DE3443728A1

DE3443728A1 - Mikroskop-photometer

Info

Publication number: DE3443728A1
Application number: DE19843443728
Authority: DE
Inventors: Klaus Dr. Wien Schindl
Original assignee: C Reichert Optische Werke AG
Current assignee: C Reichert Optische Werke AG
Priority date: 1984-11-30
Filing date: 1984-11-30
Publication date: 1986-06-05
Also published as: EP0183416A2; EP0183416A3; JPS61133918A; US4712889A; DE3443728C2

Description

PATENTANWÄLTE Dr. rer. nest. DIETER LOtMS Olpl.-Phys. CLAUS PÖHLAU Dfp;.-irt'i.'FüANZ LOHRENTZ DlpL-'-'r. '> -.VDLrGANG SEGETH

Xi-J-¹LERPLATZ 1 350Ü MORNBERG 20

Firma C. Reichert Optische Werke Aktiengesellschaft Hernalser Hauptstraße A-Il70 Wien - Österreich

24587/8-40/mü

Mikroskop-Photometer

Die Erfindung betrifft ein Mikroskop-Photometer mit einer Teilerfläche, die den Lichtstrahl zwischen Mikrophotometer und Mikroskopeinblick aufspaltet, und mit· einer von hinten beleuch teten Meßblende im Abbildungsstrahlengang zum Mikrophotometer, die das zu messende Feld im Bild des Objektes ausblendet und nach Durchtritt des Strahles durch die Teilerfläche von einem Spiegel und unter Ausnutzung der Reflexion an der Teilerfläche zusammen mit dem direkten Bild des Objektes in das Zwischenbild im Mikroskopeinblick abgebildet wird.

Ein derartiges Mikroskop-Photometer ist beispielsweise das Leitz MPV 3. Bei diesem bekannten Mikroskop-Photometer ist der Spiegel ein Tripelspiegel, bei dem jeder Strahl in sich selbst zurückgeworfen wird. Die Meßblende wird dabei als heller Punkt im Mikroskopeinblick abgebildet, der dem direkten

Bild des Objektes im Mikroskopeinblick überlagert ist.

Nach dem Stand der Technik ist es nicht vorgesehen, Informationen in den Mikroskopeinblick zusätzlich einzuspiegeln. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ausgehend von einem Mikroskop-Photometer der eingangs genannten Art mit möglichst geringem Aufwand eine Möglichkeit zur Einspiegelung von Informationen in den Mikroskopeinblick zu schaffen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein optisches Hilfssystem zur Abbildung der Meßblende auf dem Spiegel vorgesehen ist, der in einer Ebene angeordnet ist, die konjugiert ist zu den Ebenen des Objektes, der Meßblende und des Ziwischenbildes im Mikroskopeinblick.

Da erfindungsgemäß nun eine dem Zwiochenbild im Mikroskopeinblick konjugierte Ebene auf der der Meßblende entgegengesetzten Seite der Teilerfläche zur Verfügung steht, in die die Meßblende abgebildet wird, können zusätzlich zu der abgebildeten Meßblende weitere Informationen in den Mikroskopeinblick eingespiegelt werden. Bßi Verwendung eines Tripelspiegels gemäß dem Stand der Technik ist diese Möglichkeit der Einspiegelung ausgeschlossen, da hier keine dem Zwischenbild konjugierte Ebene zur Verfügung steht.

Mit der erfindungsgemäßen Anordnung ist außerdem gewährleistet, daß die Meßblende sowohl mit gleicher Vergrößerung als auch höhen- und seitenrichtig, also mit gleicher Orientierung wie das direkte Bild des Objektes über Teilerprisma und Spiegel in die Zwischenbildebene des Mikroskopeinblickes abgebildet wird. Damit sind Jus tier fehler bezüglich der Lage der Blende zum Objekt ähnlich wie bei der V/n rwendung eines Tripelspiegel ausgeschlossen.

Der Spiegel bei der erfindungsgemäßen Ausführung ist üblicherweise plan. Er kann aber auch aus Korrektionsgründen gewölbt ausgebildet sein.

Soll von der Möglichkeit der Einspiegelung zusätzlicher Informationen Gebrauch gemacht werden, so werden neben dem Bild der Meßblende im Spiegel Informationen eingebracht, die zusammen mit dem Meßblendenbild über die Teilerfläche in den Mikroskopeinblick abgebildet werden. Dabei können die Informationen auch in die Ebene, in der sich der Spiegel befindet, abgebildet werden.

Weitere Vorteile, Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden, anhand der beiliegenden Zeichnung erfolgenden Beschreibung eines einfachen Ausführungsbeispiels der Erfindung. In der Zeichnung stellen dar:

Fig. 1 den Strahlengang in einem erfindungsgemäßen Mikroskop-Photometer ,

Fig. 2 einen Ausschnitt des Strahlenganges aus Fig. 1 bei zusätzlicher Einspiegelung won Informationen und

Fig. 3 das nach dem Stand der Technik verwendete Tripelprisma.

In Fig. 1 ist mit 10 die Objektebene, mit 12 das Mikroskopobjektiv, mit 14 ein Teilerprisma, mit 16 die Teiler fläche des Teilerprismas, mit 18 der Mikroskopeinblick, mit 20 die Zwischenbildebene im Mikroskopeinblick und mit 22 das Okular bezeichnet. Das Objekt auf der Objektebene 10 wird über das Mikroskopobjektiv direkt auf die Zwischenbildebene 20 des Mikroskopeinblicks 18 abgebildet, wobei der Strahl durch die Teilerfläche 16 hindurchtritt.

Der Strahlengang für das Photometer zweigt an der Teilerfläche 16 in Fig. 1 nach links ab, die ein Teil des Lichtes vom Objekt nach links reflektiert. Das Mikroskopobjektiv 12 bildet dabei das Objekt in einer Ebene ab, in der eine Meßblende 24 vorgesehen ist. Diese Meßblende blendet aus der vergrößerten Zwischenabbildung des Objektes einen Bereich aus, wobei das Licht des ausgeblendeten Bereichs dann anschließend in einem Photometer 26 gemessen wird.

Um den Ort der Meßblende auf der Zwischenabbildung des Objektes auch im Mikroskopeinblick erkennen zu können, wird die Meßblende über einen teildurchlässigen Spiegel 28 mit Hilfe einer Beleuchtungseinrichtung 30 in der in Fig. 1 dargestellten Weise von hinten beleuchtet, wobei sie nach Durchtritt des Strahles durch die Teilerfläche 16 über ein optisches Hilfssystem 32 auf einen planen Spiegel 34 abgebildet wird, von dem das McßblendonbiLd über das optische Hilfssystem 32 nach KeQektieruriy ;jn der Teilerfläche 16 in die Zwischenbildebene 20 im Mikroskopeinblick 18 abgebildet wird, in die auch das Objekt auf der Objektebene 10 direkt abgebildet wird. Die Objektebene 10, die Ebene der Meßblende 24, die Ebene des Spiegels 34 und die Zwischenbildebene 20 im Mikroskopeinblick sind jeweils zueinander konjugierte Ebenen, so daß gleiche Vergrößerungen und gleiche Orientierungen der jeweiligen Bilder gegeben sind. Justierfehler sind somit ausgeschlossen.

Da nach der Erfindung auf der zur Meßblende 24 entgegengesetzten Seite des Teilerprismas 14 eine zu den Abbildungsebenen auf den anderen drei Seiten des Teilerprismas 14 konjugierte Ebene besteht, kann ausgehend von dieser Ebene das Teilerprisma 14 sehr leicht auch als Einspiegelungsfläche zur zusätzlichen Einspiegelung von Informationen verwendet werden, die direkt in die Ebene des Spiegels 34 neben der Meßblendenabbildung eingebracht oder aber, wie dies aus

Fig. 2 hervorgeht, mi L Hilfe einer Projektionseinrichtung 36 auf die Ebene des Spiegels 34 abgebildet werden. Bei der einzuspiegelnden Information knnn c:; sich bei spielsweise um den Meßwert (sh. 38) des Photometers 26 handeln.

Nach dem Stand der Technik wird anstelle der optischen Hilfseinrichtung 32 und des Spiegels 34 ein Tripel-Spiegel 40 verwendet, wie dies in Fig. 3 gezeigt ist. Daher existiert auf
der zur Meßblende 24 entgegengesetzten Seite des Teilerprismas 14 keine konjugierte Ebene, von der aus Informationen in den Mikroskopeinblick eingespiegelt werden können.

Claims

PATENTANWÄLTE KESSLERP S500 NÜRNBERG 20 Firma C. Reichert Optische Werke Aktiengesellschaft Hernalser Hauptstraße 219 A-1170 Wien - Österreich 24587/8-40/mü Ansprüche:

1. Mikroskop-Photometer mit einer Teilerfläche (16), die den Lichtstrahl zwischen Mikrophotometer (26) und Mikroskopeinblick (18) aufspaltet, und mit einer von hinten beleuchteten Meßblende (24) im Abbildungsstrahlengang zum Mikrophotometer (26), die das zu messende Feld im Bild des Objektes ausblendet und nach Durchtritt des Strahles durch die Teilerfläche (16.) von. einem. Spiegel (34). und .unter Aus^ nutzung der Reflexion an der Teilerfläche (16) zusammen mit dem direkten Bild des Objektes in das Zwischenbild (20) im Mikroskopeinblick (18) abgebildet wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein optisches HiIfssystem (32) zur Abbildung der Meßblende (24) auf dem Spiegel (34) vorgesehen ist, der in einer Ebene angeordnet i:;L, ciio konjugiert ist zu den Ebe-

nen (10) des Objektes, der Meßblende (24) und des Zwischenbildes (20) im Mikroskopeinblick (18).

2. Mikroskop-Photometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (34) ein Planspiegel ist.

3. Mikroskop-Photometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Spiegel (34) ein gewölbter Spiegel ist.

4. Mikro-Photometer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß neben dem Bild der Meßblende (24) im Spiegel (34) Informationen eingebracht werden, die zusammen mit dem Meßblendenbild über die Teilerfläche (16) in den Mikroskopeinblick (18) abgebildet werden.

5. Mikroskop-Photometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Informationen in die Ebene, in der der Spiegel (34) Liegt, abgebildet werden.