DE3420600C2 - - Google Patents
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
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- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
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Description
Die Erfindung betrifft einen optischen Kodierer mit einer
Halbleiter-Laserquelle zum Erzeugen eines Laserstrahls,
einer Impulsskala, einem optischen System zum Bündeln des
Laserstrahls auf die Impulsskala und mit einer im Bereich
der Impulsskala angeordneten Fotodetektoreinrichtung zur
Erfassung des Laserstrahls.
Aus der DE-OS 32 05 544 ist ein rotierender Kodierer zum
Herstellen von zwei Impulsfolgen mit einer geforderten
Phasendifferenz bekannt. Es sind eine einzige Lichtquelle
und ein paar lichtaufnehmende Elemente vorgesehen. Eine
rotierende und eine feststehende Schlitzplatte sind so
angeordnet, daß ihr Abstand entsprechend eingestellt
werden kann. Mit einer solchen Anordnung kann eine
Phasendifferenz zwischen den beiden durch die
lichtaufnehmenden Elemente erhaltenen Signalen genau auf
einen bestimmten geforderten Wert eingestellt werden.
Aus der GB-A-21 14 834 ist eine optische Kodiervorrichtung
bekannt, welche eine Kodierscheibe aufweist, über die eine
optische Kodierung durchgeführt wird.
Ein typisches Beispiel eines konventionellen optischen
Kodierers dieser Art ist in perspektivischer Darstellung
in Fig. 1 gezeigt. In Fig. 1 bezeichnet das
Referenzzeichen 1 ein Kugellager, 2 eine durch das
Kugellager drehbar gelagerte Drehwelle, 3 eine als
Impulsskala wirkende Impulsscheibe, die mit der drehbaren
Welle fest verbunden ist, so daß sie mit ihr rotiert, 4
einen als Lichtquelle benutzten Halbleiterlaser, 5 einen
von dem Halbleiterlaser emittierten Laserstrahl, 6 eine
Kollimatorlinse zum Kollimieren des von dem Laser
ausgestrahlten Laserstrahls, 7 eine Sammellinse zum
Bündeln des Laserstrahls 5 auf der Scheibe 3 auf solche
Weise, daß ein Laserstrahlfleck, der auf die Scheibe
fokussiert wird, einen Durchmesser von ungefähr einigen
Mikron hat, und 8 einen Fotodetektor zum Erfassen von
Änderungen der Intensität des durch die Scheibe 3
durchgelassenen Laserstrahls. Der Fotodetektor 8 kann
beispielsweise eine Fotodiode sein. Die Impulsscheibe 3
wird im allgemeinen durch eine Glasscheibe gebildet, bei
der auf Umfangsteilen einer Oberfläche ein Streifenmuster
mit abwechselnd angeordneten lichtundurchlässigen und
transparenten Streifen vorgesehen ist durch Musterbildung
auf einem Chromfilm mittels Ätzens.
Im folgenden wird der Betrieb des optischen Kodierers nach
Fig. 1 beschrieben. Wenn die drehbare Welle 2 durch eine
daran übertragene äußere Kraft angetrieben wird, rotiert
die Impulsscheibe 3 mit dem Streifenmuster und ändert
dadurch die Intensität des durch das Streifenmuster 9 der
Impulsscheibe 3 durchgelassenen Laserstrahls 5 in
Übereinstimmung mit der Drehung der Impulsscheibe 3. Der
Drehweg der Impulsscheibe 3 kann durch Feststellen der
Änderungen in der Intensität des Laserstrahls mit dem
Fotodetektor 8 erfaßt werden. Der vom Halbleiterlaser 4
erzeugte Laserstrahl hat typisch eine Leistung von
ungefähr 1 bis 3 Milliwatt.
