DE3524189A1 - Infrarot-gasanalysator - Google Patents

Infrarot-gasanalysator

Info

Publication number
DE3524189A1
DE3524189A1 DE19853524189 DE3524189A DE3524189A1 DE 3524189 A1 DE3524189 A1 DE 3524189A1 DE 19853524189 DE19853524189 DE 19853524189 DE 3524189 A DE3524189 A DE 3524189A DE 3524189 A1 DE3524189 A1 DE 3524189A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
chamber
light receiving
detector
gas
sample
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19853524189
Other languages
English (en)
Other versions
DE3524189C2 (de
Inventor
Takao Nagaokakyo Kyoto Imaki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Ltd filed Critical Horiba Ltd
Publication of DE3524189A1 publication Critical patent/DE3524189A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3524189C2 publication Critical patent/DE3524189C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/37Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using pneumatic detection

Description

  • Infrarot-Gasanalysator
  • Beschreibung Die Erfindung bezieht sich auf einen Infrarot-Gasanalysator gemäß der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art.
  • Bei einem herkömmlichen Infrarot-Gasanalysator zur Bestimmung der Konzentration von Gaskomponenten innerhalb eines Probengases treten bei der Messung Fehler aufgrund der Absorption der Infrarotstrahlung durch Interferenz-bzw. Störgaskomponenten innerhalb des Probengases auf.
  • Ein solcher Infrarot-Gasanalysator wird nachfolgend anhand der Fig. 5 näher erläutert. Er besitzt eine Referenzzelle 1 und eine Meßzelle 2, die nebeneinander bzw.
  • in parallel zueinander verlaufenden Strahlenwegen liegen. Ferner weist der herkömmliche Infrarot-Gasanalysator eine der Referenzzelle 1 zugeordnete Infrarotlichtquelle 3 und eine der Meßzelle 2 zugeordnete Infrarotlichtquelle 4 auf. In Strahlenrichtung hinter den Zellen 1 und 2 sind ein Meßdetektor 5 und ein Kompensationsdetektor 6 angeordnet. Der Meßdetektor 5 liegt dabei optisch in Reihe mit der Referenzzelle 1, während der Kompensationsdetektor 6 optisch in Reihe mit der Meßzelle 2 liegt. Besteht beispielsweise das Probengas aus der zu bestimmenden Gaskomponente S02 (Schwefeldioxid) und der Interferenz- bzw. Störgaskomponente H20 (Wasserdampf), so liefert der Meßdetektor 5 ein Detektorausgangssignal a + b, das den Komponenten SO2 + H2O zugeordnet ist. Dagegen liefert der Kompensationsdetektor 6 ein Ausgangssignal b, das dem SO2-Anteil entspricht. Beide Signale werden über Verstärker einer Signalverarbeitungsstufe 7, beispielsweise einem Subtrahierglied, zugeführt, um auf diese Weise den Signalanteil der Interferenz- bzw. Störkomponente H2 0 zu kompensieren. Zwischen den Zellen 1 und 2 und dem Meßdetektor 5 ist weiterhin ein Chopper 8 angeordnet.
  • Ist die Konzentration der zu bestimmenden Gaskomponente SO2 im Probengas gering und die Konzentration von H2O-Gas und CH4-Gas (Methangas), die als Interferenz- bzw. Störkomponenten im Probengas anzusehen sind, hoch, so ist es schwierig, gleichzeitig eine Kalibrierung für H2O-Gas und CH4-Gas durchzuführen. Üblicherweise wird zunächst das CH4-Gas aus dem Probengas durch besondere Behandlung des Probengases entfernt. Andererseits kann ein spezielles Gas im Kompensationsdetektor 6 vorhanden sein. Messungen haben jedoch gezeigt, daß sich der Einfluß beider Störkomponenten durch diese Maßnahmen nicht vollständig beseitigen läßt. Vielmehr müssen die Ausgangssignale der Detektoren 5 und 6 mit Hilfe elektronischer Einrichtungen weiter verarbeitet werden, insbesondere im Hinblick darauf, daß sich die Konzentration des eingeschlossenen Gases ändern kann (Dispersion der Konzentration). Eine vollständige Beseitigung der Störeinflüsse durch die H2O- bzw. CH4-Gaskomponenten ist aber auch in diesem Fall nicht möglich.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Infrarot-Gasanalysator der eingangs genannten Art so weiterzubilden, daß mit ihm der Einfluß von im Probengas enthaltenen Interferenz- bzw. Störkomponenten auf das Meßergebnis sicher und ohne aufwendige Signalnachverarbeitung kompensiert werden kann.
