DE3509512C2 - - Google Patents

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DE3509512C2
DE3509512C2 DE19853509512 DE3509512A DE3509512C2 DE 3509512 C2 DE3509512 C2 DE 3509512C2 DE 19853509512 DE19853509512 DE 19853509512 DE 3509512 A DE3509512 A DE 3509512A DE 3509512 C2 DE3509512 C2 DE 3509512C2
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DE
Germany
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light beam
workpiece
deflecting mirror
carriage
mirror
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DE19853509512
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German (de)
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Other versions
DE3509512A1 (de
Inventor
Bernhard Dr. 7820 Titisee-Neustadt De Dischler
Peter Dr. 7809 Denzlingen De Koidl
Franz 7800 Freiburg De Pohl
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE19853509512 1985-03-16 1985-03-16 Vorrichtung zur interferometrischen pruefung der optischen homogenitaet von transparenten plattenfoermigen werkstuecken Granted DE3509512A1 (de)

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