DE3520924C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Plasmabehandlung gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1.

Eine solche Anlage ist aus der DE-OS 30 39 852 bekannt. Die bekannte Anlage dient zur Herstellung von Formstoffen aus PVC-Harz mit hydrophiler Oberfläche. Der Formstoff wird in einer Plasmakammer eines Plasmagenerators mit kaltem Plasma behandelt. In der Plasmakammer sind die geerdete Elektrode und eine Leistungselektrode angeordnet. Ferner ist aus der GB-PS 15 59 502 eine Vakuumkammer bekannt, in welcher auf einer rotierenden Tragvorrichtung angeordnete optische Reflektoren einem monomeren Gas ausgesetzt und durch Polymerisation dieses Gases mit einer hydrophoben Schutzschicht versehen werden. Die Polymerisation wird durch eine gasverstärkte Endladung bewirkt, welche durch thermoionische Emission von Elektronen ausgelöst wird.

Durch die Erfindung soll die Aufgabe gelöst werden, eine Anlage zur Plasmabehandlung zu schaffen, bei welcher Plasma über die Gesamtheit einer Vielzahl von zu beschichtenden Gegenständen sich gleichförmig erstreckt und eine Plasmabehandlung selbst in den Fällen gleichförmig durchgeführt wird, in welchen Größe und Anzahl der zu beschichtenden Gegenstände sich ändert.

Dabei sollen eine Vielzahl von zu beschichtenden Gegenständen auf eine Vielzahl von Hängevorrichtungen an einer rotierenden Tragvorrichtung geladen und davon wieder entladen werden können; die Vielzahl von zu beschichtenden Gegenständen soll von Hängevorrichtungen stabil getragen werden; die Oberflächen der zu beschichtenden Gegenstände sollen von den Hängevorrichtungen nicht abgeschirmt werden; das Plasmaverfahren soll mit sehr gutem Wirkungsgrad realisiert werden; und die Behandlungszeit für zu beschichtende Gegenstände soll verkürzt werden.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch die Kombination von Merkmalen gemäß Anspruch 1 gelöst. Weitere Merkmale der Erfindung sind in den Unteransprüchen enthalten.

Die Erfindung wird im folgenden mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben, in welchen mehrere Ausführungsformen der Erfindung als Beispiele dargestellt sind. In der folgenden Beschreibung ist die Anlage zur Plasmabehandlung als "Plasmaverfahrensanlage" bezeichnet. In den Zeichnungen zeigen

Fig. 1 einen Längsschnitt einer Plasmaverfahrensanlage nach der Erfindung und eine Vorrichtung zum Laden und Entladen von zu beschichtenden oder anzumalenden Gegenständen in bzw. aus der Anlage,

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht, teilweise schematisch, der Plasmaverfahrensanlage von Fig. 1,

Fig. 3 eine vergrößerte Teilansicht im Querschnitt der Plasmaverfahrensanlage;

Fig. 4 eine vergrößerte Seitenansicht der Plasmaverfahrensanlage, aus welcher die Verbindung einer Behandlungskammer und einer drehbaren Tragvorrichtung ersichtlich ist,

Fig. 5 eine abgebrochene Längsansicht eines Teiles von Fig. 4,

Fig. 6 eine Längsansicht eines Wagens zur Erklärung des Positionierzustandes und des Verriegelungszustandes des Wagens für die Behandlungskammer,

Fig. 7 eine Draufsicht auf den Wagen,

Fig. 8 eine etwas vergrößerte Vorderansicht, welche den Einhängezustand einer drehbaren Tragvorrichtung mit dem Wagen und eine Drehvorrichtung an diesem Wagen zeigt,

Fig. 9 eine abgebrochene Seitenansicht,

Fig. 10 eine vergrößerte Teilansicht einer Hängevorrichtung,

Fig. 11 einen Teil einer Querschnittsansicht einer zweiten Ausführungsform einer Plasmaverfahrensanlage nach der Erfindung,

Fig. 12 eine perspektivische Ansicht, teilweise schematisch, der Plasmaverfahrensanlage von Fig. 11,

Fig. 13 eine Vorderansicht einer Plasmainjektionsleitung,

Fig. 14 einen Querschnitt längs der Ebene XI-XI in Fig. 13,

Fig. 15 einen Querschnitt längs der Ebene XV-XV in Fig. 13,

Fig. 16 eine Draufsicht, welche das Anschlußsystem einer Abzugsleitung zeigt,

Fig. 17 eine vergrößerte perspektivische Ansicht eines Teiles der Tragvorrichtung,

Fig. 18 die Strömung des Plasmagases, wenn die Plasmaverfahrensanlage in Betrieb ist,

Fig. 19 einen Teil einer Querschnittsansicht eines weiteren Ausführungsbeispieles der zweiten Ausführungsform nach der Erfindung,

Fig. 20 einen Querschnitt einer dritten Ausführungsform einer Plasmaverfahrensanlage nach der Erfindung,

Fig. 21 eine perspektivische Darstellung der Anlage von Fig. 20,

Fig. 22 eine perspektivische Ansicht einer vierten Ausführungsform einer Plasmaverfahrensanlage nach der Erfindung,

Fig. 23 eine Vorderansicht einer Plasmaerzeugungsvorrichtung mit einem Abgabesensor,

Fig. 24 eine Vorderansicht einer Plasmaerzeugungsvorrichtung mit einem Wärmesensor,

Fig. 25 eine Vorderansicht einer Plasmaerzeugungsvorrichtung mit einem Ozonsensor,

Fig. 26 eine Seitenansicht einer fünften Ausführungsform einer Plasmaverfahrensanlage nach der Erfindung,

Fig. 27 eine linksseitige Stirnansicht der fünften Ausführungsform,

Fig. 28 eine rechtsseitige Stirnansicht der fünften Ausführungsform,

Fig. 29 ein Leitungsschaltplan der gleichen Ausführungsform,

Fig. 30 eine perspektivische Darstellung der Behandlungskammer dieser gleichen Ausführungsform,

Fig. 31 eine vergrößerte Seitenansicht der an der Behandlungskammer befestigten Plasmaerzeugungsvorrichtung,

Fig. 32 ein Zeitdiagramm der Plasmaerzeugungsvorrichtung,

Fig. 33 und 34 vergrößerte Ansichten von wesentlichen Teilen, welche den Auslaufzustand von Flüssigkeit für den Fall anzeigen, daß die Nicht-Beschichtungsfläche des zu beschichtenden Gegenstandes mit der Naß-Index-Standardflüssigkeit beschichtet wird, welche zur Diskriminierung von zu beschichtender Substanz nach der Plasmabehandlung verwendet wird,

Fig. 35 und 36 eine perspektivische Ansicht und eine Vorderansicht, welche einen zu beschichtenden Gegenstand zeigen, der für die genannte Diskriminierung verwendet wird,

Fig. 37 ein Kurvenschaubild zur Darstellung der Beziehung zwischen Oberflächenspannung und Kontaktwinkel durch eine Index-Standardflüssigkeit von Polypropylen-Harz.

Im folgenden wird die erste Ausführungsform der Plasmaverfahrensanlage nach der Erfindung mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben.

Eine Behandlungskammer 1 der Plasmaverfahrensanlage nach der Erfindung ist mit einem Eingang und einem Ausgang 2 am rechtsseitigen Ende in Fig. 1 versehen. An diesem Eingang und Ausgang 2 ist ein Deckel 4 mit einer Plasmaabzugsöffnung in der Weise befestigt, daß er geöffnet und verschlossen werden kann. Zwei Schienen 5 sind mit konstantem Abstand am Boden der Behandlungskammer 1 angebracht und erstrecken sich mit Bezug auf Fig. 1 nach links und anch rechts im wesentlichen über die gesamte Länge der Behandlungskammer 1.

Eine drehbare Tragvorrichtung 6 befindet sich verfahrbar auf den Schienen 5, so daß sie in die Behandlungskammer eingefahren und aus dieser ausgefahren werden kann. Wie in den Fig. 1 bis 3 dargestellt ist, enthält die drehbare Tragvorrichtung 6 einen Tragrahmen 7 und einen Drehkörper 8, der um die Horizontalachse des Tragrahmens 7 drehbar gelagert ist, und mehrere Räder 9, die am unteren Teil auf beiden Seiten des Tragrahmens 7 drehbar angebracht sind und auf den Schienen 5 laufen. Der Drehkörper 8 enthält eine zentrale Drehwelle 10 und nahe der beiden linken und rechten Enden der Drehwelle 10 befestigte Drehscheiben 11.

Wie die Fig. 1 bis 3 zeigen, ist an der Außenseite des Tragrahmens 7 ein Getriebe 12 am rechten Ende der Drehwelle 10 befestigt, und ein Kettenrad 13 ist am linken Ende dieser Drehwelle 10 befestigt. Korrespondierend zum Kettenrad 13 ist an einer linksseitigen Platte des Tragrahmens 7 ein Kettenrad 14 und ein Zahnrad 15 mit einer Welle 16 angebracht, und eine Kette 17 läuft über die beiden Kettenräder 13 und 14. An der Außenseite der Behandlungskammer 1 ist auf der linken Seite ein drehzahlveränderlicher Motor 18 durch ein Stützplatte 19 befestigt, und ein Motorwelle 20 erstreckt sich durch ein Lagergehäuse 21 in die Behandlungskammer 1. Am inneren Ende der Motorwelle 20 ist ein Zahnrad 22 befestigt, welches mit dem Zahnrad 15 des Tragrahmens 7 in Eingriff bzw. außer Eingriff gebracht werden kann, wenn die Tragvorrichtung 6 in die Behandlungskammer 1 eingefahren bzw. aus dieser ausgefahren wird.

Der Motor 18 ist ein Kegel-Typ-Motor mit variabler Drehzahl, dessen Drehzahl kontinuierlich geändert werden kann und der Steuermittel zur Drehzahländerung aufweist. Mit einer freien Einstellung der Drehzahl dieses geschwindigkeitsvariablen Motors 18 kann der Drehkörper 8 der Tragvorrichtung 6 mit einer Geschwindigkeit in Abhängigkeit von der jeweiligen Größe und Anzahl der für die Beschichtung oder das Anstreichen zu behandelnder Gegenstände gedreht werden.

