DE3503175C1 - Mikroskop-Photometer - Google Patents

Mikroskop-Photometer

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DE3503175C1
DE3503175C1 DE19853503175 DE3503175A DE3503175C1 DE 3503175 C1 DE3503175 C1 DE 3503175C1 DE 19853503175 DE19853503175 DE 19853503175 DE 3503175 A DE3503175 A DE 3503175A DE 3503175 C1 DE3503175 C1 DE 3503175C1
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interrupter
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DE19853503175
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English (en)
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Hans Hartmann
Franz Dipl.-Ing. Wien Tschismarov
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Leica AG Austria
Original Assignee
C Reichert Optische Werke AG
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/18Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers

Description

dadurch gekennzeichnet, daß tungseinrichtung eine Blitzeinrichtung (66) aufweist, die vom gleichen Taktsignal wie der Lichtunterbrecher (60,62) beaufschlagt ist.
5. Mikroskop-Photometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auslöschphase der Meßblendenbeleuchtungseinrichtung größer als die Öffnungsphase des im Lichtweg zur Lichtmeßeinrichtung angeordneten Lichtunterbrechers ist.
Die Erfindung betrifft ein Mikroskop-Photometer mit
d) zwischen dem teildurchlässigen Spiegel (31) und der Lichtmeßeinrichtung (26) ein das in die Lichtmeßeinrichtung (26) gelangende Licht periodisch unterbrechender Lichtunterbrecher (32,34; 48,50; 60,62) angeordnet ist,
e) eine Synchronisationseinrichtung vorgesehen ist, die mit der Beleuchtungseinrichtung (35,36, 38, 40; 35, 58; 66, 68) derart zusammenwirkt, daß die Beleuchtungseinrichtung (35,36,38,40; 35,58; 66,68) Wechsellicht abgibt, das hinsichtlich der Frequenz und der Phasenlage mit dem Lichtunterbrecher (32,34; 48,50; 60,62) derart synchronisiert ist, daß immer dann die Meßblendenbeleuchtung ausbleibt, wenn der Lichtunterbrecher (32, 34; 48, 50; 60, 62) den Lichtweg zur Lichtmeßeinrichtung (26) freigibt und
f) die Frequenz des Lichtunterbrechers (32,34; 48, 50; 60,62) so hoch ist, daß das menschliche Auge dem Lichtwechsel bei der Meßblendenbeleuchtung nicht zu folgen vermag.
a) einer zwischen Mikroskopobjektiv und Mikroskopeinblick angeordneten Teilerfläche, die einen Teil des Lichtes vom Objekt zur Lichtmeßeinrichtung ablenkt,
b) eine Meßblende, die zwischen Teilerfläche und
Lichtmeßeinrichtung angeordnet ist, c) einer Beleuchtungseinrichtung, die über einen im Strahlengang zwischen Meßblende und Lichtmeßeinrichtung angeordneten teildurchlässigen Spiegel die Meßblende derart beleuchtet, daß die Meßblende nach Durchtritt der Strahlen durch die Teilerfläche über einen Spiegel und unter Ausnutzung der Reflexion an der Teilerfläche zusammen mit dem direkten Bild des Objekts auf eine Zwischenbildebene im Mikroskopeinblick abgebildet wird.
