DE3442778A1

DE3442778A1 - Oberflaechenwellen-geraet mit kompensation des magnetischen durchgriffs

Info

Publication number: DE3442778A1
Application number: DE19843442778
Authority: DE
Inventors: Grantley Oliver Stittsville Ontario Este; Richard William Nepean Ontario Streater; Mark Spencer Lanark Ontario Suthers
Original assignee: Northern Telecom Ltd
Current assignee: Nortel Networks Ltd
Priority date: 1983-12-22
Filing date: 1984-11-23
Publication date: 1985-07-04
Also published as: GB2151867A; GB8426755D0; CA1202384A; GB2151867B; JPS60157315A; DE3442778C2

Description

Die Erfindung betrifft ein Akustik-Oberflächenwellen-Gerät (SAW-Gerät).

Wie bekannt, enthält ein SAW-Gerät je einen Eingangs- und Ausgangstransduktor mit verschachtelten Elektroden oder Fingern (interdigitated transducer = IDT), die an einem piezoelektrischen Substrat zur Fortpflanzung von akustischen Oberflächenwellen (surface acoustic wave = SAW) mit Abstand voneinander angeordnet sind. Ein solches SAW-Gerät kann in dem Rückkopplungsweg eines Verstärkers eingesetzt werden, um einen Verzögerungsleitungs- Oszillator zu bilden, und die Frequenz des Oszillators wird dann durch die Verzögerung bestimmt, die die SAW braucht, um vom Eingangstransduktor zum Ausgangstransduktor zu gelangen, damit also von dem Abstand der Transduktoren. Andere Eigenschaften des Oszillators, wie Bandbreite und Frequenzverhalten, werden durch entsprechende Auslegung der Transduktoren festgesetzt.

Bei einem Verzögerungsleitungs-Oszillator, der bei Mikrowellenfrequenzen arbeitet, beispielsweise einem Mikrowellengenerator in Rundfunksende-Systemen, muß der Abstand zwischen Eingangsund Ausgangstransduktor des Verzögerungsleitungs-SAW-Gerätes sehr gering sein.

Idealerweise wirken der Eingangs- und der Ausgangstransduktor nur so weit zusammen, daß der eine eine SAW erzeugt, und der andere sie empfängt. Jedoch wird durch jeden Transdu.ktor im wesentlichen einen Leiterschleife gebildet, die einen Magnetfluß in der Nähe der Schleife erzeugt, wenn sie von Strom durchflossen wird. Es hat sich gezeigt, daß bei einem SAW-Gerät in einem Mikrowellenfrequenz-Verzögerungsleitungsoszillator der Abstand zwischen dem Eingang- und dem Ausgangstransduktor so gering ist, daß der in der Eingangstransduktorschleife erzeugte Magnetfluß einen Neben- oder Störstrom in der Ausgangstransduktorschleife erzeugt. Dadurch wird ein Rauschen erzeugt, daß das erwünschte

Ausgangssignal durch Hervorbringen eines Brumms im Durchgangsband von typischerweise 0,5 dB verschlechtert. Typischerweise wird bei SAW-Geräten ein Brumm von weniger als 0,2 dB gefordert.

Um das durch den magnetischen Durchgriff entstehende Problem zu überwinden, wird erfindungsgemäß ein mit akustischen Oberflächenwellen betriebenes Gerät oder ein SAW-Gerät geschaffen, welches einen Eingangs- und einen Ausgangstransduktor enthält, wobei der Eingangstransduktor zur Erzeugung einer akustischen Oberflächenwelle und eines Magnetflusses betreibbar ist, bei dem einer der Transduktoren eine Vielzahl von so miteinander verbundenen Schleifen enthält, daß bei dem Ausgangstransduktor durch den Magnetfluß induzierte Spannungen sich im wesentlichen aufheben und durch die akustische Oberflächenwelle erzeugte Spannungen sich addieren.

