DE3502145A1 - Dielektrische keramikzusammensetzung - Google Patents

Dielektrische keramikzusammensetzung

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DE3502145A1 DE19853502145 DE3502145A DE3502145A1 DE 3502145 A1 DE3502145 A1 DE 3502145A1 DE 19853502145 DE19853502145 DE 19853502145 DE 3502145 A DE3502145 A DE 3502145A DE 3502145 A1 DE3502145 A1 DE 3502145A1
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Description

TAIYO YUDEN KABUSHIKI KAISHA, 2-12, Ueno 1-chome, Taito-ku, Tokyo 110, Japan
Dielektrische Keramikzusammensetzung
Die Erfindung betrifft eine dielektrische Keraxr.ikzusammensetzung.
Erfindungsgemäße dielektrische Keramikzusammensetzungen sind als Materialien für dielektrische Resonatoren einsetzbar.
In den letzten Jahren gab es weitverbreitet Funkgeräte, die in Frequenzbereichen mehrerer GHz, arbeiten, sogenannte persönliche Funkgeräte und selbstbewegliche, bspw. Auto-Telefone. Dielektrische
819
Büro Bremen / Bremen Office:
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Hollerallee 32. D-2800 Bnwn 1
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(RI 7 70010111)1790770?00 Büro München/.Munich Office (nurPairnonu
Postfach / P. O. Box 22 0137 Schlotthauerstraße 3. D-8000 München 22 Telephon· (089) 223311 Teiekop /Telecop.: (089) 221569 CCITl 2 Telegr. / Cables: Forbopat München
BOEHMERT & BOEKMEBT "..*». ·.-·..-·-
3502U5
Keramikinaterialien zum Einsatz als dielektrische Resonatoren, die konventioneller Weise in derartige Funkgeräte eingebaut werden, sind bspw. MgO-CaO TiO- Keramik und BaO-TiO„ Keramik. Die aus dem bekannten Keramikmaterialien erhaltenen Gegenstände besitzen eine spezifische induktive Kapazität von 20 bis 40 und eine Oberflächenrauhigkeit, R , von 3 bis \xm. Die Temperaturcharakterist-
IU el Χ
ika der Resonanzfrequenz von aus diesen Keramikmaterialien hergestellten Resonatoren befinden sich im Bereich von +100 bis -100 ppm/0C. Ein Q-Wert in unbelastetem Zustand befindet sich im Bereich von etwa 4000 bis 7000.
Demzufolge werfen die Keramikmaterialien selbst wenig oder keine praktischen Probleme hinsichtlich ·* ihrer charakteristischen Eigenschaften auf.
Die bekannten Keramik-Gegenstände haben aber den schwerwiegenden Nachteil, daß ihr Einsatz-Verlust groß ist. Dieses wird der Tatsache zugeschrieben, daß ein Oberflächenwiderstand, R , eines als über-
zug auf der Oberfläche der Keramik-Gegenstände hergestellten Leiters um 50 bis 60% größer ist als der Oberflächenwiderstand R eines Leiters der einen Keramikgegenstand mit einer glatten Oberfläche überzieht. Um den Oberflächenwiderstand R , zu erniedrigen, ist es notwendig, Keramikgegenstände
mit einer geringen Oberflächenrauhigkeit, R , her-
max
zustellen. Demzufolge besteht ein hoher Bedarf an der Entwicklung von dielektrischen keramischen Zusammensetzungen, die dazu befähigt sind, Gegenstände zu liefern, die bessere Oberflächenbedingungen als
BOEHMERT& BOEi3MfcR
3502H5 - v-
die bekannten keramischen Zusammensetzungen haben.
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, dielektrische keramische Zusammensetzungen zu schaffen, die geformte Gegenstände mit einer Oberflächenrauhigkeit von nicht mehr als 2 um ermöglichen.
Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, dielektrische keramische Zusammensetzungen zu schaffen, die eine Temperaturcharakteristik der Resonanzfrequenz nf, von -30 bis +30 ppm/°C in einem Temperatur bereich von +25°C bis +850C liefern, wenn sie als dielektrische Resonatoren eingesetzt werden.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine dielektrische Keramikzusammensetzung gelöst, die im wesentlichen xZrO^-yCeOp-zSiO^-TiO« aufweist, wobei χ + γ + ζ = 1 ist und x, y und ζ sich innerhalb eines Molbereiches befinden, der in Dreieckskoordinatendarstellung der Zusammensetzung durch ein Polygon umgrenzt wird, das an seinen Ecken die Punkte A, B, C und D besitzt, die wie folgt bestimmt sind:
X 98 y 01 Z 01
A 0. 60 0. 39 0. 01
B 0. 60 0. 18 0. 22
C 0. 77 0. 01 0. 22
D 0. 0. 0.
BOEHMERT & BOEEiITERT ·--· -- ·.-·—·
3502H5
- r-
Weiterhin kann mindestens ein Oxid ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Al2O3, La3O3 unc Cr2°3
obiger Zusammensetzung in einer Menge
von zwischen 0,05 bis 1,0 Gewichtsteile pro
100 Gewichtsteile der vier Komponenten xZrO2-y602-zSiO2-TiO9 zugesetzt werden.
Die Erfindung wird nun anhand der einzigen, ein
Diagramm der Zusammensetzung in Dreieckskoordinaten zeigenden Figur, welche den Bereich der erfindungsgemäßen keramischen Zusammensetzung in Mol zeigt, erläutert.