  • Die Lösung der gestellten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegeben. Vorteilhafte Ausge- staltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
  • Der Infrarot-Gasanalysator nach der Erfindung besitzt wenigstens eine Infrarotstrahlenquelle, eine Probenkammer und einen pneumatischen Detektor mit einer ersten und einer zweiten Detektorkaitirner eine erste Lichtaufnahmekammer, die mit der ersten Detektorkammer des pneumatischen Detektors verbunden ist und Infrarotstrahlung empfängt, die durch die Probenkammer hindurchgelaufen ist, eine zweite Lichtaufnahmekammer, die mit der zweiten Detektorkammer des pneumatischen Detektors verbunden ist, im Strahlengang hinter der ersten Lichtaufnahmekammer liegt und Infrarotstrahlung empfängt, die die erste Lichtaufnahmekammer durchsetzt hat, sowie eine dritte Lichtaufnahmekammer, die mit der zweiten Detektorkammer des pneumatischen Detektors verbunden ist und Infrarotstrahlung empfängt, die durch die Probenkammer und durch ein Filter hindurchgelaufen ist, dessen Filterbereich mit dem Absorptionswellenlängenbereich einer Interferenz- bzw. Störgaskomponente in der Probenkammer übereinstimmt.
  • Entsprechend der Erfindung können die Einflüsse von wenigstens zwei im Probengas enthaltenen Störgaskomponenten auf das Meßergebnis mit hoher Genauigkeit beseitigt werden. Die Kompensation erfolgt dabei durch den Detektorbereich der Meßanordnung selbst, die eine hohe Zuverlässigkeit besitzt und Signale mit hohem Signal/Rausch-Verhältnis liefert. Da eine zusätzliche elektronische Signalverarbeitung zur Kompensation nicht erforderlich ist, kann die elektronische Einrichtung des Infrarot-Gasanalysators nach der Erfindung relativ einfach ausgelegt sein.
  • Nach einer vorteilhaften Ausbildung der Erfindung ist zwischen der Probenkammer und der ersten Lichtaufnahmekammer ein weiteres Filter angeordnet, dessen Filterbe- reich mit dem Absorptionswellenlängenbereich einer zu bestimmenden Gaskomponente in der Probenkammer übereinstimmt. Dieses Filter läßt also nur Strahlung in die erste Lichtaufnahmekammer hinein, die im Absorptionswellenlängenbereich der zu untersuchenden bzw. zu bestimmenden Gaskomponente liegt. Demgegenüber ist das zweite Filter vor der dritten Lichtaufnahmekammer so ausgelegt, daß es nur Infrarotstrahlung in die dritte Lichtaufnahmekammer hineinläßt, die im Absorptionswellenlängenbereich der Interferenz- bzw. Störkomponente liegt.
  • Nach einer anderen vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind die Länge der Probenkammer im Bereich der ersten Lichtaufnahmekammer und die Länge der Probenkammer im Bereich der dritten Lichtaufnahmekammer voneinander verschieden. Hierdurch wird erreicht, daß die Meßempfindlichkeit im Bereich der dritten Lichtaufnahmekammer 23 gesteigert werden kann. Zu diesem Zweck können auch zwei Infrarotlichtquellen vorgesehen sein, die unterschiedlich stark strahlen. Die eine Lichtquelle ist dabei der ersten Lichtaufnahmekammer und die andere Lichtquelle der dritten Lichtaufnahmekammer zugeordnet.
  • Nach einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung besteht die Probenkammer aus zwei in Gasflußrichtung hintereinander angeordneten Teilprobekammern, die jeweils auf einem Strahlenweg liegen, der parallel zum anderen Strahlenweg verläuft.
  • Eine andere Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, daß die Probenkammer aus zwei in Gasflußrichtung parallel zueinander angeordnete Teilprobenkammern besteht, die auf einem einzigen Strahlenweg liegen.
