DE3432733A1 - Passleiste - Google Patents
PassleisteInfo
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- DE3432733A1 DE3432733A1 DE19843432733 DE3432733A DE3432733A1 DE 3432733 A1 DE3432733 A1 DE 3432733A1 DE 19843432733 DE19843432733 DE 19843432733 DE 3432733 A DE3432733 A DE 3432733A DE 3432733 A1 DE3432733 A1 DE 3432733A1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Description
- "Paßleiste"
- Die Erfindung betrifft eine Paßleiste für die Photolithographie zur Befestigung eines Negativs in einem Kontaktrahmen, welcher aus Federstahl hergestellt ist und mehrere vorragende Paßstifte aufweist, welche an den Rändern der Negative vorhandene Stanzungen durchgreift.
- Es ist bekannt, die Paßleisten einstückig aus Federstahl herzustellen, beispielsweise mit einer Stärke von 0,5 mm, wobei die Paßstifte die Paßleiste von hinten her durchsetzen und in diese eingenietet sind. Der Nachteil dieser bekannten Paßleisten besteht jedoch darin, daß diese in ihrer Fertigung zu ungenau sind und damit mit zu großen Toleranzen behaftet sind, was zu Spannungen in den aufgespannten Filmen bzw. Negativen führt.
- Von diesem Stand der Technik ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, unter Vermeidung vorerwähnter Nachteile eine Paßleiste der eingangs genannten Art zu schaffen, welche ein absolut planes Aufspannen der Negative oder Filme in einem Kontaktrahmen zur Ziehung von Kopien für die Lithographie ermöglicht.
- Erfindungsgemäß wird dies dadurch erreicht, daß die Paßleiste über ihre Länge verteilt mit mehreren Bohrungen versehen ist, welche im oberen Bereich der Paßleiste eine geringere Weite besitzen als in deren mittlerem Bereich, daß in diese Bohrungen die Paßstifte mit Bewegungsspiel eingesetzt sind, wobei diese in ihrer Formgebung der der Bohrungen angepaßt sind, derart,daß sich deren Schäfte mit gegenüber ihren Füßen geringerer Weite in den Teilen der Bohrungen mit geringerer Weite und deren Füße mit gegenüber ihren Schäften grösserer Weite in den Teilen der Bohrungen mit größerer Weite befinden. Vorteilhaft besteht die Paßleiste aus drei aufeinander angeordneten Lagen Federbandstahl. Diese sind durch Klebung miteinander verbunden, so daß sich insgesamt ein fester Verbund der Lagen ergibt.
- Die Anordnung der Bohrungen in bezug auf die einzelnen Lagen der Paßleiste ist derart, daß die Teile der Bohrungen mit geringerer Weite sich in der oberen Lage und die mit der größeren Weite in der mittleren Lage der Paßleiste befinden.
- Durch diese Ausgestaltung ergibt sich eine Beweglichkeit der Stifte, die deren selbsttätige Ausrichtung nach der Anordnung der vorhandenen Stanzungen in dem Negativ bzw. Film ermöglicht und somit einen Ausgleich der vorhandenen Toleranzen. Es kann somit keine Spannung mehr im Negativ bzw. Film entstehen, welches bzw. welcher absolut plan im Kontaktrahmen liegen und beispielsweise durch Vakuum vollflächig angesaugt werden. Die Füße der Paßstifte gleiten auf der unteren Lage der Paßleiste, so daß eine einwandfreie Ausrichtung und Festlegung gewährleistet ist.
- Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist an Hand der Zeichnung näher erläutert, und zwar zeigt diese einen geschnittenen Längsschnitt einer Paßleiste in stark vergrößertem Maßstab.
- Die Paßleiste besteht aus drei Lagen von Federbandstahl, wobei die untere mit 1, die mittlere mit 2 und die obere Lage mit 3 bezeichnet ist.
- über die Länge der Paßleiste verteilt ist diese mit mehreren Bohrungen 4 versehen. Die Bohrungen besitzen über ihre Höhe eine unterschiedliche Weite. Der Teil 5 der Bohrungen, der sich in der oberen Lage 3 befindet, besitzt eine geringere Weite als der Teil 6, welcher sich in der mittleren Lage 2 befindet. Die untere Lage 1 schließt die Bohrungen nach unten hin ab.
