DE2724121B2 - Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen von Defekten in einer zur Informationsspeicherung dienender Spiralrille - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie auf eine Vorrichtung zum Durchführen dieses Verfahrens.

Das hier beschriebene Verfahren eignet sich für die optische Inspektion der Spiralrillen z. B. einer Bildplatte des in der US-PS 38 42 194 beschriebenen Typs in den verschiedenen Stadien ihrer Herstellung beginnend mit der Anfertigung der Matrize bis hin zum Vervielfältigungsprozeß, d. h. sowohl vor der Verwendung der Rille als Informationsspur als auch nach dem Einschreiben der Information. Während jedes der verschiedenen Herstellungsvorgänge können sich Schäden der Aufzeichnungsrille einstellen, die wegen der für Bildplatten typischen Feinheit der Rillenstruktur (z. B. 2187 Windungen je cm) schwer nachzuweisen sind. Typische Unebenheiten oder Unregelmäßigkeiten, die sich mit der hier beschriebenen Nachweismethode während der Plattenherstellung aufspüren lassen, sind z. B. Anfraß, Flecken, Kratzer, Grat- und Beschichtungsfehler.

An sich, nämlich zum Messen von Fehlstellen in Dichtungen an zylindrischen Flaschenverschlüssen od. dgl. ist es bekannt (DE-OS 24)5 592), auf einen ausreichend großen Bereich des Verschlusses einen Lichtstrahl zu richten, der auf einen Punkt jenseits der Oberfläche des Bereiches konvergiert, und dessen Achse so orientiert ist, daß sie nicht parallel und in einem bestimmten Winkel zur Mittelachse des Verschlusses in einer Ebene verläuft, welche die Oberfläche längs eines Radius schneidet. Die Oberfläche wird von einer Antriebseinrichtung gedreht, während ein Lichtdetektor mit einer photoempfindlichen Fläche und mit einer dieser nachgeschalteten Anordnung auf das Vorhandensein eines Defektes anspricht. Zur Feststellung von Fehlern in der spiralförmigen Rille einer Informationsspeicherplatte ist dieses bekannte Verfahren ungeeignet.

Aus der US-PS 37 83 296 ist es ferner an sich bekannt, zum Prüfen der offenen Maschen eines Gewebes, Gewirks od. dgl. Beugungsuntersuchungen durchzuführen. Während derjenige Lichtanteil, der bei einer Beleuchtung von fehlerfreien Werkstückbereichen gebeugt wird, abgeblendet wird, stellt man fest, ob Licht in einem Bereich vorhanden ist, der den abgebildeten Bereich umgibt. Die zu prüfende Gewebebahn od. dgl. wird abgetastet, indem man zwischen ihr und dem abtastenden Lichtstrahl sowohl eine Translationsbewegung in ßahnrichtung als auch eine zweite Translationsbewegung quer dazu erzeugt, um eine mehr oder

weniger vollständige zickzackförmige Abtastung zu erreichen. Die Prüfung beruht auf der Feststellung, ob das durch Beugen an der Gitterstruktur des Gewebes oder Gewirks erzeugte Flächenbild mit ein«ir unter oder (bei Verwendung eines Spiegels) über dem Gitter befindlichen Maske übereinstimmt, auf der das entsprechende Bild eines einwandfreien Stoi fes fotografisch aufgebracht ist Die extrem kleinen Fehler etwa einer Videoplattenrille lassen sich so aber kaum feststellen.

Schließlich ist es zur Prüfung einer Turbinenscheibe mit Ultraschall an sich bekannt, die Prüfsonde radial über der sich drehenden Scheibe zu verschieben (J. u. H. Krautkrämer, »Werkstoffprüfung mit Ultraschall«, 1966, S. 295 bis 296).

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein r, Verfahren der genannten Art sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens anzugeben, welche trotz der insbesondere für Bildplatten typischen Feinheit der Rillenstruktur ein sicheres u"d schnelles Feststellen von Fehlern (z. B. Anfraß, Flecken, Kratzer, Grat- und Beschichtungsfehler) in den Aufzeichnungsrillen ermöglichen.

Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der Ansprüche 1 bzw. 2 gelöst

Die Erfindung hat den zusätzlichen Vorteil, daß die 2> Erfassung von Defekten auch dann möglich ist, wenn die Plattenoberfläche nicht exakt flach, sondern z. B. geworfen ist und nicht stets die gleiche Länge relativ zum einfallenden Lichtstrahl hat Dieser Vorteil ergibt sich dann, wenn vor dem Abblenden des Lichtanteils, der bei Beleuchtung von defektfreien Bereichen uer gerillten Oberfläche in der nullten Ordnung gebeugt wird, ein Teil dieses Lichtes abgezweigt und dessen Zentrierung in der Mitte eines Fotodetektors festgestellt wird, wobei bei einer Abweichung von der 3-, Mittenzentrierung eine Strahlumlenkanordnung für den auf die Platte einfallenden Lichtstrahl derart gesteuert werden kann, da3 die Mittenzentrierung wieder erreicht wird.

Bei dem im folgenden anhand der Zeichnung beschriebenen Ausführungsbeispiel der Erfindung bildet der beleuchtete Teil der Rillenwindungen praktisch ein Beugungsgitter, das (beim Fehlen von Defekten) gleichförmig ist. Die Wirkung des Beugungsgitters auf das von der gerillten Oberfläche reflektierte Licht besteht darin, daß ein Kegel aus unabgelenktem, in nullter Ordnung (0. Ordnung) gebeugtem Licht gebildet wird, der an einrr gegebenen Stelle in einer von der gerillten Oberfläche beabstandeten Ebene konvergiert, sowie weitere Kegel aus in höheren Beugungsanordnungen abgelenktem Licht, die an zusätzlichen Stellen in der besagten Ebene und im Abstand von der gegebenen Stelle konvergieren. Ein Fotodetektor ist so angeordnet, daß seine fotoempfindliche Fläche außerhalb der Wege der Beugungslichtkegel höherer Ordnungen liegt, sich jedoch in Deckung mit dem Beugungslichtkegel der nullten Ordnung befindet. Ein Teil der fotoempfindlichen Fläche, auf die das Licht der nullten Beugungsordnung sonst fallen würde, ist gegenüber diesem Lichteinfall durch eine im Weg des Beugungskegels nullter Ordnung eingebrachte Lichtsperre abgeschirmt.

Zwischen der gerillten Oberfläche und dem einfallenden Strahl wird eine derartige Relativbewegung bewirkt, daß eine Folge von Bereichen der gerillten Oberfläche in einem Spiralmuster von dem einfallenden Lichtstrahl abgetastet wird. Die gewünschte Relativbewegung geschieht beispielsweise durch Drehen der Platte mit einer ersten ausgewählten Geschwindigkeit und gleichzeitige Verschiebung der rotierenden Platte in einer radialen Richtung mit einer zweiten ausgewählten Geschwindigkeit Durch Wahl dieser Geschwindigkeit kann die Grobheit des spiraligen Abtastmusters kontrolliert werden. Zweckmäßigerweise sind die Geschwindigkeiten so gewählt, daß die Ganghöhe (Windungsschritt) der spiraligen Lichtabtastung wesentlich größer als die Ganghöhe dei Spiralrolle der Platte ist, so daß die gesamte gerillte Oberfläche der Platte zum Zweck des Fehlernachweises in einer Zeitspanne abgetastet werden kann, die kurz (z. B. 3 bis 5 Minuten) gegenüber der normalen Spielzeit (z. B. 30 Minuten) der Plattenoberfläche ist.

Wenn Defekte in der gerillten Oberfläche beleuchtet werden, wird die Wirkung des gleichförmigen Beugungsgitters gestört, so daß ein Teil des von einer solchen Oberfläche reflektierten Lichts auf die unabgeschirmten Bereiche der fotoempfindlichen fläche des Fotodetektors fällt, womit ein das Vorhandensein eines Defekts anzeigendes elektrisches Ausgangssignal erzeugt wird.