Beispielsweise kann im Falle dieser Ausführungsform die Drehzahl des Drehkörpers 8 innerhalb eines Bereiches von 6,5 bis 20 U/min geändert werden. Im Falle von größeren zu beschichtenden Gegenständen W, wie z. B. Autostoßstangen, wird eine Drehzahl zwischen 6,5 bis 10 U/min gewählt, und im Falle von verhältnismäßig kleinen zu beschichtenden Gegenständen W wird eine Geschwindigkeit von 10 U/min oder höher gewählt. Insbesondere wird im Falle, daß die Anzahl der Plasmabehandlungen innerhalb eines Arbeitszyklusses der Behandlungskammer niedrig ist, eine hohe Drehzahl gewählt, während im Falle einer hohen Anzahl von Plasmabehandlungen eine niedrige Drehzahl gewählt wird.

Entsprechend den Fig. 1, 2 und 10 hat jede Hängevorrichtung 23 zwei Seitenplatten 24 als Tragelemente an den rechten und linken Enden und sie wird an den oberen Enden dieser Seitenplatten 24 von Bolzen 25 derart gehalten, daß sie sich relativ zur Innenseite der Drehscheiben 11 der Tragvorrichtung 6 drehen kann. Ein ausgeschnittenes Fenster 26 in der Mitte jeder Seitenplatte 24 mit einem Netz 27 ergibt eine erweiterte Strömung von Plasmagas an diesen Fenstern 26.

Eine einstückige Verbindungsstange 28 verbindet die vorderen Ecken am unteren Teil jedes Paares von linken und rechten Seitenplatten 24. Entsprechend Fig. 10 sind die linken und rechten Enden der Verbindungsstange 28 jeweils mit einem Verstärkungsrahmen 29 versehen, bestehend aus einem Trägerelement 29a, welches sich von der Verbindungsstange 28 nach hinten erstreckt, einem Verbindungselement 29b, welches sich von dem Trägerelement 29a seitlich zur hinteren unteren Kante der Seitenplatte 24 erstreckt, einem Verstärkungselement 29c, welches sich vom hinteren Ende des Trägerelements 29a schräg nach vorne zur Innenseite der Verbindungsstange 28 erstreckt.

Auf dem Trägerelement 29a des Verstärkungsrahmens 29 befindet sich vorne und hinten jeweils ein Stützelement 30, welches jeweils am oberen Ende einen Stützteil 30a aufweist, um von unten den zu beschichtenden Gegenstand, z. B. eine Autostoßstange, am linken und rechten Ende jeweils vorne und hinten abzustützen. Die Stützteile 30a sind durch die nach innen und unten abgebogenen Enden der Stützelemente 30 gebildet. Zwischen den wegragenden Stützelementen 30 befindet sich ein hervorragendes mittleres Stützelement 31 auf dem Trägerelement 29a des Verstärkungsrahmens 29, welches an seinem oberen Ende ein Stützteil 31a zum Stützen des zu beschichtenden Gegenstandes von unten in dessen Mitte jeweils an dessen linken und rechten Ende aufweist. Der Stützteil 31a ist gegen den niedrigen Teil zur Innenseite hin abgebogen und befindet sich auf einem höheren Niveau als die Stützteile 30a der Stützelemente 30, und der abgebogene Endabschnitt des Stützteils 31a ist mit der Verbindungsstange 28 verbunden.

Wie die Fig. 3 und 4 zeigen, ist eine Vielzahl von vorstehenden Stützen 32 am Innenumfang der Behandlungskammer 1 längs einer Vielzahl von Linien angeordnet, welche vorzugsweise mit ungefähr gleichem Winkelabstand in Umfangsrichtung verteilt sind, bei der hier beschriebenen Ausführungsform z. B. vier im gleichen Umfangsabstand von 90° verteilte Linien, so daß sie dem zu beschichtenden Gegenstand gegenüberliegen. Eine Plasmainjektionsleitung 33 mit vielen nicht dargestellten Öffnungen an ihrem Außenumfang wird von den Stützen auf einer gewünschten Linie oder auf einer Vielzahl von Linien getragen. Dadurch wird das Plasmagas, z. B. Sauerstoff, von den Injektionsöffnungen der Plasmainjektionsleitung 33 in die Behandlungskammer 1 eingebracht, wodurch die Oberfläche des zu beschichtenden Gegenstandes W in der Hängevorrichtung 23 einer Plasmabehandlung unterworfen wird.

Die Fig. 4 und 5 zeigen ein Verriegelungselement 34, welches in der Nähe des Einganges und Ausganges 2 in der Behandlungskammer 1 sich zwischen den Schienen 5 erstreckt und verschwenkbar gelagert ist. Es ist an seinen beiden nach oben wegragenden Enden mit Klinken 35 und dazwischen mit einem Betätigungsteil 36 versehen. Korrespondierend zu den beiden Klinken 35 des Verriegelungselements 34 sind am unteren Ende des Tragrahmens 7 der drehbaren Tragvorrichtung 6 auf der linken und rechten Seite Ausnehmungen 37 gebildet. Wenn die drehbare Tragvorrichtung 6 auf den Schienen 5 in die Behandlungskammer eingefahren wird, greifen die beiden Klinken 35 des Verriegelungselements 34 in die Ausnehmungen 37 ein, womit die drehbare Tragvorrichtung 6 lösbar in einer bestimmten Position in der Behandlungskammer verriegelt wird.

Gemäß den Fig. 1, 6 und 7 befindet sich ein Wagen 38 zum Fahren der drehbaren Tragvorrichtung 6 in der Nähe gegenüber des Einganges und Ausganges 2 der Behandlungskammer 1. Am unteren Teil des Wagens 38 ist eine Vielzahl von Rädern 39 angebracht und am rechten Ende befindet sich ein Griff 40. Ein Paar vordere und hintere Schienen 41 erstreckt sich mit Bezug auf die Zeichnungen nach links und rechts auf beiden Seiten auf dem Wagen 38. Diese Schienen 41 sind mit den Schienen 5 in der Behandlungskammer 1 gekuppelt, so daß die Räder 9 auf beiden Seiten des Tragrahmens 7 getragen und geführt werden, wenn die drehbare Tragvorrichtung 6 in die Behandlungskammer 1 eingefahren bzw. aus dieser ausgefahren wird.

Die Fig. 1, 6 und 7 zeigen ein Befestigungselement 42, welches sich nach vorne und hinten erstreckt und auf der linken Seite eines Fußteiles befestigt ist. Zwei Positionierplatten 43 sind an der unteren Fläche in der Mitte des Befestigungselements 42 in einem bestimmten Abstand voneinander befestigt. Ein weiteres Befestigungselement 44 erstreckt sich nach vorne und nach hinten und ist am unteren linken Teil des Wagens 38 befestigt. Eine Eingriffsrolle 45, welche lösbar zwischen die Positionierplatten 43 eingebracht werden kann, wird von einer ungefähr in der Mitte angebrachten Stützplatte 46 getragen. Die Positionierplatten 43 und die Eingriffsrolle 45 bilden zusammen Positioniermittel. Wenn der Wagen 38 zum Eingang 2 der Behandlungskammer 1 gefahren wird, gelangt die Eingriffsrolle 45 zwischen die beiden Positionierplatten 43 und kommt dadurch mit diesen in Eingriff. Dadurch wird der Wagen 38 mit Bezug auf die Behandlungskammer 1 in einer genau festgelegten Stellung positioniert.

Die Fig. 6 und 7 zeigen ein Paar vordere und hintere Verriegelungsklinken 47, die seitlich der Behandlungskammer 1 am Befestigungselement 42 vorgesehen sind. Eine Drehwelle 48 ist an einem weiteren Befestigungselement 44 in einer Seite des Wagens 38 drehbar gelagert, und ein Paar Verriegelungsklinken 49, welche mit den Verriegelungsklinken 47 lösbar in Eingriff gebracht werden können, ist an beiden Enden der Drehwelle 48 befestigt. Auf diese Weise bilden die Verriegelungsklinken 47 und 49 eine Verriegelungsvorrichtung. Wenn der Wagen 38 sich gegenüber der Behandlungskammer 1 befindet, werden die beweglichen Verriegelungsklinken 49 mit den ortsfesten Verriegelungsklinken 47 durch die Wirkung einer Feder 50 in Eingriff gebracht, so daß der Wagen 38 für die Behandlungskammer 1 verriegelt ist. Ein Rückstellhebel 52 ist drehbar zwischen einem Paar Montageplatten 51 ungefähr in der Mitte am rechten Ende des Wagens 38 schwenkbar angebracht, und die beweglichen Verriegelungsklinken 49 können durch Verschwenken des Rückstellhebels 52 über eine Kupplungsstange 53 zurückgestellt und gedreht werden.

Gemäß den Fig. 1, 8 und 9 ist eine Drehwelle 54 in den Montageplatten 51 drehbar zur Betätigung gelagert, am oberen Teil des Rückstellhebels 52, und an den vorderen und hinteren Enden (rechts und links in Fig. 9) sind Betätigungshebel 55 zur Rückstellung angebracht. Sowohl an den vorderen als auch an den hinteren Seiten der Montageplatten 51 sind Klinken 56 an der Drehwelle 54 befestigt, welche durch Drehen der Drehwelle 54 durch Federn 57, mit Bezug auf Fig. 8 im Gegenuhrzeigersinn, verschwenkbar sind. Ein Paar vordere und hintere ortsfeste Klinken 58 sind an der rechten Seite des Tragrahmens 7 der drehbaren Tragvorrichtung 6 vorstehend in einer solchen Weise angebracht, daß die beweglichen Klinken 56 mit ihnen in Eingriff gebracht werden, wenn die Tragvorrichtung 6 auf dem Wagen 38 gezogen wird. Diese ortsfesten Klinken 58 kommen mit den beweglichen Klinken in Eingriff, wodurch die Tragvorrichtung 6 unbeweglich auf dem Wagen 38 festgehalten wird.