Der Ausgangstransduktor besitzt vorzugsweise eine Vielzahl von elektrisch parallel geschalteten Schleifen, so daß der durch den den Eingangstransduktor durchlaufenden elektrischen Strom erzeugte Magnetfluß eine Spannung einer Polarität in einer Schleife des Ausgangstransduktors erzeugt, welche im wesentlichen durch in der anderen Schleife oder den anderen Schleifen induzierte Spannung umgekehrter Polarität aufgehoben wird. Alternativ kann der Eingangstransduktor eine Vielzahl elektrisch parallel geschalteter Schleifen enthalten, so daß durch den in einer Schlei fe durchfließenden elektrischen Strom erzeugter Magnetfluß Spannung mit einer Polarität am Ausgangstransduktor erzeugt, die im wesentlichen durch Spannung umgekehrter Polarität aufgehoben wird, welche am Ausgangstransduktor durch einen Magnetfluß induziert wird, der durch in der anderen Schleife oder den anderen Schleifen des Eingangstransduktors fließenden elektrischen Strom erzeugt wird.

Der Mehrschleifentransduktor kann ein Paar solcher Schleifen besitzen, wobei jede Schleife erste und zweite Spannungsschienen und eine Reihe ineinandergeschachtelter Elektroden oder Finger enthält, die sich zwischen den Schienen erstrecken. Die Schlei-

NACHQEREJCHT

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fen können zueinander parallele Spannungsschienen und zueinander parallele ineinandergeschachtelte Elektroden besitzen, wobei die Schienen senkrecht zu den Elektroden liegen, die Schleifen dicht einander benachbart in einer zu den Elektroden parallelen Richtung liegen und eng benachbarte Spannungsschienen mit einer ersten Spannung und entferntere Spannungsschienen mit einer zweiten Spannung besitzen.

Insbesondere zur Verwendung bei einem Verzögerungsleitungs-Oszillator erlaubt die gegen magnetischen Durchgriff kompensierte Anordnung eine ,Auswahl der Länge der Transduktoren im Hinblick auf hochwirksame Kopplung vom Eingangs- zum Ausgangstransduktor.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand der Zeichnung näher erläutert; in dieser zeigt:

Fig. 1 ein SAW-Gerät nach dem Stand der Technik, und

Fig. 2 eine nicht maßstabsgerechte schematische Draufsicht auf ein erfindungsgemäßes SAW-Gerät.

Bei einem SAW-Verzögerungsleitungs-Oszillator hängt die Anordnung, d.h. die Platzwahl für den Eingangs- und den Ausgangstransduktor von den Eigenschaften des Substratmaterials und von dem Mittenfrequenzbetrieb ab. Eine typische bekannte Transduktoranordnung ist in i Fig. 1 gezeigt, und das dargestellte SAW-Gerät besitzt einen Eingangstransduktor 10 und einen Ausgangstransduktor 12.

Die durch das Gerät erzielte Verzögerung wird durch den Abstand S zwischen den Zentren der beiden Transduktoren 10 und 12 bestimmt. Um ein Ausgangssignal mit einer Frequenz sicherzustellen, muß einer der Transduktoren eine Länge N₁ ~h~ § besitzen, die größer oder gleich S ist, wobei N₁ die Anzahl der Fingerpaare bei dem Eingangstransduktor 10 und 7\_ _Q die Breite eines Fingers oder Elektrodenpaares 13 ist. Dadurch wird eine Begrenzung für

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den zwischen den Transduktoren zugelassenen maximalen Abstand wirksam. Beispielsweise beträgt bei einer Ausgangsfrequenz von 2 GHz /VO = 2,5 Aim. Typische Werte für N. liegen im Bereich von 100 bis 200 und bezeichnen so einen Mittenabstand der Transduktoren von 250 bis 500 /Jm, so daß ein maximaler Abstand von 125 bis 250 yum zwischen den IDT bleibt, falls der Ausgangs-IDT ein einzelnes Fingerpaar ist. Aus einer Anzahl von Gründen ist der Abstand noch viel geringer, typischerweise 60 bis 125 jum.