Der Laserstrahl 5 wird radial, wie in Fig. 1 gezeigt, von
dem Halbleiterlaser 4 emittiert, von der Kollimatorlinse 6
kollimiert und dann durch die Sammellinse 7 gebündelt, so
daß er einen Laserstrahlfleck bildet mit einem Durchmesser
von ungefähr 2 bis 10 Mikron auf dem Streifenmuster der
Impulsscheibe 3. Der so fokussierte Laserstrahl wird, wie
in Fig. 2A gezeigt, durch die Impulsscheibe 3
durchgelassen und trifft auf den Fotodetektor 8, der ein
Ausgangssignal mit einer in Fig. 2B gezeigten Wellenform
hat, wenn sich die Scheibe 3 dreht.
Wie in Fig. 2B gezeigt ist, ist das Ausgangssignal im
wesentlichen ähnlich einem periodischen Rechtecksignal,
falls die Teilung des Streifenmusters 9 relativ groß ist.
Jedoch wird das Ausgangssignal nahezu sinusförmig, wie in
Fig. 2D gezeigt, falls die Teilung des Streifenmusters
relativ klein ist, das heißt, so klein, daß die Teilung
des Streifenmusters 9 von der gleichen Ordnung ist wie der
Durchmesser des Laserstrahlfleckens 10, wie in Fig. 2c
gezeigt. Falls die Teilung des Streifenmusters 9 weiterhin
kleiner ist als der Durchmesser des kreisförmigen
Laserstrahlfleckens 10 des Laserstrahls 5, wird die
Amplitude des Ausgangssignals des Fotodetektors 8 zu
klein, um die lichtundurchlässigen Streifen von den
lichtdurchlässigen Streifen zu unterscheiden. Um das
Streifenmuster korrekt zu erfassen, ist es demzufolge
erforderlich, den Durchmesser des Laserstrahlfleckens 10
zu verringern, wenn die Teilung des Streifenmusters
kleiner wird. Beispielsweise ist für eine Impulsscheibe 3
mit einem Durchmesser von 50 mm, die 10 000 Impulse pro
Umdrehung erzeugt, die Teilung des Streifenmusters 97
Mikron, so daß der Durchmesser des kreisförmigen
Laserstrahlfleckens 10 des Laserstrahls 5 nicht größer
sein darf als 7 Mikron.
Im allgemeinen werden in solch einem optischen System zwei
Ausgangssignale mit ungefähr sinusförmigen Wellenformen
mit einer Phasendifferenz von 90 Grad, wie in Fig. 3B
gezeigt, vom optischen Detektor 8 erzeugt, wenn die zwei
Halbleiterlaser 4 wie in Fig. 3A gezeigt, angeordnet sind.
Die zwei in Fig. 3B und 3C gezeigten Ausgangssignale
werden einer Wellenformung ausgesetzt, um sie in
Rechtecksignale, wie in Fig. 3D und 3E gezeigt, zu
wandeln, damit die Drehrichtung der drehbaren Welle 2
entschieden werden kann. Die Rechtecksignale werden in ein
Impulssignal umgewandelt, wie in Fig. 3F gezeigt, mit
einer Frequenz, die viermal so groß ist wie jene der
Rechtecksignale und zwar durch Erzeugen eines Impulses bei
jeder Anstiegs- und Abfallflanke beider Rechtecksignale.
Deshalb werden pro Umdrehung der Impulsscheibe mit 10 000
lichtundurchlässigen Streifen 40 000 Impulse erzeugt.
Weiter ist es erforderlich, ein weiteres optisches System
vorzusehen zum Erzeugen eines Null-Signals, das eine
Referenzwinkelposition der Impulsscheibe darstellt, wobei
das Null-Signal einmal pro Umdrehung der Impulsscheibe
erzeugt wird.
Wie oben beschrieben wurde, benötigt der konventionelle
optische Dekodierer mit einem Halbleiterlaser drei Systeme
mit drei Halbleiterlasern, um zwei Ausgangssignale mit
einer Phasendifferenz von 90 Grad und ein Null-Signal, das
eine Referenzwinkelposition der Impulsscheibe anzeigt, zu
erzeugen. Da es weiter erforderlich ist, die drei
optischen Systeme getrennt zu justieren, ist der
Justiervorgang sehr mühsam, wodurch die Kosten des
Kodierers auf nachteilige Weise hoch werden.