Ein derartiges Mikroskop-Photometer ist beispielsweise aus LEITZ-Mitt. Wiss. u. Techn, Bd. VIII, Nr. 3/4, S. 86—91, 1982 bekannt. Bei einem Mikroskop-Photometer dieser Art muß die Beleuchtungseinrichtung für die Meßblende während der Messung ausgeschaltet sein. Hat die Beleuchtungseinrichtung einen Vollspiegel zum Einspiegeln des Beleuchtungslichtes der sozusagen von hinten beleuchteten Meßblende in den Strahlengang zur Lichtmeßeinrichtung, so muß dieser Vollspiegel für die Messung aus dem Strahlengang herausgeklappt werden, womit auch die Beleuchtung für die Meßblende entfällt. Ist anstelle des Vollspiegels ein Teilerspiegel zum Einspiegeln des Beleuchtungslichtes für die Meßblende vorgesehen, so muß die Lampe der Beleuchtungseinrichtung abgeschaltet werden, da sonst das eingespiegelte Licht durch den die Meßblende auf die Teilerfläche und dann in den Mikroskopeinblick zurückspiegelnden Spiegel auch in die Lichtmeßeinrichtung durch den Teilerspiegel hindurch zurückgespiegelt werden würde. In beiden Fällen kann man während der Messung die Meßblende im Mikroskopeinblick nicht beobachten, was als störend empfunden wird. Aus ZEISS-Inform, 20. Jg., Heft 80, S. 16-20,1972 ist
2. Mikroskop-Photometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Synchronisationseinrichtung dadurch gebildet ist, daß der Lichtunterbrecher (32) für das Licht (44) zur Lichtmeßeinrichtung (26) auch im Lichtweg zwischen einer kontinuierlich zur Beleuchtung der Meßblende (24) Licht abgebenden Lichtquelle (35) und der Meßblende (24) wirk- 55 es bekannt, bei einem Mikroskop-Photometer einen sam ist. Lichtunterbrecher vorzusehen, um den Gleichlicht- und
Dunkelstromanteil erfassen und als Meßfehler abziehen zu können.
Aus Applied Optics, Bd. 20, Nr. 1,1981, S. 12—14 ist es
(24) Licht abgebenden Lichtquelle (35) und der Meß- 60 bekannt, zur Messung eines einem Erregungsspektrum
überlagerten Fluoreszenzspektrums mit Hilfe eines entsprechend ausgebildeten Lichtunterbrechers einen ersten Lichtweg für die emittierte Strahlung nur dann freizugeben, wenn ein zweiter Lichtweg für die anregende
3. Mikroskop-Photometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Lichtweg zwischen einer kontinuierlich zur Beleuchtung der Meßblende
blende (24) ein weiterer Lichtunterbrecher (52, 54) vorgesehen ist, wobei die Synchronisationseinrichtung dadurch gebildet ist, daß Frequenz und Phasenlage jedes Lichtunterbrechers regelnde Regeleinrichtungen antizyklisch geschaltet und von einem gemeinsamen Taktsignal beaufschlagt sind.
4. Mikroskop-Photometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßblendenbeleuch-Strahlung, die zu hoher Untergrundstrahlung führen kann, unterbrochen wird.
Schließlich ist es aus der DE-OS 19 60903 bekannt, die Lichtunterbrecherfrequenz so hoch zu wählen, daß
3 4
das menschliche Auge wegen der Netzhautträgheit F i g. 2 eine Draufsicht auf das Flügelrad des in F i g. 1
nicht mehr zu folgen vermag und ein scheinbar stehen- gezeigten Lichtunterbrechers,
des Bild entsteht. Fig. 3 schematisch eine Seitenansicht eines Mikro-
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein skop-Photometers gemäß einer zweiten Ausführungs-Mikroskop-Photometer der eingangs genannten Art 5 form der Erfindung,
derart auszubilden, daß die Meßblende auch während F i g. 4 eine Draufsicht auf die Flügelräder der Licht-
der Messung beobachtet werden kann. unterbrecher bei der Ausführungsform gemäß F i g. 3,
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, wobei auch die relative Stellung der Flügelräder unter-
daß einander veranschaulicht ist,
ίο F i g. 5 das Blockschaltbild einer Regelschaltung für
d) zwischen dem teildurchlässigen Spiegel und der den Motor eines Lichtunterbrechers,
Lichtmeßeinrichtung ein das in die Lichtmeßein- F i g. 6 Signalverläufe beim Schaltbild der F i g. 5,
richtung gelangende Licht periodisch unterbre- F i g. 7 ein Blockschaltbild zur Synchronisation der chender Lichtunterbrecher angeordnet ist, beiden Lichtunterbrecher in der zweiten Ausführungs-
e) eine Synchronisationseinrichtung vorgesehen ist, 15 form,
die mit der Beleuchtungseinrichtung derart zusam- F i g. 8 schematisch eine Seitenansicht einer dritten
menwirkt, daß die Beleuchtungseinrichtung Wech- Ausführungsform der Erfindung, und
seilicht abgibt, das hinsichtlich der Frequenz und F i g. 9 eine Draufsicht auf das Flügelrad des Lichtun-
der Phasenlage mit dem Lichtunterbrecher derart terbrechers in der dritten Ausführungsform der Erfin-
synchronisiert ist, daß immer dann die Meßblen- 20 dung.