Bei solchem kleinen Abstand kann der in dem Eingangstransduktor 10 von dem durchfließenden Strom erzeugte Magnetfluß eine Spannung im Ausgangstransduktor 12 induzieren. Diese Spannung wird als hoher elektromagnetischer Durchgriff erfaßt, der einen Brumm im Ausgangstransduktor-Durchleitungsband induziert und beträchtlich das Ausgangssignal bei Mikrowellenfrequenzen verschlechtert. Zwar könnte die Kopplung durch Erhöhen des IDT-Teilabstandes reduziert werden, jedoch erweist sich das bei als Verzögerungsleitungs-Oszillator benutzten SAW-Geräten als nicht praktikabel, da dadurch Multimode-Oszillation verursacht wird.

In Fig. 2 ist im einzelnen in Draufsicht ein SAW-Gerät mit kompensiertem magnetischen Durchgriff dargestellt. Das Gerät besitzt ein piezoelektrisches Substrat 14, auf dem im Vakuum Muster aus Aluminium abgeschieden wurden, die einen Eingangsoder Sende-Transduktor 16 und einen Ausgangs- oder Empfangstransduktor 18 umfassen.

Der Ausgangstransduktor besteht aus äußeren, geerdeten Spannungsschienen 20 und zentralen Schienen 22, von denen ein Ausgangssignal erhalten wird. Zwischen den Spannungsschienen 22 und den Schienen 20 erstrecken sich jeweils Reihen von ineinandergeschachtelten Fingern oder Elektroden 24. Die Finger 24 haben eine Leitungsbreite und einen Abstand mit dem Nennwert 1,6 jum, und die Elektroden- oder Fingeranordnung einer Reihe 31 ist spiegelbildlich zur anderen Reihe bezüglich einer sich vom Eingangszum Ausgangstransduktor erstreckenden Zentralachse angelegt.

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Das Muster des Eingangstransduktors 16 ist gleichartig wie das fU::: Au:;gang3tran3duktors 18 aufgebaut, jedoch ist eine untere Spannungsschiene 26 mit Masse verbunden, die mittleren Schienen 28 sind miteinander verbunden, und ein Eingangssignal ist an eine obere Schiene 30 angelegt. Die Elektroden- oder Fingeranordnung einer Reihe 25 ist eine versetzte Wiedergabe der anderen Reihe. Die Verteilung der ineinandergeschachtelten Finger beim Ausgangstransduktor 18 erstreckt sich über eine geringere Länge als die Verteilung der ineinandergeschachtelten Elektroden des Eingangstransduktors 16.

Im Gebrauch wird eine hochfrequente Wechselspannung an die Eingangstransduktor-Spannungsschiene 30 so angelegt, daß eine mechanische Spannungswelle oder eine Oberflächenakustikwelle an der Oberfläche der unterliegenden piezoelektrischen Quarzschicht erzeugt wird. Die akustische Oberflächenwelle SAW pflanzt sich in Fig. 2 nach rechts fort, und es tritt, wenn sie den Ausgangstransduktor 18 erreicht, eine umgekehrte piezoelektrische Wirkung auf, und es wird ein Ausgangssignal bei den Spannungsschienen 22 erzeugt.

Die Elektroden- oder Fingerpaare 24 schaffen eine kapazitive Kopplung zwischen den oberen und unteren Spannungsschienen der jeweiligen Reihen 25 bzw. 31. Zu jeder Zeit sind die Ströme innerhalb der oberen und unteren Reihen 25 des Eingangstransduktors gleich. Der Stromfluß kann bequemerweise durch Schleifen dargestellt werden. Die Auswirkung des Stromflusses um die beiden Schleifen 32 des Eingangstransduktors besteht darin, daß zusätzlich zur akustischen Oberflächenwelle ein Magnetfluß B erzeugt wird. Da die Transduktoren 16 und 18 sehr nahe beieinander liegen, werden entsprechende Spannungen durch den Magnetfluß B im Ausgangstransduktor 18 induziert. Da zwei identische, jedoch umgekehrt liegende Fingerreihen 31 im Ausgangstransduktor bestehen, wobei die inneren Schienen 22 mit einer gemeinsamen Ausgangsklemme und die Außenschiene 20 mit Masse verbunden sind, wirken die in jeder Schleife durch den Magnetfluß induzierten Spannungen einander entgegen und heben sich an der Ausgangsklem-