Ferner ist eine Drehvorrichtung 59 zum manuellen Drehen eines Drehkörpers 8 zum Laden und Entladen der Hängevorrichtungen 23 mit zu beschichtenden Gegenständen W am oberen Teil der Montageplatten 51 vorgesehen. Die Drehvorrichtung 59 betätigt den mit ihr verbundenen Drehkörper 8 der drehbaren Tragvorrichtung 6 auf dem Wagen 38. Hierzu ist eine Welle 60 oberhalb der Welle 54 in den Montageplatten 51 drehbar gelagert und an ihren vorderen und hinteren Enden mit Betätigungsgriffen 61 versehen. Hinter den Montageplatten 51 ist an der Welle 60 ein Kettenrad 62 befestigt, welches durch Betätigen der Betätigungsgriffe 61 gedreht werden kann. Auf den Montageplatten 51 befindet sich ein Untersetzungs-Schneckengetriebe 63 mit einer Schneckenspindel 64 und einem Schneckenrad 65, die miteinander in Eingriff sind.

Am äußeren Ende der Schneckenspindel 64 ist ein Kettenrad 66 befestigt. Eine Kette 67 ist über dieses Kettenrad 66 und über das auf der Welle 60 sitzende Kettenrad 62 geführt. Auf einem äußeren Ende einer Welle des Schneckenrades 65 ist ein Zahnrad 68 befestigt, welches, wenn die Tragvorrichtung 6 auf den Wagen 38 gezogen wird, lösbar mit dem Zahnrad 12 in Eingriff gebracht wird, welches sich am vorderen Ende der Drehwelle 10 des Drehkörpers 8 befindet, womit der Drehkörper 8 und die Drehvorrichtung 59 funktionsfähig miteinander verbunden werden.

Bei dieser Plasmaverfahrensanlage wird im Falle eines verhältnismäßig kleinen zu beschichtenden Gegenstandes W, der sich zur Plasmabehandlung in der Behandlungskammer 1 befindet, von der Plasmainjektionsleitung 33 injizierte Plasmagas durch die hohe Drehgeschwindigkeit des Drehkörpers 8 wirksam umgerührt bzw. umgewälzt, indem die Drehzahl des Drehkörpers 8 der drehbaren Tragvorrichtung 6 durch entsprechende Motors 18 auf mindestens 20 U/min eingestellt wird. Dadurch wird Plasmagas über die Gesamtheit einer großen Vielzahl von zu behandelnden Gegenstände W gleichförmig verteilt und es findet eine gleichförmige Plasmabehandlung statt.

Die Unterseite des zu beschichtenden Gegenstandes W, der sich jeweils auf einer Hängevorrichtung 23 befindet, liegt auf den oberen Stützteilen 30a, 31a einer Vielzahl von vorstehenden Stützelementen 30, 31 auf, die jeweils an beiden Enden der Verbindungsstangen 28 vorgesehen sind. Dadurch werden die Gegenstände W jeweils auf ihrer Unterseite von den Hängevorrichtungen 23 stabil getragen. Unter dieser Bedingung ist keinerlei die Oberflächen des zu beschichtenden Gegenstandes W abschirmendes Material vorhanden, so daß das von der Plasmainjektionsleitung 33 injizierte Plasmagas gleichförmig und wirkungsvoll dem jeweiligen Gegenstand W zugeführt wird und der Gegenstand W auf allen seinen Oberflächen gleichförmig einer Plasmabehandlung unterworfen wird.

Im folgenden wird das Aufladen und Entladen von zu beschichtenden Gegenständen auf die bzw. von den Hängevorrichtungen 23 auf der drehbaren Tragvorrichtung 6 beschrieben.

Der zu beschichtende Gegenstand W kann in folgenderweise aufgeladen und wieder entfernt werden. Wie in Fig. 1 gezeigt, ist der Wagen 38 gegenüber dem Eingang 2 der Behandlungskammer 1 angeordnet, von welcher der Deckel 4 abgenommen wurde, so daß die Behandlungskammer 1 offen ist. Dabei befindet sich entsprechend den Zeichnungen 6 und 7 eine Eingriffsrolle 45 im Eingriff zwischen den beiden Positionierplatten 43, wodurch der Wagen 38 mit Bezug auf die Behandlungskammer 1 eine bestimmte Position einnimmt, und die beweglichen Verriegelungsklinken 49 der Verriegelungsvorrichtung sind mit den ortsfesten Verriegelungsklinken 47 in Eingriff, womit der Wagen 38 gegen die Behandlungskammer 1 verriegelt ist. Unter dieser Bedingung fluchten die Schienen 41 des Wagens 38 mit den mit ihnen verbundenen Schienen 5 der Behandlungskammer 1.

Danach werden die in den Fig. 4 und 5 gezeigten Klinken 35 der Verriegelungselemente 34 von den Öffnungen 37 getrennt, womit der Eingriff zwischen der Behandlungskammer und der Tragvorrichtung 6 aufgehoben ist. Wenn die drehbare Tragvorrichtung 6 unter dieser Bedingung aus dem Eingang und Ausgang 2 der Behandlungskammer 1 herausgezogen wird, wird die Tragvorrichtung 6 auf dem Wagen 38 auf den Schienen 5 und 41 entlangbewegt, wie dies in Fig. 1 durch Kettenlinien dargestellt ist. Dabei wird ein Zahnrad 15, welches sich auf der linken Seite des Tragrahmens 7 der Tragvorrichtung 6 befindet, von dem Zahnrad 22 der Motorwelle 20 in der Behandlungskammer 1 getrennt, und das Zahnrad 12 auf der rechten Seite des Tragrahmens 7 wird mit dem Zahnrad 68 auf der rechten Seite des Wagens 38 in Eingriff gebracht, wodurch der Drehkörper 8 der drehbaren Tragvorrichtung 6 mit der Drehvorrichtung 59 des Wagens 38 gekuppelt wird. Dabei wird die feste Klinke 58 der in den Fig. 8 und 9 gezeigten Verriegelungsmittel mit der beweglichen Klinke 56 in Eingriff gebracht und der Tragrahmen 76 der drehbaren Tragvorrichtung 6 wird damit auf dem Wagen 38 gehalten.

Wenn der Drehkörper 8 der rotierbaren Drehvorrichtung 6 unter dieser Bedingung über das Schneckengetriebe 63 durch Drehen der Betätigungsgriffe oder Betätigungsräder 61 um den gewünschten Winkelbetrag gedreht wird, bleibt dann der Drehkörper 8 in der eingestellten Winkelposition stehen, bedingt durch den Eingriff der Schneckenspindel 64 in das Schneckenrad 65 des Schneckengetriebes 63, unabhängig von Gleichgewichtsänderungen des Drehkörpers 8. Dadurch können die Gegenstände W leicht und in kurzer Zeit in großer Vielzahl auf die Hängevorrichtungen 23 geladen und von diesen wieder entnommen werden, während der Drehkörper 8 schrittweise mit dem Handgriff oder Handrad 61 jeweils um einen bestimmten Winkel gedreht wird.

Da bei dieser Ausführungsform die Betätigungsgriffe 61 der Drehvorrichtung 59 und der Betätigungshebel 55 zur Rückstellung der Verriegelungsmittel jeweils an den vorderen bzw. hinteren Seiten der Montageplatten 51 des Wagens 38 vorgesehen sind, können die zu beschichtenden Gegenstände W bei jeder gewünschten Position der Vorder- und Rückseiten des Wagens 38 auf die Hängevorrichtungen 23 geladen und von diesen entladen werden.

Die Plasmaverfahrensanlage nach der Erfindung ist nicht auf die beschriebene Ausführungsform beschränkt, sondern es kann beispielsweise ein Bremsmotor, der eine Bremse enthält, als Drehvorrichtung zum Drehen der Tragvorrichtung 6 verwendet werden. Ferner kann als drehzahlveränderliche Antriebsvorrichtung ein Motor mit konstanter Drehzahl und ein drehzahlvariables Getriebe verwendet werden, welches die Drehbewegung vom Motor auf die Tragvorrichtung mit veränderbarer Drehzahl überträgt. Ferner können die Tragelemente 24 die Form von Platten, Stangen, Netzen, Gitter oder dgl. haben.

Im folgenden wird eine zweite Ausführungsform der Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen 11 bis 18 beschrieben.

Eine abdichtbare Behandlungskammer 101 der Plasmaverfahrensanlage hat die Form eines hohlen Zylinders entsprechend Fig. 11, und die vordere Wand ist mit einer nicht dargestellten Tür versehen, mit welcher die Behandlungskammer 101 geöffnet und verschlossen werden kann. Gemäß Fig. 11 ist auf der rechten Seite der Wand eine Abzugsöffnung 102 gebildet, welche nur zur Reduzierung des Innendruckes in der Behandlungskammer 101 dient. An die Abzugsöffnung 102 ist eine Abzugsleitung 102b mit einem Ventil zur Strömungssteuerung angeordnet.

Unterhalb der Abzugsöffnung 102 ist eine Plasmainjektionsleitung 103 aus rostfreiem Stahl zum Einbringen von Plasmagas gebildet, beispielsweise von Sauerstoff.

Wie Fig. 13 zeigt, ist die Plasmainjektionsleitung 103 so ausgebildet, daß ihre Gesamtlänge l größer ist als die Gesamtlänge L der zu beschichtenden Gegenstände, und zwar an beiden Enden um etwa 10%. Somit kann die Gesamtlänge l der Plasmainjektionsleitung 103 durch folgende Gleichung angegeben werden:

l=L+2×0,1 L

Die Abzugsöffnung 102 ist ungefähr in der Wandmitte der Behandlungskammer gebildet.

Entsprechend den Fig. 13 bis 15 ist eine Plasmaeinlaßöffnung 107 im wesentlichen in der Mitte der Plasmainjektionsleitung 103 mit einer Zuleitung 104 verbunden, deren Ende mit einem außerhalb der Behandlungskammer 101 gelegenen, nicht gezeigten Plasmazuliefergerät verbunden ist. Die Plasmainjektionsleitung 103 ist beidseitig der Plasmaeinlaßöffnung 107 mit Injektionsöffnungen 105 versehen, wobei mit zunehmendem Abstand von der Einlaßöffnung 107 die Durchmesser der Injektionsöffnungen 105 größer und die Abstände zwischen den Injektionsöffnungen 105 kleiner werden. Die Injektionsöffnungen 105 enthalten solche 105a, deren Öffnung in Richtung eines bestimmten Neigungswinkels R₁ (30 Grad bei dieser Ausführungsform) zur Vorderseite mit Bezug auf eine Vertikalebene S1 gerichtet ist, und solche 105b, welche in einer Richtung offen sind, die unter einem bestimmten Winkel R₂ (30 Grad bei dieser Ausführungsform) zur Rückseite hin mit Bezug auf die genannte Vertikalebene S1 gerichtet ist. Die zur Vorderseite geneigten Injektionsöffnungen 105a sind alternativ zu den zur Rückseite hin geneigten Injektionsöffnungen 105b angeordnet.