denbeleuchtung ausbleibt, wenn der Lichtunterbre- In F i g. 1 ist mit 10 die Objektebene, mit 12 das Mi-
cher den Lichtweg zur Lichtmeßeinrichtung frei- kroskopobjektiv, mit 14 ein Teilerprisma, mit 16 die Tei-
gibt und lerfläche des Teilerprismas und mit 18 der Mikroskop-
f) die Frequenz des Lichtunterbrechers so hoch ist, einblick bezeichnet. Das Objekt auf der Objektebene 10 daß das menschliche Auge dem Lichtwechsel bei 25 wird über das Mikroskopobjektiv direkt auf einer Zwider Meßblendenbeleuchtung nicht zu folgen ver- schenbildebene im Mikroskopeinblick 18 abgebildet, mag. wobei der Strahl durch die Teilerfläche 16 hindurchtritt.
Der Strahlengang für die Lichtmeßeinrichtung zweigt
Arbeitet man beispielsweise mit einer Lichtunterbre- an der Teilerfläche 16 in F i g. 1 nach links ab, die ein Teil cher-Frequenz von 200 bis 400 Hz, so daß die Meßblen- 30 des Lichtes vom Objekt nach links reflektiert. Das Midenbeleuchtungsfrequenz ebenfalls im Bereich von 200 kroskopobjektiv 12 bildet dabei das Objekt in einer bis 400 Hz liegt, so wird das Auge die in den Mikroskop- Ebene ab, in der eine Meßblende 24 vorgesehen ist. einblick rückgespiegelte und von »hinten« beleuchtete Diese Meßblende blendet aus der vergrößerten Zwi-Meßblende mit einer konstanten Helligkeit wahrneh- schenabbildung des Objektes einen Bereich aus, wobei men. Die Messung des Lichtes mit der Lichtmeßeinrich- 35 das Licht des ausgeblendeten Bereichs dann anschlietung wird dabei nicht gestört, da ja erfindungsgemäß die ßend in einer Lichtmeßeinrichtung 26, das durch einen Meßblendenbeleuchtung mit dem Lichtunterbrecher Photomultiplier gebildet wird, gemessen wird. Mit Hilfe derart synchronisiert ist, daß die Messung nur dann vor- von Linsen 28 und 30 wird das Objektfeld in der Ebene genommen wird, wenn die Meßblendenbeleuchtung der Meßblende 24 nahe der Eintrittsstelle in den Photoausgeschaltet ist. 40 multiplier 26 abgebildet. Ein Lichtunterbrecher oder
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung kann Chopper mit einem Flügelrad 32 und einem Antriebs-
die Synchronisationseinrichtung dadurch gebildet sein, motor 34 ist derart angeordnet, daß das Flügelrad 32
daß der Lichtunterbrecher für das Licht zur Lichtmeß- durch den gemeinsamen Brennpunkt der Linsen 28 und
einrichtung auch im Lichtweg zwischen einer kontinu- 30 hindurchgeht, wie dies in F i g. 1 gezeigt ist.