me im wesentlichen auf. Jedoch addieren sich die in den beiden Fingerreihen 31 durch die akustische Oberflächenwelle erzeugten Spannungen infolge der mit identischer Teilung versehenen umgekehrten Fingerreihen 3V bei der parallelen elektrischen Verbindung der Schienen an der Ausgangsklemme.

Wie bereits vorher erwähnt wird bei einem erfindungsgemäß aufgebauten Verzögerungsleitungs-Oszillator ein Ausgangssignal mit einer einzigen Frequenz erreicht, falls die Transduktoren 16 und 18 einen Mitte-zu-Mitte-Abstand von etwa N..X _Q besitzen, wobei ^ der Elektrodenpaar-Abstand und N₁ die Anzahl der Elektrodenpaare im längeren Transduktor ist. Demzufolge muß, damit die Transduktoren auseinandergesetzt werden können, einer der Transduktoren länger als der andere sein. Diese Eigenschaft des Gerätes wirkt gegen die hohe Kopplungswirksamkeit des bekannten SAW-Gerätes aus Fig. 1. Um maximale unabgestimmte Kopplung zwischen den IDTs zu erreichen, ist es nötig, den Wert des Ausdruckes 1 /(jj o^cx sowohl beim Eingangs- wie beim Ausgangstransduktor gleich 5θΩ zu machen, wobei CO _Q die Mittenfrequenz und C₁- die Zwischenelektroden-Kapazität des IDT ist. Nun hängt C_T von der Anzahl N der Fingerpaare 24 der Transduktoren ab. Der Eingangstransduktor, der im wesentlichen in Reihe geschaltete Fingerreihen aufweist, besitzt eine Kapazität C_T-/2_f wobei Cj,.. die Kapazität einer Fingerreihe des IDT ist. Der Ausgangstransduktor, der im wesentlichen parallel geschaltete Fingerreihen besitzt, weist eine Kapazität von 2C_Tp auf, wobei Cj.p die Kapazität einer Fingerreihe des IDT ist. Wird sichergestellt, daß beide Ausdrücke 2/ Q)_o ^cti und 1/ U)₀2^CT2 gleich 5θΩ sind, dann wird C_T1/2 gleich 2C_T2, oder C_T1 gleich 4C_T2.

Da Periodizität und Apertur bei beiden Transduktoren gleich sind, wird die maximale unabgestimmte Kopplung dann erreicht, wenn der lange Eingangstransduktor 16 viermal so viele Finger 24 wie der kurze Ausgangstransduktor 18 besitzt, d.h. wenn N. = 4 Np. Dadurch wird die Anforderung erfüllt, daß der kurze IDT weni ger Raum als der lange IDT einnehmen soll, und gleichzeitig kann die Bedingung 1/.(c „C™ = 5θΩ erfüllt werden.

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Wie in der Ausführung nach Fig. 2 gezeigt, besitzt jeder der Eingangs- und Ausgangstransduktoren ein Paar zentraler Spannungaschienen 22 bzw. 28. Jedes Spannungsschienenpaar kann alternativ als eine Spannungsschiene abgeschieden werden.

Wegen der Verschaltung des Eingangs- und des Ausgangstransduktors bestehen bei dem Ausgangstransduktor 12 zwei Stromschleifen 32, während tatsächlich bei dem Eingangstransduktor 10 eine einzige Stromschleife besteht, da die zentralen Spannungsschienen 28 "schwimmen", d.h. keine aufgeprägte Spannung besitzen. Demzufolge können die Zentralschienen 28 des Eingangstransduktors überhaupt weggelassen werden. Wie in der Ausführung nach Fig. sind dann die durch Magnetfluß induzierte Spannungen vollständig gleich und einander entgegengesetzt, so daß sie sich beim Ausgangstransduktor aufheben. Wegen des Unterschiedes bei der IDT-Apertur kann jedoch eine Maximierung der Kopplung schwerer zu erreichen sein.