  • Die Zeichnung stellt Ausführungsbeispiele der Erfindung dar. Es zeigen: Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Infrarot-Gasanalysators gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung, Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Infrarot-Gasanalysators gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung, Fig. 3 eine schematische Darstellung eines Infrarot-Gasanalysators gemäß einem dritten Ausführungsbeispiels der Erfindung, Fig. 4 eine schematische Darstellung eines Infrarot-Gasanalysators gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel der Erfindung, und Fig. 5 eine schematische Darstellung eines herkömmlichen Infrarot-Gasanalysators.
  • Im folgenden werden anhand der Fig. 1 bis 4 Infrarot-Gasanalysatoren nach der Erfindung beschrieben. Die zu bestimmende Gaskomponente sei SO2, während die Interferenz-bzw. Störkomponenten H2O-Gas und CH4-Gas sind.
  • Entsprechend der Fig. 1 besitzt ein Infrarot-Gasanalysator eine Infrarotlichtquelle 11 zur Aussendung von Infrarotstrahlung, eine Probenkammer 12, die einen Eingang 12a und einen Ausgang 12b besitzt und von der Infrarotstrahlung der Infrarotlichtquelle 11 durchstrahlt wird, eine nicht dargestellte Gasversorgungsstation zur Versorgung der Probenkammer 12 mit Probengas, sowie einen zwischen der Infrarotlichtquelle 11 und der Probenkammer 12 angeordneten Chopper 13, der durch eine nicht dargestellte Antriebseinrichtung zur Modulation der Infrarotstrahlung von der Infrarot-Lichtquelle 11 gedreht werden kann.
  • In Strahlenrichtung hinter der Probenkammer 12 befindet sich eine Detektoreinrichtung 20, die im wesentlichen drei Lichtaufnahmekammern 21, 22, 23, einen pneumatischen Detektor 24, beispielsweise vom Kondensatormikrophon-Typ, und zwei Filter F1, F2 besitzt. Das Filter F1 ist allerdings nicht in jedem Fall erforderlich.
  • Die erste Lichtaufnahmekammer 21 ist mit einer Detektorkammer 24a des pneumatischen Detektors 24 verbunden und empfängt Infrarotstrahlung, die zuvor die Probenkammer 12 und das Filter F1 durchlaufen hat. Die zweite Lichtaufnahmekammer 22 ist mit der anderen Detektorkammer 24b des pneumatischen Detektors 24 verbunden und optisch in Reihe bzw. in Strahlrichtung hinter der ersten Lichtaufnahmekammer 21 angeordnet. Die zweite Lichtaufnahmekammer 22 empfängt also die Infrarotstrahlung, welche bereits die erste Lichtaufnahmekammer 21 durchlaufen hat.
  • Die dritte Lichtaufnahmekammer 23 ist ebenfalls mit der anderen Detektorkammer 24b des pneumatischen Detektors 24 verbunden, mit der auch die zweite Lichtaufnahmekammer 22 verbunden ist. Die dritte Lichtaufnahmekammer 23 empfängt Infrarotstrahlung, welche die Probenkammer 12 und das zweite Filter F2 durchlaufen hat. Eine Membran 24c innerhalb des pneumatischen Detektors 24 wird aufgrund einer Druckdifferenz zwischen den beiden'Detektorkammern 24a und 24b relativ zu einer Elektrode verschoben, die erforderlichenfalls mit einem Verstärker 25 zur Verstärkung des Detektorausgangssignals vom pneumatischen Detektor 24 verbunden ist.
  • Das Filter F1 ist ein positives Filter mit einem Filterbereich im Gebiet der Absorptionswellenlänge von S02, also der zu bestimmenden Gaskomponente. Das Filter F1 kann beispielsweise ein Festkörper-Bandpaßfilter sein, das Infrarotstrahlung im Absorptionsband von SO2 hindurchläßt. Das Filter F2 ist ebenfalls ein positives Fil- ter mit einem Filterbereich im Gebiet der Absorptionswellenlänge von CH4, das die Interferenz- bzw. Störkomponente bildet. Auch das Filter F2 kann ein Festkörper-Bandpaßfilter sein, das Infrarotstrahlung im Absorptionsband von CH4 hindurchläßt.