Es ist Aufgabe der Erfindung, ausgehend von einem
optischen Kodierer der eingangs genannten Art, diesen so
einfach auszubilden, daß er mit sehr wenigen optischen
Elementen auskommt und ein Justieren von Einzelstrahlen
nicht mehr erforderlich ist.
Diese Aufgabe wird bei einem optischen Kodierer der
eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß dieser Kodierer
ein Diffraktionsgitter enthält, um den Laserstrahl der
Halbleiter-Laserlichtquelle in eine Mehrzahl von
Laserstrahlen aufzuteilen, daß das optische System zur
Bündelung jedes der Mehrzahl der Laserstrahlen in einen
elliptisch gestalteten Lichtfleck auf der Impulsskala
ausgebildet ist, und daß die Fotodetektoreinrichtung die
Laserstrahlen erfaßt, die durch die Impulsskala
hindurchgelassen oder von der Impulsskala reflektiert
werden.
Dieser optische Kodierer ermöglicht einen miniaturisierten
Aufbau mit niedrigen Kosten sowie eine hohe Auflösung.
Demnach ist der erfindungsgemäße optische Kodierer so
aufgebaut, daß eine Vielzahl von Laserstrahlen durch das
Diffraktionsgitter und ein einzelnes optisches System
erzeugt werden. Jeder der drei Laserstrahlen wird so
gebündelt, daß er einen elliptischen Strahlenfleck auf der
Impulsskala bildet. Demzufolge erfaßt der optische
Kodierer Laserstrahlen aus mehreren Kanälen mit sehr hoher
Auflösung.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den
Unteransprüchen.
Im folgenden werden die Fig. 1 bis 8 beschrieben, von
denen die Fig. 1 bis 3 einen herkömmlichen optischen
Kodierer betreffen, während die Fig. 4 bis 8
erfindungsgemäße optische Kodierer darstellen. Es zeigt
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung der
Grundkonstruktion eines konventionellen
optischen Kodierers mit einem Halbleiterlaser
zum Erfassen einer Drehstrecke;
Fig. 2A bis 2D Diagramme zum Erläutern des Betriebs einer
in Fig. 1 gezeigten Impulsscheibe;
Fig. 3A eine perspektivische Darstellung eines Teils
des optischen Rotationskodierers nach Fig.
1 zur Erklärung seines Betriebs, wobei La
serstrahlen mit einer Phasendifferenz von
90 Grad erzeugt werden;
Fig. 3B bis 3F verschiedene Wellenformen der von dem opti
schen Rotationskodierer nach Fig. 3A erzeug
ten Ausgangssignale;
Fig. 4A eine perspektivische Darstellung der Kon
struktion eines optischen Rotationskodierers
gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung;
Fig. 4B eine vergrößerte Horizontalprojektion eines
Teils des optischen Rotationskodierers nach
Fig. 4A;
Fig. 4C eine Darstellung der Lagebeziehung zwischen
elliptischen Strahlflecken, die auf einer
Impulsscheibe nach Fig. 4A auftreffen;
Fig. 5A und 5B einen Seitenriß und eine Horizontalprojek
tion eines Signalerfassungssystems des opti
schen Rotationskodierers nach Fig. 4A;
Fig. 6A und 6B einen Seitenriß und eine Horizontalprojek
tion eines Signalerfassungssystems eines op
tischen Rotationskodierers gemäß einer wei
teren Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 7 eine Seitenrißdarstellung eines Signalerfas
sungssystems eines optischen Rotationsko
dierers gemäß einer weiteren Ausführungsform
der Erfindung;
Fig. 8A eine perspektivische Darstellung der Kon
struktion eines optischen Linearkodierers
gemäß einer weiteren Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung; und
Fig. 8B eine vergrößerte Horizontalprojektion eines
Teils des in Fig. 8A gezeigten optischen Li
nearkodierers.
Typische Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden
im Detail unter Bezugnahme auf Fig. 4A bis 8B beschrieben.