Die Ausführung nach Fig. 2 zeigt einen Ausgangstransduktor mit einem einzigen Paar identischer Schleifen. Tatsächlich kann jedoch der Ausgangstransduktor auch mehrerer solcher Schleifen besitzen, so lange dafür gesorgt wird, daß die in irgendeiner Schleife durch den Magnetfluß induzierte Spannung an der Ausgangsklemme durch Magnetfluß-induzierte Spannungen in den anderen Schleifen aufgehoben wird.

Wenn auch in der Ausführung nach Fig. 2 der Ausgangstransduktor in getrennte Schleifen 32 aufgespalten wird, so kann eine Unterdrückung des magnetischen Durchgriffes auch so erreicht werden, daß der Eingangstransduktor in zwei oder mehrere parallel verbundene Kompensationsschleifen aufgeteilt und die Verbindung beim Ausgangstransduktor so geändert wird, daß die Fingerreihen in Reihe geschaltet werden. Effektiv werden dann die Signaleingangs- und -ausgangsstellen umgekehrt, der Transduktor 18 wirkt dann als Eingangstransduktor und der Transduktor 16 als Ausgangstransduktor. In diesem Fall werden die im Ausgangstransduktor

durch den Magnetfluß in irgendeiner Eingangsschleife induzierten Spannungen durch Spannungen aufgehoben, die im Ausgangstransduktor durch den Magnetfluß induziert werden, der in den anderen Eingangsschleifen erzeugt wird.

Obwohl es nicht eine besondere Eigenschaft der Erfindung bildet, ist zu erkennen, daß die Ineinanderschachtelungs-Muster, die Apodisation oder die Elektrodenüberdeckung in den Verschachtelungsbereichen, die Elektrodenstärke und der Elektrodenabstand Λ _Q in Abhängigkeit von dem besonderen vom SAW-Gerät erwarteten Ansprechverhalten verändert werden kann.

Bei einem Ausführungsbeispiel eines SAW-Gerätes mit einem mit der fünften raumharmonischen verschachtelten Eingangs- und Ausgangstransduktormuster mit einer 1,0 /lm-Linienbreite und einem ebensolchen Abstand an einem einzigen Kristallquarzsubstrat wurde ein Filter oder Oszillator mit einer Mittenfrequenz von 2,06 GHz erzeugt. Der typische magnetische Durchgriff von -20 dB bei SAW-Kopplung wurde auf -50 dB durch Benutzung der Kompensationsanordnung unterdrückt.

Das Ansprechverhalten des SAW-Gerätes hängt sowohl von der Natur des Elektrodenmusters wie von den mechanischen Eigenschaften des darunterliegenden Substratmaterials ab. Das Aluminium der ineinanderverschachtelten Elektroden wird typischerweise mit einer Stärke von 50 nm abgeschieden, während das für die Spannungsschienen mit größerer Stärke in der Größenordnung von 500 nm abgeschieden werden kann. Die Schleifen des Ausgangstransduktors sind zueinander spiegelbildlich, und identisch bezüglich des ineinandergeschachtelten Musters und in der Lage und Abmessung der Spannungsschienen und Anschlußflecken. Es reicht nicht aus, pur die ineinanderverschachtelten Elektrodenanordnungen auszugleichen, da der das Ausgangsverhalten beeinflussende Magnetfluß in der gesamten Schleife erzeugt wird.

