen hochpolymeren in polymere mit niedrigerem molekulargewicht - Google Patents
Verfahren zur umwandlung von fluorhaltigen hochpolymeren in polymere mit niedrigerem molekulargewichtInfo
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Description
Λ -
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Umwandlung eines fluorhaltigen Hochpolymeren, beispielsweise von Polytetrafluorethylen,
in ein wachsähnliches Polymeres mit niedrigerem Molekulargewicht.
Polymere und Copolymere mit relativ niedrigem Molekulargewicht
von einigen fluorhaltigen, organischen Verbindungen sind für ihre ausgezeichneten Schmiereigenschaften und ihre charakteristisch
niedrige Oberflächenenergie bekannt und werden daher weit verbreitet als Schmiermittel, Trennmittel, usw. verwendet.
Insbesondere ist Polytetrafluorethylen (PTFE) mit niedrigem Molekulargewicht handelsüblich und wird als Tetrafluorethylenwachs
oder TFE-Wachs bezeichnet.
Eine wohlbekannte und industriell angewandte Verfahrensweise
zur Herstellung von TFE-Wachs ist die Telomerisation von TFE. Diese Verfahrensweise weist jedoch zahlreiche Probleme auf,
die nur schwierig zufriedenstellend gelöst werden können. Wenn beispielsweise eine Verbindung als Telogen ebenfalls
als Reaktionsmedium eingesetzt wird, sind sehr komplexe Arbeitsweisen erforderlich, um die Reaktionsbedingungen zu
steuern und auch um das Molekulargewicht des Produktes zu kontrollieren. Darüber hinaus sind die Abtrennung des Monomeren
und des Telogens von dem Telomeren nicht einfach durchzuführen. Bei Verwendung eines wässrigen Reaktionsmediums
liegen größere Probleme in der unzureichenden thermischen Stabilität des synthetisierten Wachses und der Schwierigkeit
der Abtrennung von nichtumgesetztem Monomerem von dem Telomeren.
Ein anderer Weg zur Gewinnung von TFE-Wachs besteht in der Herabsetzung des Molekulargewichtes von PTFE durch kontrollierte
thermische Zersetzung. Gemäß den bereits gemachten Vorschlägen zu diesem Zweck wird PTFE thermisch in dem gewünschten Ausmaß
in Anwesenheit einer katalytisch wirkenden Substanz wie Silizium, Aluminium, Magnesium oder Graphit, oder in Anwesenheit
einer Art von Abbaupromotor wie Luft, Sauerstoff, Schwefeldioxid oder Stickstoffmonoxid, oder in einem geschmolzenen
Salz wie Kalium- oder Natriumnitrat, abgebaut. Ein bei solchen Verfahren zur thermischen Zersetzung auftretendes Problem
ist die Bildung von schädlichen Gasen, deren Beseitigung bei der industriellen Durchführung sehr mühsam ist. Ein anderes
Problem liegt darin, daß die Qualität des Produktes unweigerlich variiert, wenn PTFE-Abfall als Ausgangsmaterial aus Gründen
der Kosten für PTFE eingesetzt wird.
In neuerer Zeit wurde die Entwicklung der gesteuerten Zersetzung von PTFE durch Strahlung wie Röntgenstrahlung oder
Gammastrahlung in Angriff genommen. Unter industriellen Gesichtspunkten ist die Verwendung einer Strahlung jedoch im
allgemeinen nicht erwünscht, da sie mühselig und üblicherweise auch kostspielig ist und behördlich genehmigte Anlagen erfordert.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahrens zur einfachen und wirksamen Umwandlung eines
fluorhaltigen Hochpolymeren wie beispielsweise PTFE oder eines Copolymeren von TFE, in ein Polymeres mit niedrigerem Molekulargewicht,
welches als Wachs eines Fluorpolymeren brauchbar ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe dient das erfindungsgemäße Verfahren,
das dadurch gekennzeichnet ist, daß das Verfahren die Stufe der Durchführung einer Kontaktreaktion mit einem Gas/
das wenigstens ein Fluorquellenmaterial in Form von molekularem Fluor, binären Verbindungen von Fluor und Stickstoff, HaIogenfluoridenoder
Fluoridenvon Elementen der seltenen Gase umfaßt, bei einer Temperatur im Bereich von etwa 250 C bis
etwa 5500C, einschließt.