Wie bereits weiter oben beschrieben, besteht die dielektrische Keramikzusammensetzung gemäß der
Erfindung im wesentlichen aus XZrO2-VCeO2-ZSiO--TiO2, wobei χ + y + ζ = 1 ist. Zusätzlich werden x, y und ζ in Molbereichen durch ein Polygon umschrieben, welches an seinen Ecken die Punkte
A, B, C und D eines ternären Kompositionsdiagramms der Figur die wie folgt, definiert ist, besitzt.
X 98 y 01 Z 01
A 0. 60 0. 39 0. 01
B 0. 60 0. 18 .0. 22
C 0. 77 0. 01 0. 22
D 0. 0. 0.
wobei der nf Wert so gesteuert wird, daß er sich innerhalb eines Bereichs von -30 bis +30 ppm/ C be-
BOEHMERT & BOEHMERT '.·" "· "·-"—'
3502H5
findet, wenn die Zusammensetzung als F.esonator eingesetzt wird.
Die Gründe dafür, warum die Molverhältnisse entsprechender Komponenten als solche begrenzt sind, werden unter Bezugnahme auf die begleitende Zeichnung beschrieben, die ein eier Zusammensetzung in Dreieckskomnination, zeigt.
Außerhalb des Bereiches an Seite 1 der Figur wird die Ternperaturcharakteristik der Resonanzfrequenz, nf, im Absolutwert größer, als auf der Minusseite beabsichtigt.
Ähnlicher Weise wird die Oberflächenrauhigkeit, R ,
ITl σ. Χ
eines aus der Keramik hergestellten Substrates außerhalb des Bereichs an der J-Seite größer als eine erwünschte Größe.
Außerhalb des Bereiches an der K-Seite*. ist der nf-Wert größer als ein erwünschter Wert auf der Plusseite und außerhalb des Bereiches an der L-Seite wird die Oberflächenrauhigkeit, R , größer als
max
ein erwünschter Wert.
Bei der Durchführung der Erfindung dient mindestens ein Oxid wie Al3O3, La3O3 oder Cr3O3, welches obiger Zusammensetzung zugesetzt wird, dazu, die Oberflächenrauhigkeit R von aus der entstehenden
max
keramischen Zusammensetzung erhaltenen Formkörpern herabzusetzen. Wenn die Menge mindestens eines Oxids weniger als 0,05 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile der Hauptzusammen-
BOEHMERT & ΒΟΕΗΛΙΕΚΤ ·.." .:. ·.."..--
3502H5
- fr -
setzung ist, können keine zufriedenstellenden Wirkungen "dieses Oxides erreicht werden. Andererseits können dann, wenn die Menge 1,0 Gewichtsteile überschreitet, die erwünschten Wertebereiche der oben aufgeführten Charakteristika nicht erzielt werden. Insbesondere wird dann, wenn Al^O, oder Cr-O-, in größeren Mengen zugesetzt wird, die Temperaturcharakteristik der Resonanzfrequenz nf, größer als der gewünschte Wert. In ähnlicher Weise wird, wenn die Al2O3-Menge ansteigt, die Oberflächenrauhigkeit, R
ITIcIX
größer als ein erwünschter Wert, mit Tendenz in Richtung steigenden dielektrischen Verlustes.
Die erfindungsgemäße keramische Zusammensetzung kann leicht in gewünschte Formen geformt werden, die geeigneter Weise als Substrate für Resonatoren in jeglicher üblichen Weise eingesetzt werden. Dies ist speziell in Beispielen beschrieben.
Beispiel 1
In diesem Beispiel wurden acht Proben unter Verwendung von erfindungsgemäßen keramischen Zusammensetzungen hergestellt, ohne ein Oxid zu beinhalten.
ZrO2; CeO2, SiO2 un^ τ^°2' ^e Jeweüs eine Reinheit von 99% besaßen, wurden so abgewogen, daß x, y und ζ in der Zusammensetzung XZrO3-VCeO2-ZSiO3-TiO2 wie in eins bis acht der Tabelle 1 gezeigt, eingestellt wurden, und mit Alkohol in einer Kugelmühle über zwanzig Stunden vermischt.
BOEHMERT & BOEHME-RT "..* .:. ·.."...*
— 7 ~
.1
Jede Mischung wurde getrocknet und bei einer Temperatur von 11000C zwei Stunden calziniert, gefolgt durch Vermählen. Anschließend wurde Polyvinylalkoholbindemittel dem Pulver zugegeben, gefolgt durch Preßformen unter einem Druck von 3 t/cm zu einer Scheibenform und Sintern bei einer geeigneten Temperatur von 1300 bis 13800C, abhängig von der keramischen Zusammensetzung, um Scheiben mit einem Durchmesser von 8mm und einer Dicke von 4mm (Proben 1 bis 8) herzustellen.