Fig. 4A ist eine perspektivische Darstellung, die die Grund
konstruktion einer bevorzugten Ausführungsform eines optischen
Rotationskodierers gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt,
Fig. 4B ist eine vergrößerte Horizontalprojektion, die einen
Teil des Rotationskodierers nach Fig. 4A zeigt, und Fig. 4C
ist ein Diagramm, das die Beziehungen zwischen elliptischen
Laserstrahlflecken zeigt. In diesen Figuren bedeuten gleiche
Referenzzeichen gleiche Elemente wie in Fig. 1.
In Fig. 4A bis 4C bezeichnet das Referenzzeichen 10 a ellip
tische Strahlflecken, 11 ein Diffraktionsgitter, 12 eine plan
konkave zylindrische Linse, 13 einen Drei-Element-Fotodetek
tor und 14 einen lichtundurchlässigen Streifen (Markierung)
zur Erzeugung eines Null-Signals.
Nun wird der Betrieb dieser Ausführungsform eines Rotations
kodierers erläutert. Wenn die drehbare Welle 2 von einer ex
ternen Antriebskraft angetrieben wird, rotiert die Impuls
scheibe 3 mit dem Streifenmuster 9, und die Rotationsstrecke
der Impulsscheibe 3 wird erfaßt basierend auf den Änderungen
der Intensität des durch die Impulsscheibe 3 hindurchgetrete
nen Laserstrahls. Der von dem Halbleiterlaser 4 emittierte
Laserstrahl 5 wird durch die Kollimatorlinse 6 kollimiert und
danach durch das Diffraktionsgitter 11 in drei Strahlen be
stehend aus einem transmittierten Strahl und positiven und
negativen primären Diffraktionsstrahlen gespalten. Jeder der
drei Laserstrahlen wird in einen elliptischen Strahl durch die
plan-konkave Zylinderlinse 12 gewandelt, die eine Haupt
achse (längere Achse) parallel zur radialen Richtung der
Scheibe 3 hat. Die Brennweite der plan-konkaven zylindrischen
Linse 12 ist so, daß die Hauptachse des elliptischen Strahls
15 bis 20mal so groß ist wie seine Nebenachse. Jeder der drei
elliptischen Strahlen wird durch die Sammellinse 7 ge
bündelt und dann auf die Impulsscheibe 3 als elliptischer
Strahlfleck 10 a gelenkt, dessen Hauptachse ungefähr 50 bis
150 Mikron und dessen Nebenachse ungefähr 5 bis 10 Mikron,
beispielsweise, wie in Fig. 4B und 4C gezeigt, ist.
Im Falle der Benutzung einer Impulsscheibe 3 zum Erzeugen von
10 000 Impulsen für jede ihrer Umdrehungen, wird die Neben
achse des elliptischen Strahlfleckens so gewählt, daß sie un
gefähr 7 Mikron ist. Die drei elliptischen Strahlflecken 10 a
werden auf die Impulsscheibe 3 auf gleiche Weise wie in Fig.
4B gezeigt, gelenkt. Wenn einer der drei elliptischen Strahl
flecken 10 a nämlich auf den Null-Signal-Streifen 14 fällt,
fallen die zwei übrigbleibenden Strahlen auf das Streifen
muster 9 in solche einer Beziehung, daß zwei Ausgangssignale
mit einer Phasendifferenz von 90 Grad von dem Fotodetektor
13 erzeugt werden. Wie in Fig. 4C gezeigt ist, entspricht eine
Entfernung A, die durch die Teilung des Diffraktionsgitters
11 bestimmt wird, der Entfernung, die die Mittelpunkte benach
barter Flecken trennt, und eine Entfernung B, die durch den
Rotationswinkel des Diffraktionsgitters 11 bezüglich der op
tischen Achse des Laserstrahls bestimmt wurde, stellt den
Abstand zwischen Hauptachsen benachbarter Flecken dar.