_ -Vp
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren stellt das Material für
die Fluorquelle Fluorradikale zur Verfügung, welche auf das fluorhaltige Hochpolymere unter Trennung der Hauptkette des
Hochpolymeren einwirken. Weiterhin kuppelt das Fluorradikal mit den endständigen Radikalen der zerschnittenen Polymerketten.
Daher weisen die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren
erhaltenen Polymere mit niedrigerem Molekulargewicht im allgemeinen
-CF.,-Gruppen an den Enden auf und sind daher sehr
stabil.
Einer^jier Vorteile der Verwendung eines starken Fluorierungsmittels
bei dem erfindungsgemäßen Verfahren liegt darin, daß die Reaktion nur geringe Mengen an Nebenprodukten bildet,
wobei dies sicher und bequem zu handhabende, gasförmige Verbindungen sind. Die Nebenprodukte schließen üblicherweise
Fluorkohlenstoffe mit niedriger Anzahl von Kohlenstoffatomen
wie CF., C3F6 und C3F8 ein, und sie können in Abhängigkeit
von der Art des Fluorierungsmittels noch weiterhin einige Kohlenstoffhalogenide oder ein seltenes Gas enthalten. Da
freier Kohlenstoff bei der Reaktion nicht freigesetzt wird, wird ein reines, weißes Produkt erhalten.
Das durchschnittliche Molekulargewicht eines nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren hergestellten Polymeren mit niedrigerem Molekulargewicht ist in einem weiten Bereich von 10 bis 10
variabel und kann willkürlich durch Regelung der Reaktionsbedingungen
gesteuert werden. Im allgemeinen wird das Molekulargewicht des erhaltenen Produktes umso geringer, je stärker
die Korngröße oder Teilchengröße des als Ausgangsmaterial verwendeten Hochpolymeren herabgesetzt wird und je stärker
die Menge an Fluorierungsmxttel gesteigert wird, die Reaktionstemperatur höher gewählt wird und die Reaktionszeit ausgedehnt
wird. Ein weiterer Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens liegt darin, daß das gewünschte Polymere mit niedrigem Molekulargewicht
mit sehr hohen Ausbeuten erhalten wird.
Nach dem erfindungsgemäßen Verfahren ist die Herstellung von
wachsähnlichen Polymeren mit niedrigem Molekulargewicht möglich, welche einfach zu pulverisieren sind. In zahlreichen
Fällen ist es möglich, die Verminderung der Größe,auf eine
mittlere Teilchengröße von etwa 100 μπι in gewöhnlichen Kugelmühlen
oder Hammermühlen und auf eine mittlere Teilchengröße von 10-0,1 pm durch Verwendung von Jetmühlen zu erreichen.
Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen des Verfahrens
näher beschrieben.
Die bei dem erfindungsgemäßen Verfahren eingesetzten fluorhaltigen
Hochpolymere sind nicht notwendigerweise beschränkt. Im Hinblick auf den Stand der Technik sind typische Beispiele
PTFE, Copolymere von Tetrafluorethylen (TFE) und Hexafluorpropylen
(HFP), Copolymere von TFE und Perfluoralkoxyethylen (PFA), Copolymere von Ethylen und TFE, Polychlortrifluorethylen
(PCTFE), Poly-(vinylidenfluorid) und Poly-(vinylfluorid).
Die Hochpolymeren können der Reaktion in beliebiger Form unterworfen werden, es können nicht nur Pulver, sondern auch Pellets,
Folien bzw. Platten und unregelmäßig geformte Abfälle eingesetzt werden. Weiterhin ist es möglich, ein Hochpolymerharz
einzusetzen, das einen Füllstoff enthält.