Diese Proben wurden in jeweils zwischen zwei Messingplatten sandwichartig gelegt, die einen Durchmesser von 24mm besaßen und jeweils mit Kupfer überzogen und verspiegelt, wodurch dielektrische Resonatoren erhalten wurde. Die Resonatoren wurden Messung der spezifischen induktiven Kapazität, £ , des unbelasteten O-Wertes, der Temperaturcharakteristik der Resonanzfrequenz, nf, und der Oberflächenrauhigkeit R
ΧΠ3.Χ
unterworfen, mit den in Tabelle 1 gezeigten Resultaten.
Die spezifische induktive Kapazität, £, wurde bestimmt, indem zuerst eine Resonanzfrequenz, f , mittels eines dielektrischen Resonanzverfahrens bestimmt wurde (durch welches gefunden wurde, daß alle Proben Resonanzfrequenzen oberhalb von 8,2 GHz besaßen), und indem die Kapazität auf Grundlage der gemessenen Frequenz und des gemessenen Durchmessers und Dicke jeder Probe berechnet wurde. Der Q-Wert im nicht be-
BOEHMERT& BOEHMERT "..· .:. ■-....-
3502H5
• IWJ ·
lasteten Zustand wurde wie folgt bestimmt; eine Halbenergiebreite (f^ - f..) und der Einsatzverlust IL (dB) wurden bei einer Temperatur von 25°C mittels des dielektrischen Resonanzverfahrens gemessen und der Q-Wert auf Grundlage
des gemessenen Wertes und der Resonanzfrequenz f berechnet. Die Temperaturcharakteristik der Resonanzfrequenz, nf, wurde bestimmt, indem die Resonanzfrequenz im Temperaturbereich von 25 bis 85°C gemessen wurde und die Frequenz pro Einheitsgrad gemessen wurde. Die Oberflächenrauhigkeit, R , wurde gemäß dem in JIS B 06 01 max
beschriebenen Verfahren bestimmt, wobei die Oberfläche jeder Probe unter Verwendung eines nadelartigen Oberflächenrauhigkeitsbestimmungsgerätes gemessen wurde.
Zum Vergleich wurden von den erfindungsgemäßen Zusammensetzungen differierende keramische Zusammensetzungen, wie sie in (9) bis (12) der Tabelle 1 aufgeführt sind, dazu verwendet, Proben und dielektrische Resonatoren in dem gleichen Verfahren und unter gleichen Bedingungen, wie oben beschrieben, herzustellen.
Die resultierenden Resonatoren wurden Messungen ihrer Charakteristika in dem gleichen wie dem oben beschriebenen Verfahren unterworfen.
Die als Ausgangsmaterialien für 1 bis 8 und (9) bis (12) eingesetzten keramischen Zusammensetzungen, die A bis L im Dreieckskoordinatendiagramm der Zusammensetzung der beiliegenden Zeichnung entsprechen, sind auch in Tabelle 1 angegeben.
BOEHMERT & BOEiäMERT ".-* -· *.- —
3502H5
/to
Wie klar aus dem Resultat in Tabelle 1 ersichtlich ist, besitzen die Proben 1 bis 8 gemäß der Erfindung eine spezifische induktive Kapazität,
I, von 38,2 bis 4 2,7, einen Q-Wert im lastfreien Zustand von 64 00 bis 74 00, eine Temperaturcharakteristik der Resonanzfrequenz, nf, von -19 bis +28 ppm/ C, und eine Oberflächenrauhigkeit,
R , von 1,5 bis 2,0 μπι. Im Gegensatz dazu bemax
saß die Probe (9), entsprechend der Zusammensetzung 1 im ternären Diagramm, einen nf-Wert von -40 ppm/°C. Die Probe (11), entsprechend der Zusammensetzung K besaß einen nf-Wert von -109 ppm/°C. Demzufolge befanden sich die Proben (9) und (11) außerhalb des erfindungsgemäßen Bereiches. Die Proben (10), (11) und (12), entsprechend J, K und L besaßen darüber hinaus Oberflächenrauhigekten von 3,3, 4,1 und 4,0 μπι, was den gewünschten Wert überschreitet.
Beispiel 2
Bei diesem Beispiel wurden keramische Zusammensetzungen, die 0,05 bis 1,0 Gewichtsteile Al3O3 pro 100 Gewichtsteile ZrO3, CeO3, SiO3 und 3 aufwiesen, wie in den Probennummern 1 bis 9, 11 bis 14 und 16 bis 19 in Tabelle 2 angegeben, eingesetzt, um Proben in gleicher Form wie in Beispiel 1 in gleicher Weise wie in Beispiel 1 herzustellen. Dielektrische Resonatoren des gleichen ■Typs wie in Beispiel 1 wurden hergestellt, indem diese Proben verwandt wurden und Untersuchungen ihrer charakteristischen Eigenschaften unterworfen. Vergleichsweise wurden die Probe-Nr. (10),
BOEHMERT & BOEHMERf :..: .:. ' :..:...:
•/12-
((15) und (20), die sich außerhalb des erfindungsgemäßen Bereiches befanden, nämlich mit 2,0 Gewichtsteile Al2O3 pro 100 Gewichtsteile der Hauptkomponenten, eingesetzt, um Proben der gleichen Form wie oben eingesetzt, herzustellen und diese den Untersuchungen ihrer Charakteristika zu unterwerfen.