Die Anzahl von Injektionsöffnungen 105 in der Seite der Abzugsöffnung 102 von der Zuleitung 104, nämlich auf der rechten Seite, ist 15% niedriger als die Anzahl von Injektionsöffnungen in der linken Seite von der Abzugsöffnung 102.

Außerdem ist eine zweite Abzugsöffnung 106, welche einen kleineren Durchmesser als die erste Abzugsöffnung 102 hat, in der Wand der Behandlungskammer 101 um einen Winkel von ungefähr 180 Grad gegenüberliegend zur Injektionsleitung 103 gebildet.

An diese Abzugsöffnung 106 ist eine Abzugsleitung 106b mit einem Ventil 106a zur Steuerung der Strömungsmenge angeschlossen. Das andere Ende der Abzugsleitung 106b ist mit der Abzugsleitung 102b verbunden. Wie Fig. 16 zeigt, ist die Abzugsleitung 106b eine Bypass-Leitung der Abzugsleitung 102b.

Im folgenden wird das Positionsverhältnis zwischen der Plasmainjektionsleitung 103 und der zweiten Abzugsöffnung 106 dieser Ausführungsform beschrieben. Gemäß Fig. 11 ist die Plasmainjektionsleitung 103 an einer um 30 Grad im Gegenuhrzeigersinn von der Vertikalebene S1 gelegenen Stelle angeordnet, und die zweite Abzugsöffnung 106 ist an einer im Gegenuhrzeigersinn um 210 Grad von der gleichen Vertikalebene S1 entfernt gelegenen Stelle angeordnet, wobei die Vertikalebene S1 senkrecht auf dem Boden der Behandlungskammer 101 steht.

Auf dem Boden der Behandlungskammer 101 befindet sich unterhalb der Injektionsleitung 103 ein Sockel 110, auf der eine nachfolgend noch im einzelnen beschriebene Rotations-Tragvorrichtung 111 steht. Die Rotations-Tragvorrichtung 111 wird von Stützen 113 eines im wesentlichen rechteckigen Rahmens 112 entsprechend Fig. 12 getragen, der mit einer (nicht dargestellten) Schiebevorrichtung versehen ist. Die Tragvorrichtung 111 besteht im wesentlichen aus einer Drehwelle 114, die in den oberen Enden der Stützen 113 drehbar gelagert ist, und einem Paar von scheibenförmigen Drehkörpern 115a und 115b, die in der Nähe der Drehwelle fixiert sind. Insgesamt sechs Hängevorrichtungen 116 zum Tragen der zu beschichtenden Gegenstände W sind mit entsprechendem Winkelabstand voneinander zwischen den beiden Drehkörpern 115a und 115b angeordnet.

Entsprechend Fig. 17 besteht jede Hängevorrichtung im wesentlichen aus einem Paar von Tragstücken 117, die aus gebogenen Metallplatten gebildet sind, jeweils zwei Tragstücke 117 miteinander verbindenden Verbindungsstangen 118a, und einer Verbindungsstange 118b an der Unterseite der Tragstücke 117 zur Verbindung der beiden Enden der Verbindungsstangen 118a, wobei jedes Tragstück 117 an seinem oberen Ende durch eine Metallplatte 119 drehbar mit den scheibenförmigen Drehkörpern 115a und 115b verbunden ist. Dadurch werden alle Hängevorrichtungen 116 in horizontaler Lage gehalten, ohne sich zu drehen, während die Drehwelle 114 und die Drehkörper 115a und 115b sich drehen. Die Tragstücke 117 sind in der Mitte mit einem Ausschnitt versehen, über welchen sich ein Netz 120 erstreckt, so daß Plasmagas durch dieses Netz hindurchströmen kann.

In Fig. 11 ist ein Kettenrad 121 am vorderen Ende der Drehwelle 114 befestigt, ein weiteres Kettenrad 122 und ein Getriebezahnrad 123 befinden sich auf einer Drehachse des Rahmens 112. Eine Kette 124 ist über die beiden Kettenräder 121 und 122 geführt, und das Zahnrad 123 ist mit einem Antriebsritzel 125 in Eingriff, welches mit einem nicht dargestellten Antriebsmotor in Drehverbindung steht.

Beim Drehen des Antriebsritzels 125 werden die beiden Drehkörper 115a und 115b zusammen mit der Drehwelle 114 durch das Getriebezahnrad 123, Kettenrad 122, Kette 124 und Kettenrad 121 gedreht.

Im folgenden wird die Funktion dieser Vorrichtung beschrieben. Zunächst wird die Tür der Behandlungskammer 101 geöffnet, die Rotations-Tragvorrichtung 111 wird zusammen mit dem Rahmen 112 aus der Behandlungskammer 101 herausgeschoben, und die mit Plasma zu behandelnden Gegenstände W werden auf die Hängevorrichtungen 116 gegeben.

Als nächstes wird die Rotations-Tragvorrichtung 111 wieder in die Behandlungskammer 101 geschoben und die Tür wird geschlossen. Dann wird das Strömungssteuerventil 102a geöffnet und der in der Behandlungskammer 101 vorhandene Druck wird durch eine nicht im einzelnen dargestellte Einrichtung auf einen bestimmten Wert reduziert, vorzugsweise auf einen Wert zwischen ungefähr 0,5 bis 0,6 Torr. Wenn der Druck den bestimmten Wert erreicht, wird das Ventil 102a geschlossen und der Antriebsmotor zum Drehen der Tragvorrichtung 111 wird eingeschaltet. Dabei werden die Drehwelle 114 und die scheibenförmigen Drehkörper 115 durch das Antriebsritzel 125, das Getriebezahnrad 123, das Kettenrad 122, die Kette 124 und das Kettenrad 121 gedreht. Während dabei die Hängevorrichtungen 116 zusammen mit den zu beschichtenden Gegenständen W mit ihrem oberen Ende jeweils relativ zu den Drehkörpern 115 gedreht werden, werden die Gegenstände W selbst während der Drehung der Drehkörper 115 stets horizontal gehalten.

Gleichzeitig mit dem Antrieb der Rotations-Tragvorrichtung 111 wird Plasmagas, z. B. Sauerstoff, über die Zuleitung 104 der Injektionsleitung 103 zugeführt. Dabei wird das Plasmagas in der Weise injiziert bzw. eingebracht, daß es über eine Vielzahl von Gegenständen bis zu deren Endteilen strömt und das Plasmagas sich in der gesamten Behandlungskammer 101 verteilt. Dabei können die Oberflächen der Vielzahl von Gegenständen jeweils gleichzeitig und gleichförmig aktiviert werden, während sie in der Behandlungskammer umlaufen, da die Injektionsleitung 103 an beiden Enden ungefähr 10% länger ist als die Gesamtlänge der Gegenstände W und die Injektionsöffnungen 105 jeweils um 30 Grad zur Vertikalebene S1 nach vorne bzw. nach hinten geneigt sind.

Versuche haben gezeigt, daß die Winkel R₁, R₂ vorzugsweise im Bereich zwischen 25 Grad und 35 Grad liegen. Wenn der Winkel größer oder kleiner als dieser Wert ist, ergibt sich eine nicht ausreichende Plasmabehandlung, und der Kontaktwinkel (ein Alternativwert der Oberflächenspannung) der zu beschichtenden Gegenstände W erhöht sich.

Da ferner bei dieser Ausführungsform eine Anzahl von Injektionsöffnungen 105 in der Seite der Abzugsöffnung 102 bezüglich der Zuleitung 104, nämlich auf der rechten Seite, auf einen um 15% kleineren Wert festgesetzt ist als die Anzahl von Injektionsöffnungen 105 auf der linken Seite, wird der Plasmagasstrom zur Abzugsöffnung 102 hin nicht ungünstig beeinflußt und das Gas strömt gleichmäßig, und die zu beschichtenden Gegenstände werden gleichmäßiger einer Plasmabehandlung unterworfen.

Zusätzlich wird das Strömungsgeschwindigkeits-Steuerventil 106a in Übereinstimmung mit der Menge von eingebrachtem Plasmagas eingestellt und dadurch wird die Abzugsrate an der zweiten Abzugsöffnung 106 niedriger eingestellt als die Verteilgeschwindigkeit des zugeführten Gases, und der interne Druck in der Behandlungskammer 101 wird konstant gehalten.

In diesem Falle, da der Durchmesser der zweiten Abzugsöffnung 106 kleiner ist als der Durchmesser der ersten Abzugsöffnung 102, wird die Abzugsrate niedriger, verglichen mit der Abzugsrate, wenn nur die erste Abzugsöffnung 102 geöffnet ist. Da außerdem diese Abzugsrate mit dem Steuerventil 106a sehr fein eingestellt werden kann, kann das Plasmagas in der Behandlungskammer 101 sich gleichmäßig verteilen.

Da außerdem die Abzugsöffnung 106 an einer der Plasmainjektionsleitung 103 um 180 Grad gegenüberliegende Stelle angeordnet ist, kann sich die Strömung des von den Injektionsöffnungen 105 versprühten Plasmagases duscheartig verteilen, wie dies in Fig. 18 durch gestrichelte Linien dargestellt ist. Diese Figur zeigt, daß das Plasmagas in der gesamten Behandlungskammer 101 ausreichend und gleichmäßig versprüht wird, zur Abzugsöffnung 106 hin wieder zusammenströmt und dann abgeführt wird. Dadurch wird das Plasmagas wirksam auf die Gesamtheit aller Oberflächen der zu beschichtenden Gegenstände W injiziert und diese Oberflächen werden alle wirksam aktiviert.

Der Ausbreitungszustand des Plasmagases in der Behandlungskammer 101 kann jeweils der Form und der Anzahl der zu beschichtenden Gegenstände in optimaler Weise durch Einstellen der Abzugsgasrate eingestellt werden, so daß der Plasmabehandlungswirkungsgrad merklich verbessert und die Bearbeitungszeit merklich verkürzt werden.