  • Die erste Lichtaufnahmekammer 21, die zweite Lichtaufnahmekammer 22 und die dritte Lichtaufnahmekammer 23 sind mit einem Gas gefüllt, welches Infrarotstrahlen absorbiert, die eine Absorptionswellenlänge von SO2, also von der zu bestimmenden Gaskomponente, besitzen. In den genannten Lichtaufnahmekammern befindet sich genauer gesagt mit Stickstoff verdünntes So 2Gas mit jeweils gleicher Konzentration. Darüber hinaus sind die Länge der ersten Lichtaufnahmekammer 21 und die Länge der zweiten Lichtaufnahmekammer 22, jeweils in Richtung der Strahlung gesehen, vor der Bestrahlung mit Infrarotstrahlung von der Lichtquelle 11 auf einen bestimmten Wert eingestellt, so daß der Einfluß der Interferenz- bzw. Störkomponente H2O kompensiert ist.
  • Die zu bestimmende Gaskomponente bzw. das Probengas wird zunächst in die Probenkammer 12 hineingelassen und anschließend von der Infrarotstrahlung der Infrarotlichtquelle 11 durchstrahlt. Die erste Lichtaufnahmekammer 21 besitzt an ihrer Lichteingangsseite das erste positive Filter F1 mit einem Filtergebiet im Bereich der Absorptionswellenlänge von S02, während die dritte Lichtaufnahmekammer 23 parallel zur ersten Lichtaufnahmekammer 21 liegt und an ihrer Lichteingangsseite das zweite positive Filter F2 besitzt, dessen Filterbereich der Absorptionswellenlänge von CH4 zugeordnet ist. Das bedeutet, daß die erste Lichtaufnahmekammer 21 nur Infrarotstrahlung mit einer Wellenlänge empfängt, die der Absorptionswellenlänge von SO2 entspricht, während die dritte Lichtaufnahmekammer 23 nur Infrarotstrahlung empfängt, deren Wel- lenlänge der Absorptionswellenlänge von CH4-Gas entspricht.
  • Da die erste Lichtaufnahmekammer 21 mit der einen bzw. ersten Detektorkammer 24a des pneumatischen Detektors 24 und die zweite Lichtaufnahmekammer 22, die optisch in Reihe bzw. hinter der ersten Lichtaufnahmekammer 21 liegt, sowie die dritte Lichtaufnahmekammer 23, die optisch parallel zur ersten Lichtaufnahmekammer 21 angeordnet ist, beide mit der anderen bzw. zweiten Detektorkammer 24b des pneumatischen Detektors 24 verbunden sind, können sowohl der Interferenz- bzw. Störeinfluß durch H2 0 durch die erste Lichtaufnahmekammer 21 und die zweite Lichtaufnahmekammer 22 als auch der Interferenz- bzw. Störeinfluß durch CH4-Gas durch die erste Lichtaufnahmekammer 21 und die dritte Lichtaufnahmekammer 23 kompensiert werden. Es wird daher nur ein Detektorausgangssignal vom pneumatischen Detektor 24 erhalten, in welchem bereits die Einflüsse der Interferenz- bzw. Störkomponenten H2 0- und CH4-Gas kompensiert sind.
  • Die Fig. 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel des Infrarot-Gasanalysators nach der Erfindung. Gleiche Elemente wie in Fig. 1 sind mit gleichen Bezugszeichen versehen. Dieser Infrarot-Gasanalysator besitzt zusätzlich einen Gasumschalter 30, beispielsweise ein rotierendes Ventil, um die Probengasströmung zu modulieren. Der Gasumschalter 30 besitzt Öffnungen 31, 32, 33 und 34 sowie ein drehbares, plattenartig ausgebildetes Zwischenelement 35. Die Öffnung 31 des Gasumschalters 30 ist mit einer nicht dargestellten Gasversorgungsstation verbunden, die das Probengas liefert, während die Öffnung 32 des Gasumschalters mit einer nicht dargestellten Gasversorgungsstation verbunden ist, die ein Referenzgas liefert.
  • Die Öffnung 33 ist mit dem Eingang 12a der Probenkammer 12 verbunden, um eine bestimmte Menge an Probengas A oder Referenzgas B abwechselnd nacheinander in die Probenkammer 12 durch Betätigung des Gasumschalters 30 zu liefern.
  • Auch bei diesem Infrarot-Gasanalysator wird nur ein SO2 -Ausgangssignal vom pneumatischen Detektor 24 erhalten, in welchem die Interferenz- bzw. Störeinflüsse durch H2O- und CEI4-Gas kompensiert sind.