Die Zusammensetzungen und die Testresultate dieser Proben sind in Tabelle 2 gezeigt, wobei die Zusammensetzungen der Hauptkomponenten entsprechend A bis H im ternären Zusammensetzungsdiagramm angegeben sind.
Wie aus den Tabellen-Resultaten ersichtlich, besaßen die erfindungsgemäßen Proben (Proben Nr. 1 bis 9, 11 bis 14 und 16 bis 19) eine spezifische induktive Kapazität, £, von 35,0 bis 42,4; einen Q-Wert im nicht belasteten Zustand von 6000 bis 7100, eine Temperaturcharakteristik der Resonanzfrequenz, nf, von -20 bis +26 ppm/°C, und eine Oberflächenrauhigkeit, R__„, von 1,0 bis 1,9 μΐη.
ΙΏα,Χ
Im Gegensatz dazu besaßen die dielektrischen Resonatoren, die unter Verwendung der Proben (10), (15) und (20) hergestellt waren und 2,0 Gewichtsteile Al3O3 pro 100 Gewichtsteile der Hauptkomponenten aufwiesen, entsprechend nf-Werte von -33, -36 und -37 ppm/°C, die sich auf der Minus-Seite außerhalb des erfindungsgemäßen Bereiches befanden.
Beispiel 3
Bei diesem Beispiel wurden keramische Zusammen-
BOEHMERT & BOEHME&T *..' .:
- χι -
Setzungen, welche 0,05 bis 1,0 Gewichtsteile La0O- pro 100 Gewichtsteile ZrO9, CiO9, SiO- und TiO , wie mit den Probenummern 1 bis 9, 11 bis 14 und 16 bis 19 der Tabelle 3 bezeichnet aufweisen, vorgesehen, um Proben der gleichen Form in der gleichen Weise wie in Beispiel 1 herzustellen. Dielektrische Resonatoren des gleichen Typs wie in Beispiel 1 wurden unter Verwendung dieser Proben hergestellt und Untersuchungen ihrer Charateristika in gleicher Weise wie in Beispiel 1 unterworfen. Vergleichsweise wurden Keramikzusammensetzungen mit Probenummern (10), (15) und (29), die sich außerhalb des erfindungsgemäßen Bereiches befanden, nämlich 2,0 Gew.-Teile La3O3 pro 100 Gewichtsteile der Hauptkomponenten, eingesetzt, um Proben der gleichen Form wie oben eingesetzt herzustellen und den Untersuchungen ihrer Charakteristika unterworfen.
Die Zusammensetzungen und die Testresultate dieser Proben werden in Tabelle 3 gezeigt, wobei die Zusammensetzungen der Hauptkomponenten entsprechend A bis H im ternären Zusammensetzungsdiagramm angegeben sind.
Wie aus den Resultaten der Tabelle ersichtlich, besaßen die Probestücke gemäß der Erfindung einsetzenden Resonatoren (Probenummern 1 bis 9, 11 bis 14 und 16 bis 19) eine spezifische induktive Kapa-.zität, £, von 35,1 bis 42,6, einen Q-Wert von 6100 bis 7400 im unbelasteten Zustand, eine Temperaturchara teristik der Resonanzfrequenz, nf, von -19 bis +28 ppm/ C, und eine Oberflächenrauhigkeit, R ,
max
von 1,0 bis 1,9 um. Im Gegensatz dazu besaßen
BOEHMERT & BOEHMERT '..'■ .:. :..:...:
3502H5
■ /ft·
unter Verwendung der Proben (10),(15) und (20), die 2,0 Gewichtsteile La3O3 pro 100 Gewichtsteile der Hauptkomponenten aufwiesen, entsprechende Oberflächenrauhigkeiten von 4,1, 4,5 und 4,6 μΐη, die sich außerhalb des erfindungsgemäßen Bereiches befanden. Zusätzlich waren die Q-Werte der dielektrischen Resonatoren ohne Belastung und unter Verwendung dieser Vergleichsproben 3000, 2900 und 2100, sie waren niedriger als Werte von erfindungsgemäßen,
in diesem Beispiel erhaltenen Resonatoren. Beispiel 4
In diesem Beispiel wurden 0,05 bis 1,0 Gewichtsteile Cr3O3 pro 100 Gewichtsteile ZrO-, CeO-, SiO2 und TiO3, aufweisende Keramikzusammensetzungen vorgesehen, um Probestücke dergleichen Form, wie in Beispiel 1 eingesetzt, in gleicher Weise wie in Beispiel 1 herzustellen. Dielektrische Resonatoren des gleichen Typs wie in Beispiel 1 wurden unter Verwendung dieser Probestücke hergestellt und den Untersuchungen ihrer charakteristischen Werte in gleicher Weise wie in Beispiel 1 unterworfen. Vergleichsweise wurden keramische Zusammensetzungen mit Probenummern (10), (15) und (20) , die sich außerhalb des erfindungsgemäßen Bereiches befinden, nämlich 2,0 Gewichtsteile pro 100 Gewichtsteile der Hauptkomponenten besaßen, eingesetzt, um Probestücke der gleichen Form, wie oben eingesetzt, herzustellen und den Untersuchungen ihrer charakteristischen Werte unterworfen.