Eine Symmetrie der Ausgestaltung der Transduktorschleifen muß jedoch nicht absolut notwendig sein, um eine Magnetfluß-kompen-

sierte Anordnung zu erhalten. So kann ein einzelner ineinandergeschachtelter Eingangstransduktor, der aus einer einzigen Reihe ineinandergeschachtelter Finger besteht, eine zugeordnete Stromschleife besitzen, bei der ein Teil der Spannungsschiene so ausgelegt wird, daß eine zweite kompensierende Stromschleife eingeführt wird. Obwohl eine symmetrische Anordnung bevorzugt wird, scheint doch kein Grund vorhanden zu sein, warum nicht auch eine mehrfach geschleifte asymmetrische Anordnung ein Aufheben des magnetischen Durchgriffs ergeben sollte.

Claims

Patentansprüche

1. Akustik-Oberflächenwellen-Gerät (SAW-Gerät) mit einem Eingangstransduktor und einem Ausgangstransduktor, wobei der Eingangstransduktor zur Erzeugung einer akustischen Oberflächenwelle SAW und eines Magnetflusses (B) betreibbar ist und einer der Transduktoren eine Vielzahl von Schleifen besitzt, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifen so miteinander verbunden sind, daß bei dem Ausgangstransduktor (18) durch den Magnetfluß induzierte Spannungen sich einander im wesentlichen aufheben und durch die akustische Oberflächenwelle erzeugte Spannungen sich addieren.

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2. SAW-Gerät nach Anspruch 1, dadurch

gekennzeichnet, daß der Ausgangstransduktor (18) eine Vielzahl miteinander so parallel verbundener Schleifen besitzt, daß durch den in dem Eingangstransduktor (18) fließenden Strom erzeugter Magnetfluß (B) Spannung einer Polarität in einer Schleife des Ausgangstransduktors erzeugt, die im wesentlichen durch in der anderen Schleife oder den anderen Schleifen induzierte Spannung umgekehrter Polarität aufgehoben ist.

3. SAW-Gerät nach Anspruch 1, dadurch

gekennzeichnet , daß der Eingangstransduktor eine Vielzahl von parallel geschalteten Schleifen besitzt, so daß durch in einer Schleife fließenden elektrischen Strom erzeugter Magnetfluß eine Spannung mit einer Polarität am Ausgangstransduktor induziert, die im wesentlichen durch Spannung umgekehrter Polarität aufgehoben ist, die am Ausgangstransduktor durch Magnetfluß induziert wird, der durch in der anderen Schleife oder den anderen Schleifen des Eingangstransduktors fließenden elekrischen Strom erzeugt ist.

4. SAW-Gerät nach Anspruch 2, dadurch

gekennzeichnet, daß der Eingangstransduktor (16) eine Vielzahl von in Reihe verbundenen Schleifen besitzt.

5. SAW-Gerät nach Anspruch 3, dadurch

gekennzeichnet , daß der Ausgangstransduktor eine Vielzahl von in Reihe verbundenen Schleifen besitzt.

6. SAW-Gerät nach Anspruch 2, dadurch

gekennzeichnet , daß jeder Transduktor (16, 18) zwei Schleifen besitzt.

7. SAW-Gerät nach Anspruch 2, dadurch

gekennzeichnet , daß der Ausgangstransduktor (18) zwei parallel verbundene Schleifen besitzt, die zueinander spiegelbildlich an entgegengesetzten Seiten einer Mittelachse des Gerätes angeordnet sind, welche sich vom Eingangs- (16) zum Aus-

gangs-Transduktor (18) erstreckt.

8. SAW-Gerät nach Anspruch 4, dadurch

gekennzeichnet , daß der Eingangstransduktor (16) zwei miteinander identische in Reihe verbundene Schleifen besitzt, die an entgegengesetzt liegenden Seiten einer sich vom Eingangs- (16) zum Ausgangs-Transduktor (18) erstreckenden Mittelachse des Gerätes angeordnet sind.