Die Form eines jeden der Strahlflecken 10 a wird elliptisch so
ausgewählt, daß die Abnahme des Ausgangssignals von dem Foto
detektor infolge von Defekten auf dem Streifenmuster 9 durch
Verengen der Länge des Strahlflecks in Umfangsrichtung der
Scheibe 3 und durch Ausdehnen der Länge des Strahlfleckens in
der radialen Richtung der Scheibe 3 (der longitudinalen Rich
tung des Streifens 9) minimiert wird.
Die Intensität eines jeden der drei Laserstrahlen 5, die durch
die Impulsscheibe 3 hindurchtreten, ändert sich mit der Rota
tion der Impulsscheibe 3. Die Änderungen in der Intensität der
Laserstrahlen, die durch die Impulsscheibe 3 hindurchtreten,
werden getrennt durch den Drei-Element-Photodetektor 13 er
faßt, der hinter der Impulsscheibe 3 angeordnet ist. Der Drei-
Element-Fotodetektor 13 ist an einer in Fig. 5A und 5B ge
zeigten Position angeordnet. Wie aus der seitlichen Darstel
lung des in Fig. 5A gezeigten optischen Kodierers hervorgeht,
wird der in drei Strahlen aufgesplittete Laserstrahl 5 durch
die plan-konkave zylindrische Linse 12 so geführt, daß die
Fokussierlage des Laserstrahls an einen Ort hinter der Impuls
scheibe 3 verschoben wird, um dadurch die drei elliptischen
Strahlenflecken 10 a auf der Impulsscheibe 13 zu bilden. Der
Drei-Element-Fotodetektor 13 wird nahe der Fokussierposition
der Sammellinse 7, welche, wie in Fig. 5A und 5B gezeigt,
hinter der Impulsscheibe 3 angeordnet ist, angeordnet. Wie aus
der Darstellung des optischen Kodierers in Fig. 5B hervorgeht,
splittet das Diffraktionsgitter 11 den Laserstrahl 5 in drei
Laserstrahlen. Die plan-konkave zylindrische Linse 12 dient
als eine Glasplatte mit parallelen Flächen in der Umfangs
richtung der Scheibe 3 für die drei Laserstrahlen. Die
Sammellinse 7 bündelt die drei Laserstrahlen. Danach
werden die drei Laserstrahlen 5, die durch die Impulsscheibe
3 hindurchtreten, auf den Drei-Element-Fotodetektor 13, wie
in Fig. 5A und 5B gezeigt, gelenkt, und liefern so die drei
Ausgangssignale.
In der in Fig. 5A und 5B gezeigten Ausführungsform werden die
Laserstrahlen 5 so erfaßt, wie sie durch die Impulsscheibe 3
durchgelassen werden. Jedoch können auch Laserstrahlen, die
von der Impulsscheibe 3 reflektiert werden, erfaßt werden,
wie in einer weiteren Ausführungsform nach Fig. 6A und 6B,
die später beschrieben wird.
Wie in Fig. 6A und 6B gezeigt ist, wird der Laserstrahl 5,
der von dem Halbleiterlaser 4 emittiert wird, durch die Kolli
matorlinse 6 kollimiert und dann in drei Laserstrahlen gespal
ten und in drei Richtungen durch das Diffraktionsgitter 11
gerichtet. Die drei Strahlen werden durch einen Polarisierungs-
Strahlteiler 14 a durchgelassen, die transmittierten Laser
strahlen werden von linear-polarisierten Strahlen in zirkular-
polarisierte Strahlen durch eine λ/4-Platte 15
konvertiert, und danach durch die Sammellinse 7 durch
die plan-konkave zylindrische Linse 12 gebündelt, ehe sie
auf die Impulsscheibe 3 auftreffen. Die Laserstrahlen 5, die
auf die Impulsscheibe 3 gelenkt werden, werden von der Scheibe
3 reflektiert und durch die λ/4-Platte 15 von zirku
lar polarisierten Strahlen in linear polarisierte Strahlen mit
einer Polarisationsebene, die senkrecht zu jener der ein
fallenden Laserstrahlen ist, die von dem Halbleiterlaser 4 emit
tiert werden, konvertiert. Die linear polarisierten
Strahlen werden durch den Polarisierungsstrahlteiler 14 a ab
gelenkt und dann auf den Drei-Element-Fotodetektor 13 ge
lenkt, nachdem sie durch eine konvexe Linse 16, die als
Sammellinse wirkt, geleitet wurden, um so die Änderungen
der Intensitäten der drei Laserstrahlen getrennt zu erfassen.