Die Zusammensetzungen und Testresultate der Probestücke sind in Tabelle 4 dargestellt, wobei die Zusammensetzungen der Hauptkomponenten entsprechend A bis H im ternären Zusammensetzungsdiagramm angegeben sind.
BOEHMERT & BOEMMEKT ·.." .:. -..-...·
3502H5
- Vi -
• US-
Wie aus den Resultaten der Tabelle ersichtlich, besaßen die erf indungsgeitiäße Probestücke verwendenden Resonatoren (Prdbe-Nr. 1 bis 9, 11 bis 14 und 16 bis 19) eine spezifische induktive Kapazität, £-, von 35,0 bis 42,5; einen Q-Wert in unbelastetem Zustand von 6300 bis 7500, eine Temperaturcharakteristik der Resonanzfrequenz, nf, von -22 bis +28 ppm/°C und eine Oberflächenrauhigkeit, R , von 0,9 bis 1,7 μπι.
Im Gegensatz dazu besaßen die dielektrischen Resonatoren welche die Probestücke (10), (15) und (20) verwandten, die 2,0 Gewichtsteile Cr3O3 pro 100 Gewichtsteile der Hauptkomponenter? aufweisen, n^-Werte von -36, -39 und -41 ppm/°C, die außerhalb des erfindungs-
j gemäßen Bereiches auf der Minusseite lagen.
Beispiel 5
Bei diesem Beispiel wurden Keramikzusammensetzungen mit 0,2 bis 1,0 Gewichtsteilen insgesamt von mindestens zwei Verbindungen ausgewählt aus Al3O3, La2°3 un& Cr2°3
pro 100 Gewichtsteile ZrO2, CeO3, SiO2 und TiO2 vorgesehen, um Probestücke der gleichen Form wie in Beispiel 1 eingesetzt, in gleicher Weise wie in Beispiel 1, herzustellen.
Dielektrische Resonatoren des gleichen Typs wie in Beispiel 1 wurden unter Einsatz dieser Probestücke hergestellt und den Untersuchungen der Charakteristika in gleicher Weise wie in Beispiel 1 unterworfen.
Die Zusammensetzungen und Testresultate dieser Probestücke sind in Tabelle 1 aufgeführt, wobei die Zusammensetzungen der Hauptkompononten entsprechend mit A bis
BOEHMERT & BOEHMERT '..· .:. ------
3502U5
• IVo-
H im ternären Zusammensetzungsdiagramm bezeichnet sind.
Wie aus den Resultaten der Tabelle ersichtlich, besaßen die erfindungsgemäßen Probestücke verwendet Resonatoren eine spezifische induktive Kapazität, £-, von 34,8 bis 42,5, einen Q-Wert, im unbelastetem Zustand, von 6200 bis 8300, eine Temperaturcharakteristik der Resonanzfrequenz, nf, von -26 bis +27 ppm/ C, und eine Oberflächenrauhigkeit, R , von 1,1 bis 1,90 um.
IuaX
Wie aus den obigen Beispielen ersichtlich, können die erfindungsgemäßen dielektrischen keramischen Zusammensetzungen dielektrische Resonatoren liefern, die gute Charakteristika wie eine spezifische induktive Kapazität, £, von einer Höhe wie 34,8 bis 42,7, einem Q-Wert im nichtbelastetem Zustand von 6000 bis 8300, und eine Temperaturcharakteristik der Resonanzfrequenz, nf, von -19 bis +28 ppm/ C bei einer Temperatur von +25 bis +85 liefern. Demzufolge ist sogar dann, wenn die Umgebungstemperatur stark variiert, die Temperaturänderung der Resonanzfrequenz so klein, daß das Vorsehen irgendwelcher Teile, um die Temperatur zu kompensieren, nicht notwendig ist, wodurch der Entwurf von Apparaten kleiner Größe ermöglicht wird.
Die keramische Zusammensetzung gemäß der Erfindung kann Formkörper liefern, deren Oberflächenrauhigkeit, R .
max
sich unterhalb von 2 um bewegt, so daß der Oberflächenwiderstand, R , eines auf diesem aufgebrachten Leiters,
verglichen mit bekannten keramischen Substraten, um etwa 10 bis 30% verringert werden kann.
Die erfindungsgemäßen keramischen Zusammensetzungen können nicht nur als Substrate für dielektrische Resonatoren, sondern auch als Substrate für Hochfrequenzkreise und dielektrische Regel- Stäbe eingesetzt werden.