Das bei der Erfindung eingesetzte Fluorierungsmittel kann aus Fluorgas und einigen Arten von Fluorverbindungen, wie
sie zuvor genannt wurden, ausgewählt werden. Bevorzugte Beispiele für binäre Verbindungen von Fluor und Stickstoff sind
Stickstoffdifluorid NF3, Stickstofftrifluorid NF3, Tetrafluorhydrazin
N3F4, Difluordiazin N3F3 und Fluorazin N3F. Unter
diesen Fluorstickstoffverbindungen ist NF3 (F. = -206,80C;
K. = -129,1°C) für die praktische Anwendung sehr geeignet, da diese Verbindung ein farbloses und stabiles Gas bei Zimmertemperatur
ist und leicht Fluorradikale bei Temperaturen oberhalb von etwa 3000C liefert. Bevorzugte Beispiele für Fluorhalogenide
sind Chlormonofluorid ClF, Chlortrifluorid ClF3,
Chlorpentafluorid ClFc, Brommonofluorid BrF, Bromtrifluorid
-s-
BrF1., Brompentafluorid Brfj-, Jodtrifluorid IF3/ Jodpentafluorid
IFn und Jodheptafluorid IF7. Bevorzugte Beispiele für Fluoride
von Elementen der seltenen Gase sind Xenondifluorid XeF2,
Xenontetrafluorid XeF-, Xenonhexafluorid XeFg und Kryptondifluorid
KtFy. Gewünschtenfalls ist es auch möglich, eine Kombination
eines Fluorgases und eines Fluorides oder eine Kombination von zwei Arten von Fluoriden zu verwenden.
Die Menge des Fluorierungsmittels relativ zu dem fluorhaltigen Hochpolymeren ist in einem sehr breiten Bereich möglich.
Im allgemeinen beträgt die Minimalmenge an Fluorierungsmittel, welche zur Behandlung von 100 Gew.-Teilen eines fluorhaltigen
Hochpolymeren erforderlich ist, 0,01 Gew.-Teile, berechnet als F. Die Verwendung oder die Anwesenheit eines Überschusses
des Fluorierungsmittels stellt kein schwieriges Problem dar, da der überschüssige Anteil nicht umgesetzt zurückbleibt
und einfach wiedergewonnen werden kann. Aus praktischen Gesichtspunkten ist es jedoch vorteilhaft, nicht mehr als etwa
10 Gew.-Teile F auf 100 Gew.-Teile eines fluorhaltigen Hochpolymeren
einzusetzen.
Das erfindungsgemäße Verfahren kann in einem Reaktor eines
beliebigen Typs ausgeführt werden, sofern der Reaktor für die Kontaktreaktion Gas/Feststoff geeignet ist. Beispielsweise
ist die Verwendung eines Reaktors vom Typ mit zwangsweiseer Gasrezirkulation, der mit zahlreichen Stufen von Reaktionsplatten
oder -trögen versehen ist, oder ein Reaktor vom Wirbelbett-Typ im Hinblick auf die Wirksamkeit des Kontaktes Gas/
Feststoff sehr geeignet. Der Gasdruck im Reaktionssystem kann erhöht werden, um die Reaktionsrate zu verbessern, jedoch
schreitet die Reaktion beim erfindungsgemäßen Verfahren mit einer praktisch ausreichend hohen Rate bzw. Geschwindigkeit
selbst bei atmosphärischem Druck fort. Es ist möglich, ein ausgewähltes Fluorierungsmittel in seiner praktisch reinen
Form in Kontakt mit einem ausgewählten fluorhaltigen Hochpolymeren
zu bringen. In zahlreichen Fällen ist es bei der Durch-
führung des erfindungsgemäßen Verfahrens jedoch günstiger,
das Fluorierungsmittel mit einem inaktiven Gas wie beispielsweise Stickstoff, Argon, Helium oder Kohlenstofftetrachlorid
zu verdünnen.
Die Erfindung wird anhand der folgenden Beispiele näher erläutert.
Eine PTFE-Platte mit einer Stärke von 3 mm (hergestellt durch
Sinterformen) wurde in quadratische Stücke von 5 mm geschnitten, und 500 g der PTFE-Stücke wurden in einen 20 1 Reaktor,
der aus Nickel hergestellt und mit einer Heizeinrichtung und einem Gebläse für die Zwangsumwälzung der gasförmigen Reaktions-
eingefüllt.
teilnehmer ausgerüstet war/ Zu Beginn wurde der Reaktor mit
Stickstoffgas gefüllt, und die Temperatur im Reaktor wurde
auf 4400C gesteigert. Dann wurde ein Teil des Stickstoffgases
durch Anlegen einer Vakuumpumpe herausgepumpt, und 3 g F2~Gas
wurden in den Reaktor zum Starten der Reaktion eingeführt. Zu diesem Zeitpunkt betrug die Konzentration an F- in dem
Mischgas im Reaktor 23 % und der Gasdruck betrug 0,981 bar (1 atm). Die Temperatur im Reaktor wurde auf etwa 440°C gehalten,
und das Gebläse wurde fortwährend betrieben. Unter diesen Bedingungen wurde die Reaktion für 2 h fortgeführt.