Da die an die zweite Abzugsöffnung 106 angeschlossene Abzugsleitung 106b als Bypass-Leitung der ersten Abzugsleitung 102b verwendet wird, ist nur ein einziger Druckreduzierapparat erforderlich und die Plasmaverfahrensanlage selbst kann kompakt gestaltet werden.

Die zweiten Ausführungsform der Erfindung kann unter Berücksichtigung folgender Möglichkeiten gestaltet werden:

• 1. Die Abzugsöffnung 106 ist nicht auf die Position gegenüberliegend der Injektionsleitung 103 beschränkt und kann an einer Stelle vorgesehen werden, wo das brauseartig strömende Plasma zusammenströmt, nachdem es sich in der gesamten Behandlungskammer 101 wirkungsvoll verteilt hatte. Z. B. kann sie an einer Stelle innerhalb von 45 Grad in Richtung nach oben oder nach unten von der Stellung angeordnet werden, welche der Plasmainjektionsleitung 103 gegenüberliegt.
• 2. Das über die Injektionsleitung 103 injizierte oder eingebrachte Plasmagas wird viel gleichmäßiger aufgenommen oder absorbiert und abgeführt als bei Vorhandensein nur einer einzigen Öffnung, indem an der Abzugsöffnung 106 eine Abzugsleitung 126 angebracht wird, welche die gleiche Konstruktion wie die Injektionsleitung 103 hat, wie sie Fig. 19 zeigt.
• 3. Im Falle des Abziehens von Plasmagas, kann das Plasmagas nicht nur von der zweiten Abzugsöffnung 106 abgezogen werden, sondern sowohl von den ersten als auch den zweiten Abzugsöffnungen, indem das Strömungsrate-Steuerventil 102a der ersten Abzugsöffnung 102 entsprechend eingestellt wird.
• 4. Die zweite Abzugsöffnung 106 kann zusammen mit der ersten Abzugsöffnung 102 verwendet werden, indem der Druck in der Behandlungskammer 101 reduziert wird.

Als nächstes wird der Unterschied der dritten Ausführungsform der Erfindung von der zweiten Ausführungsform mit Bezug auf die Zeichnungen 20 und 21 beschrieben.

Zur Reduzierung des inneren Druckes in der Behandlungskammer 101 ist in der Mitte der rechten Seitenwand der Behandlungskammer 101 der Plasmaverfahrensanlage eine Abzugsöffnung 102 gebildet, welche mit einem Ventil 102a versehen ist. An der unteren Innenfläche oder unterhalb der Abzugsöffnung 102 ist eine erste Plasmainjektionsleitung 103a aus rostfreiem Stahl zum Einbringen von Plasmagas, z. B. Sauerstoff vorgesehen, welche sich zu dem axialen Zentrum der Behandlungskammer 101 erstreckt. Eine zweite Injektionsleitung 103b ist in der gleichen Weise an einer um 90 Grad im Gegenuhrzeigersinn um das Zentrum der Behandlungskammer 1 versetzten Stelle, mit Bezug auf die Position der ersten Injektionsleitung 103a, angeordnet, und eine dritte Injektionsleitung 103c ist in gleicher Weise an einer Stelle angeordnet, die an einer um 90 Grad im Gegenuhrzeigersinn weitergedrehten Stellung liegt.

Die drei Injektionsleitungen 103a, 103b und 103c sind in der gleichen Weise ausgebildet und geformt wie die Plasmainjektionsleitung 103 der zweiten Ausführungsform der Erfindung.

Das Positionsverhältnis zwischen diesen drei Injektionsleitungen 103a, 103b und 103c wird im folgenden beschrieben. Die Injektionsleitungen 103a, 103b und 103c verlaufen alle im wesentlichen parallel zum axialen Zentrum der Behandlungskammer 101 und sie sind an deren Innenumfang angebracht. Die Plasmaeinlaßöffnung ist im wesentlichen in der Mitte der Injektionsleitungen 103a, 103b und 103c angeordnet (nicht dargestellt) und mit einer Zuleitung 104 verbunden, deren Ende an ein nicht dargestelltes Plasmaversorgungsgerät außerhalb der Behandlungskammer 101 angeschlossen ist.

Es ergeben sich nachstehend erklärte Wirkungen und Vorteile. Wie im Falle der zweiten Ausführungsform, wird die Rotations-Tragvorrichtung 111 angetrieben. Gleichzeitig wird, wenn das Plasmagas, z. B. Sauerstoff, durch die Zuleitung 104 den Injektionsleitungen 103a, 103b und 103c zugeführt wird, Plasmagas von den Injektionsöffnungen 105 gleichförmig injiziert bzw. in die Behandlungskammer eingebracht. Darüberhinaus reduziert das Ventil 102a der Abzugsöffnung 102 den internen Druck der Behandlungskammer 101 etwas, wenn es geringfügig geöffnet ist, wodurch ein Anstieg des in der Behandlungskammer 101 durch die Zufuhr von Plasmagas herrschenden Druckes verhindert und der Druck auf einem bestimmten Wert gehalten wird.

In diesem Falle, da das Plasmagas von den Injektionsöffnungen 105 aller drei Injektionsleitungen 103a, 103b und 103c gleichzeitig injiziert oder eingebracht wird, kann das Plasmagas in einer hervorragend kurzen Zeitdauer gleichzeitig über die Gesamtheit der Behandlungskammer versprüht und gleichmäßig verteilt werden, besser als im Vergleich mit der Injektion nur von einer einzigen Injektionsleitung 103a.

Da die Injektionsleitungen 103a, 103b und 103c an der Innenwand der Behandlungskammer 101 parallel zueinander um den gleichen Innenumfang verteilt angeordnet sind, wird außerdem das Plasmagas unmittelbar dreifach auf die zu beschichtenden Gegenstände W injiziert, während diese um die Drehwelle 114 umlaufen, wodurch der Wirkungsgrad der Plasmabehandlung verbessert und die Behandlungszeit auf etwa 1/3 bis 1/2 verkürzt werden kann.

Die dritte Ausführungsform der Erfindung kann auch wie folgt ausgeführt werden:

• 1. Eine weitere Injektionsleitung kann im Gegenuhrzeigersinn um 90 Grad versetzt zur Injektionsleitung 103c vorgesehen werden.
• 2. Die Länge der Injektionsleitungen 103a, 103b und 103c kann an beiden Enden auch mehr als 10% länger sein als die Länge der zu beschichtenden Gegenstände W.
• 3. Die Form und Anordnung der genannten Injektionsöffnungen 105 ist nicht auf die dargestellte Ausführung beschränkt, sondern kann auch anders ausgeführt sein. Beispielsweise kann in Querschnittsansicht die Injektionsöffnung 105 jeweils kreisförmig sein und die genannten Winkel R₁ und R₂ der Anordnung können innerhalb des Bereiches von 0 Grad bis 60 Grad frei gewählt werden.

Im folgenden wird die vierte Ausführungsform der Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen 22 und 23 beschrieben.

Gemäß Fig. 22 ist eine Plasmainjektionsleitung 134 aus rostfreiem Stahl zur Injektion bzw. zum Einleiten von Plasmagas, z. B. Sauerstoff, in der schrägen unteren Seite der Behandlungskammer 131 angeordnet. Eine Zuleitung 135 ist an die Plasmainjektionsleitung 134 ungefähr in deren Mitte angeschlossen und außerdem mit ihrem anderen Ende mit einem Plasmaerzeugungsgerät 136 verbunden, welches sich außerhalb der Behandlungskammer 131 befindet. Am Außenumfang der Injektionsleitung 134 sind eine Vielzahl von Injektionsöffnungen 137 gebildet.

Wie Fig. 23 zeigt, ist die Zuleitung 135 außerhalb der Behandlungskammer 131 mit einem Anschluß 138 versehen, der ein Kernrohr aus Glas aufweist. Die Zuleitung 135 ist über diesen Anschluß 138 mit einem Endstück des Plasmaerzeugungsgerätes 136 verbunden.

Das Plasmaerzeugungsgerät 136 enthält ein Plasmaerzeugungsrohr 139, einen Plasmaerzeugungsofen 140, einen Wellenleiter 141, einen Abgabesensor 142, eine Teslawicklung 143 und ein Phloro-Anschlußstück 144, und wird über einen Halter 145 von der Wand der Behandlungskammer 131 gehalten.

Die dünne und lange Plasmaerzeugungsleitung 139 besteht aus einem Quarzrohr, welches an das andere Ende des Anschlusses 138 angeschlossen ist, und wird durch das Phlor-Anschlußstück 144, welches später beschrieben wird, mit Sauerstoffgas versorgt. Diese Plasmaerzeugungsleitung 139 weist über einen Teilabschnitt einen Kühlteil 146 auf. Der zylindrische Plasmaerzeugungsofen 140 hat einen Kühlteil 147 und ist in der Weise vorgesehen, daß er den Außenumfang der Plasmaerzeugungsleitung 139 umgibt und die Wärme abkühlt, die durch die Plasmaabgabe erzeugt wird. Ferner ist ein Wellenleiter 141 im rechten Winkel zur Axialrichtung im wesentlichen in der Mitte des Plasmaerzeugungsofens 140 angeordnet.

Ein durch den Wellenleiter 141 angelegtes Hochfrequenzsignal erzeugt in der Plasmaerzeugungsleitung 139 des Plasmaerzeugungsofens 140 Sauerstoffatome, um die Plasmaabgabe zu verwirklichen.

Ein Abgabesensor 142 ist an der Innenseite des Plasmaerzeugungsofens 140 und an der Außenseite der Plasmaerzeugungsleitung 139 in der Weise befestigt, daß er nicht durch externes Licht beeinflußt wird. Bei der vorliegenden Ausführungsform wird eine Kadmiumzelle, nachfolgend als CdS bezeichnet, verwendet, welche Licht wahrnimmt. Wenn der Abgabesensor 142 Plasmaabgabelicht oder Plasmaentladungslicht empfängt, ändert sich dabei in Abhängigkeit von der empfangenen Lichtmenge ein Widerstandswert und ein entsprechendes elektrisches Signal wird an ein später noch beschriebenes Anzeigegerät 148 abgegeben.

Das Anzeigegerät 148 enthält eine Detektorschaltung (nicht dargestellt) zur Ermittlung der Plasmaabgabe oder Plasmaentladung. Ferner ist an das Anzeigegerät 148 ein akustisches Alarmgerät bzw. ein Summer 149 und ein optisches Alarmgerät in Form einer Warnlampe 150 angeschlossen.

Die Plasmaabgabe wird durch Erzeugerfunken an der Teslawicklung 143 getriggert bzw. ausgelöst, welche am hinteren Ende der Plasmaerzeugungsleitung 139 am Außenumfang der dünnen Röhre befestigt ist, so daß in der Plasmaerzeugerleitung 139 leicht Plasma erzeugt werden kann.

Für die obige Anordnung wird nachstehend die Erzeugung der Plasmaabgabe zum Zeitpunkt des Starts des Betriebes des Plasmaerzeugungsgerätes 136 beschrieben.

Zuerst wird Sauerstoff zur Plasmaerzeugung der Plasmaerzeugungsleitung 139 durch das Phloro-Anschlußstück 144 zugeführt.

Als nächstes wird die Teslawirkung 143 zur Funkenerzeugung veranlaßt, indem eine Spannung daran angelegt und außerdem ein Hochfrequenzsignal an den Wellenleiter 141 gegeben wird. Dadurch wird in der Plasmaerzeugungsleitung 139 Plasma erzeugt. Der Abgabefühler 142 an der Innenseite des Plasmaerzeugungsofens 140 ermittelt das erzeugte Plasmalicht. Dabei verändert sich ein Widerstandswert entsprechend der erzeugten Lichtmenge und ein elektrisches Signal wird für die Detektorschaltung erzeugt.

Nach Messung eines vom Abgabesensor 142 gesendeten Signals während einer bestimmten Zeitdauer werden, falls das Anzeigegerät 148 festgestellt, daß keine Plasmaentladung erzeugt wird, der daran angeschlossene Alarmsummer 149 und die daran angeschlossene Alarmanlage 150 erregt, so daß die Bedienungsperson gewarnt wird und sie die Spannung zur Teslawicklung 143 abschalten kann.

Dadurch ist es nicht mehr erforderlich, die Erzeugung der Plasmaabgabe oder Plasmaentladung nach jedem Betriebsart zu bestätigen, nachdem man sich Zugang zum Plasmaerzeugungsgerät 136 verschafft hat.

Bei der oben beschriebenen vierten Ausführungsform dient als Abgabesensor 142 eine Kadmiumzelle (CdS), welche auf Licht anspricht, jedoch können auch andere Elemente als Photosensoren verwendet werden, z. B. ein Phototransistor, eine Photodiode oder eine Silikon-Blue-Zelle (SBC).

Bei der Abgabe bzw. Entladung von Plasma wird nicht nur Licht, sondern auch Hitze und Ozon erzeugt. Deshalb ist es möglich, die Plasmaabgabe auch durch Wahrnehmung solcher Komponenten festzustellen, wie dies nachfolgend beschrieben wird.

• (1) Als Abgabesensor 142 zur Ermittlung von Hitze kann ein Thermosensor 152, z. B. ein Thermoelement oder Thermostat verwendet werden, welcher an der Plasmaerzeugungsleitung 139 befestigt ist, wie dies Fig. 24 zeigt.
• (2) Als Ozonsensor 153 kann z. B. ein Keramikhalbleiter verwendet werden, der ebenfalls an der Innenseite des Anschlusses 138 befestigt werden kann, wie dies z. B. Fig. 25 zeigt, so daß er mit dem erzeugten Ozon in Berührung steht.

Als nächstes wird die fünfte Ausführungsform der Erfindung mit Bezug auf die Fig. 26 bis 32 beschrieben.

Eine hermetisch abgedichtete Behandlungskammer 201 der Plasmaverfahrensanlage hat die Form eines Hohlzylinders. Ein Sicherheitsventil 203, welches einen abnormalen Druckanstieg in der Behandlungskammer 201 verhindert, ist an der oberen linken Seite (mit Bezug auf Fig. 26) am Außenumfang der Wand der Behandlungskammer 201 angebracht.

Eine Plasmaabzugsöffnung 204 der Behandlungskammer 201 ist auf der oberen rechten Seite dieser Behandlungskammer 201 vorgesehen und über einen Flansch 205 mit einem Hauptventil 206 versehen. An das Hauptventil 206 ist ein mechanischer Booster 208 angeschlossen, welcher die Behandlungskammer 201 durch eine Abzugsleitung 207 mit Flansch evakuiert. Der mechanische Booster 208 ist außerdem an eine Rotationspumpe 209 angeschlossen, welche ebenfalls die Behandlungskammer 201 durch die Abzugsleitung 207 evakuiert.

Wie die Fig. 30 und 31 zeigen, ragt von außen her ein Drucksensor 210 in die Behandlungskammer 201. Der Drucksensor 210 ist an ein außerhalb der Behandlungskammer 201 gelegenes Steuergerät A angeschlossen, welches relativ zueinander den mechanischen Booster 208, die Rotationspumpe 209 und einen Hochfrequenzoszillator, Teslawicklung, elektromagnetisches Ventil usw. steuert, wie dies nachstehend noch erläutert wird.

Ferner ist am Bodenteil der Behandlungskammer 201 ein Paar paralleler Schienen 213 angebracht, auf welchen beweglich bzw. verfahrbar eine drehbare oder Rotations-Tragvorrichtung 214 steht. Die Tragvorrichtung 214 trägt einen Drehkörper 215, an welchem die zu beschichtenden, aus Kunstharz bestehenden Gegenstände W aufgehängt sind, und eine Transmissionseinrichtung 216, mit welcher der Drehkörper 215 gedreht werden kann. Die Transmissionseinrichtung 216 ist mit einem Zahnrad 217a lösbar in Eingriff, welches auf einer Antriebswelle sitzt, die von einem außerhalb der Behandlungskammer 201 angeordneten Antriebsmotor 217 in die Behandlungskammer 201 hineinragt, wie dies aus Fig. 30 hervorgeht.

Entsprechend Fig. 31 ist eine Plasmainjektionsleitung 218 aus rostfreiem Stahl und mit einer Vielzahl von Injektionsöffnungen 218a zur Injektion von Plasmagas auf der unteren rechten Seite innerhalb der Behandlungskammer 201 befestigt. Nahezu im Zentrum der Injektionsleitung 218 ist eine Zuleitung 219 angeschlossen, die außerhalb der Behandlungskammer 201 über einen Anschluß 220 mit einem Plasmaerzeugungsgerät 221 verbunden ist.

Im folgenden wird der Aufbau des Plasmaerzeugungsgerätes 221 beschrieben. An den Anschluß 220 ist eine Plasmaerzeugungsleitung 222 angeschlossen. Diese Plasmaerzeugungsleitung 222 ist aus einem Quarzrohr hergestellt, welche auf einem Teil einen Kühlteil 223 aufweist, und der hintere Teil ist als dünnes Rohr mit einem reduzierten Durchmesser ausgebildet. Parallel zu der dünnen Leitung ist eine Teslawicklung 224 vorgesehen, welche die Plasmaerzeugung triggert bzw. jeweils auslöst. Ferner ist an das hintere Ende der dünnen Leitung ein Schlauch 225 angeschlossen, welcher Rohmaterialgas zuführt. Wie die Fig. 26 und 27 zeigen, ist der Schlauch 225 außerdem über ein elektromagnetisches Ventil 226 und dann durch einen Kontaktregulator 227 an eine Rohmaterialgasflasche 228 angeschlossen.

Dieses gleiche elektromagnetische Ventil 226 wird durch eine bestimmte Stärke von Vakuum in der Behandlungskammer 201 gesteuert, und zwar durch den Drucksensor 210 und das Steuergerät A.

Der Kontaktregulator 227 ist mit einem Meßinstrument 227a, welches den Druck in der Gasflasche 228 anzeigt, und mit einem Meßinstrument 227b versehen, welches den Strömungsdruck anzeigt, wenn Rohmaterialgas abgegeben wird.

Der Regulator, im folgenden Reguliereinrichtung 227 genannt, enthält einen Druckschalter 229, welcher anspricht, wenn der Druck in der Gasflasche 228 unter einen bestimmten Druckwert abfällt. Wenn dieser Schalter 229 anspricht, informiert das Steuergerät A die Bedienungsperson, daß ein Mangel an Rohmaterialgas vorliegt, indem ein Alarmgerät 230 über einen Alarmsummer 230a und über eine Anzeigetafel 230b ein akustisches und optisches Signal abgibt.

Bei dieser Ausführungsform wird Sauerstoff als Rohmaterialgas verwendet.

Wie Fig. 31 zeigt, ist die Plasmaerzeugungsleitung 222 unter Freilassung eines Zwischenraumes 231 mit Abstand von einem äußeren Zylinderelement 232 umgeben, welches an seinem unteren Ende offen ist. An der Innenseite des äußeren Zylinderelements 232 befindet sich ein nicht dargestelltes Kühlteil, welcher an den genannten Kühlteil 223 angeschlossen ist. An diesen Kühlteil 223 ist ein Schlauch 234 zur Zufuhr von Kühlwasser angeschlossen.

Das andere Ende des Schlauches 234 ist mit einer Kühlwasserversorgungsleitung 237 in der Arbeitskammer durch einen Wasserausfalldetektor 236 verbunden, wo ein elektromagnetisches Ventil 235 die Kühlwasserströmung überwacht. Wenn keine Kühlwasserströmung mehr festgestellt wird, schließt der Wasserausfalldetektor 236 das elektromagnetische Ventil 235.

Das Kühlwasser kann in einem nicht gezeigten Wassertank gesammelt werden, nachdem es zur Kühlung der Anlage verwendet wurde, indem man am Kühlteil 223 der Plasmaerzeugungsleitung 222 einen Rücklaufschlauch 223a anbringt.

Ferner ist ein Entlade- oder Abgabesensor 238, welcher die Ladungserzeugung feststellt, an der Innenseite des externen Zylinderelements 232 vorgesehen. Wenn der Abgabesensor 238 keine Plasmaerzeugung mehr festgestellt, wird über das Steuergerät A und das Alarmgerät 230 eine Bedienungsperson davon informiert, daß keine Plasmaentladung erzeugt wird, und der Betrieb der Plasmaverfahrensanlage wird abgestellt.

Ein Wellenleiter 239 ist unter einem Winkel zur Axialrichtung im wesentlichen in der Mitte des externen Zylinderelementes 232 befestigt, und ein Schlauch 240 zur Aufnahme der Kühlluft wird an dessen Unterseite beschickt. Das andere Ende des Schlauches 240 ist über einen Fühler 242 an eine Kühlluftversorgungsleitung 243 angeschlossen. Der Sensor 242 arbeitet mit einem elektromagnetischen Ventil zusammen. Der Sensor 242 schließt das elektromagnetische Ventil 241, wenn es feststellt, daß keine Luft strömt.

Das andere Ende des Wellenleiters 239 ist an einen Hochfrequenzoszillator 244 angeschlossen, welcher der Plasmaerzeugungsleitung 222 ein Hochfrequenzsignal zuführt. Wenn der Hochfrequenzoszillator 244 den Betrieb startet, bildet die Teslawicklung 224 in Synchronisation damit den Funken und sie triggert die Erzeugung von Plasma mit hohem Wirkungsgrad.

Das Steuergerät A enthält einen nicht gezeigten Zeitgeber zur Festsetzung der Plasmaverfahrenszeit oder Plasmabearbeitungszeit und ist durch ein Kabel B an das Hauptventil 206, den mechanischen Booster 208, die Rotationspumpe 209, den Antriebsmotor 217, die Teslawicklung 224, die Kontaktreguliereinrichtung 227, die Alarmeinrichtung 230, und die elektromagnetischen Ventile 226, 235 und 241 angeschlossen. Das Steuergerät A steuert die Geräte mit einem Drucksensor 210, der als zentrales Gerät verwendet wird.

Zuerst wird die Plasmaverfahrenszeit oder Plasmabearbeitungszeit unter Berücksichtigung der zu behandelnden Gegenstände an dem nicht dargestellten Zeitgeber des Steuergerätes A eingestellt und ein Energieversorgungsschalter wird eingeschaltet, d. h. auf Ein geschaltet.

Wie in Fig. 32 dargestellt ist, arbeitet dabei die Rotationspumpe 209 und das Hauptventil 206 öffnet nach wenigen Sekunden. In der Behandlungskammer 201 wird der interne Druck fortlaufend reduziert, und wenn der Vakuumwert den Betrag P1 erreicht, arbeitet der mechanische Booster 208. Wenn der interne Druck in der Behandlungskammer 201 weiter reduziert wird und den Vakuumwert P2 erreicht, beginnt der Antriebsmotor 217 zu laufen und der Drehkörper 215 zu drehen, das elektromagnetische Ventil 226 zur Versorgung von Rohmaterialgas öffnet und dadurch wird Rohmaterialgas der Plasmaerzeugungsleitung 222 zugeführt. Wenn das Vakuum in der Behandlungskammer 201 den Wert P3 erreicht, beginnen der Hochfrequenzoszillator 244, die Teslawicklung 224 und der Entlade- bzw. Abgabesensor 238 nahezu gleichzeitig zu arbeiten, und die elektromagnetischen Ventile 235 und 241 für Kühlwasser und Luft werden geöffnet, so daß Kühlwasser und Luft hindurchströmen können. Dadurch wird eine Plasmaentladung oder Plasmaabgabe in der Plasmaerzeugungsleitung 222 erzeugt und das Rohmaterialgasplasma kann erzeugt werden.

Das auf diese Weise erzeugte Plasmagas wird während der am Zeitgeber festgesetzten Zeitdauer von den Injektionsöffnungen 218a der Injektionsleitung 218 auf die zu beschichtenden Gegenstände injiziert bzw. aufgebracht.

Nach der vorbestimmten Zeitperiode werden das Hauptventil 206, der mechanische Booster 208, der Drehkörper 215, der Motor 217, das elektromagnetische Ventil 226 für das Rohmaterialgas und der Hochfrequenzoszillator 244 abgestellt, mit Ausnahme der Rotationspumpe 209 und des geöffneten Sicherheitsventils 203.

Danach werden die elektromagnetischen Ventile 235 und 241 für Kühlwasser und Luft geschlossen. Nach einer bestimmten Zeit wird auch das Sicherheitsventil 203 geschlossen, womit das Plasmaverfahren bzw. die Plasmabeaarbeitung abgeschlossen ist.

Falls während des Plasmaverfahrens der in der Rohmaterialgasflasche 228 herrschende Druck aus irgendwelchen Gründen abfällt, z. B. wegen des Verbrauchs von Rohmaterialgas, obwohl die vorgegebene Verfahrenszeit nicht abgelaufen ist, wird der Druckschalter 229 der Kontaktreguliereinrichtung 227 betätigt. Dabei wird durch das Steuergerät A mit dem Alarmsummer 230a und der Anzeigetafel 230b eine Bedienungsperson auf den Mangel an Rohmaterialgas aufmerksam gemacht. Wenn der Wert des Vakuums weiter abfällt, schließt das elektromagnetische Ventil 226.

Falls die Kühlwasserversorgung oder die Kühlluftversorgung z. B. durch Wassermangel oder Verdichter-Defekt ausfällt, schließt der Ausfalldetektor 236 oder der Detektor 242 die elektromagnetischen Ventile 235 und 241.

Wenn eines der vorstehend genannten elektromagnetischen Ventile 226, 235 und 241 schließt, erhält das Steuergerät A von dem geschlossenen elektromagnetischen Ventil ein Signal, durch welches der Alarmsummer 230a und die Anzeigetafel 230b eine Bedienungsperson über das Schließen des elektromagnetischen Ventils informieren und die Plasmaverfahrensanlage abgeschaltet wird.

Ein Verfahren zur Beurteilung, ob die zu beschichtenden Gegenstände W durch die Plasmabehandlungsanlage durch das Plasmaverfahren behandelt wurden oder nicht, wird im folgenden mit Bezug auf die Fig. 33 bis 36 erklärt.

Die Fig. 35 und 36 zeigen perspektivisch und in Vorderansicht eine Autostoßstange als Beispiel eines zu beschichtenden Gegenstandes W. Die Oberfläche dieses Gegenstandes W ist Gegenstand der Plasmabehandlung. Die Oberfläche des Gegenstandes W wird aufgeteilt auf eine mit einer bestimmten Farbe, z, B. weiß, zu beschichtende Fläche 161 und eine mit einer beliebigen Farbe zu beschichtende Fläche 162. Beide Flächen 161 und 162 werden durch das Plasmaverfahren behandelt.

Eine Vielzahl von nicht bemalten bzw. nicht beschichteten Flächen 162 des zu bemalenden oder zu beschichtenden Gegenstandes W werden mit einer Flüssigkeitskoeffizienten-Standardflüssigkeit 164 beschichtet und die Plasmaverfahrensbedingung bzw. der Plasmaverfahrenszustand kann durch Beobachtung des Auslaufzustandes der Flüssigkeit an der nicht bemalten oder nicht beschichteten Fläche 162 beurteilt werden.

Nachfolgend wird ein Verfahren zum Aufbringen der Naßkoeffizienten-Standardflüssigkeit 164 erklärt.

Die genannte Naßkoeffizienten-Standardflüssigkeit 164 kann man dadurch zubereiten, daß man in einem bestimmten Verhältnis Ethylenegricol-Monoethylenäther und Holmamid miteinander mischt. Bei der vorliegenden Ausführungsform wurde z. B. eine von WaKo Pure Chemicals CO. LtD. hergestellte Standardflüssigkeit 164 verwendet.

Bei dieser Methode wird ein Baumwollstab in die Naßkoeffizienten-Standardflüssigkeit 164 eingetaucht und die nicht beschichtete Fläche 162 des zu beschichtenden Gegenstandes W wird schnell mit dieser Flüssigkeit überzogen. In diesem Falle ist es erwünscht, die nicht beschichtete Fläche 162 von verschiedenen Teilen des Gegenstandes W auszuwählen, um die Aktivierungszustände des gesamten Gegenstandes W zu erfassen. Der überzogene Bereich beträgt vorzugsweise ungefähr 6 cm².

Im folgenden wird die genannte Diskriminiermethode erklärt. Hierbei wird die Naßkoeffizienten- Standardflüssigkeit 164 auf die Oberfläche aufgebracht. Zwei Sekunden später wird beurteilt, ob an der nicht beschichteten Oberfläche 162 während dieser zwei Sekunden ein Flüssigkeitsauslauf entsteht oder nicht. Im Falle daß kein Flüssigkeitsauslauf entsteht, wie dies in Fig. 33 gezeigt ist, wird daraus diskriminiert bzw. geschlossen, daß das Plasmaverfahren richtig ausgeführt wird. Wenn ein Flüssigkeitsauslauf entsteht, wie dies in Fig. 34 gezeigt ist, wird daraus diskriminiert bzw. geschlossen, in welchem Maße das Plasmaverfahren bzw. die Plasmabehandlung durchgeführt wurde, indem wiederholt Naßkoeffizienten- Standardflüssigkeit 164 mit verschiedenen Mischungsverhältnissen angewendet und die Oberfläche beobachtet wird, wobei ein angemessenes Plasmaverfahren diskriminiert bzw. angenommen wird mit einer Standardflüssigkeit, die eine Oberflächenspannung von 52 dyn/cm² oder mehr hat.

Eine in Fig. 37 dargestellte lineare Charakteristik 165 zeigt die Beziehung zwischen Oberflächenspannung und Kontaktwinkel (mit dem Wasser) durch die Naßkoeffizienten-Standardflüssigkeit 164 des zu beschichtenden Gegenstandes W aus Polypropylenharz nach der Erfindung. Aus dieser Figur ergibt sich, daß sich der Effekt beim Plasmaverfahren zeigt, wenn die Oberfläche eine Oberflächenspannung von 52 dyn/cm² oder mehr hat. Zum Beispiel hat unbearbeitetes Polypropylenharz (CJ944) eine Oberflächenspannung von 31 dyn/cm² bei einer Temperatur von 20°C und einer Feuchtigkeit von 45%.

Man diskriminiert oder unterscheidet nämlich eine ausreichende Plasmabehandlung bzw. ein ausreichendes Plasmaverfahren durch Beobachtung des Auslaufzustandes der Flüssigkeit nach zwei Sekunden nach dem Aufbringen der Naßkoeffizienten-Standardflüssigkeit 164, welche eine Oberflächenspannung von 52 dyn/cm² oder mehr hat.

Diese Diskriminierungsmethode wird im folgenden mehr im einzelnen erklärt. Die genannte nicht beschichtete Oberfläche 162 wird an zehn Stellen frei ausgewählt. Wenn der Auslaufzustand nicht an allen zehn Stellen auftritt, wird daraus diskriminiert bzw. geschlossen, daß das Plasmaverfahren ausgeführt wurde; falls jedoch dieser Zustand selbst an einer Stelle erzeugt wird, wird daraus diskriminiert bzw. geschlossen, daß das Plasmaverfahren unzureichend ist, und der Gegenstand wird erneut dem Verfahren unterworfen. Tabelle 1 zeigt eine Flüssigkeitszusammensetzung der Standardflüssigkeit, welche eine Oberflächenspannung von 52 dyn/cm² hat.

Tabelle 1

Wie oben erklärt wurde, kann der Aktivierungs­ zustand der gesamten Oberfläche des zu beschichtenden Gegenstandes W diskriminiert oder bestimmt werden und man kann durch Beobachtung des Auslaufzustandes der Flüssigkeit an der nicht beschichteten Oberfläche 162 eine Leitlinie der Beschichtungscharakteristik erhalten, so daß der Aktivierungszustand als Diskriminationskriterium für die Aufbringung von Farbe bzw. von Beschichtungsmaterial verwendet werden kann. Da, wie oben erklärt, der Aktivierungsgrad der Oberfläche des durch das Plasmaverfahren zu beschichtenden Gegenstandes W im einzelnen durch die oben erklärte Diskrimination ermittelt werden kann, kann das betreffende Produkt einer Qualitätskontrolle durch visuelle Beobachtung unterzogen werden, indem die Standardflüssigkeit auf einfache Weise mit einem Baumwollstab aufgebracht wird. Dadurch kann der Wirkungsgrad des Plasmaverfahrens erhöht werden und es kann vermieden werden, daß unbehandelte Gegenstände einem nächsten Beschichtungsprozeß unterworfen werden.

Die genannte Autostoßstange, die bei der vorstehend beschriebenen Diskriminationsmethode als zu beschichtender Gegenstand W verwendet wurde, kann selbstverständlich durch jede Art von nicht polaren Kunstharzprodukten ersetzt werden, welche beschichtet werden müssen, z. B. durch Polyethylen, z. B. Schutzbleche, seitliche Trittbretter, Spoiler usw.

Claims (15)

1. Anlage zur Plasmabehandlung von zu beschichtenden Gegenständen (W) aus Kunstharz,

• a) mit einer Behandlungskammer (1; 101; 131; 201), welche die Gegenstände (W) während der Plasmabehandlung aufnimmt,
• b) mit einem Einlaß (33; 103; 218) zum Einleiten von Plasmagas in die Behandlungskammer,

dadurch gekennzeichnet,

• c) daß eine Tragvorrichtung (6; 111; 214) vorgesehen ist, welche wahlweise in die Behandlungskammer einfahrbar und ausfahrbar ist,
• d) daß die Tragvorrichtung (6; 111; 214) einen um eine horizontale Drehachse drehbaren Drehkörper (8) aufweist, an welchem eine Vielzahl von Hängevorrichtungen (23; 116) schwenkbar aufgehängt sind, welche die Gegenstände (W) tragen,
• e) daß eine Antriebsvorrichtung (13, 15, 18; 121-125; 216, 217) mit einem Motor (18) zum Drehen des Drehkörpers (8) vorgesehen ist, wenn sich die Tragvorrichtung (6; 111; 214) in der Behandlungskammer (1; 101; 131; 201) befindet, und
• f) daß der Einlaß zum Einleiten von Plasmagas durch mindestens eine Plasmainjektionsleitung (33; 103; 218) gebildet ist, welche in der Behandlungskammer (1; 101; 131; 201) vorgesehen ist und auf den zu beschichtenden Oberflächen der Gegenstände (W) durch darauf gerichtete Injektion von Plasmagas eine Plasmabehandlung ausführt.

2. Anlage zur Plasmabehandlung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine drehzahlveränderliche Antriebsvorrichtung (18; 122; 217) zum Antrieb der Rotations-Tragvorrichtung (6; 111; 214) mit einer Drehzahl entsprechend der Größe und Anzahl der zu beschichtenden Gegenstände.

3. Anlage zur Plasmabehandlung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotations-Tragvorrichtung (6; 111; 214) in die Behandlungskammer (1; 101; 131; 201) hinein und aus dieser herausbewegbar ist, daß ein Wagen (38) zum Tragen und Verfahren der Tragvorrichtung vorgesehen ist, welcher gegenüber einem Eingang und Ausgang (2) der Behandlungskammer angeordnet ist, und daß eine Drehvorrichtung (59) vorgesehen ist, welche jeweils dann mit der Rotations-Tragvorrichtung gekuppelt ist, um sie beim Laden und Entladen der Hängevorrichtungen mit Gegenständen zu drehen, wenn sich die Rotations-Tragvorrichtung auf dem Wagen (38) befindet.

4. Anlage zur Plasmabehandlung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Verriegelungseinrichtung (43, 45, 47, 49) zur lösbaren Verriegelung des Wagens (38) gegenüber der Behandlungskammer (1) zwischen dem Wagen und der Behandlungskammer vorgesehen ist.

5. Anlage zur Plasmabehandlung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Rotations-Tragvorrichtung (6) an einem Tragrahmen (7) drehbar gelagert ist, der mit Rädern (9) auf beiden Seiten versehen ist, und daß die Behandlungskammer (1) und der Wagen (38) mit Schienen (5 bzw. 41) versehen sind, welche miteinander verbindbar sind und auf welchen die genannten Räder (9) laufen.

6. Anlage zur Plasmabehandlung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Hängevorrichtungen (23; 116) jeweils ein Paar mit Abstand voneinander angeordnete Trägerelemente (25) haben, die jeweils mit ihrem oberen Teil drehbar an einem von zwei mit axialem Abstand voneinander angeordneten Drehkörpern (8) der Rotations-Tragvorrichtung (6; 111; 214) gelagert sind, daß ferner die unteren Enden der Trägerelemente eines jeden Paares jeweils durch eine Verbindungsstange (28) miteinander verbunden sind, und daß von der Verbindungsstange eine Vielzahl von Stützelementen (30) zum Tragen der zu beschichtenden Gegenstände wegragt.

7. Anlage zur Plasmabehandlung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, gekennzeichnet durch
mindestens eine Plasmainjektionsleitung (33; 103; 218), welche in der Behandlungskammer vorgesehen ist und auf den zu beschichtenden Gegenständen (W) durch Injektion von Plasmagas eine Plasmabehandlung ausführt,
eine erste Abzugsöffnung (102) zur Reduzierung des Druckes in der Behandlungskammer, und
eine zweite Abzugsöffnung (106) in der Behandlungskammer (101) an einer der Plasmainjektionsleitung (103), vorzugsweise im wesentlichen diametral, gegenüberliegenden Stelle zum Abzug und zur Einstellung des Versorgungsgases während der Irradiation von Plasma.

8. Anlage zur Plasmabehandlung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine an die erste Abzugsöffnung (102) angeschlossene Abzugsleitung (102b) über eine Bypass- Leitung (106b) an die zweite Abzugsöffnung (106) angeschlossen ist, und daß die Bypass-Leitung (106b) mit einem Gasströmungsmengen-Steuerventil (106a) versehen ist.

9. Anlage zur Plasmabehandlung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Plasmainjektionsleitung (103) länger ist als die Länge der zu beschichtenden Gegenstände, daß am Umfang der Injektionsleitung eine Vielzahl von Injektionsöffnungen (105, 105a, 105b) gebildet ist, daß die Injektionsöffnungen (105, 105a, 105b) beidseitig der Mitte der Plasmainjektionsleitung (103), bezüglich deren Längsrichtung, gebildet sind, und daß die Abstände der Injektionsöffnungen zu dem Endabschnitt der Injektionsleitung hin stufenweise kleiner werden, während die Innendurchmesser der Injektionsöffnungen fortlaufend größer werden.

10. Anlage zur Plasmabehandlung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß viele der Injektionsöffnungen (105a) längs der Außenfläche der Injektionsleitung in eine Richtung weisen, die gegenüber einer Vertikalebene (S1) um einen bestimmten Winkel (R1) geneigt ist, und daß andere (105b) der Injektionsöffnungen in eine Richtung weisen, die um einen bestimmten Winkel (R2) in entgegengesetzter Richtung zu der Vertikalebene geneigt ist, daß diese beiden Arten von Injektionsöffnungen (105a, 105b) wechselweise zueinander angeordnet sind, und daß die bestimmten Winkel (R1, R2) im Bereich zwischen 25° bis 35° liegen.

11. Anlage zur Plasmabehandlung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere Plasmainjektionsleitungen (103a, 103b, 103c, Fig. 20) vorgesehen sind.

12. Anlage zur Plasmabehandlung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, gekennzeichnet durch
einen Abgabe- bzw. Entladungssensor, welcher an einer Stelle angeordnet ist, wo durch ein Plasmaerzeugungsgerät mit der Erzeugung von Plasma Licht, Wärme und Ozon erzeugt werden, und durch
ein an den Abgabe- bzw. Entladungssensor angeschlossenes Anzeigegerät.

13. Anlage zur Plasmabehandlung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, gekennzeichnet durch
einen Fühler an einer Stelle, wo ein Kühlfluid und Rohmaterialgas für das Plasmaverfahren einem Plasmaerzeugungsgerät zugeführt werden, zur Ermittlung eines Unterdruckes des Rohmaterialgases und/oder zur Unterbrechung der Strömung von Kühlfluid, durch
ein Steuergerät (A), welches den Betrieb der Plasmaverfahrensanlage in Abhängigkeit von der vom Sensor ermittelten Betriebssituation abschaltet, und durch
eine Alarmeinrichtung (230) zur Meldung einer Betriebsunterbrechung durch das Steuergerät an eine Bedienungsperson.

14. Anlage zur Plasmabehandlung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß in der Behandlungskammer (1; 101; 131; 201) ein Druckfühler zur Ermittlung des Unterdruckes des Rohmaterialgases vorgesehen ist.