Tabelle 1
Probe
Nunmer		 A Zusammensetzungen y Z e Q Vi
(ppm 4$ 		R max
(ίΊΒ )
1 E X 0. 0 1 0. 0 1 4 2. 7 6500 * 2B 1. 9
2 B 0. 9 8 0. 1 9 0. 0 1 3 8. 2 6400 + 7 1. 7
3 C 0. 8 0 0. 3 9 0. 0 1 3 5. 1 7000 -1 9 1. 9
4 D 0. 6 0 0. 1 8 0. 2 2 3 5. 4 6700 -1 5 1. 9
5 F 0. 6 0 0. 0 1 0. 2 2 3 6. 8 6400 -5. 2 2. 0
6 G 0. 7 7 0. 10 0. 0 4 3 7. 5 6600 + 0. 5 1. 4
7 H 0. 8 6 0. 1 3 0. 1 3 3 6. 6 7400 -7. 6 1. 5
8 I 0. 7 4 0. 2 5 0. 1 0 3 5. 3 6800 -17 1. 8
(9) J 0. 6 5 0. 2 8 0. 1 4 3 4. 2 71 00 -40 1. 9
QO) K 0. 5 8 0. 0 8 0. 2 4 3 6. 0 6200 -1 5 3. 3
ül) L 0. 6 8 0. 00 5 0. 1 1 5 4 9. 1 6 100 + 109 4. 1
(12) 0. 8 8 0. 295 0. 0 5 3 5. 7 5200 -16 4. 0
0. 7 0
-Hi-
Tabelle
Prdb e
er		 Zusairmensetzungen y
.Molare
-Verhält
nisse		 Z
Molare
Verhält
nisse		 Al? O3
Gev/.-
Teile		 t Q Vt
(ppm /ö		 R max
(fJtn )
llumm A X
ltolare
Verhält
nisse		 0. 0 1 0. 0 1 0. 1 4 2. 4 6600 + 26 1. 8
1 E 0. 9 8 0. 1 9 0. 0 1 0. 1 3 8. 0 6400 + 5 1. 6
2 B 0. 8 0 0. 3 9 0. 0 1 0. 1 3 5. 0 7000 -20 1. 9
3 C 0. 6 0 0. 18 0. 2 2 0. 1 3 5. 2 6700 -16 1. 8
4 D 0. 6 0 0. 0 1 0. 2 2 0. 1 3 6. 8 6500 -5. 1 1. 9
5 F 0. 7 7 0. 10 0. 0 4 0. 0 5 3 7. 4 6700 0 1. 3
6 F 0. 8 6 0. 10 0. 0 4 0. 1 37. 3 6600 -1. 6 1. 2
7 F 0. 8 6 0. 10 0. 0 4 0. 5 37. 0 6400 -3. 3 1. 0
8 F 0. 8 6 0. 1 0 0. 0 4 1. 0 3 6. 4 6000 -7. 0 1. 4
9 F 0. 8 6 0. 10 0. 0 4 2. 0 34. 1 51 00 -33 1. 6
ÜO) G 0. 8 6 0. 13 0. 1 3 0. 0 5 3 6. 5 7200 -8. 1 1. 4
11 G 0. 7 4 0. 13 0. 13 0. 1 3 6. 5 71 00 -9. 8 1. 2
12 G 0. 7 4 0. 1 3 0. 13 0. 5 3 5. 9 6600 -12 1. 1
13 G 0. 7 4 0. 13 0. 13 1. 0 3 5. 6 6400 -16 1. 4
14 G 0. 7 4 0. 13 0. 1 3 2. 0 3 3. 8 6000^ -36 1. 7
Ü5) H 0. 7 4 0. 2 5 0. 1 0 0. 0 5 3 5. 3 6700 -17 1. 7
16 H 0. 6 5 0. 2 5 0. 1 0 0. 1 3 5. 2 6500 -18 1. 5
17 H 0. 6 5 0. 2 5 0. 1 0 0. 5 3 5. 0 6400 -18 1. 4
18 H 0. 6 5 0. 2 5 0. 10 1. 0 3 5. 0 6 00 0 -19 1. 6
19 H 0. 6 5 0. 2 5 0. 10 2. 0 3 3. 5 5300 -3 7 1. 9
(20) 0. 6 5
-r-
3502H5
Tabelle
Probe
junmer		 A Zusammensetzungen y
iüolare
Verhält
nisse		 01 Z
Molare
Verhält
nisse		 01 La? O3
Gew,-
■Teile		 4 ε 6 Q 0 V
(ppm		 ί
"θ 		1 R max
(^)		 7
1 E X
Molare
Verhält
nisse		 0. 19 0. 01 0. 1' 3 2. 6 6 60 0 + 2 ε 8 1. 6
2 B 0. 9 8 0. 39 0. 01 0. 1 3 8. 0 7 40 0 + 5 4 1. 8
3 C 0. 8 0 0. 18 0. 22 0. 1 3 5. 2 6 40 0 -1 7 5 1. 8