ierlich Licht abgebenden Meßblendenbeleuchtungsein- 45 Um den Ort der Meßblende 24 in der Zwischenabbil-
richtung und der Meßblende wirksam ist. dung des Objekts auch im Mikroskopeinblick 18 erken-
Bei einer anderen Ausführungsform ist im Lichtweg nen zu können, wird die Meßblende 24 über einen teil-
zwischen einer kontinuierlich Licht abgebenden Meß- durchlässigen Spiegel 31 mit Hilfe einer Lichtquelle 35
blendenbeleuchtungseinrichtung und der Meßblende in der in F i g. 1 dargestellten Weise von »hinten« be-
ein weiterer Lichtunterbrecher vorgesehen, wobei die 50 leuchtet. Dabei wird mit einer Linse 28 das Licht aus der
Synchronisationseinrichtung dadurch gebildet ist, daß Lichtquelle 35 zunächst in der Ebene des Flügelrades 32
Frequenz und Phasenlage jedes Lichtunterbrechers re- des Lichtunterbrechers gebündelt, so daß das Flügelrad
gelnde Regeleinrichtungen antizyklisch geschaltet und 32 auch den Lichtstrahl aus der Lichtquelle 35 zerhak-
von einem gemeinsamen Taktsignal beaufschlagt sind. ken kann. Das zerhackte Licht wird dann mit Hilfe eines
Bei einer weiteren Ausführungsform umfaßt die Meß- 55 Lichtleiters 38 umgelenkt und über eine Linse 40 auf den blendenbeleuchtungseinrichtung eine Blitzeinrichtung, Teilerspiegel 31 geworfen, so daß schließlich die Meßdie vom gleichen Taktsignal wie der Lichtunterbrecher blende 24 von »hinten« beleuchtet wird. Die von »hinbeaufschlagt wird. ten« beleuchtete Meßblende 24 wird im Mikroskopein-
Um eine möglichst fehlerfreie Messung zu erhalten, blick abgebildet, wobei der Strahl zunächst von der
ist zweckmäßigerweise die Auslöschphase der Meß- 60 Meßblende 24 durch die Teilerfläche 16 hindurchtritt,
blendenbeleuchtungseinrichtung größer als die öff- dann an einem auf der entgegengesetzten Seite des Tei-
nungsphase des im Lichtweg zur Lichtmeßeinrichtung lerprismas 14 angeordeten Tripelspiegel 42 auf die Tei-
angeordneten Lichtunterbrechers. lerfläche 16 zurückreflektiert wird, die dann schließlich
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeich- den Strahl in den Mikroskopeinblick 18 umlenkt. Auf
nung näher erläutert. In der Zeichnung stellt dar 65 diese Weise erscheint die Meßblende als heller Punkt
Fig. 1 schematisch eine Seitenansicht eines Mikro- bei der Betrachtung des mikroskopierten Objekts im
skop-Photometers gemäß einer ersten Ausführungs- Mikroskopeinblick,
form der Erfindung, Das Flügelrad 32 hat die in F i g. 2 gezeigte Ausgestal-
tung. Das Flügelrad 32 hat zwei symmetrisch zueinander angeordnete Flügel, die die Form von Kreissektoren haben. Die Kreissektoren sind dabei abgestuft Bis zur Abstufung hat der Kreissektor einen öffnungswinkel oc in der Größenordnung von ca. 110°. Nach der Abstufung, wenn der Radius einen größeren Wert annimmt, verringert sich der Öffnungswinkel auf/?. Der Winkel/? hat beispielsweise einen Wert von 90°. Im Messungsbereich des Kreissektors mit dem Öffnungswinkel β liegt der durch die Meßblende 24 definierte und zum Photomultiplier 26 gerichtete Meßstrahl 44, während radial weiter innen im Wirkungsbereich des Kreissektors mit dem größeren öffnungswinkel oc der Beleuchtungsstrahl 46 für die Meßblende 24 liegt. Die Anordnung ist dabei, wie in F i g. 2 gezeigt, derart getroffen, daß zunächst in Drehrichtung des Flügelrades 32, die durch einen Pfeil in F i g. 2 gekennzeichnet ist, der Meßstrahl 44 unterbrochen wird. Dann wird der Beleuchtungsstrahl 46 freigegeben. Der Beleuchtungsstrahl 46 wird ge Unterbrechung des Lichtweges, während die einfach schraffierten Felder das Eintauchen des Flügels des Flügelrades mit seiner Drehkante in den Lichtweg der Lichtschranke 56 veranschaulichen. An der Lichtschranke 56 ist ein invertierender Schmitt-Trigger 26' angeschlossen, der das Trapezsignal gemäß 6b in ein Rechtecksignal gemäß F i g. 6c umwandelt. Als Schmitt-Trigger kann der Baustein 74 C14 verwendet werden.