Durch genaue Anordnung der Lichtsperre und des Fotodetektors kann sichergestellt werden, daß die unabgeschirmten Bereiche der fotoempfindlichen Fläche kein Licht empfangen, wenn defektfreie Bereiche der Plattenoberfläche beleuchtet werden (das Licht der nullten Beugungsordnung wird von der Lichtsperre abgefangen, und die Lichtanteile der höheren Beugungsordnungen gehen am Fotodetektor vorbei). Dies gilt aber nur, wenn sicher angenommen werden kann, daß die Plattenoberfläche, in der die Rillenwindungen erscheinen, ansonsten flach ist und stets die gleiche Lage gegenüber dem einfallenden Strahl hat. Diese Voraussetzung wird jedoch nicht in allen Fällen erfüllt sein. So kann beispielsweise eine Plattenkopie infolge bestimmter Einflüsse beim Kopierverfahren eine gewisse Werfung erfahren haben. Wenn die sich geworfene Platte gedreht wird, ändert sich die Oberflächenausrichtung der beleuchteten Bereiche, so daß sich die Komponenten der verschiedenen Beugungsordnungen in ihrer Lage verschieben. Werden die Änderungen in der Oberflächenausrichtung nicht kompensiert, dann kein eine fälschliche Defektanzeige erfolgen, z. B. wenn der Lichtanteil einer der Beugungsordnungen so weit verschoben wird, daß er auf den unabgeschirmien Bereich der Fotodetektorfläche trifft. Deshalb ist zur Kompensation der genannten Änderungen der Oberflächenausrichtung ein optisches Servosystem vorgesehen, um die Stellung des einfallenden Strahls in einer Weise zu ändern, die den Lageverschiebungen des Beugungslichts entgegenwirkt. Die Fehlerinformation für dieses Servosystem wird z. B. von einem Quadranten-Fotodetektor abgeleitet, auf den ein Teil des Lichts der nullten Beugungsordnung zentriert wird. Dieser Teil kann mit Hilfe eines Strahlteilers auf den Quadranten-Fotodetektor gelenkt werden. Die Steuerung der Stellung des einfallenden Strahls abhängig von dieser Fehlerinformation kann beispielsweise durch galvanometergesteuerte Spiegel geschehen, welche die Orientierung der Achse des einfallenden Strahls verändern.

Die defektanzeigenden Ausgangssignale des vorstehend beschriebenen Erfassungssystems können in verschiedener Weise genutzt werden, z. B. als Eingangssignal für ein Meßgerät, einen Zähler, ein Registriergerät, usw. Besonders vorteilhaft ist es, die defektanzeigenden Signale als Eingangsgröße für einen speziellen Schreiber zu verwenden, wie er in der DE-OS 27 24 120 beschrieben ist.

In der Zeichnung zeigt

Fig. 1 in perspektivischer Darstellung einen Teil einer Einrichtung zur Erfassung von Defekten an einer Aufzeichnungsplatte;

F i g. 2 und 3 Beleuchtungsmuster für die verschiedenen Fotodetektoren der Einrichtung nach Fig. 1; und

F i g. 4 die Einrichtung nach F i g. 1 in Verbindung mit Anordnungen zur Steuerung der Strahlorientierung gemäß einer speziellen Ausführungsform der Erfindung.

In der Einrichtung nach Fig. 1 wird ein kohärenter Lichtstrahl aus einer Lichtquelle 10 (beispielsweise aus einem Laser) mittels einer Linse 12 auf einen Punkt jenseits der reflektierenden Oberfläche eines ersten Spiegeis 14 fokussiert. Der auf die Spiegelfläche treffende konvergierende Strahl wird zu einer ersten Relaislinse 16 hin reflektiert. Der von der Linse 16 übertragene Strahl wird von der reflektierenden Oberfläche eines zweiten Spiegels 18 aufgefangen und dort so umgelenkt, daß er durch eine zweite Relaislinse 22 zur Oberfläche einer rotierenden Aufzeichnungsplatte 20 läuft. Der aus der Relaislinse 22 austretende Lichtstrahl konvergiert auf einen Brennpunkt jenseits der Oberfläche der Platte 20, um an dem auffangenden Oberflächenbereich einen Lichtfleck einer solchen Ausdehnung zu bilden, daß eine Vielzahl von Windungen der Spiralrillen der Platte beleuchtet wird (z. B. 30 Windungen bei einer mit 2187 Windungen je cm versehenen Aufzeichnungsplatte). Die rotierende Platte 20 wird (durch in Fig. 1 nicht dargestellte Mittel) in einer Radialrichtung T verschoben, so daß der beleuchtende Lichtfleck die Plattenoberfläche in einem groben Spiralmuster abtastet, dessen Ganghöhe wesentlich größer als die Ganghöhe der Spiralrille ist.

Der einfallende Strahl hat zweckmäßigerweise eine solche Orientierung, daß seine Achse nicht-parallel und in einem ausgewählten Winkel (z. B. 45°) zur Mittelachse der Platte liegt und im wesentlichen kopianar mit dieser Mittelachse in einer Ebene verläuft, welche die Plattenoberfläche längs eines Radius der Platte schneidet.