In jeder der in Fig. 5A, 5B, 6A und 6B gezeigten Ausführungs
formen werden die Änderungen der Intensitäten der Laserstrah
len, die durch die Rotation der Impulsscheibe 3 bewirkt wer
den, direkt durch den Drei-Element-Fotodetektor 13 erfaßt.
Andererseits, wie in Fig. 7 gezeigt, können die durch die
Impulsscheibe 3 durchgelassenen Laserstrahlen erfaßt werden
durch drei getrennte Fotodetektoren 8, nachdem die drei
Strahlen über ein optisches Faserkabel 17 übertragen wur
den. In diesem Fall werden solche Signale nur wenig durch
äußeres Rauschen beeinflußt, da die die Änderungen der Inten
sitäten der Laserstrahlen darstellenden Signale als optische
Signale übertragen werden.
Jede der oben beschriebenen Ausführungsformen benutzt drei
Laserstrahlen mit dem übertragenen Laserstrahl und den
positiven und negativen primären Diffraktionsstrahlen, die
durch das Diffraktionsgitter 11 erhalten werden. Es ist jedoch
möglich, einen optischen Kodierer mit hoher Auflösung zu
schaffen durch Erhöhen der Zahl von Streifen auf dem während
einer Umdrehung der Impulsscheibe zu erfassenden Streifen
muster durch Benutzen von nicht nur positiven und negativen
primären Diffraktionsstrahlen, sondern auch von Diffraktions
strahlen höherer Ordnung, beispielsweise positiven und nega
tiven sekundären Diffraktionsstrahlen, usw.
In jeder der oben beschriebenen Ausführungsformen wird der von
dem Halbleiterlaser 4 emittierte Laserstrahl 5 durch die
Kollimatorlinse 6 kollimiert, so daß parallele Strahlen auf
die Sammellinse 7 auftreffen. Es ist jedoch möglich, die
Kollimatorlinse 6 wegzulassen, falls die Sammellinse
7 durch eine Linse ersetzt wird, die die dort zugeführten
Laserstrahlen nicht parallel, sondern radial bezüglich des
Halbleiterlasers 4 kollimieren kann. Im Fall des Erfassens von
Änderungen der Intensitäten der Laserstrahlen basierend auf
den von der Impulsscheibe reflektierten Laserstrahlen (siehe
Fig. 6A und 6B) ist es weiter möglich, die konvexe Linse 16
wegzulassen, da die reflektierten Laserstrahlen zum Foto
detektor hin konvergieren.
Jede der oben beschriebenen Ausführungsformen benutzt die
plan-konkave zylindrische Linse 12, um die Laserstrahlen zu
bündeln, um so elliptische Strahlflecken 10 a zu erhalten.
Andererseits ist es möglich, die elliptischen Strahlflecken
zu erhalten durch Anordnen eines Blendenelementes mit einer
Öffnung im Lichtweg der Laserstrahlen 5 anstelle der plan-kon
kaven zylindrischen Linse, damit sich die Strahlen nur in einer
Richtung infolge der Diffraktionsnatur der Öffnungen ausbrei
ten. Alternativ ist es möglich, die elliptischen Laser
strahlflecken 10 a zu erhalten durch Benutzen einer plan-kon
vexen zylindrischen Linse anstelle der plan-konkaven zylindri
schen Linse 12.
In jeder der oben beschriebenen Ausführungsformen ist die
plan-konkave zylindrische Linse 12 vor der Sammellinse
7 angeordnet. Sie kann aber auch hinter derselben angeordnet
sein.
Die oben beschriebene Erfindung wird angewandt auf einen op
tischen Rotationskodierer zum Erfassen einer Rotationsstrecke.
