JPS6128531A - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置Info
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- JPS6128531A JPS6128531A JP15023384A JP15023384A JPS6128531A JP S6128531 A JPS6128531 A JP S6128531A JP 15023384 A JP15023384 A JP 15023384A JP 15023384 A JP15023384 A JP 15023384A JP S6128531 A JPS6128531 A JP S6128531A
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- Japan
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- workpiece
- pair
- plasma processing
- plasma
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- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
- B05B7/16—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed
- B05B7/22—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed electrically, magnetically or electromagnetically, e.g. by arc
- B05B7/222—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas incorporating means for heating or cooling the material to be sprayed electrically, magnetically or electromagnetically, e.g. by arc using an arc
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B13/00—Machines or plants for applying liquids or other fluent materials to surfaces of objects or other work by spraying, not covered by groups B05B1/00 - B05B11/00
- B05B13/02—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work
- B05B13/0221—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work characterised by the means for moving or conveying the objects or other work, e.g. conveyor belts
- B05B13/0242—Means for supporting work; Arrangement or mounting of spray heads; Adaptation or arrangement of means for feeding work characterised by the means for moving or conveying the objects or other work, e.g. conveyor belts the objects being individually presented to the spray heads by a rotating element, e.g. turntable
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
- C23C4/134—Plasma spraying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
- C23C4/137—Spraying in vacuum or in an inert atmosphere
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2031/00—Other particular articles
- B29L2031/30—Vehicles, e.g. ships or aircraft, or body parts thereof
- B29L2031/3044—Bumpers
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- Organic Chemistry (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の目的
（産業上の利用分野）
この発明は、タンク内に収容された回虻支持台上の複数
個のハンガーに合成樹脂製のバンパー等の被加工物を支
持し、タンク内に設けられたプラズマ噴射管から噴射さ
れるプラズマガスによって被加工物の表面にプラズマ処
理を施し、その被加工物の表面に塗料を付着し易くする
プラズマ処理装置に関するものである。
個のハンガーに合成樹脂製のバンパー等の被加工物を支
持し、タンク内に設けられたプラズマ噴射管から噴射さ
れるプラズマガスによって被加工物の表面にプラズマ処
理を施し、その被加工物の表面に塗料を付着し易くする
プラズマ処理装置に関するものである。
（従来の技術）
この発明に対応する従来技術は見受けられない。
（発明が解決しようとする問題点）
この種のプラズマ処理装置においては、ノ飄ンガ−が檗
なる板状のものであると、被加工物がハンガー上で妄動
するおそれがある。又、これを防止するためにハンガー
の両側縁に移動限１北用の突壁等を設けることも考えら
れるが、このように構成した場合には、被加工物の両側
部の表面が前記ハフ カーの突壁にて遮蔽されて、プラ
ズマガス力被加工物の端部等まで効果的に噴射されず、
被加工物の表面全体にわたって均一なプラズマガスが施
されないという問題点がある。
なる板状のものであると、被加工物がハンガー上で妄動
するおそれがある。又、これを防止するためにハンガー
の両側縁に移動限１北用の突壁等を設けることも考えら
れるが、このように構成した場合には、被加工物の両側
部の表面が前記ハフ カーの突壁にて遮蔽されて、プラ
ズマガス力被加工物の端部等まで効果的に噴射されず、
被加工物の表面全体にわたって均一なプラズマガスが施
されないという問題点がある。
発明の構成
（問題点を解決するための手段ン
この発明は、前記のような問題点に着目してなされたも
のでちって、被加工物をハンガー上に妄動するおそれも
なく安定状態で支持することができ、しかもタンク内に
自動車用バンパー等の大型の被加工物を多数収容してプ
ラズマ処理を行う場ばにも、被加工物の表面が・・ンガ
ーにて遮蔽されることなく、その被加工物の端部等まで
プラズマガスが効果的に行き渡り、被加工物の表面全体
にわたって均一なプラズマ処理を施すことができるよう
にしたものである。
のでちって、被加工物をハンガー上に妄動するおそれも
なく安定状態で支持することができ、しかもタンク内に
自動車用バンパー等の大型の被加工物を多数収容してプ
ラズマ処理を行う場ばにも、被加工物の表面が・・ンガ
ーにて遮蔽されることなく、その被加工物の端部等まで
プラズマガスが効果的に行き渡り、被加工物の表面全体
にわたって均一なプラズマ処理を施すことができるよう
にしたものである。
そこで、まずこの発明のプラズマ処理装置の概要を説明
すると、このプラズマ処理装置においては、タンク１内
に回転支持台６が収容され、その回転支持台６上には合
成樹脂製の自動車用バンパー等の被加工物Ｗを支持する
ための複数個の・・ンガー２３が相対回転可能に設けら
れている。タンク１内にはプラズマ噴射管２６が配設さ
れ、前記回転支持台６が回転されながら、このプラズマ
噴射管２６から被加工物Ｗに酸素等のプラズマガスが噴
射されて、被加工物Ｗの表面にプラズマ処理が施される
ようになっている。
すると、このプラズマ処理装置においては、タンク１内
に回転支持台６が収容され、その回転支持台６上には合
成樹脂製の自動車用バンパー等の被加工物Ｗを支持する
ための複数個の・・ンガー２３が相対回転可能に設けら
れている。タンク１内にはプラズマ噴射管２６が配設さ
れ、前記回転支持台６が回転されながら、このプラズマ
噴射管２６から被加工物Ｗに酸素等のプラズマガスが噴
射されて、被加工物Ｗの表面にプラズマ処理が施される
ようになっている。
そして、前記各ハンガー２３は、上端部において回転支
持台６に相対回転可能に支持された左右一対の側板２１
等の支持部と、両側板２７の下端部間に架設された連結
杆３０と、被加工物Ｗを下方から支持するように連結杆
３０上に突設された複数個の支持突片３２，３３とより
構成されている。
持台６に相対回転可能に支持された左右一対の側板２１
等の支持部と、両側板２７の下端部間に架設された連結
杆３０と、被加工物Ｗを下方から支持するように連結杆
３０上に突設された複数個の支持突片３２，３３とより
構成されている。
（作用）
従って、このプラズマ処理装置において、ノ・メガ−２
３上に自動車用バンパー等の被加工物Ｗを載置すれば、
複数個の支持突片３２，３３が被加工物Ｗの下面に係合
して、被加工物Ｗはノ・メガ−２３上に安定状態で支持
される。そして、この状態において、被加工物Ｗの表面
が遮蔽されることなくその端部等まで効果的にプラズマ
ガスにさらされ、被加工物Ｗの表面全体にわたって均一
なプラズマ処理が施される。
３上に自動車用バンパー等の被加工物Ｗを載置すれば、
複数個の支持突片３２，３３が被加工物Ｗの下面に係合
して、被加工物Ｗはノ・メガ−２３上に安定状態で支持
される。そして、この状態において、被加工物Ｗの表面
が遮蔽されることなくその端部等まで効果的にプラズマ
ガスにさらされ、被加工物Ｗの表面全体にわたって均一
なプラズマ処理が施される。
（実施例）
以下、この発明を具体化したプラズマ処理装置の一実施
例を図面に従って詳細に説明する。′さて、この実施例
のプラズマ処理装置のタンク１は第１図に示すようにそ
の一側端に出入口２を備え、その出入口２にはのぞき窓
３を有する蓋体４が開閉可能に取着されている。夕／り
１内の底部には一対のレール５が所定間隔をおいて配設
され、タンク１内のほぼ全長にわたって延びている。
例を図面に従って詳細に説明する。′さて、この実施例
のプラズマ処理装置のタンク１は第１図に示すようにそ
の一側端に出入口２を備え、その出入口２にはのぞき窓
３を有する蓋体４が開閉可能に取着されている。夕／り
１内の底部には一対のレール５が所定間隔をおいて配設
され、タンク１内のほぼ全長にわたって延びている。
前記タンク１内に出入可能に収容されるように、レール
５上には回転支持台６が移動可能に支持されでいる。第
１〜３図て示すようにその回転支持台６は支持フレーム
７と、その支持フレーム７上に水平軸線の周りで回転可
能に支持された回転体Ｂとより構成され、支持フレーム
７の下部両側には前記レール５に沿って転動する複数個
の車輪９が回転可能に堆けけられている。そして、前記
回転体８は中央の回転軸１０と、羊の回転軸１０の両端
近傍に固定された左右一対の回転円盤１１とより構成さ
れている。
５上には回転支持台６が移動可能に支持されでいる。第
１〜３図て示すようにその回転支持台６は支持フレーム
７と、その支持フレーム７上に水平軸線の周りで回転可
能に支持された回転体Ｂとより構成され、支持フレーム
７の下部両側には前記レール５に沿って転動する複数個
の車輪９が回転可能に堆けけられている。そして、前記
回転体８は中央の回転軸１０と、羊の回転軸１０の両端
近傍に固定された左右一対の回転円盤１１とより構成さ
れている。
第１〜３図に示すように前記支持フレーム７の外側にお
いて、回転軸１０の右端には歯車１２が固定されるとと
もに左端にはスプロケットホイール１３が固定されてい
る。そのスプロケットホイール１３と対応して支持フレ
ーム７の左側板にはスズロケットホイール１４及び歯車
１５が支軸１６により一体回転可能に支持され、両スプ
ロケントホイール１３．１４間にはチェーン１７が掛装
されている。前記タンク１の外側にはモータ１Ｂが支持
板１９を介して配設支持され、そのモータ軸２０が軸受
筒２１を介してタンク１内に突出している。そして、こ
のモータ軸２０の内端には歯車２２が固定され、夕／り
１内への回転支持台６の出入れに伴って支持フレームＴ
上の歯車１５に保合離脱するようになっている。
いて、回転軸１０の右端には歯車１２が固定されるとと
もに左端にはスプロケットホイール１３が固定されてい
る。そのスプロケットホイール１３と対応して支持フレ
ーム７の左側板にはスズロケットホイール１４及び歯車
１５が支軸１６により一体回転可能に支持され、両スプ
ロケントホイール１３．１４間にはチェーン１７が掛装
されている。前記タンク１の外側にはモータ１Ｂが支持
板１９を介して配設支持され、そのモータ軸２０が軸受
筒２１を介してタンク１内に突出している。そして、こ
のモータ軸２０の内端には歯車２２が固定され、夕／り
１内への回転支持台６の出入れに伴って支持フレームＴ
上の歯車１５に保合離脱するようになっている。
第１，２図に示すように前記回転支持台６の両回転円盤
１１間には複数個のハンガー２３がその左右両側板の上
端部において支軸２４により相対回転可能に支持され、
その上部に合成樹脂製の自動車用バンパー等の被加工物
Ｗを支持できるようになっている。その被加工物Ｗと対
応するように前記タンク１の内周面πは、その円周方向
にほぼ等角１度間隔をおいて位置する複数のライン（実
施例では９０度の角度間隔をおいて位置する４つのライ
ン）上において、それぞれ複数個の支持金具２５が突設
され、任意の−又は複数のライン上の支持金具２５には
外周に多数の噴射口（図示しない）を有するプラズマ噴
射管２６が支持されている。そして、このプラズマ噴射
管２６の噴射口かラタンク１内へ酸素等のプラズマガス
が噴射され、ハンガ、−２３内の被加工物Ｗの表面にプ
ラズマ処理が施されるようになっている。
１１間には複数個のハンガー２３がその左右両側板の上
端部において支軸２４により相対回転可能に支持され、
その上部に合成樹脂製の自動車用バンパー等の被加工物
Ｗを支持できるようになっている。その被加工物Ｗと対
応するように前記タンク１の内周面πは、その円周方向
にほぼ等角１度間隔をおいて位置する複数のライン（実
施例では９０度の角度間隔をおいて位置する４つのライ
ン）上において、それぞれ複数個の支持金具２５が突設
され、任意の−又は複数のライン上の支持金具２５には
外周に多数の噴射口（図示しない）を有するプラズマ噴
射管２６が支持されている。そして、このプラズマ噴射
管２６の噴射口かラタンク１内へ酸素等のプラズマガス
が噴射され、ハンガ、−２３内の被加工物Ｗの表面にプ
ラズマ処理が施されるようになっている。
次に、この発明の主要部の構成について説明すると、第
１．ｊ、４図に示すようにこの実施例における各ハンガ
ー２３はその左右両側て支持部としての一対の側板２７
を備え、その上端部において支軸２４により回転支持台
６の回転円盤１１内面に相対回転可能に支持されている
。そして各側板２７の下部中央には切欠窓２８が形成さ
れ、その切欠窓２８にはプラズマガスの通過を許容する
ネント２９が張設されている。
１．ｊ、４図に示すようにこの実施例における各ハンガ
ー２３はその左右両側て支持部としての一対の側板２７
を備え、その上端部において支軸２４により回転支持台
６の回転円盤１１内面に相対回転可能に支持されている
。そして各側板２７の下部中央には切欠窓２８が形成さ
れ、その切欠窓２８にはプラズマガスの通過を許容する
ネント２９が張設されている。
前記左右一対の側板２７の下端顔前縁間Ｖｃは１本の棒
材よりなる連結杆３ｏが架設されている。
材よりなる連結杆３ｏが架設されている。
第４図に示すようにその連結杆３ｏの左右両端には゛、
連結杆３０から後方に向かって延ひる支持部３１Ｂと、
その支持部３１ａの後端から側板２７の下端部後縁に向
かって横力向疋延びる連結部３１ｂと、前記支持部３１
ａの後端から連結杆３゜に向かって内側前方へ斜伏に延
ひる補強部３１０とよりなる補強枠３１が設けられてい
る。
連結杆３０から後方に向かって延ひる支持部３１Ｂと、
その支持部３１ａの後端から側板２７の下端部後縁に向
かって横力向疋延びる連結部３１ｂと、前記支持部３１
ａの後端から連結杆３゜に向かって内側前方へ斜伏に延
ひる補強部３１０とよりなる補強枠３１が設けられてい
る。
その補強枠３１の支持部３ｉａ上には前後一対の端縁支
持突片３２が突設され、その上端には自動車用バンパー
等の被加工物Ｗをその左端及び右端部の前後両端縁にお
いて下方から支持するための支持部３２ａが内側下方に
向かって折曲形成さレテいる。又１．Ａの端縁支持突片
３２間において補強枠３１の支持部３１ａ上には中央支
持突片３３が突設され、その上端には被加工物Ｗをその
左端及び右端部の前後中央において下方から支持するた
めの支持＠３３ａが、前記端縁支持突片３２の支持部３
２Ｂよりも高い位置において内側下方に向かい折曲形成
されており、その支持部３３ａの前端が前記連結杆３０
に結合されている。
持突片３２が突設され、その上端には自動車用バンパー
等の被加工物Ｗをその左端及び右端部の前後両端縁にお
いて下方から支持するための支持部３２ａが内側下方に
向かって折曲形成さレテいる。又１．Ａの端縁支持突片
３２間において補強枠３１の支持部３１ａ上には中央支
持突片３３が突設され、その上端には被加工物Ｗをその
左端及び右端部の前後中央において下方から支持するた
めの支持＠３３ａが、前記端縁支持突片３２の支持部３
２Ｂよりも高い位置において内側下方に向かい折曲形成
されており、その支持部３３ａの前端が前記連結杆３０
に結合されている。
従って、このように構成されたプラズマ処理装置におい
て、ハンガー２３上に自動車用バンパー等７の被加工物
Ｗを載置した場合、連結杆３０両端の補強杆３１上に設
けられた複数個の支持突片３２．３３の上端支持部３２
ａ、３３ａが被加工物Ｗの下面にそれぞれ係合し、被加
工物Ｗはハンガー２３上において下方から安定状態で支
持される。
て、ハンガー２３上に自動車用バンパー等７の被加工物
Ｗを載置した場合、連結杆３０両端の補強杆３１上に設
けられた複数個の支持突片３２．３３の上端支持部３２
ａ、３３ａが被加工物Ｗの下面にそれぞれ係合し、被加
工物Ｗはハンガー２３上において下方から安定状態で支
持される。
そして、この状態においては、被加工物Ｗの表面に遮蔽
物が全く存在しないため、プラズマ噴射管２６から噴射
されるプラズマガスが被加工物Ｗに対してむらなく効果
的九行き渡り、被加工物Ｗの表面全体にわたって均一な
プラズマ処理が施される。
物が全く存在しないため、プラズマ噴射管２６から噴射
されるプラズマガスが被加工物Ｗに対してむらなく効果
的九行き渡り、被加工物Ｗの表面全体にわたって均一な
プラズマ処理が施される。
なお、この発明は前記実施例の構成に限定されるもので
はなく、例えば支持部２７として板状、棒状、網状、格
子状等のものを使用したり、この発明の趣旨から逸脱し
ない範囲で各部の構成を任意に変更して具体化すること
も可能である。
はなく、例えば支持部２７として板状、棒状、網状、格
子状等のものを使用したり、この発明の趣旨から逸脱し
ない範囲で各部の構成を任意に変更して具体化すること
も可能である。
発明の効果
以上詳述したようにこの発明は、被加工物をハンガー上
に妄動するおそれもなく安定状態で支持することができ
、しかもタンク内に自動車用バンパー等の大型の被加工
物を多数収容してプラズマ処理を行う場合にも、被加工
物の表面がハンガーにて遮蔽されることなく、その被加
工物の端部等までプラズマガスが効果的に行き渡り、被
加工物の表面全体にわたって均一なプラズマ処理を施す
ことができるという優れた効果を奏する。
に妄動するおそれもなく安定状態で支持することができ
、しかもタンク内に自動車用バンパー等の大型の被加工
物を多数収容してプラズマ処理を行う場合にも、被加工
物の表面がハンガーにて遮蔽されることなく、その被加
工物の端部等までプラズマガスが効果的に行き渡り、被
加工物の表面全体にわたって均一なプラズマ処理を施す
ことができるという優れた効果を奏する。
第１図はこの発明を具体化したプラズマ処理装置の縦断
面図、第２図は同装置の斜視図、第３図は同じく部分拡
大側断面図、第４図はノ・／ガーの部分拡大斜視図であ
る。 図において、１はタンク、６は回転支持台、７は支持フ
レーム、８は回転体、２３は・・ンガー、２６はプラズ
マ噴射管、２７は側板、３０は連結杆、３２．３３は支
持突片である。
面図、第２図は同装置の斜視図、第３図は同じく部分拡
大側断面図、第４図はノ・／ガーの部分拡大斜視図であ
る。 図において、１はタンク、６は回転支持台、７は支持フ
レーム、８は回転体、２３は・・ンガー、２６はプラズ
マ噴射管、２７は側板、３０は連結杆、３２．３３は支
持突片である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ タンク（１）内に収容された回転支持台（６）上の
複数個のハンガー（２３）に合成樹脂製のバンパー等の
被加工物（Ｗ）を支持し、タンク（１）内に設けられた
プラズマ噴射管（２６）からプラズマガスを噴射して、
被加工物（Ｗ）の表面にプラズマ処理を施すようにした
プラズマ処理装置において、 前記ハンガー（２３）を、上端部において回転支持台（
６）に相対回転可能に支持された一対の対向する支持部
（２７）と、両支持部（２７）の下端部間に架設された
連結杆（３０）と、前記バンパー等の被加工物（Ｗ）を
下方から支持するように連結杆（３０）上に突設された
複数個の支持突片（３２、３３）とより構成したことを
特徴とするプラズマ処理装置。 ２ 前記回転支持台（６）は支持フレーム（７）とその
支持フレーム（７）に回転可能に支持されかつ一対の回
転円盤（１１）を有する回転体（８）とより構成され、
前記ハンガー（２３）は回転体（８）の両回転円盤（１
１）間に相対回転可能に支持されている特許請求の範囲
第１項に記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15023384A JPS6128531A (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | プラズマ処理装置 |
| DE19853520924 DE3520924A1 (de) | 1984-06-12 | 1985-06-11 | Plasmaverfahrensanlage |
| KR1019850004094A KR870001171B1 (ko) | 1984-06-12 | 1985-06-11 | 플라즈마 처리장치 |
| CA000483614A CA1249926A (en) | 1984-06-12 | 1985-06-11 | Plasma processing apparatus |
| US06/744,061 US4668479A (en) | 1984-06-12 | 1985-06-12 | Plasma processing apparatus |
| AU43492/85A AU565026B2 (en) | 1984-06-12 | 1985-06-12 | Plasma processing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15023384A JPS6128531A (ja) | 1984-07-19 | 1984-07-19 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6128531A true JPS6128531A (ja) | 1986-02-08 |
| JPH0312573B2 JPH0312573B2 (ja) | 1991-02-20 |
Family
ID=15492459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15023384A Granted JPS6128531A (ja) | 1984-06-12 | 1984-07-19 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6128531A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6223822A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-01-31 | Aisin Warner Ltd | ４輪駆動用自動変速機 |
| US5148903A (en) * | 1988-07-28 | 1992-09-22 | Fuji Jukogyo Kabushiki Kaisha | Power transmission system for a four-wheel drive motor vehicle |
| US5234091A (en) * | 1988-07-28 | 1993-08-10 | Fuji Jukogyo Kabushiki Kaisha | Power transmission system for a four-wheel drive motor vehicle |
| CN105032657A (zh) * | 2015-07-24 | 2015-11-11 | 上海卫星装备研究所 | 一种大型卫星框架喷漆翻身装置 |
| CN106179848A (zh) * | 2016-08-27 | 2016-12-07 | 周丐社 | 一种五金制作用门锁高效喷漆装置 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9134370B2 (en) | 1999-11-23 | 2015-09-15 | Mentor Graphics Corporation | Continuous application and decompression of test patterns and selective compaction of test responses |
| JP4532693B2 (ja) * | 2000-08-02 | 2010-08-25 | 安斎 節 | 気体供給管内の異物検出装置 |
| CN101405609B (zh) | 2006-02-17 | 2012-11-14 | 明导公司 | 多级测试响应压缩器 |
-
1984
- 1984-07-19 JP JP15023384A patent/JPS6128531A/ja active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS6223822A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-01-31 | Aisin Warner Ltd | ４輪駆動用自動変速機 |
| JPS6336970B2 (ja) * | 1985-11-20 | 1988-07-22 | Aishin Ei Daburyu Kk | |
| US5148903A (en) * | 1988-07-28 | 1992-09-22 | Fuji Jukogyo Kabushiki Kaisha | Power transmission system for a four-wheel drive motor vehicle |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0312573B2 (ja) | 1991-02-20 |
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