Das Ergebnis war, daß das F^-Gas hauptsächlich bei der Spaltung
der Molekülkette des PTFE unter Bildung geringer Mengen von CF., C~F, und C~FR als gasförmige Nebenprodukte verbraucht
wurde, wobei die festen PTFE-Stücke in eine Schmelze eines schneeweißen Wachses mit einem Gewicht von 498 g umgewandelt
wurden. Die Ausbeute an festem Produkt betrug daher 99,6 %.
Dieses Wachs besaß einen Schmelzpunkt von 305 C und das Molekulargewicht
dieses Wachses berechnete sich zu 4600 aus der folgenden Beziehung zwischen dem Schmelzpunkt (T) und dem
Molekulargewicht (MW) entsprechend den Angaben in der US-Patentschrift 3 067 262:
MW =
6851/Tm("K) - 1/600
Nach einer vorangegangenen Behandlung zur Größenverkleinerung war es möglich, das Wachs in einer Jetmühle zu feinen
Teilchen mit einer mittleren Teilchengröße von etwa 5 jxm zu
pulverisieren.
632 g der: in Beispiel genannten PTFE-Teilchen wurden in den
in Beispiel 1 eingesetzten Reaktor eingefüllt. Nach den in Beispiel 1 beschriebenen, anfänglichen Behandlungen wurden
8 g NF-,-Gas in den Reaktor, der mit Stickstoffgas gefüllt
und auf 4400C erhitzt worden war, eingeführt. Zu Reaktionsbeginn lag die NF^-Konzentration in dem Mischgas im Reaktor
bei 33 % und der Gasdruck betrug 0,981 bar (1 atm). Die Reaktion wurde für 2 h bei etwa 440°C unter kontinuierlichem Betrieb
des Gebläses durchgeführt.
Das Ergebnis war, daß das NF-.-Gas hauptsächlich bei der Spaltung
der Molekülkette des PTFE unter Bildung geringer Mengen von CF., C2Fg und C3F9 als gasförmige Nebenprodukte verbraucht
wurde, und die festen PTFE-Teilchen wandelten sich in eine Schmelze eines schneeweißen Wachses mit einem Gewicht von
626 g um. Daher betrug die Ausbeute an festem Produkt 99 %. Dieses Wachs besaß einen Schmelzpunkt von 3000C und sein Molekulargewicht
lag bei 3700 nach der in Beispiel 1 angegebenen Berechnung. Nach einer vorangegangenen Behandlung zur Größenverminderung
wurde das Wachs in einer Jetmühle zu feinen Teilchen mit einer mittleren Teilchengröße von etwa 5 um pulverisiert.
Anstelle der in den zuvor angegebenen Beispielen verwendeten PTFE-Teilchen wurden 632 g eines PTFE-Pulvers für die Formverarbeitung
der Reaktion mit 24 g NF-. nach der in Beispiel 2 beschriebenen Arbeitsweise mit der Ausnahme unterzogen, daß
die Reaktionstemperatur auf 4000C erniedrigt und die Reaktionszeit
auf 16 h verlängert wurden.
Das Ergebnis waren 629 g (Ausbeute = 99,5 %) eines PTFE in Form eines Wachses mit niedrigem Molekulargewicht. Geringe
Mengen an als Nebenprodukt angefallenem CF., coFc un^ c-5Fß
waren in dem aus dem Reaktor gewonnenen Stickstoffgas enthalten. Das Wachs besaß einen Schmelzpunkt von 318°C und ein
Durchschnittsmolekulargewicht von 11700. Es war möglich, dieses Wachs zu feinen Teilchen mit einer mittleren Teilchengröße
von etwa 7 um zu pulverisieren.
Nach derselben Methode wie in Beispiel 3 wurden 50 g des in Beispiel 3 genannten PTFE-Pulvers der Reaktion mit 1 g KUF.
bei 400 C während 10 h unterworfen.
Als Ergebnis wurden 49,5 g (Ausbeute = 99 %) eines PTFE mit niedrigem Molekulargewicht in Wachsform erhalten, und kleine
Mengen von als Nebenprodukt angefallenem CF4, C„F,- und C-jF„
waren in dem aus dem Reaktor gewonnenen Stickstoffgas enthalten. Dieses Wachs besaß einen Schmelzpunkt von 310 C und ein
Durchschnittsmolekulargewicht von 6100. Das Wachs konnte leicht
zu feinen Teilchen zerkleinert bzw. pulverisiert werden.