  • Ist die Meßempfindlichkeit für SO2, welches in der ersten Lichtaufnahmekammer 21, in der zweiten Lichtaufnahmekammer 22 und in der dritten Lichtaufnahmekammer 23 eingeschlossen ist, in der dritten Lichtaufnahmekammer 23 gering, so daß die Interferenz- bzw. Störeinflüsse durch CH4-Gas in den genannten Einrichtungen nach den Fig. 1 und 2 nicht hinreichend kompensiert werden können, so kann ein geringer Betrag an CH4-Gas hinzugefügt werden, um die Meßempfindlichkeit der dritten Lichtaufnahmekammer 23 zu verbessern. Die Kompensation der Interferenz- bzw. Störeinflüsse durch H2 0 durch die erste Lichtaufnahmekammer 21 und die zweite Lichtaufnahmekammer 22 wird dadurch nicht beeinträchtigt. Zusätzlich kann die länge der Probenkammer im Bereich der ersten Lichtaufnahmekammer 21 und die Länge der Probenkammer im Bereich der dritten Lichtaufnahmekammer 23 unterschiedlich gewählt werden. Andererseits ist es auch möglich, zwei Infrarotlichtquellen zu verwenden, die unterschiedlich stark strahlen.
  • Anhand der Fig. 3 wird ein so ausgebildeter Infrarot-Gasanalysator näher beschrieben. Auch hier sind gleiche Teile wie in den Fig. 1 und 2 mit gleichen Bezugszeichen versehen. Der Infrarot-Gasanalysator nach Fig. 3 besitzt zwei Probenkammern 14a und 14b mit unterschiedlicher Länge in Richtung der optischen Strahlenwege. Beide Probenkammern 14a und 14b sind beispielsweise über eine Röhre untereinander verbunden, so daß ein Gasaustausch erfolgen kann. Auf diese Weise kann die Meßempfindlichkeit zur Kompensation des Einflusses des CH4-Gases durch unterschiedliche Längen der Probenkammer 14 in den jeweiligen Bereichen der Lichtaufnahmekammern 21 und 23 eingestellt werden. Entsprechend der Fig. 3 sind weiterhin zwei Infrarotlichtquellen 15a und 15b vorgesehen, die unterschiedlich stark strahlen. Die Strahlungsstärke ist individuell einstellbar, so daß die Probenkammern 14a und 14b jeweils unterschiedlich stark bestrahlt werden.
  • Auch auf diese Weise ist es möglich, die Meßempfindlichkeit zur Kompensation des Einflusses des CH4-Gases einzustellen.
  • Wie in Fig. 3 dargestellt, sind die beiden Probenkammern 14a und 14b in Reihe bzw. in Gasflußrichtung hintereinandergeschaltet. Demgegenüber liegen in Fig. 4 zwei Probenkammern 16a und 16b in Gasflußrichtung parallel zueinander.
  • Entsprechend der Fig. 4 besitzen die beiden Probenkammern 16a und 16b eine unterschiedliche Länge in Richtung der optischen Achse des Systems. Beide Probenkammern 16a und 16b werden durch Infrarotlichtquellen 17a und 17b jeweils individuell bestrahlt. Der Gasumschalter 30 ist über eine Rohrleitung i8 sowohl mit dem Eingang 16'a der Probenkammer 16a und dem Eingang 16'b der Probenkammer 16b verbunden. Durch den Gasumschalter 30 wird entweder das Probengas A oder das Referenzgas B gleichzeitig in beide Probenkammern 16a und 16b geleitet.
  • Statt eines pneumatischen Detektors 24 vom Kondensatormikrophon-Typ kann auch ein solcher vom Mikroflußsensor-Typ verwendet werden. Bei diesem Detektortyp wird eine Strömung an einem zwischen beiden Detektorkammern liegenden heißen Draht, beispielsweise einem Platindraht, durch den Differenzdruck zwischen beiden Detektorkammern erzeugt. Aufgrund der Strömung wird der genannte Draht gekühlt, was den Detektor in die Lage versetzt, ein entsprechendes Ausgangssignal zu liefern. Statt der positi- ven Filter F1, F2 können selbstverständlich auch negative Filter, z. B. Gasfilter, verwendet werden.
  • Bei dem Infrarot-Gasanalysator nach Fig. 4 liegen die Infrarotlichtquellen 17a, 17b, die Probenkammern 16a, 16b, die Filter F1, F2 und die Lichtaufnahmekammern 21, 22 und 23 auf nur einer einzigen optischen Achse. Auch hier sind die Lichtaufnahmekammern 22 und 23 über ein Rohrleitungsstück direkt miteinander verbunden. Die Verbindung der dritten Lichtaufnahmekammer 23 mit der zweiten Detektorkammer 24b des pneumatischen Detektors 24 erfolgt über die zweite Lichtaufnahmekammer 22.
  • - Leerseite -

Claims (6)

  1. Infrarot-Gasanalysator Priorität: 07. Juli 1984, Japan, Nr. 59-102806/84 (U) Patentansprüche 1. Infrarot-Gasanalysator mit wenigstens - einer Infrarotstrahlenquelle, - einer Probenkammer und - einem pneumatischen Detektor mit einer ersten und einer zweiten Detektorkammer, g e k e n n z e i c h n e t d u r c h - eine erste Lichtaufnahmekammer (21), die mit der ersten Detektorkammer (24a) des pneumatischen Detektors (24) verbunden ist und Infrarotstrahlung empfängt, die durch die Probenkammer (12, 14a, 16a) hindurchgelaufen ist, - eine zweite Lichtaufnahmekammer (22), die mit der zwei- ten Detektorkammer (24b) des pneumatischen Detektors (24) verbunden ist, im Strahlengang hinter der ersten Lichtaufnahmekammer (21) liegt und Infrarotstrahlung empfängt, die die erste Lichtaufnahmekammer (21) durchsetzt hat, und durch - eine dritte Lichtaufnahmekammer (23), die mit der zweiten Detektorkammer (24b) des pneumatischen Detektors (24) verbunden ist und Infrarotstrahlung empfängt, die durch die Probenkammer (12, 14b, 16b) und durch ein Filter (F2) hindurchgelaufen ist, dessen Filterbereich mit dem Absorptionswellenlängenbereich einer Interferenz- bzw. Störgaskomponente in der Probenkammer übereinstimmt.
  2. 2. Infrarot-Gasanalysator nach Anspruch 1, d a -d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß zwischen der Probenkammer (12, 14a, 16b) und der ersten Lichtaufnahmekammer (21) ein Filter (F1) angeordnet ist, dessen Filterbereich mit dem Absorptionswellenlängenbereich einer zu bestimmenden Gaskomponente in der Probenkammer übereinstimmt.
  3. 3. Infrarot-Gasanalysator nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß ein Probengas (A) und ein Referenzgas (B) abwechselnd nacheinander in die Probenkammer geführt werden.
  4. 4. Infrarot-Gasanalysator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t daß die Länge der Probenkammer im Bereich der ersten Lichtaufnahmekammer (21) und die Länge der Probenkammer im Bereich der dritten Lichtaufnahmekammer (22) voneinander verschieden sind.
  5. 5. Infrarot-Gasanalysator nach einem der Ansprüche 1 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t daß die Probenkammer aus zwei in Gasflußrichtung hintereinander angeordneten Teilprobenkammern (14a, 14b) besteht, die jeweils auf einem Strahlenweg liegen, der parallel zum anderen verläuft.
  6. 6. Infrarot-Gasanalysator nach einem der Ansprüche 1 bis 4, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t daß die Probenkammer aus zwei in Gasflußrichtung parallel zueinander angeordneten Teilprobenkammern (16a, 16b) besteht, die auf einem einzigen Strahlenweg liegen.
DE19853524189 1984-07-07 1985-07-05 Infrarot-gasanalysator Granted DE3524189A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1984102806U JPS6117654U (ja) 1984-07-07 1984-07-07 赤外線ガス分析計
CN85105061A CN85105061B (zh) 1984-07-07 1985-07-03 红外气体分析仪