Von dem beleuchteten Oberflächenbereich der Platte wird Licht auf einen Strahlteiler 24 (z. B. einen teilversilberten Spiegel) reflektiert. Der Strahlteiler 24 läßt einen Teil des von ihm empfangenen Lichts zu einem ersten Fotodetektor 28 durch und reflektiert den restlichen Teil des Lichts auf einen zweiten Fotodetektor 26.

Die Rillenstruktur im beleuchteten Plattenbereich bildet beim Fehlen von Defekten ein regelmäßiges Muster aus Vertiefungen und Erhebungen, das als Beugungsgitter wirkt (mit einer durch die Ganghöhe der Rillenwindungen bestimmten Gitterteilung), um das zu den Fotodetektoren laufende Licht in einem festen Muster zu beugen. Diese Lichtbeugung führt zur Bildung eines unabgelenkten Lichtkegels, der das Licht der nullten Beugungsordnung enthält, und einer Vielzahl zusätzlicher abgelenkter Lichtkegel, die den höheren Beugungsordnungen entsprechen.

Wie in Fig.2 dargestellt, konvergiert der unabgelenkte Kegel E des Beugungslichts der nullten Ordnung auf einen Punkt in der Mitte der fotoempfindlichen Zone des Detektors 28, während Lichtkegel Fund G, die das Beugungslicht der Ordnungszahl +1 bzw. —1 enthalten, an Punkten konvergieren, die von dieser fotoempfindlichen Zone entfernt sind. Das heißt die Achsen /"und g der Beugungskegel Fund C sind so weit abgelenkt, daß das Beugungslicht erster Ordnung am Detektor 28 vorbeigeht. Um zu verhindern, daß der Deiektor 28 Lichtenergie in elektrische Energie umwandelt, wenn eine normale (defektfreie) Rillenstruktur beleuchtet wird, ist über dem mittleren Bereich des Detektors 28 eine Lichtsperre 27 angeordnet, die das Licht des der nullten Beugungsordnung entsprechenden Kegels E abfängt. Wenn jedoch irgendwelche Defekte die Regelmäßigkeit der Rillenstruktur in einem beleuchteten Bereich stören, bleibt das Licht nicht mehr auf die genannten Kegel begrenzt, und die unabgeschirmten Bereiche der fotoempfindlichen Fläche des Detektors 28 empfangen Lichtenergie, die von ihm in elektrische Energie umgewandelt wird, womit die Beleuchtung eines Defekts in der Spiralrille signalisiert wird.

In F i g. 3 ist das gebeugte Licht gezeigt, das auf den Fotodetektor 26 angelenkt wird. Normalerweise, d. h. während der Beleuchtung defektfreier Oberflächenbereiche der Platte, gehen die abgelenkten Lichtkegel F' und C der ersten Beugungsordnung am fotoempfindli-

... chen Bereich des Fotodetektors 26 vorbei, während ein unabgelenkter Kegel E' der nullten Beugungsordnung auf die Mitte des fotoempfindlichen Bereichs des Detektors 26 trifft. Der Detektor 26 enthält z. B. vier voneinander unabhängige fotoempfindliche Zellen, die

_■-, symmetrisch um die Mitte des lichtempfangenden Bereichs angeordnet sind. Bei geeigneter Vorspannung der Zellen (durch nicht näher dargestellte Mittel) bestehen individuelle Spannungsquellen, welche die von jeder einzelnen Zelle empfangene Lichtenergie reprä-

Ji! sentieren. Wenn der Kegel E'auf den Fotodetektor 26 richtig zentriert ist, empfängt jede Zelle gleiche Lichtenergie (diese Bedingung zeigt an, daß der Kegel E in der gewünschten Weise auf die abschirmende Lichtsperre 27 zentriert ist, wie es die F i g. 2 zeigt), jede

;- Fehlzentrierung des Kegels E' am Detektor 26 führt zu einer Abweichung dieser Bedingung des gleich starken Lichteinfalls an jeder der Zellen. Durch geeignete Matrizierung der von den einzelnen Zellen des Fotodetektors 26 erzeugten Spannungen können Fehlersignale gewonnen werden, die für die Richtung und den Betrag jeder solchen Fehlzentrierung charakterisitisch sind.

In der F i g. 4 ist in Verbindung mit der vorstehend beschriebenen und in F i g. 1 dargestellten Einrichtung ein Servosystem gezeigt, das mit Hilfe dieser Fehlersignale die Orientierung des auf die Oberfläche der Platte 20 fallenden Lichtstrahls steuert. Aus verschiedenen Gründen, z. B. infolge einer Werfung der Platte, können Bereiche der Plattenoberfläche von der gewünschten

so Ebenheit abweichen. Die daraus resultierenden Änderungen der Oberflächenausrichtung können zu einer fälschlichen Anzeige von Rillendefekten führen, wenn man nicht für eine Kompensation solcher Schwankungen der Oberflächenausrichtung sorgt. Das in Fig.4 gezeigte Servosystem bringt die gewünschte Kompensation, indem es die Orientierung des einfallenden Strahls durch Steuerung der Lage beweglicher Spiegel 14 und 18 in geeigneter Weise ändert
Die vier einzelnen Ausgangsspannungen der Zellen des Quadranten-Fotodetektors 26 werden auf Matrixschaltungen 29 gegeben, die daraus zwei Fehlersignale gewinnen: ein erstes Fehlersignal, das Sinn und Betrag jeder seitlichen (horizontalen) Abweichung des Kegels E' nach F i g. 3 vom Zentrum des lichtempfangenen Bereichs des Quadranten-Fotodetektors 26 anzeigt und ein zweites Fehlersignal, das Sinn und Betrag jeder vertikalen Abweichung des Kegels E' von dieser Zentrallage anzeigt

Das erste Fehlersignal wird einer ersten Spiegelsteuerschaltung 32 zugeführt, um den beweglichen Spiegel 18 um eine zur Mittelachse der Aufzeichnungsplatte 20 parallele Achse in einem solchen Maß zu schwenken, daß die Orientierung des einfallenden Strahls eine Winkeländerung in einer Richtung erfährt, die den unerwünschten seitlichen Bewegungen der Kegel E' (Fig. 3) und E (Fig. 2) entgegenwirkt. Das zweite Fehlersignal wird einer zweiten Spiegelsteuerschaltung 30 zugeführt, um den beweglichen Spiegel 14 in solchem Maß um eine zur Mittelachse der Aufzeichnungsplatte 20 senkrechte Achse zu verschwenken, daß die Orientierung des einfallenden Strahls Winkeländerungen in einer Richtung erfährt, die den unerwünschten vertikalen Bewegungen der Kegel E' und E entgegenwirkt.

Durch Verarbeitung der Fehlerinformation zur Aufrechterhaltung der richtigen Zentrierung des Kegels E' auf dem Fotodetektor 26 wird eine Kompensation von Änderungen der Oberflächenausrichtung erreicht. Mit dieser Kompensation wird verhindert, daß sich der Kegel finfolge der geänderten Oberflächenausrichtung ungewollt auf einen unabgeschirmten Bereich des Fotodetektors 28 verschiebt, so daß fälschliche Defektanzeigen am Ausgangsanschluß (0) des Fotodetektors 28 vermieden werden.

20 Der einfallende Strahl tastet aufeinanderfolgende Bereiche der gerillten Oberfläche der Platte 20 in einem spiraligen Muster ab, wenn man für eine entsprechende Relativbewegung zwischen der Oberfläche der Platte 20 und dem Strahl sorgt. Die gewünschte Bewegung erreicht man durch Drehen der Platte 20 auf einem Teller 34, der durch einen Motor 36 mit einer ersten ausgewählten Geschwindigkeit angetrieben wird, und gleichzeitiges Verschieben der Platte 20 mit einer zweiten Geschwindigkeit in einer radialen Richtung (z. B. mit Hilfe eines geeigneten Antriebs 42, der einem den motorgetriebenen Plattenteller 34 tragenden Schlitten 40 eine Translation mitteilt). Durch geeignete Wahl dieser beiden Geschwindigkeiten kann eine gewünschte Grobheit des spiraligen Abtastmusters erreicht werden. Es kann dafür gesorgt werden, daß sich die einzelnen Windungen dieses Abtastmusters je nach Belieben in verschiedenem Maß überlappen. Zweckmäßigerweise werden die beiden Geschwindigkeiten so gewählt, daß das spiralige Muster der Lichtabtastung eine wesentlich größere Ganghöhe hat als die Rille der Aufzeichnungsplatte, so daß die gesamte gerillte Oberfläche für das Aufspüren von Defekten in einer Zeitspanne abgetastet werden kann, die wesentlich kürzer als die normale Spieldauer der Platte ist.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

1 Patentansprüche:

1. Verfahren zum Erfassen von Defekten in einer zur Informationsspeicherung dienenden Spiralrille, die in der Oberfläche einer Platte hoher Informa- ; tionsspeicherdichte, insbesondere einer Videoplatte gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte gedreht wird, daß ein Lichtstrahl erzeugt wird, der auf die gerillte Oberfläche der sich drehenden Platte gerichtet ist, um einen eine |_U Vielzahl von Windungen der Plattenrillen umfassenden Bereich der sich drehenden Platte zu beleuchten, und der auf einen Punkt jenseits der Plattenoberfläche hin konvergiert, daß gleichzeitig eine relative Translationsbewegung zwischen der gerillten Oberfläche der sich drehenden Platte und dem Lichtstrahl hervorgerufen wird, derart, daß aufeinanderfolgende Bereiche der gerillten Oberfläche vom Lichtstrahl in einem groben Spiralmuster abgetastet werden, dessen Ganghöhe wesentlich größer als die Ganghöhe der Spiralrille ist, daß der Anteil des Lichts, der bei Beleuchtung von defektfreien Bereichen der gerillten Oberfläche in der nullten Ordnung gebeugt wird, abgeblendet wird, daß festgestellt wird, ob Licht in einem Bereich vorhanden ist, der den Ort umgibt, wo der L.ichtanteil der nullten Beugungsordnung abgeblendet wird, und daß die Achse des einfallenden Lichtstrahls in einer Ebene liegt, die die Mittelachse der Platte enthält und die gerillte Oberfläche entlang einer Linie schneidet, die im wesentlichen senkrecht zu einer Tangente an eine Rillenwindung im Einfallpunkt verläuft.

2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (10, 12, 14, 16, 18, 22) zum Beleuchten _n eines Bereichs der gerillten Oberfläche längs eines Radius der Platte (20), eine Einrichtung zum Erzeugen einer Relativbewegung zwischen der Platte (20) und dem unter einem ausgewählten Winkel zur Mittelachse der Platte (20) einfallenden 4« Lichtstrahl, die eine Antriebseinrichtung (36) zum Erzeugen einer Drehbewegung und eine Antriebseinrichtung (42) zum Erzeugen einer translatorischen Bewegung umfaßt, und einen fotoempfindlichen Detektor (28), der in Zusammenwirkung mit einer vor ihm angeordneten Lichtabschirmung (27) so ausgebildet ist, daß der Lichtanteil der nullten Beugungsordnung des von der Platte (20) reflektierten Lichts bei Beleuchtung von defektfreien Bereichen am Erreichen des fotoempfindlichen Detektors (28) gehindert wird, während den genannten Lichtanteil umgebendes Licht von fotoempfindlichen Bereichen des Detektors (28) aufgefangen wird.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen Strahlteiler (24), der einen Teil des von der Platte (20) reflektierten Lichts einem weiteren Fotodetektor (26) zuführt, der in die Lage des Lichtauftreffpunktes relativ zu seiner Mitte feststellende Bereiche unterteilt ist, deren Ausgangssignale an eine Steuereinrichtung (29, 30, 32) gegeben werden, die eine Strahlenumlenkanordnung (14, 18) für den auf die Platte (20) einfallenden Lichtstrahl derart steuert, daß der Lichtanteil der nullten Beugungsordnung auf dem weiteren Fotodetektor (26) mittenzentriert ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der zusätzliche Fotodetektor (26) einen Quadrantendetektor enthält, der zwei Paare fotoempfindlicher Elemente aufweist, die sich in einem gemeinsamen Gehäuse befinden und symmetrisch um das Zentrum einer lichtempfangenden Zone des Gehäuses angeordnet sind.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlumlenkanordnung einen ersten galvanometergesteuerten Spiegel (14) enthält, der im Weg des einfallenden Lichts liegt, um den Winkel zwischen der Achse des Einfallstrahlweges und der Mittelachse der Platte (20) zu ändern, sowie einen zweiten galvanometergesteuerten Spiegel (18), der sich an einer anderen Stelle im Weg des Einfallstrahls befindet, um die Achse des Einfallstrahlweges aus der ursprünglichen Einfallsebene zu verschieben.