9. SAW-Gerät nach Anspruch 2, dadurch .

gekennzeichnet , daß jede der parallel verbundenen Schleifen zwei zueinander parallele Spannungsschienen (20, 22) und ineinandergeschachtelte zueinander parallele Elektrode besitzt, wobei die Schienen (20, 22) senkrecht zu den Elektroden (24) liegen, und daß die Schleifen in einer zu den Elektroden parallelen Richtung einander dicht benachbart sind und eng benachbarte, mit einer Ausgangsspannungsklemme verbundene Spannungsschienen (22) und an einer Bezugsspannung angeschlossene, entfernte Spannungsschienen (20) besitzen.

10. SAW-Gerät nach Anspruch 4, dadurch .

gekennzeichnet, daß jede der in Reihe verbundenen Schleifen zwei zueinander parallele Spannungsschienen (26_f 28, 30) und zueinander parallele, ineinandergeschachtelte Elektroden (24) besitzt, daß die Schienen (26, 28, 30) senkrecht zu den Elektroden (24) liegen, daß die Schleifen in einer zu den Elektroden (24) parallelen Richtung eng benachbart zueinander liegen und miteinander verbundene dicht benachbarte Spannungsschienen (28) und entfernte, jeweils mit einer Referenzspannung bzw. einer Eingangsspannung verbundene Spannungsschienen (26, 30) besitzen.

11. SAW-Gerät nach Anspruch 4, dadurch

gekennzeichnet , daß der Eingangstransduktor (16) eine Länge besitzt, die viermal so groß wie die Länge des Ausgangstransduktors (18) ist.

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12. SAW-Gerät nach Anspruch 1, dadurch

gekennzeichnet , daß das Gerät ein piezoelektrisches Substrat besitzt.

13. SAW-Gerät nach Anspruch 1, dadurch

gekennzeichnet , daß das Gerät ein passives Substrat und eine darauf abgeschiedene piezoelektrische Schicht besitzt.

14. SAW-Gerät nach Anspruch 1, dadurch

gekennzeichnet , daß die Transduktoren (16, 18) IDTs sind.

15. SAW-Gerät nach Anspruch 3, dadurch

gekennzeichnet , daß jeder Transduktor (16, 18) zwei Schleifen besitzt.

16. SAW-Gerät nach Anspruch 4, dadurch

gekennzeichnet , daß jeder Transduktor (16, 18) zwei Schleifen besitzt.

17. SAW-Gerät nach Anspruch 3, dadurch

gekennzeichnet , daß der Eingangstransduktor zwei parallel verbundene Schleifen besitzt, die spiegelbildlich zueinander an entgegengesetzten Seiten einer sich vom Eingangs- zum Ausgangstransduktor erstreckenden Mittelachse des Gerätes angeordnet sind.

18. SAW-Gerät nach Anspruch 5, dadurch

gekennzeichnet , daß der Ausgangstransduktor zwei in Reihe verbundene miteinander identische Schleifen besitzt, die an entgegengesetzt liegenden Seiten einer sich vom Eingangszum Ausgangstransduktor erstreckenden Mittelachse des Gerätes angeordnet sind.

19. SAW-Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß jede der parallel verbundenen

Schleifen ein Paar von zueinander parallelen Spannungsschienen und ineinanderverschachtelte, zueinander parallele Elektroden besitzt, wobei die Schienen senkrecht zu den Elektroden liegen, die Schleifen eng benachbart zueinander in einer zu den Elektroden parallelen Richtung liegen und eng benachbarte Spannungsschienen mit einer ersten Spannung und entfernte Spannungsschienen mit einer zweiten Spannung besitzen.

20. SAW-Gerät nach Anspruch 5, dadurch

gekennzeichnet , daß jede der in Reihe verbundenen Schleifen zwei zueinander parallele Spannungsschienen und zueinander parallele, ineinandergeschachtelte Elektroden besitzt, wobei die Schienen senkrecht zu den Elektroden liegen, die Schleifen in einer zu den Elektroden parallelen Richtung einander eng benachbart sind und eng benachbarte miteinander verbunde ne Spannungsschienen und entfernte Spannungsschienen mit voneinander unterschiedlichen Spannungen besitzen.