Nach derselben Arbeitsweise wie in Beispiel 3 wurden 500 g des PTFE-Pulvers der Reaktion mit 8 g ClF3 bei 4200C für 4 h
unterzogen.
Als Ergebnis wurden 498 g PTFE mit niedrigem Molekulargewicht in Wachsform erhalten. In diesem Fall waren die gasförmigen
Nebenprodukte hauptsächlich CClF3, CCl3F2 und CCl3F und schlossen
geringe Mengen an CF., C-F,- und C->Fq ein. Dieses Wachs
besaß einen Schmelzpunkt von 3100C und ein Durchschnittsmolekulargewicht
von 6100. Es war möglich, das Wachs"-zu feinen
Teilchen mit einer mittleren Teilchengröße von etwa 7 um zu zerkleinern.
-tf-
Nach derselben Arbeitsweise wie in Beispiel 3 wurden 500 g des PTFE-Pulvers der Reaktion mit 12 g XeF2 bei 400°C für
2 h unterzogen.
Als Ergebnis wurden 497 g (Ausbeute = 99,4 %) PTFE mit niedrigem Molekulargewicht in Wachsform erhalten. In diesem Fall
waren die gasförmigen Nebenprodukte Xe, CF., C3F6 und C3F-.
Dieses Wachs besaß einen Schmelzpunkt von 326°C und ein Durchschnittsmolekulargewicht
von 105 000. Dieses Wachs konnte ebenfalls leicht feinpulverisiert werden.
Eine TFE/HFP-Copolymerplatte mit einer Stärke von 3 mm wurde in quadratische Stücke von 5 mm geschnitten. Nach derselben
Arbeitsweise wie in Beispiel 1 wurden 620 g der TFE/HFP-Stücke der Reaktion mit 8 g NF3 bei 4200C für 3 h unterzogen.
Als Ergebnis wurden 615 g (Ausbeute = 99,2 %) eines Copolymeren
mit niedrigem Molekulargewicht in Form eines Wachses erhalten. In diesem Fall waren die gasförmigen Nebenprodukte
geringen Mengen an CF4, C-F,- und C3Fn. Dieses Wachs besaß einen
Schmelzpunkt von 244°c und konnte leicht pulverisiert werden.
Nach derselben Arbeitsweise wurden 500 g der TFE/HFP-Copolymerstüc!
worfen.
merstücke der Reaktion mit 10 g BrF3 bei 4200C für 3 h unter-
AIs Ergebnis wurden 495 g (Ausbeute = 99,0 %) eines Copolymeren
mit niedrigem Molekulargewicht in Wachsform erhalten. In diesem Fall waren die gasförmigen Nebenprodukte hauptsächlich
CBrF3, CBr2F2 und CBr3F und schlossen geringe Mengen
an CF4, C2Fg und C3Fg ein. Das Wachs besaß einen Schmelzpunkt
von 240 C und konnte leicht pulverisiert werden.
-Kf-
Nach derselben Arbeitsweise wurden 630 g an TFE/PFA-Copolymerpellets
(3 mm Durchmesser und 5 mm Länge) der Reaktion mit 8 g NF3 bei 4500C für 2 h unterworfen.
Die TFE/PFA-Copolymerpellets wandelten sich in ein Wachs mit
einem Gewicht von 620 g (Ausbeute = 98,4 %) um, und es wurden geringe Mengen an CF4, C„Fg und C3Fg als gasförmige Nebenprodukte
gebildet. Das Wachs besaß einen Schmelzpunkt von 253°C und konnte leicht pulverisiert werden.
Nach derselben Arbeitsweise wurden 500 g der TFE/PFA-Copolymerpellets
der Reaktion mit 8 g IF3 bei 4000C für 6 h unterzogen.
Als Ergebnis wurden 490 g (Ausbeute = 98 %) an TFE/PFA-Wachs mit niedigem Molekulargewicht erhalten. Gasförmige Nebenprodukte
waren hauptsächlich ClF3 und schlossen geringe Mengen
an CF-, C3F6 und C3Fg ein. Das Wachs besaß einen Schmelzpunkt
von 2500C und konnte leicht pulverisiert werden. ;
Ein PCTFE-Rohr mit einem äußeren Durchmesser von 10 mm wurde in Stücke mit einer Länge von 10 mm zerschnitten. Nach derselben
Arbeitsweise wie in Beispiel 1 wurden 500 g der rohrförmigen PCTFE-Stück«
2 h unterzogen.