- In die Bohrungen 4 sind mit Bewegungsspiel die Paßstifte 7 eingesetzt. Diese sind in ihrer Formgebung der der Bohrungen 4 angepaßt. Die die obere Lage 3 der Paßleiste nach außen hin überragenden Schäfte 8 der Paßstifte 7 weisen eine geringere Weite auf als deren Schäfte 9, die im Bereich der mittleren Lage 2 angeordnet sind.
- Die Formgebung der Paßstifte 7 sowie die der zugehörigen Bohrungen 4 ist beliebig, so daß diese beispielsweise rund, mehreckig oder auch oval ausgebildet sein können. Die Anordnung ist in jedem Falle so, daß die Paßstifte sowohl hinsichtlich ihrer Schäfte 8 als auch in bezug auf ihre Füße 9 geringere Weiten besitzen als die diesen zugeordneten Teile 5 bzw. 6 der Bohrungen 4, so daß die Paßstifte über eine gewisse Beweglichkeit verfügen, welche ausreicht, um Toleranzen selbsttätig ausgleichen zu können.
- Die Stärke der unteren und oberen Lage 1, 3 beträgt beispielsweise 0,05 mm, während die der mittleren Lage 2 0,15 mm beträgt.
- Die Teile 6 der Bohrungen 4 können beispielsweise einen Durchmesser von 9 mm besitzen, während die Füße 9 der Paßstifte 7 einen solchen von 7 mm aufweisen. Die Durchmesser der Teile 5 der oberen Lage 3 betragen beispielsweise 5,8 mm, während die der Schäfte 5,5mm aufweisen.
- Wie diesen Maßangaben zu entnehmen ist, besteht eine hinreichende Beweglichkeit der Paßstifte, um selbsttätig Toleranzen ausgleichen zu können. Diese sind allseitig mit ihren Füßen 9 auf der unteren Lage 1 der Paßleiste verschiebbar.
- - Leerseite -
Claims (4)
- PATENTANSPRÜCHE : 1. Paßleiste für die Photolithographie zur Befestigung eines Negativs od.dgl. in einem Kontaktrahmen, welche aus Federstahl hergestellt ist und mehrere vorragende Paßstifte aufweist, welche an den Rändern der Negative od.dgl. vorhandene Stanzungen durchgreifen, dadurch gekennzeichnet, daß die Paßleiste über ihre Länge verteilt mit mehreren Bohrungen (4) versehen ist, welche im oberen Bereich der Paßleiste eine geringere Weite besitzen als in deren mittlerem Bereich, daß in diese Bohrungen (4) die Paßstifte (7) mit Bewegungsspiel eingesetzt sind, wobei diese in ihrer Formgebung der der Bohrungen (4) angepaßt sind, derart, daß sich deren Schäfte (8) mit gegenüber ihren Füßen (9) geringerer Weite in den Teilen (5) der Bohrungen (4) mit geringerer Weite und deren Füße (9) mit gegenüber ihren Schäften (8) größerer Weite in den Teilen (6) der Bohrungen (4) mit größerer Weite befinden.
- 2. Paßleiste nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Paßleiste aus drei aufeinander angeordneten Lagen (1,2,3) aus Federbandstahl besteht.
- 3. Paßleiste nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Lagen (1,2,3) der Paßleiste durch Klebung miteinander verbunden sind.
- 4. Paßleiste nach Anspruch 1 oder einem der vorhergehenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Teile (5) der Bohrungen (4) mit geringerer Weite in der oberen Lage (3) und die (6) mit größerer Weite in der mittleren Lage (2) der Paßleiste angeordnet sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19843432733 DE3432733A1 (de) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | Passleiste |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19843432733 DE3432733A1 (de) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | Passleiste |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3432733A1 true DE3432733A1 (de) | 1986-03-13 |
Family
ID=6244763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19843432733 Withdrawn DE3432733A1 (de) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | Passleiste |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3432733A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE8803064U1 (de) * | 1988-03-08 | 1989-07-06 | Kieper, Horst, 5600 Wuppertal, De |
-
1984
- 1984-09-06 DE DE19843432733 patent/DE3432733A1/de not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE8803064U1 (de) * | 1988-03-08 | 1989-07-06 | Kieper, Horst, 5600 Wuppertal, De |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |