DE3522465C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Schutz einer Oberfläche während der chemischen Behandlung von linsenförmigen Elementen und insbesondere von Siliziumscheiben.

Bei der Bearbeitung von Si­ liziumscheiben als elektronische Bauelemente ist es erforderlich, zu­ mindest eine der beiden Oberflächen den verschiedenartigsten Be­ handlungen zu unterwerfen, sie zu reinigen, anzuätzen oder mit einem Niederschlag zu versehen. Um zu vermeiden, daß auch die andere Oberfläche von den zum Einsatz kommenden Säuren ange­ griffen wird, ist es bekannt, die zu schützende Oberfläche mit Wachs oder einem anderen Schutzüberzug, z. B. einem Kunststoffilm, ab­ zudecken. Diese Maßnahmen führen dazu, daß die abgedeckte Ober­ fläche nach Entfernen des Wachses oder des Films einem Wasch­ prozeß unterzogen werden muß, was zu einer Verunreinigung führen kann.

Nach einer anderen Methode werden beide Oberflächen des linsen­ förmigen Elementes oder der Siliziumscheibe mit verdünnten Säuren behandelt. Hier können nur solche Säuren eingesetzt werden, welche die andere Oberfläche nicht beschädigen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu schaffen, mit der eine chemische Behandlung von linsenförmigen Elementen und insbesondere von Siliziumscheiben durchführbar ist, ohne daß die zweite Oberfläche von den Säuren beschädigt werden kann und ein Schutzüberzug für diese bzw. eine nachträgliche Ab­ reinigung erforderlich ist.

Zur Lösung dieser Aufgabe lehrt die Erfindung, daß die Vorrichtung aus einem tellerförmigen Element, welches eine kreisförmige, konkave Oberfläche mit einer zentralen Öffnung auf­ weist, und aus einem in die zentrale Öffnung eingreifenden sowie über die kreisförmige Oberfläche hinausragenden Tragkörper besteht, welcher mit einem durchgehenden axialen Kanal versehen ist, dessen erstes Ende mit einer Vakuumquelle verbindbar ist und dessen zweites Ende über die kreisförmige Oberfläche hinausragt, und daß das zweite Ende mit einer Vielzahl von kleinen radialen Öffnungen versehen ist, die mit einer Druckwasserquelle verbindbar sind. In weiterer Ausbildung hierzu geht ein Vorschlag dahin, daß das zweite Ende stirnseitig eine Ringnut für die Aufnahme einer Dichtung aufweist. Zweckmäßigerweise ist als Vakuumquelle eine Wasserstrahl­ pumpe vorgesehen. Die Druckwasserquelle kann mit entionisiertem Wasser versorgbar sein.

Die erreichten Vorteile bestehen vor allem darin, daß praktisch jede Säure oder Base einsetzbar ist und keinerlei Schutz der nicht zu behandelnden Oberfläche erforderlich ist. Verunreinigungen durch Wachse, Klebstoffe und/oder Schutzfilme können nicht auftreten. Ferner können aufeinanderfolgend verschiedene Substanzen zur Herstellung der gewünschten Fließschemen bei einem Ätz-Wasch-Ätzvorgang u. dgl. eingesetzt werden.

Im folgenden wird die Erfindung anhand einer Zeichnung näher be­ schrieben. Die einzige Figur zeigt einen Längsschnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung.

Die allgemein mit 1 bezeichnete Vorrichtung besteht aus einem tellerförmigen Element 2, welches eine konkave Oberfläche 3 aufweist. Das tellerförmige Element 2 ist mit einer zentralen Öffnung 4 versehen, in die ein Tragkörper 5 einfaßt. Der Tragkörper 5 ist mit einem durchgehenden axialen Kanal 6 versehen, dessen erstes unteres Ende 6′ mit einer (nicht dargestellten) Vakuumquelle verbindbar ist. Das zweite obere Ende 6′′ ist umfangsseitig oben an der konkaven Oberfläche 3 des tellerförmigen Elementes 2 mit radialen Öffnungen 7 versehen, an die sich Zuführungskanäle 7′ im Mantel des Trag­ körpers 5 anschließen. Die Zuführungskanäle 7′ sind an einer (nicht dargestellten) Druckwasserquelle angeschlossen. Über die Druckwasserquelle, z. B. einer Pumpe, ist entionisiertes Wasser mit einem Druck von 0,9 bar zuführbar. Der Tragkörper 5 mit dem axialen Kanal 6 und den ihn umgebenden Zuführungskanälen 7′ ist stirnseitig im Bereich der radialen Öffnungen mit einer Ringnut 8 versehen, in die eine Dichtung 9 in Form eines O-Ringes eingelegt ist. Als Vakuumquelle findet z. B. eine Wasserstrahlpumpe Verwen­ dung, die an das erste Ende 6′ des axialen Kanals angeschlossen ist und über die ein Ansaugen der stirnseitig aufgelegten Silizium­ scheibe 10 erfolgt.

Die chemischen Mittel, die in Richtung der eingezeichneten Pfeile F auf die Oberfläche der Siliziumscheibe 10 einwirken, werden durch das aus dem Ringspalt 11 austretende Druckwasser weggespült. Dieser Ringspalt 11 wird durch den Rand der Siliziumscheibe 10 und den Rand des tellerförmigen Elementes 2 gebildet. Das alles führt zu einem Sauberhalten der Unterfläche der Siliziumscheibe 10 und verhindert deren Beschädigung durch chemische Substanzen.

Claims (4)

1. Vorrichtung zum Schutz einer Oberfläche während der chemischen Be­ handlung von linsenförmigen Elementen und insbesondere von Silizium­ scheiben, dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einem tellerförmigen Element (2), welches eine kreisförmige, konkave Oberfläche (3) mit einer zentralen Öffnung (4) aufweist, und aus einem in die zentrale Öffnung (4) eingreifenden sowie über die kreisförmige Oberfläche hinausragenden Tragkörper (5) besteht, welcher mit einem durchgehenden axialen Kanal (6) versehen ist, dessen erstes Ende (6′) mit einer Vakuumquelle verbindbar ist und dessen zweites Ende (6′′) über die kreisförmige Oberfläche hinausragt, und daß das zweite Ende (6′′) mit einer Vielzahl von kleinen radialen Öffnungen (7) versehen ist, die mit einer Druckwasserquelle ver­ bindbar sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Ende (6′′) stirnseitig eine Ringnut (8) für die Auf­ nahme einer Dichtung (9) aufweist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Vakuumquelle eine Wasserstrahlpumpe vorgesehen ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Druckwasserquelle mit entionisiertem Wasser versorgbar ist.