Die vorliegende Erfindung ist aber auch anwendbar auf einen
optischen Linearkodierer zum Erfassen einer Strecke von li
nearer Bewegung. Dieser Fall wird im folgenden unter Bezug
nahme auf Fig. 8A und 8B beschrieben. In Fig. 8A und 8B be
zeichnet das Bezugszeichen 4 einen Halbleiterlaser, 5 einen
Laserstrahl, 6 eine Kollimatorlinse, 7 eine Sammellinse,
9 ein Streifenmuster mit abwechselnd angeordneten lichtun
durchlässigen und transparenten Streifen, 10 a elliptische
Laserstrahlflecken, 11 ein Diffraktionsgitter, 12 eine plan-
konkave zylindrische Linse, 13 einen Drei-Element-Fotodetek
tor, 14 einen lichtundurchlässigen Streifen (Markierung) für
ein Null-Signal, und 18 eine lineare Impulsskala. Das Signal
erfassungssystem der Ausführungsform nach Fig. 8A und 8B ist
dasselbe wie jenes nach Fig. 4A und 4B, außer, daß die Im
pulsscheibe 3 durch die lineare Impulsskala 18 ersetzt ist.
Ein Signal, das die lineare Bewegungsstrecke darstellt, wird
erhalten durch Erfassen der Laserstrahlen, deren Intensitäten
in Übereinstimmung mit der Bewegung der linearen Impulsskala
18 sich ändern. Das Signalerfassungssystem in dem optischen
Rotationskodierer, der oben beschrieben wurde, kann auch hier
verwendet werden. Jede der oben beschriebenen Ausführungsfor
men eines optischen Rotationskodierers kann benutzt werden als
optischer Linearkodierer, indem nur die Impulsscheibe 3 mit
der linearen Impulsskala 18 ausgetauscht wird. Es gibt zwei
Arten von optischen Linearkodierern. Bei einem ersten Linearkodierer ist das Si
gnalerfassungssystem fest und die lineare Impulsskala 18
wird bewegt. Bei einem anderen Linearkodierer ist die lineare Impulsskala
18 fest und das Signalerfassungssystem wird bewegt.
Claims (19)
1. Optischer Kodierer mit einer
Halbleiter-Laserlichtquelle zum Erzeugen eines
Laserstrahls, einer Impulsskala, einem optischen
System zum Bündeln des Laserstrahls auf die
Impulsskala, und mit einer im Bereich der Impulsskala
angeordneten Fotodetektoreinrichtung zur Erfassung des
Laserstrahls,
dadurch gekennzeichnet, daß der Kodierer
ein Diffraktionsgitter (11) enthält, um den
Laserstrahl der Halbleiter-Laserlichtquelle (4) in
eine Mehrzahl von Laserstrahlen aufzuteilen, daß das
optische System zur Bündelung jedes der Mehrzahl der
Laserstrahlen in einen elliptisch gestalteten
Lichtfleck auf der Impulsskala ausgebildet ist, und
daß die Fotodetektoreinrichtung die Laserstrahlen
erfaßt, die durch die Impulsskala hindurchgelassen
oder von der Impulsskala reflektiert wurden.
2. Optischer Kodierer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Impulsskala ein Streifenmuster mit alternierend
angeordneten lichtundurchlässigen und transparenten
Streifen aufweist.
3. Optischer Kodierer nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Impulsskala eine drehbar auf einer drehbaren Welle (2)
befestigte Impulsscheibe (3) aufweist, wobei das
Streifenmuster auf einem Umfangsbereich einer Fläche
der Impulsskala liegt.
4. Optischer Kodierer nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Impulsskala aus einer linearen Impulsskala besteht.
5. Optischer Kodierer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das
Diffraktionsgiter (11) ein Gitter zum Splitten des
von der Laserquelle (4) emittierten Laserstrahls in
eine Mehrzahl von Laserstrahlen mit einem
durchgehenden Laserstrahl und positiven und negativen
Diffraktionsstrahlen N-ter Ordnung aufweist.
6. Optischer Kodierer nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß das
Diffraktionsgitter (11) ein Gitter zum Splitten des
Laserstrahls in einen durchgehenden Laserstrahl und
positive und negative primäre Diffraktionsstrahlen
aufweist.
7. Optischer Kodierer nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Impulsskala ein Streifenmuster mit alternierend
angeordneten lichtundurchlässigen und transparenten
Streifen und einem Streifen für ein Null-Signal
aufweist, und daß für eine vorbestimmte Lage der
Impulsskala drei Laserstrahlen auf die Impulsskala so
gelenkt werden, daß ein erster Strahl auf den Streifen
für das Null-Signal gelenkt wird, ein zweiter Strahl
auf das Streifenmuster, und ein dritter Strahl auf
eine Position des Streifenmusters gelenkt wird, die
von einer Position des zweiten Strahls um ein Viertel
einer Teilung des Streifenmusters entfernt ist.
8. Optischer Kodierer nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß das optische
System eine Einrichtung aufweist zur Bündelung eines
jeden der zahlreichen gesplitteten Strahlen in einen
Strahl mit einer elliptischen Querschnittsform, und
eine Sammellinse (7) zum Bündeln jedes der zahlreichen
gesplitteten Strahlen aufweist.
9. Optischer Kodierer nach Anspruch 8,
gekennzeichnet durch eine
Konvergiereinrichtung in Form einer plan-konkaven
zylindrischen Linse.
10. Optischer Kodierer nach Anspruch 8,
gekennzeichnet durch eine
Konvergiereinrichtung in Form einer plan-konvexen
zylindrischen Linse.
11. Optischer Kodierer nach Anspruch 9 oder 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Konvergiereinrichtung ein Element mit Öffnungen zum
Hindurchlassen der Strahlen aufweist.
12. Optischer Kodierer nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß das
Diffraktionsgitter (11), die Konvergiereinrichtung
(12), die Sammellinse (7) und die Impulsskala in
dieser Reihenfolge der Emissionsrichtung des
Laserstrahls entlang der optischen Achse des
Laserstrahls angeordnet sind.
13. Optischer Kodierer nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß das
Diffraktionsgitter (11), die Sammellinse (16), die
Konvergiereinrichtung (12) und die Impulsskala in
dieser Reihenfolge in der Emissionsrichtung des
Laserstrahls entlang der optischen Achse des
Laserstrahls angeordnet sind.
14. Optischer Kodierer nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Konvergiereinrichtung eine Einrichtung zum
Konvergieren jedes der zahlreichen gesplitteten
Strahlen in einen elliptischen Laserflecken aufweist,
dessen Hauptachsenlänge 5 bis 10mal größer als die
einer Nebenachse ist.
15. Optischer Kodierer nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet, daß die Längen
der Haupt- und Nebenachsen jeweils im Bereich von 8
bis 10 bzw. 50 bis 150 Mikron sind.
16. Optischer Kodierer nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch einen
polarisierenden Strahlenteiler (14 a) und eine
λ/4-Platte (5) zwischen dem Diffraktionsgitter (11)
und dem optischen System (12, 7), wobei die
Fotodetektoreinrichtung (13) die Laserstrahlen erfaßt,
wie sie durch den polarisierenden Strahlenteiler (14 a)
abgelenkt werden, nachdem sie von der Impulsskala
reflektiert wurden.
17. Optischer Kodierer nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Sammellinse (16) zwischen dem polarisierenden
Strahlenteiler (14 a) und der Fotodetektoreinrichtung
(13) angeordnet ist.
18. Optischer Kodierer nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch ein optisches
Faserkabel zum Führen der durch die Impulsskala
hindurchtretenden Laserstrahlen zur
Fotodetektoreinrichtung (13).
19. Optischer Kodierer nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch eine zwischen dem
Halbleiterlaser (84) und dem Diffraktionsgitter (11)
angeordneten Kollimatorlinse (6) zum Kollimieren des
Laserstrahls.
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Cited By (1)
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- 1983-06-03 JP JP9896283A patent/JPS59224515A/ja active Granted
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