4 D 0. 6 0 0. 01 0. 22 0. 1 3 5. 3 6 80 0 -1 6 6 1. 9
5 F 0. 6 0 0. 1 0 0. 04 0. 1 3 6. 8 6 60 0 -5 . 3 9 1. 3
6 F 0. 7 7 0. 10 0. 04 0. 0 5 3 7. 6 6 90 0 + 1 . 0 0 1. 1
7 F 0. 8 6 0. 10 0. 04 " 0. 1 3 7. 5 6 80 0 + 0 . 7 1. 0
8 F 0. 8 6 0. 10 0. 04 0. 5 3 7. 3 6 50 0 -1 . 2 1. 3
9 F 0. 8 6 0. 10 0. 04 1. 0 3 7. 0 3 20 0 -3 2 1. 1
(10) G 0. 8 6 0. 1 3 0. 1 3 2. 0 3 6. 2 7 00 0 -9 1 4. 4
11 G 0. 8 6 0. 13 0. 13 0. 0 5 3 6. 7 7 10 0 -6 0 1. 1
12 G 0. 7 4 0. 1 3 0. 13 0. 1 3 6. 4 6 20 0 -6 9 1. 1
13 G 0. 7 4 0. 13 0. 13 0. 5 3 6. 2 6 80 0 -9 5 1. 3
14 G 0. 7 4 0. 13 0. 13 1. 0 3 6. 0 2 50 0 -1 1. 5
(15) H 0. 7 4 0. 25 0. 1 0 2. 0 3 5. 1 6 90 0 -1 4. 7
16 H 0. 7 4 0. 25 0. 1 0 0. 0 5 3 5. 6 6 80 0 1. 6
17 H 0. 6 5 0. 25 0. 10 0. 1 3 5. 4 6 50 0 -1 1. 5
18 H 0. 6 5 0. 25 0. 10 0. 5 3 5. 2 6 50 0 -1 1. 7
19 H 0. 6 5 0. 25 0. 10 1. 0 3 5. 1 2 1 0 0 -1 1. 6
(20) 0. 6 5 0. 0. 2. 0 4. 4 10 O 4.
0. 6 5
' -3D
Tabelle 4
3502H5
Profc e
r		 Zus3itr<ensetzungen y
Molare
Verhält
nisse		 ζ
.Molare
-Verhält
nisse		 Cr2 O3
Gew.-
■Teile		 e Q Vf
(ppm A$) 		Rrnax
<*■)
Qunme A X
tolare
Verhält-
iisse		 0. 0 1 0. 0 1 0. 1 4 2. 5 7000 + 28 1. 7
1 E 0. 9 8 0. 1 9 0. 0 1 0. 1 3 9. 3 7200 + 7 1. 5
2 B 0. 8 0 0. 3 9 0. 01 0. 1 3 5. 3 7500 -1 8 1. 7
3 C 0. 6 0 0. 18 0. 2 2 0. 1 3 5. 4 7100 -15 1. 6
4 D 0. 6 0 0. 0 1 0. 2 2 0. 1 3 6. 8 6700 -5. 6 1. 7
5 F 0. 7 7 0. 1 0 0. 0 4 0. 0 5 3 7. 5 7000 + 1. 4 1. 2
6 F 0. 8 6 0. 1 0 0. 0 4 0. 1 3 7. 4 6900 + 0. 9 1. 1
7 F 0. 8 6 0. 10 0. 0 4 0. 5 3 7. 0 6600 -3. 4 0. 9
8 F 0. 8 6 0. 1 0 0. 0 4 1. 0 3 6. 6 6400 -7. 7 1. 2
9 F 0. 8 6 0. 1 0 0. 0 4 2. 0 3 4. 4 5500 -36 1. 5
Ü0) G 0. 8 6 0. 1 3 0. 13 0. 0 5 3 6. 7 7500 -7. 4 1. 2
11 G 0. 7 4 0. 1 3 0. 13 0. 1 3 6. 5 7400 -7. 1 1. 3
12 G 0. 7 4 0. 1 3 0. 13 0. 5 3 6. 0 7000 -1. 1 1. 1
13 G 0. 7 4 0. 13 0. 13 1. 0 3 5. 7 6800 -14 1. 3
14 G 0. 7 4 0. 13 0. 1 3 2. 0 3 3. 8 6300 -39 1. 5
(15) H 0. 7 4 0. 2 5 0. 1 0 0. 0 5 3 5. 4 7000 -1 8 1. 6
16 H 0. 6 5 0. 2 5 0. 1 0 0. 1 3 5. 4 6800 -17 1. 4
17 H 0. 6 5 0. 2 5 0. 1 0 0. 5 3 5. 1 6700 -20 1. 4
18 H 0. 6 5 0. 2 5 0. 10 1. 0 3 5. 0 6300 -22 1. 4
19 H 0. 6 5 0. 2 5 0. 10 2. 0 3 3. 6 5700 -41 1. 5
(20) 0. 6 5
Tabelle 5
Prd 3e
ner		 Zusammensetzungen y
r-Itol.
Verhält
iisse		 Z
MoI.