2 h unterzogen.
gen PCTFE-Stücke der Reaktion mit 3 g F3-GaS bei 4000C für
Als Ergebnis wurden 480 g (Ausbeute = 96 %) eines PCTFE-Wachses
mit niedrigem Molekulargewicht erhalten, während geringe Mengen an CF., C2F,- und CF3Cl als gasförmige Nebenprodukte gebildet
wurden. Das Wachs besaß einen Schmelzpunkt von 2360C und
konnte leicht pulverisiert werden.
-M-
Beispiel 12
Nach derselben Arbeitsweise wurden 500 g der in Beispiel 11 genannten PCTFE-Stücke der Reaktion mit 8 g NF,-Gas bei 400°C
:K.e aer KeaKtion mn; ö g iMjf-,-(aas oei ^uO
für 2 h unterworfen.
In diesem Fall wurden 450 g (Ausbeute = 90 %) an PCTFE-Wachs mit niedrigem Molekulargewicht erhalten, während geringe Mengen
an CF4, C3F6 und CF3Cl als gasförmige Nebenprodukte gebildet
wurden. Das Wachs besaß einen Schmelzpunkt von 2400C und
konnte leicht pulverisiert werden.
Claims (8)
- Verfahren zur Umwandlung von fluorhaltigen Hochpolymeren in Polymere mit niedrigerem MolekulargewichtPatentansprücheT. Verfahren zur Umwandlung eines fluorhaltigen Hochpolymeren in ein Polymeres mit niedrigerem Molekulargewicht, dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren die Stufe der Durchführung einer Kontaktreaktion mit einem Gas, welches wenigstens ein Fluorquellenmaterial in Form von molekularem Fluor, binären Verbindungen von Fluor und Stickstoff, Halogenfluor iden oder Fluoridenvon Elementen der seltenen Gase enthält,bei einer Temperatur im Bereich von etwa 250 C bis etwa 5500C umfaßt.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Gas verwendet wird, welches eine binäre Verbindung von Fluor und Stickstoff in Form von NF„, NF.,, oder N3F umfaßt.2^2MANlTZ FINSTERWALD · HEYN · MORGAN · 8000 MÜNCHEN 22 · ROBERT-KOCH-STRASSE 1 ■ TEL. (089) 224211 · TELEX 5 29 672 PATMF · FAX (089) 29 75 HANNS JÖRG ROTERMUND · 7000 STUTTGART 50 (BAD CANNSTATT) · SEELBERGSTR. 23/25 ■ TEL. (0711) 56 72 61BAYER. VOLKSBANKEN AG - MÜNCHEN - BLZ 700900 00 ■ KONTO 7270 POSTSCHECK: MÜNCHEN 770 62-805 BAYER- VEREINSBANK- MÜNCHEN- BLZ 700202 70- KONTO 578351 ■ BAYER. HYPO-U. WECHSELBANK ■ MÜNCHEN BLZ 700 20001 ■ KONTO 6880110
- 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Gas verwendet wird, welches ein Halogenfluorid in Form von ClF, ClF3, ClF5, BrF, BrF3, BrF5, IF3, IF5 oder IF7 umfaßt.
- 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daßein Gas verwendet wird, welches ein Fluorid eines Elementes der seltenen Gase in Form von XeFn, XeF-, XeF r oder KrFnZ 4 ο Zumfaßt.
- 5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Gas verwendet wird, welches weiterhin ein Verdünnungsgas enthält.
- 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Verdünnungsgas Stickstoffgas verwendet wird.
- 7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es bei einer
geführt wird.es bei einer Temperatur im Bereich von 350 bis 5000C durch- - 8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als fluorhaltiges Hochpolymers Polytetrafluorethylen, PoIychlortrifluorethylen, Poly-(vinylidenfluorid), Poly-(vinylfluorid), Copolymere von Tetrafluorethylen und Hexafluor-'propylen, Copolymere von Tetrafluorethylen und Perfluoralkoxyethylen oder Copolymere von Ethylen und Tetrafluorethylen eingesetzt werden.
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