ίο Der Ausgang des Schmitt-Triggers 26' ist mit dem Eingang eines flankengetriggerten und mit Vorzeichengedächtnis ausgestatteten digitalen Phasendetektors 28' verbunden, der auf seinem anderen Eingang die So.llfrequenz gemäß F i g. 6d erhält. Als Phasendetektor kann der Baustein MCl 4046 B verwendet werden, wobei die Eingangsanschlüsse PCA1n und PCB1n belegt werden. Am Ausgang PC2out erscheint dann das in F i g. 6e veranschaulichte Signal. Ein Tiefpaßfilter 30' filtert die vom Phasendetektor 28' abgegebenen Impulse und erzeugt
vom nachfolgenden Flügel wieder unterbrochen noch 20 ein Regelsignal, das in F i g. 6f veranschaulicht ist. Nach bevor der Meßstrahl 44 freigegeben wird. Dieses Spiel Durchlauf eines Multiplexers 32' (bspw. MCl 4066 B),
wiederholt sich von Umdrehung zu Umdrehung. Auf diese Weise wird auf rein mechanischem Wege eine Synchronisation der Unterbrechung des Meßstrahls 44 und des Beleuchtungsstrahls 46 sichergestellt derart, daß während der Messung mit dem Photomultiplier 26 kein Licht der Meßblendenbeleuchtungseinrichtung über den Tripelspiegel 42, die Teilerfläche 16 und den Teilerspiegel 31 in den Photomultiplier 26 gelangen der in Abhängigkeit eines LAUF-HALT-Signals umschaltet und in der in F i g. 5 gezeigten Stellung in der Stellung I steht, wenn er das LAUF-Signal erhält, gelangt das in F i g. 6f gezeigte Regelsignal zu einem Proportionalverstärker 34' (bspw. 741), der das Regelsignal verstärkt, das dem trägheitsarmen Gleichstrommotor 50 zum Antrieb des Flügelrades 48 dann zugeleitet wird Auf diese Weise läßt sich über die Sollfrequenz die
kann. Trotzdem erscheint bei den üblichen Chopperfre- 30 Lichtunterbrecherfrequenz vorgegeben und regeln, so quenzen von 200 bis 400 Hz das Bild der Meßblende 24 daß diese möglichst konstant und in der Phasenlage während der Messung im Mikroskopeinblick mit konstanter Helligkeit, da das Auge dem schnellen Licht
wechsel nicht zu folgen vermag.
gleich bleibt.
Gelangt an den Multiplexer 32 das HALT-Signal, so schaltet dieser auf II um, wobei anstelle des Regelweges
Bei einer anderen Ausführungsform der Erfindung, 35 über 26', 28' und 30' nunmehr ein Regelweg über einen die in den F i g. 3 und 4 gezeigt ist, sind voneinander Proportionalverstärker 36' eingeschlagen wird, bei dem getrennte Lichtunterbrecher für den Meßstrahl 44 und
den Meßblendenbeleuchtungsstrahl 46 vorgesehen. Der
Lichtunterbrecher für den Meßstrahl 44 hat das Flügei
es sich ebenfalls um den Baustein 741 handeln kann. Dieser Baustein führt eine Pegelverschiebung durch, d. h. daß die Nullinie des Ausgangssignals zur Nullinie rad 48, das von einem Antriebsmotor 50 angetrieben 40 des Eingangssignals bei gleichzeitiger Verstärkung des wird, während der Lichtunterbrecher für den Meßblen- Eingangssignals verschoben wird, wie dies aus einem denbeleuchtungsstrahl 46 das Flügelrad 52 und den An- Vergleich der F i g. 6b und 6g hervorgeht, wobei erstere triebsmotor 54 aufweist. das Ausgangssignal der Lichtschranke und damit das
Um beide Lichtunterbrecher regeln zu können, ist Eingangssignal des Bausteins 36' darstellt, während letzjedem Lichtunterbrecher je eine Lichtschranke 56, 58 45 tere das Ausgangssignal des Bausteins 36' darstellt, das zugeordnet, deren Lichtwege von den Flügelrädern 48, dann über den Multiplexer 32' und den Proportionalver-
52 unterbrochen werden. Die Konstanz der Lichtunterbrecherfrequenz wird nun mit Hilfe der in F i g. 5 gezeigten Schaltung sichergestellt. Die in Fi g. 5 gezeigte Schaltung kann aber auch das Flügelrad des Lichtunterbrechers an einer definierten Stelle anhalten, die derart gewählt ist, daß in dieser Stellung des Flügelrades dann das Meßlicht ungehindert in den Photomultiplier gelangen kann.
Um dies zu ermöglichen, ist der Ort der an sich bekannten sogenannten Gabellichtschranke 56 bestehend aus einer Leuchtdiode und einer Photodiode derart gewählt, daß, wie es aus F i g. 4 hervorgeht, das Meßlicht 44 vom Lichtunterbrecher nicht unterbrochen wird, wenn sich die in Drehrichtung des zweiflügligen Flügelrades hintere Kante eines Flügels im Lichtweg der Lichtschranke 56 befindet. Die Drehrichtung des Flügelrades ist in F i g. 4 mit einem Pfeil gekennzeichnet.
Der Signalverlauf am Ausgang der Lichtschranke 56 ist in F i g. 6b gezeigt, wobei in F i g. 6a, die der F i g. 6b zugeordnet ist, die periodische Unterbrechung des Lichtweges der Lichtschranke veranschaulicht ist. Dabei bedeuten die doppelt schraffierten Felder eine völlistärker 34' an den Gleichstrommotor 56 gelangt. Die Nullinie geht bei dem in F i g. 6g veranschaulichten Ausgangssignal an Stellen hindurch, die Grenzwerten G im Eingangssignal gemäß Fig.6b des Bausteins 36' entsprechen. Diese Grenzwerte G sind so gewählt, daß die Nullinie in F i g. 6g asymmetrisch zum Signalverlauf zu liegen kommt derart, daß die bei unterbrochenem Lichtweg der Lichtschranke auftretende maximale Beschleunigungsspannung Ubs kleiner als die bei offener Lichtschranke mit umgekehrter Polarität auftretende maximale Bremsspannung Ubr ist. Soll also der Lichtunterbrecher mit dem symmetrischen zweiflügligen Rad gestoppt werden, so ist die Bremsverzögerung bei nichtunterbrochener Lichtschranke größer als die Beschleunigung, die während der Zeit auftritt, in der der Flügel des Lichtunterbrechers den Lichtweg der Lichtschranke unterbricht. Das Flügelrad wird also abgebremst, bis es zum Stillstand kommt Ist die Lichtschranke bei Stillstand des Flügelrades offen, so wird das Flügelrad aufgrund der umgekehrten Polarität der Bremsspannung dann in die entgegengesetzte Richtung gedreht werden, bis der Flügel mit seiner in der ursprünglichen Drehrich-
tung hinteren Drehkante den Lichtweg der Lichtschranke unterbricht und wieder in der ursprünglichen Drehrichtung beschleunigt wird. Der Vorgang wiederholt sich, wobei sich schließlich der Flügel in einer stabilen Lage einpendelt, in der seine in der normalen Drehrichtung hinteren Kante im Lichtweg der Lichtschranke zu liegen kommt, wie dies in F i g. 4 gezeigt ist.
Ein Verharren des Flügels mit seiner in Drehrichtung vorderen Kante im Lichtweg der Lichtschranke ist nicht möglich, da dies ein labiler Zustand ist. ι ο
Zusammenfassend kann also festgestellt werden, daß das Regelsystem I mit den Komponenten 56 bis 34' als Nachlaufsynchronisation (phase-locked loop) ausgeführt ist und zur Geschwindigkeitsregelung verwendet wird, wobei durch schaltungsmäßige Auslegung ein möglichst kleines Phasenrauschen erzielt wird. Daher kann sowohl das Signal von der Gabellichtschranke als auch die Sollfrequenz zur Synchronisation mit der Lichtmessung verwendet werden.
Das Regelsystem II mit den Komponenten 48,50,56, 36', 32', 34' ist als Proportionalregler ausgeführt, wobei sich eine Regelabweichung einstellt, wenn die optische Achse der Gabellichtschranke nicht mit einer Kante des Lichtunterbrechers übereinstimmt. Bevor sich das System stationär einstellen kann, muß es zuerst eine Bremsung des Lichtunterbrechers bewirken. Dies wird durch die Pegelverschiebung bewirkt, wodurch die Regelabweichung, die sich als Antrieb in die Gegenrichtung auswirkt, den Motor mehr abbremst, als er in den Phasen, wo die Regelabweichung ein Wiederbeschleunigen bewirkt, wiederbeschleunigt werden kann. Erst wenn der Motor genügend abgebremst ist, um eine tatsächliche Bewegung in Gegenrichtung kurzzeitig zu erfahren, tritt die Regelung in Kraft.
Nun ist für das Flügelrad 52 und die Lichtschranke 59 die gleiche Regelschaltung wie in F i g. 5 gezeigt nochmals vorgesehen, wobei die Zusammenschaltung beider Regelschaltungen in F i g. 7 gezeigt ist.
Das antizyklische Arbeiten der beiden Chopper wird auf mechanischem Wege erreicht, indem die Anordnung derart getroffen wird, daß der Meßstrahl 44 freigegeben wird, wenn die in Drehrichtung hintere Kante eines Flügels des zweiflügligen symmetrischen Flügelrades 48 sich im Lichtweg der Lichtschranke 56 befindet und daß der Meßblendenbeleuchtungsstrahl 46 vom zweiflügligen symmetrischen Flügelrad 52 unterbrochen wird, wenn sich die in Drehrichtung hintere Kante eines Flügels im Lichtweg der Lichtschranke 58 befindet, wie dies in F i g. 4 deutlich gezeigt ist. Die Flügel des Flügelrades 48 haben die Form von Kreissektoren, welche einen öffnungswinkel von beispielsweise 90° haben, während die Flügel des Flügelrads 52 die Form von Kreissektoren haben, die einen Öffnungwinkel von beispielsweise jeweils 110° haben. Damit ist sichergestellt, daß die Meßblendenbeleuchtung länger ausgeschaltet bleibt als die Messung dauert, so daß der Photomultiplier durch das Meßblendenlicht nicht beeinflußt wird. Solange der Meßstrahl vom Flügelrad 48 freigegeben wird, ist der Meßblendenbeleuchtungsstrahl 46 durch das Flügelrad 52 blockiert. Im übrigen ergeben sich dieselben Wirkungen wie bei der vorangegangenen Ausführungsform.
Nachzutragen bleibt, daß bei der Ausführungsform nach F i g. 3 auch der Meßblendenbeleuchtungsstrahl 46 mit Hilfe von zwei Sammellinsen 58 in ähnlicher Weise in der Ebene des Flügelrades 52 gebündelt wird, wie dies mit Hilfe der Linsen 28 und 30 für den Meßstrahl 44 geschieht.
In den F i g. 8 und 9 ist eine dritte Ausführungsform der Erfindung dargestellt. Auch bei dieser Ausführungsform ist ein hinsichtlich der Frequenz und seiner Halteposition in der oben beschriebenen Weise geregelter Lichtunterbrecher mit einem Flügelrad 60, einem Antriebsmotor 62 und einer Lichtschranke 64 zur Unterbrechung des Meßstrahls 44 vorgesehen, wobei in der Halteposition des Lichtunterbrechers der Meßstrahl 44 unterbrochen wird, wie dies aus F i g. 9 hervorgeht. Als Lichtquelle dient aber in diesem Fall nicht eine kontinuierlich leuchtende Lampe, sondern eine Blitzlampe 66, die in Abhängigkeit von dem Taktsignal {Eingangssollfrequenz) angetriggert wird, das auch die Frequenz des Lichtunterbrechers vorgibt. Eine der Blitzlampe 66 nachgeschaltete Linse 68 bündelt das Licht auf die Meßblende 24. Im übrigen sind die Wirkungen dieser Ausführungsform die gleichen wie bei den vorangegangenen Ausführungsformen.
Hierzu 6 Blatt Zeichnungen
- Leerseite -

Claims (1)

  1. Patentansprüche: 1. Mikroskop-Photometer mit
    a) einer zwischen Mikroskopobjektiv (12) und Mikroskopeinblick (18) angeordneten Teilerfläche (16), die einen Teil des Lichtes vom Objekt zur Lichtmeßeinrichtung (26) ablenkt,
    b) einer Meßblende (24), die zwischen Teilerfläche (16) und Lichtmeßeinrichtung (26) angeordnet ist,
    c) einer Beleuchtungseinrichtung (35, 36, 38, 40; 35, 58; 66, 68), die über einen im Strahlengang zwischen Meßblende (24) und Lichtmeßeinrichtung (26) angeordneten teildurchlässigen Spiegel (31) die Meßblende (24) derart beleuchtet, daß die Meßblende (24) nach Durchtritt der Strahlen durch die Teilerfläche (16) über einen Spiegel (42) und unter Ausnutzung der Reflexion an der Teilerfläche (16) zusammen mit dem direkten Bild des Objekts auf eine Zwischenbildebene im Mikroskopeinblick (18) abgebildet wird,
DE19853503175 1985-01-31 1985-01-31 Mikroskop-Photometer Expired DE3503175C1 (de)

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JP1829286A JPS61223519A (ja) 1985-01-31 1986-01-31 顕微鏡用光度計

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JP (1) JPS61223519A (de)
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994007164A1 (de) * 1992-09-21 1994-03-31 Leica Mikroskopie Und Systeme Gmbh Verfahren und vorrichtung zur messung von belichtungszeiten in optischen geräten mit mikroskopischem abbildungsstrahlengang
WO2002029470A1 (de) * 2000-10-06 2002-04-11 Carl Zeiss Jena Gmbh Mikroskop, insbesondere inverses mikroskop
EP1865306B1 (de) 2005-04-01 2017-02-01 Olympus Corporation Optische messvorrichtung

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1960903A1 (de) * 1968-12-06 1970-06-18 Europ De Semi Conducteurs Et D Optische Vorrichtung

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1810857A1 (de) * 1967-11-24 1969-07-17 Victor Company Of Japan Farbfernseh-Bildaufnahmevorrichtung
US3851949A (en) * 1970-06-18 1974-12-03 Leitz Ernst Gmbh Microscope having a photometer
JPS5856107B2 (ja) * 1976-09-25 1983-12-13 オリンパス光学工業株式会社 定量化顕微鏡

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1960903A1 (de) * 1968-12-06 1970-06-18 Europ De Semi Conducteurs Et D Optische Vorrichtung

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Applied Optics, Bd. 20, Nr. 1, 1981, S. 12-14 *
LEITZ-Mitt. Wiss. u. Techn., Bd. VIII, Nr. 3/4, S. 86-91, 1982 *
ZEISS-Inform., 20. Jg., Heft 80, S. 16-20, 1972 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1994007164A1 (de) * 1992-09-21 1994-03-31 Leica Mikroskopie Und Systeme Gmbh Verfahren und vorrichtung zur messung von belichtungszeiten in optischen geräten mit mikroskopischem abbildungsstrahlengang
WO2002029470A1 (de) * 2000-10-06 2002-04-11 Carl Zeiss Jena Gmbh Mikroskop, insbesondere inverses mikroskop
EP1865306B1 (de) 2005-04-01 2017-02-01 Olympus Corporation Optische messvorrichtung

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Publication number Publication date
EP0190824A3 (de) 1987-08-12
EP0190824A2 (de) 1986-08-13
JPS61223519A (ja) 1986-10-04

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