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3524189A1 true DE3524189A1 (de) 1986-02-06
DE3524189C2 DE3524189C2 (de) 1987-01-08

Family

ID=25741834

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19853524189 Granted DE3524189A1 (de) 1984-07-07 1985-07-05 Infrarot-gasanalysator

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPS6117654U (de)
CN (1) CN85105061B (de)
DE (1) DE3524189A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0340519A2 (de) * 1988-05-04 1989-11-08 Siemens Aktiengesellschaft Pneumatischer Detektor für NDIR-Analysengeräte
EP0423488A2 (de) * 1989-09-28 1991-04-24 Siemens Aktiengesellschaft Messanordnung und Verfahren zur Bestimmung der Konzentration einer Komponente eines Messgases vor und nach dessen Durchgang durch einen konzentrationsverändernden Reaktor
DE10112579A1 (de) * 2001-03-15 2002-10-02 Siemens Ag Infrarot-Gasanalysator
DE102008007407A1 (de) * 2008-02-04 2009-08-13 Siemens Aktiengesellschaft Messküvette für einen Gasanalysator und ihre Verwendung

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE506942C2 (sv) * 1996-08-28 1998-03-02 Hans Goeran Evald Martin Gassensor
PT1411344E (pt) * 1997-01-14 2011-10-12 Otsuka Pharma Co Ltd Processo e aparelho de medição de isótopos estáveis por espetroscopia
CN102590126A (zh) * 2011-12-28 2012-07-18 武汉四方光电科技有限公司 一种长寿命的微流红外so2传感器
DE102015106915B4 (de) * 2015-05-04 2020-01-30 Emerson Process Management Gmbh & Co. Ohg Strahlungsdetektor für einen nichtdispersiven Infrarot-Gasanalysator
CN105445216A (zh) * 2015-11-13 2016-03-30 华中科技大学 一种基于超表面的红外吸收型多气体浓度测量传感器
CN107389585B (zh) * 2017-08-21 2019-11-15 湖北锐意自控系统有限公司 一种气体分析仪及气体分析方法
CN108489925A (zh) * 2018-04-05 2018-09-04 范宪华 一种用呼吸检测胃肠道恶性致病细菌的仪器
US11835451B2 (en) * 2021-03-25 2023-12-05 Asahi Kasei Microdevices Corporation Gas sensor

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2112525A1 (de) * 1971-03-16 1972-09-21 Maihak Ag Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Analysieren von Gasgemischen
DE2326123A1 (de) * 1973-05-23 1974-12-12 Bergwerksverband Gmbh Verfahren zur bestimmung der differenz der absorptionsenergie beider schichten eines nicht-dispersiven infrarotfotometers mit doppelschicht-absorptions-messkammer, und nicht-dispersives fotometer zur ausfuehrung des verfahrens
DE2803586A1 (de) * 1978-01-27 1979-08-02 Hartmann & Braun Ag Zweistrahl-infrarotgasanalysator
DE3026953A1 (de) * 1979-07-20 1981-01-22 Horiba Ltd Nichtdispersiver infrarot-analysierer
DE3030002A1 (de) * 1980-08-08 1982-03-11 Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt Nichtdispersiver infrarot-gasanalysator

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2112525A1 (de) * 1971-03-16 1972-09-21 Maihak Ag Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Analysieren von Gasgemischen
DE2326123A1 (de) * 1973-05-23 1974-12-12 Bergwerksverband Gmbh Verfahren zur bestimmung der differenz der absorptionsenergie beider schichten eines nicht-dispersiven infrarotfotometers mit doppelschicht-absorptions-messkammer, und nicht-dispersives fotometer zur ausfuehrung des verfahrens
DE2803586A1 (de) * 1978-01-27 1979-08-02 Hartmann & Braun Ag Zweistrahl-infrarotgasanalysator
DE3026953A1 (de) * 1979-07-20 1981-01-22 Horiba Ltd Nichtdispersiver infrarot-analysierer
DE3030002A1 (de) * 1980-08-08 1982-03-11 Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt Nichtdispersiver infrarot-gasanalysator