-Ver-
hält-		 Ah O3
Gew.-
Teile		 Lfl2 O3
Gew.-
Teile		 Cr2 O3
Gew.-
Teile		 ε Q Vt Rmax
G"« )
Num A X
Mol. Ve
hält-
nisse		 0. 0 1 0. 0 1 0. 1 0. 1 — 4 2. 5 6200 + 27 I. 7
1 E 0. 9 8 0. 19 0. 0 1 0. 1 0. 1 — 3 7. 9 6400 + 4 1. 5
2 B 0. 8 0 0. 3 9 0. 0 1 0. 1 0. 1 — 3 5. 1 71 00 -1 8 1. 8
3 C 0. 6 0 0. 18 0. 2 2 0. 1 0. 1 — 3 5. 3 6600 -15 1. 7
4 D 0. 6 0 0. 01 0. 22 0. 1 0. 1 — 3 6. 9 6400 -5. 7 1. 9
5 F 0. 77· 0. 10 0. 0 4 0. 1 0. 1 — 3 7. 5 6700 + 0. 6 1. 3
6 F 0. 8 6 0. 1 0 0. 0 4 0. 5 0. 5 — 3 6. 7 6300 — 6. 2 1. 3
7 G 0. 8 6 0. 1 3 0. 13 0. 1 0. 1 — 3 6. 0 7100 -11 1. 3
ε G 0. 7 4 0. 13 0. 13 0. 5 0. 5 — 3 5. 7 6500 -1 3 1. 4
9 H 0. 7 4 0. 2 5 0. 1 0 0. 1 0. I — 3 5. 1 6800 -1 7 I. 6
10 H 0. 6 5 0. 2 5 0. 10 0. 5 0. 5 — 3 5. 0 6300 -19 1. 7
11 A 0. 6 5 0. 0 1 0. 01 0. 1 — 0. 1 4 2. 0 71 00 + 26 1. 6
12 B 0. 9 8 0. 3 9 0. 01 0. 1 — 0. 1 3 5. 2 8000 -18 1. 6
13 C 0. 6 0 0. 18 0. 22 0. 1 _ 0. 1 3 5. 4 7700 -16 1. 5
14 D 0. 6 0 0. 0 1 0. 2 2 0. 1 — 0. 1 3 6. 8 7400 -5. 9 1. 6
15 G 0. 7 7 0. 1 3 0. 13 0. 1 — 0. 1 3 6. 1 7800 -10 1. 1
16 A 0. 7 4 0. 01 0. 01 — 0. I 0. 1 4 2. 2 7200 + 27 1. 6
17 B 0. 9 8 0. 3 9 0. 01 — 0. 1 0. 1 3 5. 3 8300 -1 7 1. 6
18 C 0. 6 0 0. 1 8 0. 2 2 — 0. 1 0. 1 3 5. 4 7600 -15 1. 6
19 D 0. 6 0 0. 0 1 0. 2 2 — 0. 1 0. 1 3 6. 7 7500 -6. 4 1. 5
20 G 0. 7 7 0. 13 0. 13 — 0. 1 0. 1 3 6. 0 7900 -12 1. 2
21 A 0. 7 4 0. 01 0. 0 1 0. 1 0. 1 0. 1 41. 6 7200 + 24 1. 6
22 B 0. 9 8 0. 3 9 0. 01 0. 1 0. 1 0. 1 3 5. 0 8100 -21 1. 5
23 C 0. 6 0 0. 18 0. 2 2 0. 1 0. 1 0. 1 3 5. 2 7700 -19 1. 6
24 D 0. 6 0 0. 0 1 0. 2 2 0. 1 0. 1 0. 1 3 6. 6 7500 -7. 2 1. 5
25 G 0. 7 7 0. 1 3 0. 13 0. 1 0. 1 0. 1 3 6. 0 7800 -12 1. 2
26 G 0. 7 4 0. 1 3 0. 13 0. 2 0. 2 0. 2 3 5. 1 8200 -20 1. 5
27 G 0. 7 4 0. 1 3 0. 1 3 0. 3 0. 3 0. 3 34. 8 7900 -26 1. 2
28 0. 7 4
Leer^eite -

Claims (5)

BOEHMERT & BOEHMERT-* -'- '·.'···" 3502H5 TXM 1288 An sprüche
1. Dielektrische Keramikzusammensetzung, die im wesentlichen XZrO2-YCeO2-ZSiO3-TiO2 aufweist, wobei χ + y + ζ = 1 ist und x, y und ζ sich innerhalb eines Molbereiches befinden, der in Dreieckskoordinatendarstellung der Zusammensetzung durch ein Polygon umgrenzt wird, das an seinen Ecken die Punkte A, B, C und D besitzt, die wie folgt bestimmt sind:
X 98 y 01 Z 01 Ά O. 60 0. 39 0. 01 B 0. 60 0. 18 0. 22 C 0. 77 0. 01 0. 22 D 0. 0. 0.
2. Dielektrische Keramikzusammensetzung gemäß Anspruch 1, welche ferner ein Oxid ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Al3O3, La2°3 un(^ Cr2°3 in einer Menge von zwischen 0,05 bis 1 Gewichtsteil pro 100 Gewichtsteile der vier Komponenten xZrO--VCeO2-ZSiO2-TiO3, aufweist.
3. Dielektrische Keramikzusammensetzung gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein
BOEHMERT & BQEHMERT..* .:. ·.."..-·
Oxid Al2 0S ist*
4. Dielektrische Keramikzusammensetzung gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Oxid La3O3 ist.
5. Dielektrische Keramikzusammensetzung gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Oxid Cr3O3 ist.
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