DE3330728C2 - - Google Patents

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DE3330728C2
DE3330728C2 DE19833330728 DE3330728A DE3330728C2 DE 3330728 C2 DE3330728 C2 DE 3330728C2 DE 19833330728 DE19833330728 DE 19833330728 DE 3330728 A DE3330728 A DE 3330728A DE 3330728 C2 DE3330728 C2 DE 3330728C2
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voltage
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Johann 6463 Freigericht De Stuermer
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02—Main electrodes
    • H01J1/13—Solid thermionic cathodes
    • H01J1/135—Circuit arrangements therefor, e.g. for temperature control
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for

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  • Analytical Chemistry (AREA)
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FR8316822A FR2535108B1 (fr) 1982-10-23 1983-10-21 Source de tension auxiliaire pour l'alimentation de montages electriques portes a un potentiel haute tension
US06/544,402 US4525652A (en) 1982-10-23 1983-10-21 Auxiliary-voltage source for supplying electric circuits which are at a high potential

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