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0340519A2 (de) * 1988-05-04 1989-11-08 Siemens Aktiengesellschaft Pneumatischer Detektor für NDIR-Analysengeräte
EP0340519A3 (de) * 1988-05-04 1991-07-17 Siemens Aktiengesellschaft Pneumatischer Detektor für NDIR-Analysengeräte
EP0423488A2 (de) * 1989-09-28 1991-04-24 Siemens Aktiengesellschaft Messanordnung und Verfahren zur Bestimmung der Konzentration einer Komponente eines Messgases vor und nach dessen Durchgang durch einen konzentrationsverändernden Reaktor
EP0423488A3 (en) * 1989-09-28 1991-10-23 Siemens Aktiengesellschaft Measurement equipment and procedure for simultaneous determination of the concentration of a component of a measuring gas before and after passing through a concentration-altering reactor
DE10112579A1 (de) * 2001-03-15 2002-10-02 Siemens Ag Infrarot-Gasanalysator
DE10112579C2 (de) * 2001-03-15 2003-02-13 Siemens Ag Infrarot-Gasanalysator
DE102008007407A1 (de) * 2008-02-04 2009-08-13 Siemens Aktiengesellschaft Messküvette für einen Gasanalysator und ihre Verwendung

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6117654U (ja) 1986-02-01
DE3524189C2 (de) 1987-01-08
JPH0217327Y2 (de) 1990-05-15
CN85105061B (zh) 1987-02-25
CN85105061A (zh) 1986-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3932838C2 (de) Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator
DE4115425C1 (de)
DE2365605A1 (de) Kompensation gegenseitiger stoerung mehrerer spektralkomponenten
DE2137332A1 (de) Vorrichtung zum Zeitmultiplexbetrieb eines Probenanalysiergerats
EP0427037B1 (de) Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator zur gleichzeitigen Messung der Konzentration mehrerer Komponenten einer Gasprobe
DE3524189A1 (de) Infrarot-gasanalysator
DE102009059962B4 (de) NDIR-Zweistrahl-Gasanalysator und Verfahren zur Bestimmung der Konzentration einer Messgaskomponente in einem Gasgemisch mittels eines solchen Gasanalysators
EP2142909A1 (de) Detektoranordnung für einen nichtdispersiven infrarot-gasanalysator und verfahren zum nachweis einer messgaskomponente in einem gasgemisch mittels eines solchen gasanalysators
DE19547787C1 (de) Zweistrahl-Gasanalysator und Verfahren zu seiner Kalibrierung
DE3026953A1 (de) Nichtdispersiver infrarot-analysierer
DE3243301C2 (de) Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator
DE1017385B (de) Vorrichtung zum Analysieren von insbesondere gasfoermigen Gemischen durch Absorption einer Strahlung
DE19712823C2 (de) Infrarot-Gasanalysator
DE2130331A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Konzentrationsbestimmung von Gasen durch optische Extinktionsmessung
DE19509822A1 (de) Ölkonzentrations-Meßgerät
DE2207298A1 (de) Strahlungsenergie-Analysator für Atomabsorpti ons-An alyse
DE2359637A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur korrektur des messignals eines zweistrahlphotometers fuer die fluidanalyse
WO1999009391A2 (de) Ndir-fotometer zur mehrkomponentenmessung
DE19628310C2 (de) Optischer Gasanalysator
DE1065637B (de) Absorptions - Meßanordnung, insbesondere Gasanalysator zum Vergleich zweier Konzentrationen
DE2849379A1 (de) Opto-akustischer gas-analysator
DE3444768A1 (de) Verfahren zum korrigieren kolorimetrischer messergebnisse
DE3544015C2 (de)
DE2715232A1 (de) Verfahren und geraet zur gewinnung von daten ueber eine blutsauerstoff- assoziationskurve
DE2505006C3 (de) Nichtdispersiver Infrarot-Gasanalysator

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee