DE3519190C2 - Meßlichtprojektor für ein Spektralmeßgerät - Google Patents

Meßlichtprojektor für ein Spektralmeßgerät

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Ernst 6000 Frankfurt Schumacher
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Schumacher Kg, 6000 Frankfurt
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    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
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DE19734059B4 (de) * 1996-08-20 2007-01-11 Ims-Ionen Mikrofabrikations Systeme Ges.M.B.H. Anordnung für Schattenwurflithographie

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